JP2014139537A - 荷電粒子線装置用の検査データ処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明の目的は、測長あるいは形状観察に関して目視による分類を自動化し、オペレータによる判定を支援する技術を提供することにある。
【解決手段】本発明の荷電粒子線装置用の検査データ処理装置は、観察画像内の測長対象パターンの測長値を算出する測長部と、測長対象パターンの設計データと観察画像内の測長対象パターンの輪郭線との間の形状誤差値を算出する輪郭線抽出部と、測長値のばらつきを示す第１の値と、形状誤差値のばらつきを示す第２の値と、測長対象パターンの位置情報とが対応した情報を作成する統計計算部と、少なくとも統計計算部によって作成された情報を表示する表示部と、を備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、荷電粒子線装置において検査装置の検査データを管理する検査データ処理装置に関する。

走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：ＳＥＭ）に代表される荷電粒子線装置は、試料に対する電子ビーム等の荷電粒子線の走査によって得られる荷電粒子（二次電子等）を検出し、画像を形成する装置である。特に半導体を測定あるいは検査するＳＥＭでは、半導体デバイス上の所望の位置に存在する回路パターンを測定するために、レシピと呼ばれる装置の動作条件を記憶したプログラムが予め作成される。ＳＥＭでは、当該レシピにおいて設定された条件に基づいて、測定あるいは検査が実行される。

特許文献１では、微細なパターンの形状観察や寸法検査が可能な電子ビーム検査装置が開示されている。特許文献１では、ユーザが画面上で二次電子信号及び反射電子信号の信号量を調節して、より鮮明な画像を選択し、この画像を用いて測定あるいは検査が行われる。

特開２０００−２６０３８０号公報

従来では、上述したようなＳＥＭで撮像された画像を、オペレータが目視により観察する。即ち、オペレータが、経験や勘によって、回路パターンの製造結果を判定する。そのため、判定結果に個人差が生じている。また近年の電子デバイスの高機能化、多機能化に伴い、半導体デバイスの検査装置で使用する検査条件データは複雑化し、またデータ量は増加の一途をたどっている。したがって、オペレータによる判定に時間がかかるようになっている。

本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、測長あるいは形状観察に関して目視による分類を自動化し、オペレータによる判定を支援する技術を提供する。

上記課題を解決するために、例えば特許請求の範囲に記載の構成を採用する。本願は上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例を挙げるならば、荷電粒子線装置用の検査データ処理装置が提供される。当該検査データ処理装置は、前記荷電粒子線装置からの測長データを用いて、前記荷電粒子線装置によって撮像した観察画像内の測長対象パターンの測長値を算出する測長部と、前記観察画像内の測長対象パターンの輪郭線を抽出し、前記測長対象パターンの設計データと前記輪郭線との間の形状誤差値を算出する輪郭線抽出部と、前記測長値及び前記形状誤差値を統計処理し、前記測長値のばらつきを示す第１の値と、前記形状誤差値のばらつきを示す第２の値と、前記測長対象パターンの位置情報とが対応した情報を作成する統計計算部と、少なくとも前記統計計算部によって作成された情報を表示する表示部と、を備える。

また、他の例によれば、荷電粒子線装置用の検査データ処理装置は、前記荷電粒子線装置からの測長データを用いて、前記荷電粒子線装置によって撮像した観察画像内の測長対象パターンの測長値を算出する測長部と、前記測長値を統計処理し、前記測長値のばらつきを示す第１の値と前記測長対象パターンの位置情報とが対応した情報を作成する統計計算部と、少なくとも前記統計計算部によって作成された情報を表示する表示部と、を備える。

また、他の例によれば、荷電粒子線装置用の検査データ処理装置は、前記荷電粒子線装置からの観察画像内の検査対象パターンの輪郭線を抽出し、前記検査対象パターンの設計データと前記輪郭線との間の形状誤差値を算出する輪郭線抽出部と、前記形状誤差値を統計処理し、前記形状誤差値のばらつきを示す第１の値と前記検査対象パターンの位置情報とが対応した情報を作成する統計計算部と、少なくとも前記統計計算部によって作成された情報を表示する表示部と、を備える。

