JP2014141698A - 酸化アルミニウムの成膜方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸化アルミニウムの成膜方法は、スパッタガスと反応性ガスと水蒸気とが導入された真空容器内のプラズマを発生させる第1のプラズマ発生ステップと、アルミニウムターゲットに負電圧、負電圧と正電圧とから成る直流パルス、および交流の何れか1つのスパッタ電圧を印加して、静磁場によりマグネトロンプラズマを発生させる第2のプラズマ発生ステップとを備える。そして、第1のプラズマ発生ステップは、真空室内に設けられ巻数が一周未満の導体からなる高周波アンテナを用いて、少なくとも第2のプラズマ発生ステップ中に高周波誘導結合プラズマを発生させるステップである。
【選択図】図5
Description
<1.スパッタリング装置の構成>
図1は、実施形態に係る酸化アルミニウムの成膜方法を実現するスパッタリング装置10の要部の概略構成を例示する図である。図2は、高周波アンテナ80の例を示す側面図である。以下に、図1、図2を参照しつつ、スパッタリング装置10の構成について説明する。
図3および図4は、実施形態に係る酸化アルミニウムの成膜方法による成膜の過程におけるより多く発生していると予測される現象を説明するための模式図である。
図5は、実施形態に係る酸化アルミニウムの成膜方法の手順を例示するフローチャートである。スパッタリング装置10は、マグネトロンスパッタ用磁石(永久磁石)12により、ターゲット60の近傍に静磁場が形成されている。
11 チャンバー
12 マグネトロンスパッタ用磁石
14 ベース板(カソード)
15 基板ステージ
161 高周波電源
162 スパッタ用電源
19 プラズマ生成ガス導入部
24 ターゲット保持部
60 ターゲット(アルミニウムターゲット)
74 基板
80 高周波アンテナ
90 プラズマ発生部
Claims (7)
- 静磁場を形成するマグネトロンカソードが設けられた真空容器に、スパッタガスと、酸素の反応性ガスとを当該真空容器内の圧力が目標圧力になるように制御しつつ導入して当該カソードに設けられたアルミニウムターゲットをスパッタし、当該アルミニウムターゲットに対向するシリコン基板上に酸化膜を形成する酸化アルミニウムの成膜方法であって、
前記スパッタガスと前記反応性ガスの導入に際して水蒸気を添加し、前記スパッタガスと前記反応性ガスと前記水蒸気とが導入された真空容器内にプラズマを発生させる第1のプラズマ発生ステップと、
前記アルミニウムターゲットに負電圧、負電圧と正電圧とからなる直流パルス、および交流の何れか1つのスパッタ電圧を印加して、前記静磁場によりマグネトロンプラズマを発生させる第2のプラズマ発生ステップと、
を備え、
前記第1のプラズマ発生ステップは、前記真空容器内に設けられ巻数が一周未満の導体からなる高周波アンテナを用いて、少なくとも前記第2のプラズマ発生ステップ中に高周波誘導結合プラズマを発生させるステップである酸化アルミニウムの成膜方法。 - 請求項1に記載の酸化アルミニウムの成膜方法において、前記スパッタ電圧を定電圧制御する酸化アルミニウムの成膜方法。
- 請求項2に記載の酸化アルミニウムの成膜方法において、前記スパッタ電圧は負電圧であり、前記酸化アルミニウムは、太陽電池シリコン基板のパッシベーション膜に用いられる、酸化アルミニウムの成膜方法。
- 請求項1または請求項2に記載の酸化アルミニウムの成膜方法において、前記目標圧力が0.2Pa以上であり、かつ、7Pa以下である酸化アルミニウムの成膜方法。
- 請求項4に記載の酸化アルミニウムの成膜方法において、前記目標圧力が0.4Pa以上であり、かつ、2Pa以下である酸化アルミニウムの成膜方法。
- 請求項2または請求項3に記載の酸化アルミニウムの成膜方法において、前記スパッタ電圧の負電圧の絶対値が100V以上であり、かつ、300V以下である酸化アルミニウムの成膜方法。
- 請求項6に記載の酸化アルミニウムの成膜方法において、前記スパッタ電圧の負電圧の絶対値が150V以上であり、かつ、250V以下である酸化アルミニウムの成膜方法。
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JP2013009847A JP2014141698A (ja) | 2013-01-23 | 2013-01-23 | 酸化アルミニウムの成膜方法 |
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JP (1) | JP2014141698A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017221650A1 (ja) * | 2016-06-23 | 2017-12-28 | 株式会社アルバック | 成膜方法 |
CN109154075A (zh) * | 2017-01-26 | 2019-01-04 | 株式会社爱发科 | 氧化铝膜的形成方法 |
CN113930748A (zh) * | 2020-07-13 | 2022-01-14 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 太阳能电池的制备方法、太阳能电池与光伏组件 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0925571A (ja) * | 1995-07-06 | 1997-01-28 | Canon Inc | 酸化物薄膜の成膜方法 |
JP2004346406A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-09 | Anelva Corp | スパッタリング装置 |
WO2010023878A1 (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-04 | 株式会社イー・エム・ディー | スパッタリング薄膜形成装置 |
-
2013
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0925571A (ja) * | 1995-07-06 | 1997-01-28 | Canon Inc | 酸化物薄膜の成膜方法 |
JP2004346406A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-09 | Anelva Corp | スパッタリング装置 |
WO2010023878A1 (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-04 | 株式会社イー・エム・ディー | スパッタリング薄膜形成装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017221650A1 (ja) * | 2016-06-23 | 2017-12-28 | 株式会社アルバック | 成膜方法 |
JP2017226887A (ja) * | 2016-06-23 | 2017-12-28 | 株式会社アルバック | 成膜方法 |
CN109328243A (zh) * | 2016-06-23 | 2019-02-12 | 株式会社爱发科 | 成膜方法 |
TWI686489B (zh) * | 2016-06-23 | 2020-03-01 | 日商愛發科股份有限公司 | 應力調整方法 |
CN109154075A (zh) * | 2017-01-26 | 2019-01-04 | 株式会社爱发科 | 氧化铝膜的形成方法 |
CN109154075B (zh) * | 2017-01-26 | 2020-11-24 | 株式会社爱发科 | 氧化铝膜的形成方法 |
CN113930748A (zh) * | 2020-07-13 | 2022-01-14 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 太阳能电池的制备方法、太阳能电池与光伏组件 |
CN113930748B (zh) * | 2020-07-13 | 2024-02-20 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 太阳能电池的制备方法、太阳能电池与光伏组件 |
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