JP2014145333A - 軸封構造、ポンプ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、高価になることを抑制するとともに、ポンプ装置の構造の制限および複雑化を抑制できる軸封構造を提供する。
【解決手段】ポンプ装置１０は、軸封部６０を備える。軸封部６０は、ガス室ハウジング６２と、オイルシール６４とを備える。ガス室ハウジング６２は、ポンプ部２０に形成されるポンプ部用貫通孔部２６に設けられ、内側にガス室６１を形成するとともに、ポンプ部側に設けられて駆動軸４０が貫通する第１の貫通孔部７１ａと、第１の貫通孔部７１ａに対して反対側に設けられて駆動軸４０が通る第２の貫通孔部７２ａとを有する。オイルシール６４は、第２の貫通孔部７２ａと駆動軸４０との間に設けられる。
【選択図】図１

Description

本発明は、ポンプ部において駆動軸部が通るポンプ部用貫通孔部をシールする軸封構造に関する。他の本発明は、ポンプ部において駆動軸部が通るポンプ部用貫通孔部をシールする軸封部を備えるポンプ装置に関する。

従来、インペラを備えるポンプ部と、ポンプ部を駆動する、つまり、インペラを回転するための回転を発生する電動機とを備えるポンプ装置がある。この種のポンプ装置では、電動機の出力軸に連結されてインペラに回転を伝達する駆動軸部は、ポンプ部を形成するハウジングを貫通している。

このため、ポンプ部で増圧された液体が、ポンプ室ハウジングに形成された駆動軸部が通る孔を通って電動機に到達することを防ぐために、ポンプ部に隣接して軸封部が形成されている。軸封部の一例としては、メカニカルシールを用いてポンプ部側から浸入した液体が電動機に到達することを防ぐ構造がある。

しかしながら、メカニカルシールは高価であり、それゆえ、軸封部としてメカニカルシールを備えるポンプ装置も高価になる、さらに、ポンプ部が圧力を高める液体がスラリを含んでいる場合では、この液体がメカニカルシールに到達すると、メカニカルシールの摺動部、つまり、回転環と固定環とが摺動する部分の磨耗が促進される。このため、メカニカルシールの寿命が短くなる。

メカニカルシールを用いる以外の軸封部の例として、ポンプ室ハウジングにおいて駆動軸部が通る貫通孔部にガス室を形成し、ガス室内に高圧のガスを封入する構造が提案されている。ガス室内の圧力を利用して、ポンプ部からの流体の漏れを抑制している。

一方、ポンプ装置では、駆動開始時と駆動終了時、言い換えると、インペラの回転開始時と回転終了時では、ポンプ部内の圧力が急激に変動する。上記したように軸封部としてガス室を用いるポンプ装置では、ポンプ部内の圧力が急激に変動することによって、ポンプ部内の圧力とガス室内の圧力のバランスがくずれ、それゆえ、ガス室内のガスがポンプ部内に漏れたり、または、ポンプ部内の液体がガス室内に侵入する。

このため、ポンプ部内の急激な圧力の変化が生じないように、ポンプ装置の駆動開始のインペラの回転速度を徐々に増速するとともに、ポンプ装置の駆動終了時のインペラの回転速度を徐々に減速させる回転速度可変装置を備える構造が提案されている。

インペラの回転速度を上記のように制御することによって、ポンプ部内の圧力の急激な変化が生じなくなり、それゆえ、ポンプ部からガス室内への液体の侵入が抑制される（例えば、特許文献１参照。）。

また、軸封部としてガス室を備えるポンプ装置としては、電動機の回転をインペラに伝達する駆動軸部が上下方向に延びてポンプ部のハウジングにおいて駆動軸部が通る貫通孔がインペラに対して上方に位置し、かつ、ポンプ室ハウジングの下端にポンプ室ハウジング内に流体を吸い込む吸込口が形成される構造がある。