本発明によれば、測長あるいは形状観察に関する分類を自動化し、オペレータによる判定を支援することが可能となる。
本発明に関連する更なる特徴は、本明細書の記述、添付図面から明らかになるものである。また、上記した以外の、課題、構成および効果は、以下の実施例の説明により明らかにされる。

本発明の実施形態に係る荷電粒子線装置の構成の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る検査データ処理装置の構成の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る検査データ処理装置の測長部の処理を説明する図である。 本発明の実施形態に係る検査データ処理装置の輪郭線抽出部の処理を説明する図である。 パラメータ設定用画面の一例を示す図である。 パラメータ設定用画面の一例を示す図である。 統計計算部における統計処理によって出力される情報の一例を示す図である。 統計計算部によって作成される画像情報の一例を示す図である。 統計計算部によって出力された情報を表示した画面の一例を示す図である。

以下、添付図面を参照して本発明の実施例について説明する。なお、添付図面は本発明の原理に則った具体的な実施例を示しているが、これらは本発明の理解のためのものであり、決して本発明を限定的に解釈するために用いられるものではない。

荷電粒子線装置は、電子や陽イオンなどの電荷をもつ粒子（荷電粒子）を電界で加速し、試料に照射する装置である。荷電粒子線装置は、試料と荷電粒子との相互作用を利用して、試料の観察、分析、加工などを行う。荷電粒子線装置の例として、電子顕微鏡、電子線描画装置、イオン加工装置、イオン顕微鏡などが挙げられる。本発明は、これらの荷電粒子線装置に適用可能である。

＜荷電粒子線装置の構成＞
図１は、本発明の実施形態に係る荷電粒子線装置の構成の一例を示す図である。図１に示すように、荷電粒子線装置１００は、荷電粒子光学系装置１０と、制御コンピュータ２０と、制御装置３０とを含んで構成される。制御コンピュータ２０は、図示しない記憶装置を含み、この記憶装置は、試料８のパターン設計についての設計データ２１などの情報を格納する。また、制御コンピュータ２０は、画像処理装置２２と、表示装置（ディスプレイなど）２３と、入力装置（キーボード、マウスなど）２４とを備える。

荷電粒子光学系装置１０は、荷電粒子源１と、集束レンズ３と、偏向レンズ４と、対物レンズ５と、二次電子検出器６と、試料ステージ７とを含んで構成される。荷電粒子光学系装置１０では、荷電粒子源１から出射した荷電粒子線２が集束レンズ３によって集束され、集束された荷電粒子線２を偏向レンズ４で走査及び偏向させる。そして、荷電粒子線２の焦点が対物レンズ５によって合わされ、その荷電粒子線２が試料ステージ７上に保持された試料８に照射される。そして、二次電子検出器６が、試料８の荷電粒子線２の照射箇所から放出される二次電子９を検出する。

そして、二次電子検出器６によって検出された二次電子９の検出信号は、図示しない増幅器、Ａ／Ｄ（Analog to Digital）変換器などを介して画像処理装置２２へ送信される。画像処理装置２２は、二次電子検出器６からの検出信号と偏向レンズ４の走査制御信号とに基づいて、試料８の表面からの二次電子９に基づく画像を、観察画像として生成するとともに、生成した観察画像を表示装置２３に表示する。

また、制御コンピュータ２０は、制御装置３０を介して荷電粒子光学系装置１０に接続されている。制御コンピュータ２０は、観察画像を取得するためにユーザが入力する様々な撮像条件の情報（観察領域、倍率、明るさなど）を入力装置２４を介して取得し、制御装置３０に送信する。制御装置３０は、それらの情報に基づき、荷電粒子光学系装置１０内の荷電粒子源１、集束レンズ３、偏向レンズ４、対物レンズ５、及び試料ステージ７の動作を制御する。また、制御コンピュータ２０は、画像処理装置２２により生成された観察画像に対し、さらに画像処理を加えて、より高度な観察、測長、検査のための画像を生成し、その結果を表示装置２３に表示してもよい。

