JP2014131823A - Industrial robot - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an industrial robot that has an arm which is arranged in a vacuum and whose internal space is partially placed under atmospheric pressure, and can reduce an operation error in fitting a seal member for securing airtightness of the internal space of the arm even when made large-sized.SOLUTION: In an industrial robot, an arm 14 is formed in a hollow shape having an internal space 45 surrounded with an upper surface part 85a, a lower surface part 85b, and a side face part 85c, and arranged in a vacuum, and the internal space 45 is placed under atmospheric pressure. The upper surface part 85a has a plurality of through holes 85g formed to communicate with the internal space 45, each through hole 85g is closed with a lid member 86, and a seal member is arranged between the upper surface part 85a and lid member 86. On a surface of the lower surface part 85b which is opposed to the upper surface part 85a, a plurality of recessed parts 85n are formed which at least overlap the through holes 85g when viewed from the direction of opposition between the upper surface part 85a and lower surface part 85b.

Description

本発明は、真空中で使用される産業用ロボットに関する。   The present invention relates to an industrial robot used in a vacuum.

従来、真空中で基板を搬送する真空ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の真空ロボットは、基板が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に連結されるアームと、アームの基端側が連結される本体部とを備えている。アームは、本体部に回動可能に連結されるアームベースと、その基端側がアームベースに回動可能に連結される第１アームと、その基端側が第１アームの先端側に回動可能に連結される第２アームとを備えている。   Conventionally, a vacuum robot that transports a substrate in a vacuum is known (for example, see Patent Document 1). The vacuum robot described in Patent Document 1 includes a hand on which a substrate is mounted, an arm to which the hand is coupled to the distal end side, and a main body unit to which the proximal end side of the arm is coupled. The arm includes an arm base that is pivotably connected to the main body, a first arm whose base end is rotatably connected to the arm base, and a base end that is pivotable to the distal end side of the first arm. And a second arm connected to the second arm.

特許文献１に記載の真空ロボットでは、アームベースおよび第１アームは、中空状に形成されている。アームベースの内部には、アームを駆動するアーム駆動用モータと、アーム駆動用モータの回転を減速して第１アームへ伝達する第１減速機が配置されている。第１減速機の出力軸には、第１アームの基端側が固定されている。第１アームの先端側には、アーム駆動用モータの回転を減速して第２アームへ伝達する第２減速機が配置されている。第２減速機の出力軸には、第２アームの基端側が固定されている。   In the vacuum robot described in Patent Document 1, the arm base and the first arm are formed in a hollow shape. An arm drive motor that drives the arm and a first speed reducer that decelerates the rotation of the arm drive motor and transmits it to the first arm are disposed inside the arm base. The base end side of the first arm is fixed to the output shaft of the first speed reducer. A second speed reducer that decelerates the rotation of the arm driving motor and transmits it to the second arm is disposed on the distal end side of the first arm. The proximal end side of the second arm is fixed to the output shaft of the second reduction gear.

また、特許文献１に記載の真空ロボットでは、本体部の一部が真空容器の底面に固定されており、アームおよびハンドは、真空中に配置されている。中空状に形成されるアームベースおよび第１アームの内部空間では、気密性が確保されており、アームベースおよび第１アームの内部空間は、大気圧となっている。また、この真空ロボットでは、上下方向に２分割される略有底円筒状の２個の分割ケース体が互いに接合されることでアームベースが構成されている。２個の分割ケース体の接合部には、アームベースの内部空間の気密性を確保するために、環状のシール部材が配置されており、このシール部材を挟んだ状態で、２個の分割ケース体が接合されている。   Further, in the vacuum robot described in Patent Document 1, a part of the main body is fixed to the bottom surface of the vacuum container, and the arm and the hand are arranged in a vacuum. Airtightness is ensured in the internal space of the arm base and the first arm formed in a hollow shape, and the internal space of the arm base and the first arm is at atmospheric pressure. Further, in this vacuum robot, an arm base is configured by joining two substantially bottomed cylindrical divided case bodies that are divided into two in the vertical direction. An annular seal member is disposed at the joint between the two split case bodies in order to ensure the airtightness of the internal space of the arm base, and the two split cases are sandwiched between the seal members. The body is joined.