この構造の場合、ハウジング内に流入した液体の圧力は、ポンプ部のハウジングにおいて駆動軸部が通る貫通孔に作用する。このため、ポンプ室内の圧力が急激に変化する場合では、貫通孔に作用する圧力も変化し、それゆえ、ポンプ室内の圧力がガス室内に侵入しやすくなることが考えられる。

このため、吸込口を、ポンプ室の上側に形成することによって、ポンプ室内に流入する液体の流れを、上側から下向きの流れとする構造が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。

特開平７−３０５６９２号公報 特開２００６−３２９０５６号公報

しかしながら、特許文献１に開示される構造であると、回転速度可変装置を備える必要があり、ポンプ装置の構造が複雑になる傾向になる。

また、特許文献２に開示される構造であると、ポンプ室の構造に制限が生ずる。

本発明は、高価になることを抑制するとともに、ポンプ装置の構造の制限および複雑化を抑制できる軸封構造を提供することを目的とする。他の本発明は、高価になることを抑制するとともに、構造の制限および複雑化を抑制できるポンプ装置を提供することを目的とする。

本発明の軸封構造は、駆動部によって回転された駆動軸部によって駆動するポンプ部の前記駆動軸部が通るポンプ部用貫通孔部に設けられる。前記軸封構造は、前記ポンプ部用貫通孔部に設けられるガス室ハウジングであって、内側にガス室を形成するとともに、前記ポンプ部側に設けられて前記駆動軸部が貫通する第１の貫通孔部と、前記第１の貫通孔部に対して反対側に設けられて前記駆動軸部が通る第２の貫通孔部とを有するガス室ハウジングと、前記第２の貫通孔部と前記駆動軸部との間に設けられるオイルシールとを備える。

本発明のポンプ装置は、駆動軸部と、前記駆動軸部を回転する駆動部と、駆動軸部によって駆動するポンプ部と、軸封部とを備える。前記軸封部は、前記ポンプ部の前記駆動軸部が通るポンプ部用貫通孔部に設けられるガス室ハウジングであって、内側にガス室を形成するとともに、前記ポンプ部側に設けられて前記駆動軸部が貫通する第１の貫通孔部と、前記第１の貫通孔部に対して反対側に設けられて前記駆動軸部が通る第２の貫通孔部とを有するガス室ハウジングと、前記第２の貫通孔部と前記駆動軸部との間に設けられるオイルシールとを備える軸封部とを備える。

本発明によれば、高価になることを抑制するとともに、ポンプ装置の構造の制限および複雑化を抑制できる。

本発明の一実施形態に係るポンプ装置を示す一部断面図。 同ポンプ装置の一部拡大図。 図２に示すＦ３−Ｆ３線に沿って示すポンプ装置の断面図。

本発明の第１の実施形態にかかるポンプ装置を、図１〜３を用いて説明する。図１は、本実施形態のポンプ装置１０を示す側面図である。ポンプ装置１０は、本発明の一実施形態に係る軸封構造を備えている。

図１中、ポンプ装置１０は、一部が後述される駆動軸４０の軸線Ｙに沿って切断された断面の状態で示されている。図１に示すように、ポンプ装置１０は、一例として、渦巻きポンプである。ポンプ装置１０は、閉回路５内を循環する循環液Ｌを増圧する。図中、閉回路５は、２点鎖線で示されている。循環液Ｌは、一例として、不凍液である。

ポンプ装置１０は、羽根車２３を備えるポンプ部２０、駆動部としての電動機３０、電動機３０の回転を羽根車２３に伝達してポンプ部２０を駆動する駆動軸４０、駆動軸４０を支持する軸支持部５０と、電動機３０の動作と後述する軸封部６０のコンプレッサ６５の動作とを制御する制御盤８０とを備えている。

ポンプ部２０は、内側にポンプ室２１を形成するポンプ室ハウジング２２と、ポンプ室２１内に収容される羽根車２３とを備えている。ポンプ室ハウジング２２には、ポンプ室２１内に循環液Ｌを吸い込む吸込口２４と、ポンプ室２１内で増圧された循環液Ｌを閉回路５内に吐出する吐出口２５とが形成されている。