また、制御コンピュータ２０は、試料８である半導体デバイス上の所望の位置に存在する回路パターンを測長する図示しない測長部を備える。制御コンピュータ２０の記憶装置には、レシピと呼ばれる装置の動作条件を記憶したプログラムが予め格納されている。制御コンピュータ２０の測長部は、観察画像に対して当該レシピにおいて設定された条件に基づいて測長処理を実行し、測長ファイルを出力する。

＜検査データ処理装置の構成＞
図２は、本発明の実施形態に係る検査データ処理装置の構成の一例を示す図である。検査データ処理装置２００は、例えば、ワークステーションやパーソナルコンピュータなどの情報処理装置である。検査データ処理装置２００は、中央演算処理装置と、補助記憶装置と、主記憶装置と、入出力装置とを備えている。例えば、中央演算処理装置は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などのプロセッサ（又は演算部ともいう）で構成されている。例えば、補助記憶装置はハードディスクであり、主記憶装置はメモリであり、入出力装置は、キーボード及びポインティングデバイス（マウスなど）やディスプレイである。なお、図２では、簡単のためこれらの構成要素の描画を省略している。

検査データ処理装置２００は、測長部２０２と、輪郭線抽出部２０４と、統計計算部２０６と、リポジトリ２０８と、送信処理部２０９と、設定処理部２１０と、検索処理部２１２とを備える。ここで、これらの処理部２０２、２０４、２０６、２０９、２１０、２１２は、コンピュータ上で実行されるプログラムの機能として実現してもよい。すなわち、これらの処理部２０２、２０４、２０６、２０９、２１０、２１２の処理を、プログラムコードとしてメモリに格納して、ＣＰＵが各プログラムコードを実行することによって実現されてもよい。また、これらの処理部２０２、２０４、２０６、２０９、２１０、２１２を例えば、集積回路で設計する等によりハードウェアで実現してもよい。

リポジトリ２０８は、上述した補助記憶装置に格納されている。なお、以後の説明（図７）では、リポジトリ２０８内の情報を、「テーブル」構造を用いて説明するが、これら情報は必ずしもテーブルによるデータ構造で表現されていなくても良く、リスト、キュー等のデータ構造やそれ以外で表現されていても良い。そのため、データ構造に依存しないことを示すために「テーブル」、「リスト」、「ＤＢ」、「キュー」等について単に「情報」と呼ぶことがある。

検査データ処理装置２００は、ＬＡＮなどのネットワークを介して荷電粒子線装置１００と接続されており、検査データ処理装置２００は、荷電粒子線装置１００から、第１の測長データ２０１及び設計データ２１のデザインデータ２１１を取得する。第１の測長データ２０１の取得方法は、荷電粒子線装置１００が提供する機能を利用するため、ここでは特に述べない。

第１の測長データ２０１は、測長ファイルと、観察画像と、その観察画像の撮像条件のファイルとから構成される。ここで、測長ファイルは、測長したパターンの情報と、測長した位置と、測長値を含むものであり、荷電粒子線装置１００における測長部で出力されるものである。観察画像は、荷電粒子線装置１００で実際に撮像された画像でもよいし、所定の画像処理が実行された後の画像でもよい。観察画像の撮像条件のファイルは、入力装置２４を介してユーザが設定した撮像条件の情報を含む。また、デザインデータ２１１は、設計データ２１に含まれるパターンの座標情報などを含むものである。

