JP2014137276A - 超音波検査装置及び超音波検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】矩形波バースト信号を発生する信号発生器5と、信号発生器5から出力される矩形波バースト信号により探触子6を駆動して検査対象物11に向けて超音波を発信する超音波発信部6と、検査対象物11に向けて発信され検査対象物11内を伝播した超音波を受信する超音波受信部8と、超音波受信部8からの信号に基づき検査対象物11内の欠陥の有無を判定する欠陥判定部16とを備え、矩形波バースト信号は、グランドを中心とする正の電圧及び負の電圧による矩形波が交互に連続している。
【選択図】 図2
Description
そこで、このような水や油等を介在させることができない場合でも超音波検査ができるようにした装置が開発されている。
そこで、本発明は以下の解決手段とした。
また、特許文献1記載のように負の電圧による矩形波バースト信号で駆動する場合、超音波振動素子を変形させた後に0Vにする際、振動素子は自身の弾性のみによって元に戻ろうとするが、グランドを中心とする正の電圧及び負の電圧による連続した矩形波バースト信号で駆動する場合は、常に正又は負の電圧による外力が作用するので、振動素子のばらつきや発熱による発信状態への悪影響を低減することができる。
さらに、負又は正のみの矩形波バースト信号で駆動したときの超音波の振幅と同じ振幅を駆動する場合でも、振動素子にかかる負荷を半分に軽減することができ、振動素子の長寿命化を図ることができる。
一実施形態の超音波検査装置1は、図1に示すように、パルサーレシーバー部2と、探査部3と、信号処理部4とから構成されている。
パルサーレシーバー部2は、超音波駆動信号を発生する信号発生器5と、発生した超音波駆動信号を発信用探触子6に送信する信号送信部7と、受信用探触子8からの信号を受信する信号受信部9とを有している。
これら両探触子6,8は、図示略のスキャン機構部により、検査対象物11を介して対向し、各探触子6,8の先端面に設けられている振動子を検査対象物11に向けた状態に配置される。そして、スキャン機構部に駆動されることにより、両探触子6,8は検査対象物11の表面に沿うX方向、Y方向、あるいは検査対象物11に対して離間接近するZ1方向又はZ2方向にそれぞれ移動することができる。
この信号処理部4はパソコンにより構成することができ、表示部(モニタ)17の画面上にタッチパネル式の操作部19を設け、その操作部19から後述する各種条件やスキャン制御部18に対する位置情報等の制御値を設定することができる。もちろん、キーボード等の操作部としてもよい。
信号処理部4の条件設定部15では、操作部19を介して入力された制御値に基づき、クロック発生回路等(図示略)から特定のタイミングで同期信号を送出するとともに、矩形波バースト信号の波数、周波数、バースト周期、バースト電圧、抵抗切替部24のダンピング抵抗等の信号発生条件を設定して信号発生器5に送出する。
欠陥判定部16では、受信した電圧信号を予め設定されたしきい値と比較して、そのしきい値より小さい場合に欠陥部有りと判定する。その他、例えば、連続するスキャンポイントにおける受信信号の変化を検知し、その変化の傾きから欠陥判定を行うこともできる。この欠陥判定部16での判定結果は、スキャン位置情報と関連付けて表示部17に表示され、表示部17では、例えば信号の大きさによって色分けされた2D画像などの形で表示される。
したがって、この矩形波バースト信号によって発信用探触子6が駆動されることにより、この探触子6からは、極めて高いレベルの超音波を発信することができる。このため、図2に示すように、検査対象物11の表面に対して両探触子6,8を離間させた状態で用いても、発信用探触子6の振動子から超音波を空中に発信し、空中を介して検査対象物11の表面を透過させ、超音波を内部に伝播させることができる。
この超音波検査装置1は、高いレベルの超音波発信により、検査精度が高いので、検査対象物の形状や配置等に影響されることなく検査することができ、例えば、工業製品、食品、医薬品等の分野で使用されているラミネート製品の欠陥検査、各種材料の内部欠陥検査、多層積層材の剥離部検査、ピンホール検査等に広く適用することができる。
一実施形態では、検査対象物の片面側から発信した超音波を検査対象物内を透過させて反対面側で受信する透過法による超音波検査のみ示したが、超音波の発信と受信とを検査対象物の片面側のみで行う反射法による超音波検査にも本発明を適用することができる。また、発信用探触子、受信用探触子の二つの探触子で検査したが、反射法による場合、発信と受信を一つの探触子で行うようにしてもよい。
本発明では、超音波を発信する超音波発信部と、超音波を受信する超音波受信部との二つの機能に分けて表現しているが、これら二つの機能を一つの機器(探触子)により構成することも含むものとする。
Claims (2)
- 矩形波バースト信号を発生する信号発生器と、該信号発生器から出力される前記矩形波バースト信号により探触子を駆動して検査対象物に向けて超音波を発信する超音波発信部と、前記検査対象物に向けて発信され該検査対象物内を伝播した超音波を受信する超音波受信部と、該超音波受信部からの信号に基づき前記検査対象物内の欠陥の有無を判定する欠陥判定部とを備え、前記矩形波バースト信号は、グランドを中心とする正の電圧及び負の電圧による矩形波が交互に連続していることを特徴とする超音波検査装置。
- 検査対象物の表面との間に隙間を空けて探触子を対向配置させ、グランドを中心とする正の電圧及び負の電圧による矩形波が交互に連続している矩形波バースト信号を印加することにより前記探触子を駆動して超音波を発信し、前記検査対象物内を伝播した超音波を受信して、その信号に基づき前記検査対象物内の欠陥の有無を判定することを特徴とする超音波検査方法。
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