特開２０１１−１０１９１２号公報JP 2011-101912 A

特許文献１に記載の真空ロボットでは、２個の分割ケース体は、環状のシール部材を挟んだ状態で接合されている。したがって、この真空ロボットでは、ロボットが大型化して、アームベースが大型化すると、シール部材も大型化するため、アームベースを組み立てる際のシール部材の取り扱いが煩雑になる。また、シール部材の取り扱いが煩雑になると、２個の分割ケース体の間にシール部材を確実に挟むことができないといった作業ミスが発生して、アームベースの内部空間の気密性を確保できなくなるおそれも高くなる。   In the vacuum robot described in Patent Document 1, the two divided case bodies are joined together with an annular seal member interposed therebetween. Therefore, in this vacuum robot, when the robot is enlarged and the arm base is enlarged, the seal member is also enlarged, so that the handling of the seal member when assembling the arm base becomes complicated. Further, if the handling of the sealing member becomes complicated, there is a risk that an operating error may occur such that the sealing member cannot be securely sandwiched between the two divided case bodies, and the airtightness of the internal space of the arm base cannot be ensured. Also gets higher.

そこで、本発明の課題は、真空中に配置されるとともにその内部空間の少なくとも一部が大気圧となっているアームを有する産業用ロボットにおいて、産業用ロボットが大型化しても、アームの内部空間の気密性を確保するためのシール部材を取り付ける際の作業ミスを低減することが可能な産業用ロボットを提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide an industrial robot having an arm that is arranged in a vacuum and at least a part of the internal space of which is at atmospheric pressure, even if the industrial robot is enlarged, the internal space of the arm Another object of the present invention is to provide an industrial robot capable of reducing operational errors when attaching a seal member for ensuring airtightness.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、平板状の第１平面部と、第１平面部と所定の隙間を介して略平行に対向配置される平板状の第２平面部と、第１平面部の外周端と第２平面部の外周端とを繋ぐ側面部とを有するアームを備え、アームの少なくとも一部は、第１平面部と第２平面部と側面部とに囲まれる内部空間を有する中空状に形成されるとともに、アームは、真空中に配置され、アームの内部空間は、大気圧となっており、第１平面部には、内部空間に通じる複数の貫通孔が形成され、アームは、第１平面部に固定され貫通孔を塞ぐ複数の蓋部材と、第１平面部と蓋部材との間に配置され内部空間からの空気の流出を防止する複数のシール部材とを備え、第２平面部の、第１平面部との対向面には、第１平面部と第２平面部との対向方向から見たときに貫通孔と少なくとも一部が重なる複数の凹部が窪むように形成されていることを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, the industrial robot of the present invention includes a flat plate-like first flat surface portion, and a flat plate-like second flat surface portion arranged to face the first flat surface portion substantially in parallel with a predetermined gap. And an arm having a side surface portion connecting the outer peripheral end of the first flat surface portion and the outer peripheral end of the second flat surface portion, and at least a part of the arm includes a first flat surface portion, a second flat surface portion, and a side surface portion. It is formed in a hollow shape having an enclosed internal space, the arm is disposed in a vacuum, the internal space of the arm is at atmospheric pressure, and the first plane portion has a plurality of penetrations leading to the internal space A hole is formed, and the arm is fixed to the first flat portion and closes the through hole, and the plurality of lid members are arranged between the first flat portion and the lid member to prevent the outflow of air from the internal space. A sealing member, and a second flat surface of the second flat surface facing the first flat surface portion includes a first flat surface portion and a first flat surface portion. Wherein the plurality of recesses at least partially overlaps are formed so as to be recessed to the through hole when viewed from the opposing direction of the planar portion.