次に、検査データ処理装置２００の各構成要素の処理を図を用いて説明する。図３は、検査データ処理装置２００の測長部２０２の処理を説明する図である。測長部２０２は、第１の測長データ２０１の観察画像内の測長対象パターンに対してプロファイル画像２１３を作成し、測長処理を実行する。なお、図３では、例としてホールを測長対象パターンとしているが、測長対象パターンは他のものでもよい。

ここで、プロファイルは、横軸に画像のＸ方向を定義し、縦軸に二次電子検出器６からの検出信号のシグナル値を定義したものであり、荷電粒子線２を所望のパターンに対して走査照射した際の二次電子９の発生量をプロットしたものである。図３の例では、このプロファイルを観察画像に重ね合わせたものをプロファイル画像２１３として示している。必ずしも図示したプロファイル画像２１３を作成する必要はなく、少なくとも上述したプロファイルの情報を算出すればよい。測長部２０２は、プロファイルを用いて再度測長値を算出する。

測長部２０２は、第１の測長データ２０１と、プロファイル画像２１３と、算出された測長値とを第２の測長データ２０３として輪郭線抽出部２０４へ出力する。また、測長部２０２は、デザインデータ２１１も輪郭線抽出部２０４へ出力する。

図４は、検査データ処理装置２００の輪郭線抽出部２０４の処理を説明する図である。輪郭線抽出部２０４は、第２の測長データ２０３内のプロファイル画像２１３に対して輪郭線抽出処理を実行し、輪郭線を付加した画像２１４を作成する。輪郭線抽出部２０４は、プロファイル画像２１３のホワイトバンドの輪郭線を抽出する。輪郭線の抽出処理は既存の処理を用いることができ、例えば、ホワイトバンドの輝度分布を波形として認識し、輝度値が所定のしきい値をプロットすることで抽出することができる。なお、輪郭線抽出処理は、これに限定されず、他の方法で抽出されてもよい。

また、輪郭線抽出部２０４は、抽出された輪郭線とデザインデータ２１１との形状比較を行い、形状誤差を数値として算出する。形状誤差は、抽出された輪郭線とデザインデータ２１１とのずれから算出され、抽出された輪郭線の座標情報とデザインデータ２１１に含まれるパターンの座標情報とを比較して算出することができる。そして、輪郭線抽出部２０４は、第２の測長データ２０３と、画像２１４と、算出された形状誤差とを、第３の測長データ２０５として統計計算部２０６へ出力する。

統計計算部２０６は、第３の測長データ２０５に対して統計処理を実行する。統計処理では、測長値のばらつきを示す値、及び、形状誤差のばらつきを示す値を算出する。なお、統計処理は、これらの値の算出に限定されない。

上述の統計処理を実行するために、統計計算部２０６には、パラメータが予め登録されている。以下では、パラメータとして、「エラー範囲」を設定する例を説明する。パラメータは、固定値として予め登録されていてもよいし、ユーザの操作によって設定されていてもよい。例えば、設定処理部２１０が、検査データ処理装置２００のディスプレイの画面にパラメータ設定用画面を表示する。図５は、パラメータ設定用画面の一例を示す図である。パラメータ設定用画面２２１は、計算種別表示欄２２２と、エラー範囲表示欄２２３と、パラメータ設定ボタン２２４と、ＯＫボタン２２８と、キャンセルボタン２２９とを備える。

計算種別表示欄２２２には、統計計算部２０６において実行する統計処理の種別が表示される。エラー範囲表示欄２２３には、計算種別表示欄２２２の種別に対応するエラー範囲が表示される。エラー範囲表示欄２２３には、システムの初期パラメータを登録しておくが、ユーザが任意に変更できる。パラメータを設定する場合、計算種別表示欄２２２をダブルクリックするか、パラメータ設定ボタン２２４をクリックすると、図６の画面に遷移する。

図６は、図５のエラー範囲表示欄２２３の値を設定するための画面を示す。エラー範囲設定画面２３１は、グラフ表示欄２３２と、通知メンバリスト２３４と、ＯＫボタン２３５と、キャンセルボタン２３６とを備える。エラー範囲設定画面２３１には、パラメータの設定用画面２２１にて対象とした計算種別の名称（ここでは、「同一パターンでの測長ばらつき」）が表示される。