本実施形態では、一例として、ポンプ室ハウジング２２は、羽根車２３を収容する部分を形成するとともに、吸込口２４と吐出口２５とが形成される本体部２２ａと、本体部の一端部の開口を覆う覆い部２２ｂとが一体に組み合わさることによって形成されている。

ポンプ室２１内での羽根車２３の姿勢について、具体的に説明する。羽根車２３は、回転軸部２３ａを備えており、後述される駆動軸４０は回転軸部２３ａに連結されている。羽根車２３は、回転軸部２３ａの軸線Ｘが水平方向に平行になる姿勢で、ポンプ室ハウジング２２内に設置されている。軸線Ｘは、羽根車２３の回転中心である。このため、駆動軸４０は、その軸線Ｙが水平方向に平行な姿勢である。羽根車２３の回転中心となる軸線Ｘと駆動軸４０の軸線Ｙとは、同一直線上に位置している。なお、駆動軸４０と回転軸部２３ａとは、ポンプ部２０を駆動する駆動軸部の一例を構成している。

吸込口２４は、ポンプ室ハウジング２２において、駆動軸４０の軸線Ｙと対向する位置に形成されている。吐出口２５は、駆動軸４０の周方向外側に開口している。

軸支持部５０は、軸受箱５２と、軸受箱５２内に収容される軸受５４，５５とを備えている。軸受箱５２は、ポンプ部２０に対して電動機３０側に配置されている。軸受箱５２とポンプ室ハウジング２２との間は、覆い部材５１によって覆われている。覆い部材５１は、内側に駆動軸４０を収容する筒形状であり、一端が軸受箱５２に連結され、他端がポンプ室ハウジング２２に連結されており、軸受箱５２とポンプ室ハウジング２２との間を覆っている。軸受５４，５５は、軸受箱５２内において駆動軸４０に沿って離間して配置されている。軸受５４，５５は、転がり軸受であり、駆動軸４０の回転を支持している。

図２は、軸封部６０の近傍を拡大して示す拡大図である。図２では、図１と同様に、ポンプ装置１０の一部は、切断された状態で示されている。図２に示すように、軸封部６０は、覆い部材５１内に収容されている。軸封部６０は、内側にガス室６１を形成するガス室ハウジング６２と、オイルシール６３，６４、コンプレッサ６５、圧力検出センサ６６とを備えている。

ガス室ハウジング６２は、ポンプ室ハウジング２２において駆動軸４０が通るポンプ部用貫通孔部２６に隣接して設けられている。より具体的には、ポンプ室ハウジング２２の軸支持部５０側の端部には、駆動軸４０を通すポンプ部用貫通孔部２６が形成されている。ポンプ部用貫通孔部２６は、覆い部２１ｂに形成されている。ポンプ部用貫通孔部２６は、駆動軸４０の直径よりも大きい。このため、ポンプ部用貫通孔部２６の開口縁と駆動軸４０との間には、隙間が存在する。

ガス室ハウジング６２においてポンプ部側の端部は、ポンプ室ハウジング２２のポンプ部用貫通孔部２６内に嵌合している。このことによって、ポンプ室ハウジング２２にポンプ部用貫通孔部２６は、ガス室ハウジング６２によって塞がれている。

ガス室ハウジング６２は、ポンプ部側に面するとともにポンプ室２１の内部とガス室６１の内部とを仕切る第１の端壁部７１と、電動機側に面する第２の端壁部７２と、第１，２の端壁部７１，７２の外縁に連結して駆動軸４０を内側に収容する筒状の側壁部７５とを有している。ガス室ハウジング６２は、第１，２の端壁部７１，７２と、側壁部７５とによって、ガス室６１内と外側との間を仕切っている。

