JP2014137592A - 分割素子及びレーザ転写装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一形態に係る分割素子は、基材と、反射面とを具備する。
上記基材は、第1の軸方向にレーザ光が入射する。
上記複数の反射面は、上記第1の軸方向と交差する第2の軸方向に配列して上記基材に形成され、上記レーザ光のうちの一部がそれぞれ反射して複数の平行な分割光を出射する。
【選択図】図8
Description
上記基材は、第1の軸方向にレーザ光が入射する。
上記複数の反射面は、上記第1の軸方向と交差する第2の軸方向に配列して上記基材に形成され、上記レーザ光のうちの一部がそれぞれ反射して複数の平行な分割光を出射する。
上記真空室は、有機発光材料を含む熱転写体が配置された基板を支持するステージを有し、真空雰囲気を維持可能である。
上記レーザ光学系は、分割素子を有し、上記ステージに対向して配置される。
上記分割素子は、基材と、複数の反射面とを有する。
上記基材は、第1の軸方向にレーザ光が入射する。
上記複数の反射面は、上記第1の軸方向と交差する第2の軸方向に配列して上記基材に形成され、上記レーザ光のうちの一部がそれぞれ反射して複数の平行な分割光を出射する。
上記基材は、第1の軸方向にレーザ光が入射する。
上記複数の反射面は、上記第1の軸方向と交差する第2の軸方向に配列して上記基材に形成され、上記レーザ光のうちの一部がそれぞれ反射して複数の平行な分割光を出射する。
上記分割素子は、
上記複数の反射面と交互に上記基材に配列し、かつ上記第1の軸方向と平行に形成された複数の非反射面をさらに具備してもよい。
上記第1の長さは、上記第2の長さの2倍であってもよい。
上記真空室は、有機発光材料を含む熱転写体が配置された基板を支持するステージを有し、真空雰囲気を維持可能である。
上記レーザ光学系は、分割素子を有し、上記ステージに対向して配置される。
上記分割素子は、基材と、複数の反射面とを有する。
上記基材は、第1の軸方向にレーザ光が入射する。
上記複数の反射面は、上記第1の軸方向と交差する第2の軸方向に配列して上記基材に形成され、上記レーザ光のうちの一部がそれぞれ反射して複数の平行な分割光を出射する。
図1は、有機発光デバイスの構成の一例を示す概略断面図である。図示する有機発光デバイス1は、基板2と、下部電極層3と、正孔注入層4と、発光層5R,5G,5Bと、電子注入層6と、上部電極層7との積層構造を有する。
図2は、一実施形態に係る有機発光デバイスの製造システムを示す概略平面図である。本実施形態の製造システム10は、第1の処理ユニット11と、第2の処理ユニット12と、搬送ユニット13とを有する。また、図中のX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向は、相互に直交する3軸方向を示し、X軸方向は第1の軸方向、Y軸方向は第2の軸方向を示す。
第1の処理ユニット11は、本発明に係る第1のレーザ転写装置110と、第1のレーザ転写装置110へ搬送される基板を収容する第1の基板収容室111と、第1のレーザ転写装置110へ搬送される赤色有機発光材料の熱転写体を収容する第1の熱転写体収容室112とを有する。第1の基板収容室111は、正孔注入層4が成膜された基板2を収容する。第1の基板収容室111は、正孔注入層4等を成膜する成膜室21等と接続されていてもよい。
第2の処理ユニット12は、図2に示すように、第2のレーザ転写装置120と、第2のレーザ転写装置120から搬送される基板を収容する第2の基板収容室121と、第2のレーザ転写装置120へ搬送される緑色有機発光材料の熱転写体を収容する第2の熱転写体収容室122とを有する。第2の基板収容室121は、発光層5R,5Gが形成された基板2を収容する。第2の基板収容室121は、発光層5Bを成膜する成膜室22等と接続されていてもよい。
搬送ユニット13は、搬送室130と、搬送機構131とを有する。搬送室130は、図示しない真空ポンプに接続されており、内部を所定圧力の減圧雰囲気に維持することが可能に構成されている。搬送室130は、例えば直方体(六面体)形状のチャンバ構造を有しており、第1のレーザ転写装置110と第2のレーザ転写装置120との間に設置される。搬送機構131は、例えば多関節ロボットで構成されており、搬送室130を介して、第1のレーザ転写装置110から第2のレーザ転写装置120へ基板2を搬送する。
次に、以上のように構成される製造システム10の一動作例を説明する。
5R,5G…発光層
11…第1の処理ユニット
12…第2の処理ユニット
31…真空室
32…ステージ
32b…機構部(移動機構)
33…レーザ光学系
34…光源
34A…第1の光学ユニット
34B…分割素子
35…走査機構
35a,35b…走査部
35A…第1のガルバノミラー
35B…第2のガルバノミラー
35C…第1のミラー駆動部
35D…第3のガルバノミラー
35E…第4のガルバノミラー
35F…第2のミラー駆動部
36…光学レンズ部(第2の光学ユニット)
45…制御部
50R,50G…熱転写体
110…第1のレーザ転写装置
120…第2のレーザ転写装置
113,123…移載機構
315a,315b…透光部
314…天面
350A,350B,350C,350D…反射面
L,Ln,Ln1,Ln2…レーザ光
Claims (6)
- 第1の軸方向にレーザ光が入射する基材と、
前記第1の軸方向と交差する第2の軸方向に配列して前記基材に形成され、前記レーザ光のうちの一部がそれぞれ反射して複数の平行な分割光を出射する複数の反射面と
を具備する分割素子。 - 請求項1に記載の分割素子であって、
前記複数の反射面は、前記基材に前記第1の軸方向に沿ってそれぞれ離間して配列され、
前記分割素子は、
前記複数の反射面と交互に前記基材に配列し、かつ前記第1の軸方向と平行に形成された複数の非反射面をさらに具備する
分割素子。 - 請求項2に記載の分割素子であって、
前記複数の反射面は、前記第1の軸方向に相互に第1の長さ離間して配列され、かつ前記第1の軸方向に投影した長さが第2の長さであり、
前記第1の長さは、前記第2の長さの2倍である
分割素子。 - 請求項2又は請求項3に記載の分割素子であって、
前記複数の反射面は、前記第1及び第2の軸方向と直交する第3の軸方向に長手方向を有する矩形状に形成される
分割素子。 - 請求項1に記載の分割素子であって、
前記反射面をそれぞれ有し、前記基材に配設された複数の反射体をさらに具備する
分割素子。 - 有機発光材料を含む熱転写体が配置された基板を支持するステージを有し、真空雰囲気を維持可能な真空室と、
第1の軸方向にレーザ光が入射する基材と、
前記第1の軸方向と交差する第2の軸方向に配列して前記基材に形成され、前記レーザ光のうちの一部がそれぞれ反射して複数の平行な分割光を出射する複数の反射面と
を含む分割素子を有し、前記ステージに対向して配置されるレーザ光学系と
を具備するレーザ転写装置。
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2013
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