また、エラー範囲設定画面２３１のグラフ表示欄２３２には、正規分布のグラフが表示される。ここで、μは平均値であり、σは標準偏差である。この正規分布のグラフには、図５のエラー範囲表示欄２２３の値に相当する範囲が、矢印２３３として視覚的に表示される。エラー範囲を示す矢印２３３は、マウスドラッグ操作で範囲を変更できるものとする。エラー範囲を示す矢印２３３を変更して、ＯＫボタン２３５をクリックすると、図５のパラメータ設定用画面２２１に遷移し、変更した値が図５のエラー範囲表示欄２２３に反映される。

なお、エラー範囲設定画面２３１では、統計計算部２０６の処理後にメール通知対象とするユーザも設定することができる。ユーザは、通知メンバリスト２３４の中のユーザを適宜選択することができる。上述の図５及び図６の設定処理が終了すると、設定処理部２１０は、設定されたパラメータを補助記憶装置の所定の記憶部に記録する、あるいは統計計算部２０６に出力する。

統計計算部２０６は、統計処理によって、測長値のばらつきを示す値、及び、形状誤差のばらつきを示す値を算出する。そして、統計計算部２０６は、算出された値と、図５の画面で設定されたパラメータとを用いて、図７に示すデータ構造を作成する。

図７は、統計計算部における統計処理によって出力される情報の一例を示す図である。データ構造２５０は、データに対して順次付与されるシーケンス番号２５１と、測長対象パターンを識別するパターン番号２５２と、測長値２５３と、測長値のばらつきを示す値２５４と、値２５４がエラー範囲にあるかを示すレベル２５５と、形状誤差値２５６と、形状誤差値のばらつきを示す値２５７と、値２５７がエラー範囲にあるかを示すレベル２５８とを構成項目として含んでいる。データ構造２５０は、これらの情報に限定されず、例えば、測長値２５３に対応する測長位置の情報やその他の情報を含んでもよい。

測長値２５３は、測長部２０２で算出された測長値である。値２５４は、測長値のばらつきを示す値であればよく、例えば、平均からのずれを表す値であればよい。例えば、値２５４は、平均からの偏差、偏差値、Ｚ値などの既存の統計処理で算出できる値であればよい。レベル２５５には、図５のエラー範囲表示欄２２３のエラー範囲に該当する場合には、フラグ「Ｅ」を立てる。

形状誤差値２５６は、輪郭線抽出部２０４で算出された形状誤差値である。値２５７は、形状誤差値のばらつきを示す値であればよく、例えば、平均からのずれを表す値であればよい。例えば、値２５７は、平均からの偏差、偏差値、Ｚ値などの既存の統計処理で算出できる値であればよい。レベル２５８には、図５のエラー範囲表示欄２２３のエラー範囲に該当する場合には、フラグ「Ｅ」を立てる。

統計計算部２０６は、図７のデータ構造２５０を作成し、エラー範囲に該当した値の数（すなわち、フラグ「Ｅ」の数）が、所定のしきい値を超えるかを判定する。統計計算部２０６は、所定のしきい値を超えた場合、送信処理部２０９にメール通知の指示を出力する。送信処理部２０９は、図６の通知メンバリスト２３４において選択されたユーザに対してメールを送信する。