第１の端壁部７１は、駆動軸４０を内側に通す第１の貫通孔部７１ａが形成されている。第１の貫通孔部７１ａには、環状のオイルシール６４が設けられている。駆動軸４０は、オイルシール６４内を通る。オイルシール６４は、ポンプ室２１の循環液が第１の貫通孔部７１ａを通ってガス室６１に浸入することを防止する機能を有している。

第２の端壁部７２には、駆動軸４０を内側に通す第２の貫通孔部７２ａが形成されている。第２の貫通孔部７２ａには、環状のオイルシール６３が設けられている。駆動軸４０は、オイルシール６３内を通る。オイルシール６３は、万が一ガス室６１内に浸入した循環液Ｌが第２の貫通孔部７２ａを通って外部に漏れないようにシールする機能を有している。

本実施形態では、ガス室ハウジング６２は、一例として、本体部６２ａと、本体部６２ａの電動機３０側の開口を覆う覆い部６２ｂとの２つの部分から構成されている。本体部６２ａは、第１の端壁部７１と、側壁部７５と、第２の端壁部７２の一部とを有している。覆い部は６２ｂ、第２の端壁部７２の残りの部分を有している。覆い部６２ａが本体部６２ａに組み付けられた状態において、図１に示すように、本体部６２ａと覆い部６２ｂとは、ボルト１００によって、内側にガス室６１を形成するように、互いに固定される。

ガス室ハウジング６２には、コンプレッサ６５によって圧縮された空気が供給される圧縮空気供給口６７が形成されている。圧縮空気供給口６７は、側壁部７５において駆動軸４０よりも上に形成されている。なお、上とは、ポンプ装置１０が使用される状態で設置されたときに、駆動軸４０に対して、重力が作用する方向の逆方向に進んだ側である。

図３は、図２に示されるＦ３−Ｆ３線に沿って示すポンプ装置１０の断面図である。図３は、ポンプ装置１０を、第１の端壁部７１において駆動軸４０の軸線Ｙに垂直な方向に沿って切断した状態を示している。図３に示すように、圧縮空気供給口６７とコンプレッサ６５との間は、圧縮空気が流れる供給通路部６８が形成されている。

供給通路部６８には、分岐部６９が設けられている。分岐部６９には圧力検出センサ６６が設けられている。圧力検出センサ６６は、分岐部６９内の圧力を検出する。供給通路部６８内とガス室６１内とは圧縮空気供給口６７を介して連通しており、それゆえ、供給通路部６８内の圧力と、ガス室６１内の圧力とは同じである。また、分岐部６９内と供給通路部６８内とは連通しており、分岐部６９内の圧力と供給通路部６８内の圧力とは同じである。このため、ガス室６１内の圧力と、分岐部６９内の圧力とは同じである。圧力検出センサ６６は、分岐部６９内の圧力を検出することによって、ガス室６１内の圧力を検出している。

制御盤８０は、電動機３０の動作と、コンプレッサ６５の動作を制御する。制御盤８０の動作について、具体的に説明する。圧力検出センサ６６の検出結果は、制御盤８０に送信される。制御盤８０は、ガス室６１内の圧力が第１の所定圧力以下になると、コンプレッサ６５の動作を開始して、圧縮空気をガス室６１内に供給する。また、制御盤８０は、ガス室６１内の圧力が第２の所定値以上になると、コンプレッサ６５の動作を停止する。

第１の所定圧力値より大きな値は、ポンプ室２１内から循環液Ｌが第１の貫通孔部７１ａを通ってガス室６１内に浸入することがない値である。ポンプ室２１内は、増圧された循環液Ｌによって高圧になっている。また、ポンプ室２１内は、ポンプ装置１０の運転状態に応じて圧力値が変動する。このため、例えば第１の所定値は、この変動を考慮して設定されている。第１の所定値は、予め、実験などによって得ることができる。

