JP2014141707A - 機能性フィルムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の機能性フィルムの製造方法は、送り出しロール10に巻回された基材1を送り出して基材1の表面に薄膜を形成し、巻取りロール17に巻き取って収容する機能性フィルムの製造方法であって、真空チャンバー30内の成膜部における気体の全体の圧力と当該圧力に対する各成分気体の分圧を圧力測定手段41で測定する工程(S103)と、圧力測定手段41の測定結果に基づいて、基材1の先頭から後尾まで基材1の表面に薄膜を形成する間に上記圧力および上記分圧を略一定に保持するように制御手段43が圧力調整手段42を制御する工程(S104)と、上記成膜部が基材1の表面に薄膜を形成する工程(S105)と、を有する。
【選択図】図2
Description
図1を参照しつつ、本発明の一実施形態の成膜装置について説明する。図1は、本発明の一実施形態の成膜装置の一例を示す概略構成図である。なお、以下では、成膜装置として、プラズマCVD法によって薄膜を形成する、対向ロール型のロール・ツー・ロール真空成膜装置を例示して説明する。プラズマCVD法は、原料ガスをプラズマ状態にすることにより原料ガスの原子や分子を化学的に活性化して蒸着するCVD法の一種である。本実施形態では、プラズマCVD成膜装置を使用して機能性フィルムとしてのガスバリアフィルムを製造する場合を例示して説明する。
成膜ゾーンにおける水分圧を略一定に保持するように、加熱部42を制御して製造したガスバリアフィルムと、加熱部42を制御しないで製造したガスバリアフィルムとをバリア性能として水蒸気透過率を比較した例を下記の表1に示す。表1において、各先頭位置の水蒸気透過率を基準とし、当該基準に対して測定値が110%未満のものを「○」、110%以上120%未満のものを「△」、120%以上のものを「×」で示す。表1の例では、基材1として1,000mの長尺のフィルムを使用し、先頭(100m)、中央(500m)、および後尾(900m)の位置において水蒸気透過率を米国MOCON社製の超高感度水蒸気透過率測定装置AQUATRAN(登録商標)によって測定した。
1’,1’’ 成膜された基材、
10 送り出しロール、
11〜14 搬送ロール、
15 第1成膜ロール、
16 第2成膜ロール、
17 巻取りロール、
18 ガス供給管、
19 プラズマ発生用電源、
20,21 磁場発生装置、
30 真空チャンバー、
40 真空ポンプ、
41 圧力測定部、
42 加熱部、
43 制御部、
100 成膜装置。
Claims (7)
- 送り出しロールに巻回された基材を送り出して当該基材の表面に薄膜を形成する機能性フィルムの製造方法であって、
真空チャンバー内の成膜部における気体の全体の圧力と当該圧力に対する各成分気体の分圧を圧力測定手段で測定する工程と、
前記圧力測定手段の測定結果に基づいて、前記基材の先頭から後尾まで前記基材の表面に薄膜を形成する間に前記圧力および前記分圧を略一定に保持するように制御手段が圧力調整手段を制御する工程と、
前記成膜部が前記基材の表面に薄膜を形成する工程と、
を有する、機能性フィルムの製造方法。 - 前記圧力調整手段は、前記送り出しロールに巻回された前記基材が前記成膜部に搬送されるまでに前記基材を加熱する加熱部を有し、
前記制御部は、前記加熱部の加熱強度を変化させることにより、前記成膜部における前記圧力に対する水分圧を略一定に保持するように前記圧力調整手段を制御することを特徴とする請求項1に記載の機能性フィルムの製造方法。 - 前記加熱部は、前記基材が前記送り出しロールから送り出されて前記成膜部に搬送されるまでの間の経路に沿って少なくとも1つ設置され、赤外線加熱またはマイクロ波加熱によって前記基材を加熱することを特徴とする請求項2に記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記加熱部は、前記送り出しロールの芯部に配置され、前記基材が前記送り出しロールから送り出される前に前記基材を加熱することを特徴とする請求項2に記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記成膜部は、
互いに所定距離だけ離間して対向配置された成膜ロール対を有し、当該成膜ロール対に高周波電圧を印加することにより当該成膜ロール対の間の放電空間にプラズマを生成して、前記放電空間に前記基材を通過させることにより前記基材に薄膜を形成することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の機能性フィルムの製造方法。 - 前記圧力測定手段は、前記放電空間の近傍における前記気体の全体の圧力と当該圧力に対する水分圧を測定することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記制御手段は、前記圧力測定手段によって測定された前記水分圧の変動に基づいて、前記圧力と前記水分圧を略一定に保持するように前記加熱部を制御することを特徴とする請求項6に記載の機能性フィルムの製造方法。
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