さらに、統計計算部２０６は、測長ファイルの測長位置の情報を用いて、図８に示すマップ情報を作成する。図８に示すマップ情報は、各測長点に対応させて図７の情報を描画した画像情報である。ここで、図８に示すマップ情報は、測長値のばらつきを示す値及び形状誤差のばらつきを示す値の少なくとも一方に応じたマーカーを、測定対象パターンの位置毎に表示した画像情報である。例えば、レベル２５５、２５８にフラグ「Ｅ」が立っている場合、測長点の位置に丸形状のマーカー２６３を表示する。一方、レベル２５５、２５８にフラグ「Ｅ」が立っていない場合、測長点の位置に四角形状のマーカー２６４を表示する。また、統計計算部２０６は、上記画像情報に、ウェハ２６１の画像及びチップマトリクス２６２も重ねて合わせた画像を作成する。これにより、オペレータが、ウェハ及びチップマトリクス上のどこの位置で測長値や形状誤差があるかを知ることができる。

なお、統計計算部２０６で作成される画像情報は、この形式に限定されない。レベル２５５にフラグ「Ｅ」が立っているか、レベル２５８にフラグ「Ｅ」が立っているかでマーカーの形状を変更してもよい。レベル２５５、２５８の両方でフラグ「Ｅ」が立っている場合には、マーカーの形状を更に変更してもよい。また、形状で区別するのではなく、マーカーを複数の色で区別して表示してもよい。このように、形状や色でエラーの種類を区別することで、オペレータが、測長値で異常値があるのか、あるいは形状誤差に異常値があるのかを容易に知ることが可能になる。

図２に示すように、統計計算部２０６は、図７に示すデータ構造を含むｃｓｖファイル１０１と、図８に示す画像情報である画像データ１０２とを出力する。出力されたｃｓｖファイル１０１及び画像データ１０２は、検査データ処理装置２００のディスプレイあるいはネットワークで接続された他の表示装置（例えば、荷電粒子線装置１００の表示装置２３）に表示される。

図９は、表示される画面の一例を示す。図９に示すように、画面２７１には、図８で示した画像情報が表示される。また、画像と連動してｃｓｖファイル１０１の情報が表示されてもよい。例えば、測長点２７４をポインティングデバイスなどの入力装置でクリックした場合、測長点２７４に対応するパターン番号、測長値、及び形状誤差など（図７のパターン番号２５２、測長値２５３、値２５６など）を測長データ欄２７３に表示してもよい。

さらに、統計計算部２０６は、ｃｓｖファイル１０１及び画像データ１０２に加えて、第３の測長データ２０５の情報も画面に表示させるようにしてもよい。例えば、統計計算部２０６は、輪郭線抽出部２０４で作成された画像２１４も出力し、画像２１４を画像表示欄２７２に表示してもよい。この画像に限定されず、画像表示欄２７２には、輪郭線のみの画像やプロファイルなど、任意の画像が表示されるようにしてもよい。

また、統計計算部２０６が、ｃｓｖファイル１０１及び画像データ１０２を送信処理部２０９に出力し、送信処理部２０９が、ｃｓｖファイル１０１及び画像データ１０２をメールに添付して、図６のメンバリスト２３４のユーザに送信するようにしてもよい。

また、統計計算部２０６は、第３の測長データ２０５と、ｃｓｖファイル１０１と、画像データ１０２とを、第４の測長データ２０７としてリポジトリ２０８に格納する。この際、統計計算部２０６は、対象とした荷電粒子線装置１００の情報や、レシピ、検査日の情報も付加してリポジトリ２０８に格納する。ユーザは例えば、検索処理部２１２を用いて検索条件（対象とした荷電粒子線装置、レシピ、検査日、パターンの種類など）を設定し、リポジトリ１０８内の情報を検索することができる。これにより、ユーザが、過去の検査の情報を参照しながら、判定を行うことが可能となる。

本実施例によれば、測長誤差値もしくは形状誤差値の統計計算結果が得られ、統計計算結果に基づいて測長誤差値もしくは形状誤差値が異常値（エラー範囲に該当する値）であるかを判定できる。したがって、オペレータは、エラー範囲に自動分類された結果を参照することができ、オペレータの個人差の影響が少ないパターン判定結果が得られる。また、自動分類された結果が、測長対象パターンの位置情報と対応させてマップ表示されるので、オペレータが位置情報と対応させて判定を行うことができる。また、マップ表示させることで、位置による測長誤差値もしくは形状誤差値のばらつきの傾向をオペレータが知ることができる。