第２の所定圧力値は、第１の所定圧力値より大きい値である。ガス室６１内の圧力が大きくなり過ぎると、ガス室６１内の圧縮空気などが、第２の貫通孔部７２ａを通って外部に漏れ出す。万が一、ポンプ室２１内の循環液Ｌ１がガス室６１内に侵入してガス室６１内に圧縮空気以外に循環液Ｌが溜まる状態が生じていると、ガス室６１内の圧力が高くなりすぎることによって、ガス室６１内の循環液Ｌが第２の貫通孔部７２ａを通って外部に漏れる。上記の圧縮空気などとは、圧縮空気と循環液Ｌとを含んでいる。第２の所定圧力値は、ガス室６１内の圧縮空気などが第２の貫通孔部７２ａを通って軸受箱５２側に漏れ出さない値である。第２の所定圧力値は、予め、実験などによって求めることができる。

また、制御盤８０は、警報装置９０の動作を制御する。警報装置９０は、アラーム音を発生する。制御盤８０は、圧力検出センサ６６の検出結果に基づき、ガス室６１内の圧力が空気漏れを示す閾値以下である判定すると、警報装置９０を制御して、アラーム音を発生する。ここで言う空気漏れとは、ポンプ装置１０の通常動作時に漏れる範囲を超えた漏れであり、例えば、供給通路部６８にひびなどが形成されてこのひびから空気が漏れている場合や、オイルシール６３，６４が破損することによって、第１，２の貫通孔部７１ａ，７２ａから空気が漏れてる場合や、ガス室ハウジング６２が破損し当該破損部から空気が漏れている場合などがある。

このような空気漏れの場合、コンプレッサ６５を動作してもガス室６１内の圧力が上昇せず低下する。上記空気漏れを示す閾値は、例えば実験によって求めることができる。空気漏れを示す閾値は、予め設定されており、制御盤８０に記憶されている。

なお、アラーム音を鳴らすことは、空気漏れが発生していることの警告の一例である。例えば、警告灯を用いてもよい。この場合、ガス室６１内の圧力が、空気漏れを示す閾値以下になると、警告灯が点灯する。要するに、空気も漏れを検出すると、外部のその警告ができる手段であればよい。

このように構成されるポンプ装置１０では、ガス室ハウジング６２の第２の端壁部７２にオイルシール６３が設けられ、オイルシール６３内を駆動軸４０が通ることによって、万が一、ガス室６１内に循環液Ｌが浸入しても、当該浸入した循環液Ｌが第２の貫通孔部７２ａを通って外部に漏れ出すことが抑制される。

このように、ガス室６１内にオイルシール６３を設けるという簡素な構造であるので、ポンプ室ハウジング２２の構造を制限することなく、かつ、ポンプ装置１０全体の構造を複雑にすることなく、循環液Ｌが外部に漏れることを防止できる。さらに、メカニカルシールなどの高価な部品を用いることがないので、ポンプ装置１０が高価になることを抑制できる。

また、第１の端壁部７１にオイルシール６４が設けられることによって、ポンプ室２１内の循環液Ｌがガス室６１に侵入することを抑制できることにより、第２の貫通孔部７２ａを通って外部に循環液Ｌが漏れることをより一層抑制できる。さらに、ガス室６１内の圧縮空気がポンプ室２１に漏れ出すことを抑制することができる。

また、ガス室ハウジング６２に形成される圧縮空気供給口６７が、駆動軸４０よりも上に位置ことによって、万が一、ガス室６１内に浸入した循環液Ｌがガス室６１内から第２の貫通孔部７２ａを通って外部に漏れ出すことをより一層抑制することができる。

この点について、具体的に説明する。圧縮空気供給口６７が駆動軸４０よりも上に位置することによって、圧縮空気供給口６７を通ってガス室６１内に供給された圧縮空気は、ガス室６１の上部から下方に降りていく。

万が一、ガス室６１内に循環液Ｌが浸入すると、浸入した循環液Ｌは、ガス室６１内の下部に溜まる。このため、上記したように、上方に供給された圧縮空気は、下部に溜まった循環液Ｌの上方に溜まることになる。