本発明の産業用ロボットでは、真空中に配置されるとともにその内部空間が大気圧となっているアームを構成する第１平面部に、内部空間に通じる複数の貫通孔が形成されている。また、本発明では、アームは、第１平面部に固定され複数の貫通孔を塞ぐ複数の蓋部材と、第１平面部と蓋部材との間に配置され内部空間からの空気の流出を防止する複数のシール部材とを備えている。そのため、本発明では、産業用ロボットが大型化してアームが大型化しても、複数のシール部材のそれぞれの大きさを小さくすることが可能になり、その結果、アームを組み立てる際に、シール部材を容易に取り扱うことが可能になる。したがって、本発明では、産業用ロボットが大型化しても、アームの内部空間の気密性を確保するためのシール部材を取り付ける際の作業ミスを低減することが可能になる。   In the industrial robot according to the present invention, a plurality of through-holes communicating with the internal space are formed in the first plane portion constituting the arm that is disposed in a vacuum and whose internal space is at atmospheric pressure. In the present invention, the arm is disposed between the first flat portion and the lid member, and the air is prevented from flowing out from the internal space, the arm being fixed to the first flat portion and closing the plurality of through holes. A plurality of sealing members. Therefore, in the present invention, even if the industrial robot is enlarged and the arm is enlarged, it is possible to reduce the size of each of the plurality of seal members. It can be handled easily. Therefore, according to the present invention, even when the industrial robot is increased in size, it is possible to reduce work errors when attaching the seal member for ensuring the airtightness of the internal space of the arm.

ここで、真空中に配置されるアームの内部空間が大気圧となっている場合、中空状に形成されるアームは、内部の圧力によって外側に膨らむように変形する。本発明では、第２平面部の、第１平面部との対向面に、第１平面部と第２平面部との対向方向から見たときに貫通孔と少なくとも一部が重なる複数の凹部が窪むように形成されているため、第１平面部と第２平面部との対向方向の両外側に向かって略均等にアームが膨らむようにアームを変形させることが可能になる。すなわち、第２平面部の第１平面部との対向面に凹部が形成されていない場合には、複数の貫通孔が形成される第１平面部の強度が第２平面部の強度よりも低くなるため、アームは、内部の圧力によって、アームの第２平面部側よりもアームの第１平面部側が外側に向かって大きく膨らむように変形しやすくなるが、本発明では、第２平面部の第１平面部との対向面に、複数の凹部が形成されており、第２平面部の強度を第１平面部の強度に近づけることが可能になるため、第１平面部側と第２平面部側との両外側に向かって略均等にアームが膨らむようにアームを変形させることが可能になる。したがって、本発明では、第１平面部に複数の貫通孔が形成されていても、第１平面部と第２平面部との対向方向における一方側へ傾くようにアームが変形したり、捩れるようにアームが変形したりするのを抑制することが可能になり、その結果、アームの先端側の位置精度を確保することが可能になる。   Here, when the internal space of the arm arranged in vacuum is at atmospheric pressure, the arm formed in a hollow shape is deformed so as to bulge outward by the internal pressure. In the present invention, on the surface of the second plane portion facing the first plane portion, there are a plurality of recesses that overlap at least partly with the through hole when viewed from the facing direction of the first plane portion and the second plane portion. Since it is formed so as to be recessed, it is possible to deform the arm so that the arm swells substantially evenly toward both outer sides in the opposing direction of the first plane part and the second plane part. That is, when the concave portion is not formed on the surface of the second plane portion facing the first plane portion, the strength of the first plane portion where the plurality of through holes are formed is lower than the strength of the second plane portion. Therefore, the arm is more easily deformed so that the first plane portion side of the arm bulges outward than the second plane portion side of the arm due to the internal pressure. A plurality of concave portions are formed on the surface facing the first plane portion, and the strength of the second plane portion can be brought close to the strength of the first plane portion. It is possible to deform the arm so that the arm swells substantially uniformly toward both outer sides with the part side. Therefore, in the present invention, even if a plurality of through holes are formed in the first plane portion, the arm is deformed or twisted so as to tilt to one side in the facing direction of the first plane portion and the second plane portion. As described above, it is possible to prevent the arm from being deformed, and as a result, it is possible to ensure the positional accuracy on the tip side of the arm.