また、本実施例によれば、異常値（エラー範囲に該当する値）の数によってレベル分けを行い、異常値の数があるレベルに達している場合には、直ちにアラームとしてユーザにメールを送信することができる。

なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上述した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることがあり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。

例えば、図２において輪郭線抽出部２０４を削除し、検査データ処理装置２００が、測長値のばらつきを示す値に関する処理のみを実行するようにしてもよい。また、図２において測長部２０２を削除し、検査データ処理装置２００が、形状誤差値のばらつきを示す値に関する処理のみを実行するようにしてもよい。測長及び形状観察の少なくとも一方を支援するという点においては、測長及び形状観察の少なくとも一方に関する値が算出されればよく、これにより、ユーザの判定を支援することが可能である。

また、図９では、図８の画像情報を表示する例を示したが、図７のテーブル構造の情報を画面に表示するようにしてもよい。

上述したように、実施形態の構成は、それらの一部や全部を、例えば、集積回路で設計する等によりハードウェアで実現することができる。また、本発明は、実施形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードで実現してもよい。この場合、プログラムコードを記録した記憶媒体を情報処理装置に提供し、その情報処理装置（又はＣＰＵ）が記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出す。この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が前述した実施形態の機能を実現することになり、そのプログラムコード自体、及びそれを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。このようなプログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−Ｒ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭなどが用いられる。

さらに、実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを、ネットワークを介して配信することにより、それを情報処理装置の記憶装置又はＣＤ−ＲＷ、ＣＤ−Ｒ等の記憶媒体に格納し、使用時にその情報処理装置のＣＰＵが当該記憶装置や当該記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出して実行するようにしてもよい。

本分野にスキルのある者には、本発明を実施するのに相応しいハードウェア、ソフトウェア、及びファームウエアの多数の組み合わせがあることが解るであろう。例えば、本実施形態に記載の機能を実現するプログラムコードは、アセンブラ、Ｃ／Ｃ＋＋、ｐｅｒｌ、Ｓｈｅｌｌ、ＰＨＰ、Ｊａｖａ（登録商標）等の広範囲のプログラム又はスクリプト言語で実装できる。

また、図面における制御線や情報線は、説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。全ての構成が相互に接続されていてもよい。

１００ 荷電粒子線装置
１０ 荷電粒子光学系装置
２０ 制御コンピュータ
３０ 制御装置
１ 荷電粒子源
２ 荷電粒子線
３ 集束レンズ
４ 偏向レンズ
５ 対物レンズ
６ 二次電子検出器
７ 試料ステージ
８ 試料
９ 二次電子
２００ 検査データ処理装置
２０１ 第１の測長データ
２０２ 測長部
２０３ 第２の測長データ
２０４ 輪郭線抽出部
２０５ 第３の測長データ
２０６ 統計計算部
２０７ 第４の測長データ
２０８ リポジトリ
２０９ 送信処理部
２１０ 設定処理部
２１１ デザインデータ
２１２ 検索処理部

Claims (14)