これに対して、圧縮空気供給口６７が駆動軸４０よりも下に位置すると、ガス室６１内に供給された圧縮空気は、ガス室６１の下部に溜まった循環液を下方から吹き上げる場合がある。このような場合、下部に溜まった循環液Ｌは、攪拌されて周囲に飛散する。飛散した循環液Ｌは、駆動軸４０に接触することによって、より一層攪拌される。

循環液Ｌが攪拌されることによって、循環液Ｌが圧縮空気を取り込む。循環液Ｌが圧縮空気を取り込むことによって、ガス室６１内の圧力が急激に下がる。このことによって、ポンプ室２１内の循環液Ｌは、第１の貫通孔部７１ａを通ってガス室６１内に侵入しやすくなる傾向にある。この結果、ガス室６１内に循環液Ｌが溜まりやすくなり、それゆえ、循環液Ｌが第２の貫通孔部７２ａを通って外部に漏れ出しやすくなる。

しかしながら、本実施形態では、圧縮空気供給口６７は、駆動軸４０よりも上に位置しているので、ガス室６１内の下部に万が一循環液Ｌが溜まっていても、循環液Ｌを吹き上げることがない。このため、第２の貫通孔部７２ａを通って循環液Ｌが外部に漏れ出すことを抑制できる。

ガス室６１内の圧力を、第１の所定圧力値より大きく、かつ、第２の所定圧力値未満の範囲内に保つことによって、ガス室６１内への循環液Ｌの浸入をより一層抑制するとともに、ガス室６１から軸受側への循環液Ｌの漏れをより一層抑制することができる。

また、圧力検出センサ６６の検出結果に基づいてコンプレッサ６５の動作をオン、オフするだけでガス室６１内の圧力を、第１の所定圧力より大きく、かつ、第２の所定圧力値未満に維持する構造を簡素に構成することができる。

また、コンプレッサ６５の動作は、ガス室６１内の圧力が、第１の所定圧力値以下の場合、または、第２の所定圧力値以上のときである。このように、コンプレッサは、常に動作するわけではないので、ポンプ装置１０の動作時のコンプレッサの電力消費量を抑制することができる。このため、ポンプ装置１０を動作する際のコンプレッサのランニングコストを抑制することができる。

本実施形態で用いられた空気は、ガス室内に封入されるガスの一例である。空気以外の気体が用いられてもよい。循環液Ｌは、ポンプ部が増圧する流体の一例である。

コンプレッサ６５と供給通路部６８とは、ガス室にガスを供給するガス供給手段の一例を構成している。

圧力検出センサ６６は、ガス室内の圧力を検出する圧力検出手段の一例である。制御盤８０は、ガス供給手段の動作を制御する動作制御手段の一例である。

ガス室内の圧力を、第１の所定値より大きく、かつ、第２の所定値未満の範囲に維持することは、ガス室内の圧力を、ポンプ室内の流体が第１の貫通孔部を通って前ガス室内に侵入せず、かつ、ガス室内の流体が前記第２の貫通孔部を通って外部に漏れない範囲に維持することの一例である。第１の所定値と第２の所定値とは、適宜設定できる値である。

羽根車２３の回転軸部２３ａと駆動軸とは、ポンプ部を駆動する駆動軸部の一例を構成している。電動機３０は、駆動軸部を回転する駆動部の一例である。

なお、本実施形態では、ポンプ室ハウジング２２とガス室ハウジング６２とは、別々の構成である。他の例としては、例えば、ポンプ室ハウジング２２とガス室ハウジング６２とが一体に形成されてもよい。この場合、ガス室ハウジングとは、内側にガス室を形成する部分を示す。

この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、上述した実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても良い。更に、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。

１０…ポンプ装置、２０…ポンプ部、２３ａ…回転軸部（駆動軸部）、２６…ポンプ部用貫通孔部、３０…電動機（駆動部）、４０…駆動軸（駆動軸部）、６０…軸封部、６２…ガス室ハウジング、６３…オイルシール、６４…オイルシール、６５…コンプレッサ（ガス供給手段）、６６…圧力検出センサ（圧力検出手段）、６７…圧縮空気供給口（ガス供給口）、６８…供給通路部（ガス供給手段）、７１ａ…第１の貫通孔部、７２ａ…第２の貫通孔部、８０…制御盤（圧力制御手段、動作制御手段）。