1. 荷電粒子線装置用の検査データ処理装置であって、
   前記荷電粒子線装置からの測長データを用いて、前記荷電粒子線装置によって撮像した観察画像内の測長対象パターンの測長値を算出する測長部と、
   前記観察画像内の測長対象パターンの輪郭線を抽出し、前記測長対象パターンの設計データと前記輪郭線との間の形状誤差値を算出する輪郭線抽出部と、
   前記測長値及び前記形状誤差値を統計処理し、前記測長値のばらつきを示す第１の値と、前記形状誤差値のばらつきを示す第２の値と、前記測長対象パターンの位置情報とが対応した情報を作成する統計計算部と、
   少なくとも前記統計計算部によって作成された情報を表示する表示部と、
   を備えることを特徴とする検査データ処理装置。
2. 請求項１に記載の検査データ処理装置において、
   前記統計計算部によって作成された情報は、前記第１の値及び前記第２の値の少なくとも一方に応じたマーカーを、前記測定対象パターンの位置毎に表示した画像情報であることを特徴とする検査データ処理装置。
3. 請求項２に記載の検査データ処理装置において、
   前記マーカーは、前記第１の値及び前記第２の値の少なくとも一方が所定のエラー範囲にある場合に、形状又は色を変更して表示されることを特徴とする検査データ処理装置。
4. 請求項２に記載の検査データ処理装置において、
   前記画像情報は、検査対象のウェハの画像及びチップマトリクスの画像を更に重ねて合わせて作成されたものであることを特徴とする検査データ処理装置。
5. 請求項１に記載の検査データ処理装置において、
   前記統計計算部は、前記第１の値及び前記第２の値のそれぞれが所定のエラー範囲にあるかを判定した判定値を算出し、前記第１の値と前記第２の値と前記判定値とが対応した情報を作成することを特徴とする検査データ処理装置。
6. 請求項５に記載の検査データ処理装置において、
   前記所定のエラー範囲内にある前記第１の値及び前記第２の値の数が所定のしきい値を超えた場合、予め選択されたユーザにメールを送信する送信処理部を更に備えることを特徴とする検査データ処理装置。
7. 請求項５に記載の検査データ処理装置において、
   前記所定の範囲を前記表示部の画面上で設定させるための設定処理部を更に備えることを特徴とする検査データ処理装置。
8. 請求項７に記載の検査データ処理装置において、
   前記設定処理部は、前記第１の値及び前記第２の値のそれぞれの所定のエラー範囲を設定させるための正規分布のグラフを前記表示部の画面上に表示することを特徴とする検査データ処理装置。
9. 請求項２に記載の検査データ処理装置において、
   前記表示部は、前記測長値及び前記形状誤差値を更に表示し、
   前記表示部に表示された画像情報上の前記測定対象パターンの位置を指定したときに、対応する前記測長値及び前記形状誤差値を表示することを特徴とする検査データ処理装置。
10. 請求項１に記載の検査データ処理装置において、
    前記表示部は、前記測長部が作成したプロファイル画像及び前記輪郭線抽出部によって抽出された輪郭線の少なくとも一方を前記観察画像に重ね合わせた画像を更に表示することを特徴とする検査データ処理装置。
11. 請求項１に記載の検査データ処理装置において、
    前記統計計算部によって作成された情報を格納する記憶部を更に備えることを特徴とする検査データ処理装置。
12. 請求項１１に記載の検査データ処理装置において、
    前記記憶部に格納された情報を検索する検索処理部を更に備えることを特徴とする検査データ処理装置。
13. 荷電粒子線装置用の検査データ処理装置であって、
    前記荷電粒子線装置からの測長データを用いて、前記荷電粒子線装置によって撮像した観察画像内の測長対象パターンの測長値を算出する測長部と、
    前記測長値を統計処理し、前記測長値のばらつきを示す第１の値と前記測長対象パターンの位置情報とが対応した情報を作成する統計計算部と、
    少なくとも前記統計計算部によって作成された情報を表示する表示部と、
    を備えることを特徴とする検査データ処理装置。
14. 荷電粒子線装置用の検査データ処理装置であって、
    前記荷電粒子線装置からの観察画像内の検査対象パターンの輪郭線を抽出し、前記検査対象パターンの設計データと前記輪郭線との間の形状誤差値を算出する輪郭線抽出部と、
    前記形状誤差値を統計処理し、前記形状誤差値のばらつきを示す第１の値と前記検査対象パターンの位置情報とが対応した情報を作成する統計計算部と、
    少なくとも前記統計計算部によって作成された情報を表示する表示部と、
    を備えることを特徴とする検査データ処理装置。

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