Claims (10)

1. 駆動部によって回転された駆動軸部によって駆動するポンプ部の前記駆動軸部が通るポンプ部用貫通孔部に設けられる軸封構造であって、
   前記ポンプ部用貫通孔部に設けられるガス室ハウジングであって、内側にガス室を形成するとともに、前記ポンプ部側に設けられて前記駆動軸部が貫通する第１の貫通孔部と、前記第１の貫通孔部に対して反対側に設けられて前記駆動軸部が通る第２の貫通孔部とを有するガス室ハウジングと、
   前記第２の貫通孔部と前記駆動軸部との間に設けられるオイルシールと
   を具備する
   ことを特徴とする軸封構造。
2. 前記第１の貫通孔部と前記駆動軸部との間にオイルシールが設けられる
   ことを特徴とする請求項１に記載の軸封構造。
3. 前記ガス室内にガスを供給するガス供給手段を具備し、
   前記ガス室ハウジングには前記ガス室内に前記ガスが供給するガス供給口が形成され、
   前記ガス供給口は、前記駆動軸部よりも上に位置する
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の軸封構造。
4. 前記ガス室内の圧力を制御する圧力制御手段を備える
   ことを特徴とする請求項１〜３のうちのいずれか１項に記載の軸封構造。
5. 前記圧力制御手段は、
   前記ガス室内の圧力を検出する圧力検出手段と、
   前記圧力検出手段の検出結果に基づいて前記ガス供給手段の動作を制御して、前記ガス室内の圧力を、前記ポンプ室内の流体が前記第１の貫通孔部を通って前記ガス室内に侵入せず、かつ、前記ガス室内の前記流体が前記第２の貫通孔部を通って外部に漏れない範囲に維持する動作制御手段と
   を具備する
   ことを特徴とする請求項４に記載の軸封構造。
6. 駆動軸部と、
   前記駆動軸部を回転する駆動部と、
   駆動軸部によって駆動するポンプ部と、
   前記ポンプ部の前記駆動軸部が通るポンプ部用貫通孔部に設けられるガス室ハウジングであって、内側にガス室を形成するとともに、前記ポンプ部側に設けられて前記駆動軸部が貫通する第１の貫通孔部と、前記第１の貫通孔部に対して反対側に設けられて前記駆動軸部が通る第２の貫通孔部とを有するガス室ハウジングと、前記第２の貫通孔部と前記駆動軸部との間に設けられるオイルシールとを備える軸封部と
   を具備する
   ことを特徴とするポンプ装置。
7. 前記第１の貫通孔部と前記駆動軸部との間にオイルシールが設けられる
   ことを特徴とする請求項６に記載のポンプ装置。
8. 前記ガス室内にガスを供給するガス供給手段を具備し、
   前記ガス室ハウジングには前記ガス室内に前記ガスを供給するガス供給口が形成され、
   前記ガス供給口は、前記駆動軸部よりも上に位置する
   ことを特徴とする請求項６または７に記載のポンプ装置。
9. 前記ガス室内の圧力を制御する圧力制御手段を備える
   ことを特徴とする請求項６〜８のうちのいずれか１項に記載のポンプ装置。
10. 前記圧力制御手段は、
    前記ガス室内の圧力を検出する圧力検出手段と、
    前記圧力検出手段の検出結果に基づいて前記ガス供給手段の動作を制御して、前記ガス室内の圧力を、前記ポンプ室内の流体が前記第１の貫通孔部を通って前記ガス室内に侵入せず、かつ、前記ガス室内の前記流体が前記第２の貫通孔部を通って外部に漏れない範囲に維持する動作制御手段と
    を具備する
    ことを特徴とする請求項９に記載のポンプ装置。

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