本発明において、第１平面部と第２平面部との対向方向から見たときに、貫通孔の内周面と凹部の内周面とが略一致していることが好ましい。また、本発明において、貫通孔は、円形状に形成され、凹部は、貫通孔の内径と内径の等しい円形状に形成されていることが好ましい。このように構成すると、第１平面部と第２平面部との対向方向の両外側に向かって均等にアームが膨らむようにアームを変形させやすくなる。したがって、第１平面部に複数の貫通孔が形成されていても、第１平面部と第２平面部との対向方向における一方側へ傾くようにアームが変形したり、捩れるようにアームが変形したりするのを効果的に抑制することが可能になり、その結果、アームの先端側の位置精度を高めることが可能になる。   In the present invention, it is preferable that the inner peripheral surface of the through hole and the inner peripheral surface of the concave portion substantially coincide with each other when viewed from the opposing direction of the first flat portion and the second flat portion. In the present invention, it is preferable that the through hole is formed in a circular shape, and the concave portion is formed in a circular shape having an inner diameter equal to the inner diameter of the through hole. If comprised in this way, it will become easy to deform | transform an arm so that an arm may swell equally toward the both outer sides of the opposing direction of a 1st plane part and a 2nd plane part. Therefore, even if a plurality of through holes are formed in the first plane portion, the arm is deformed or tilted so as to be inclined to one side in the facing direction of the first plane portion and the second plane portion. It is possible to effectively suppress deformation, and as a result, it is possible to increase the positional accuracy on the tip side of the arm.

本発明において、内部空間は、貫通孔から挿入される切削用工具を用いた切削加工によって形成され、第１平面部と第２平面部と側面部とが一体となっていることが好ましい。このように構成すると、互いに別体で形成された第１平面部と第２平面部と側面部とが接合されることで内部空間が形成される場合と比較して、内部空間からの空気の流出を防止しやすくなる。また、このように構成すると、鋳物によって、第１平面部と第２平面部と側面部とが一体に形成されている場合と比較して、第１平面部、第２平面部および側面部から真空中へ放出されるガス（アウトガス）の放出量を低減することが可能になる。   In the present invention, the internal space is preferably formed by cutting using a cutting tool inserted from the through hole, and the first flat surface portion, the second flat surface portion, and the side surface portion are preferably integrated. If comprised in this way, compared with the case where interior space is formed by joining the 1st plane part and the 2nd plane part which were formed mutually separately, and a side part, air from interior space is formed. It becomes easy to prevent outflow. Moreover, when comprised in this way, compared with the case where the 1st plane part, the 2nd plane part, and the side part are integrally formed by casting, from the 1st plane part, the 2nd plane part, and the side part. It is possible to reduce the amount of gas (outgas) released into the vacuum.

以上のように、本発明では、真空中に配置されるとともにその内部空間の少なくとも一部が大気圧となっているアームを有する産業用ロボットにおいて、産業用ロボットが大型化しても、アームの内部空間の気密性を確保するためのシール部材を取り付ける際の作業ミスを低減することが可能になる。   As described above, according to the present invention, in an industrial robot having an arm that is disposed in a vacuum and at least a part of the internal space of which is at atmospheric pressure, even if the industrial robot is enlarged, It becomes possible to reduce operational errors when attaching a seal member for ensuring the airtightness of the space.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットが有機ＥＬディスプレイの製造システムに組み込まれた状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state in which the industrial robot concerning embodiment of this invention was integrated in the manufacturing system of the organic EL display. 図１に示す産業用ロボットの図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。It is a figure of the industrial robot shown in FIG. 1, (A) is a top view, (B) is a side view. 図２に示す産業用ロボットの内部構造を側面から説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the internal structure of the industrial robot shown in FIG. 2 from a side surface. 図３に示す第１アーム部および関節部の拡大図である。It is an enlarged view of the 1st arm part and joint part which are shown in FIG. 図３に示す第２アーム部および関節部の拡大図である。It is an enlarged view of the 2nd arm part and joint part which are shown in FIG. 図５に示す第２アーム部のアーム部本体の図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＥ−Ｅ断面の断面図である。It is a figure of the arm part main body of the 2nd arm part shown in FIG. 5, (A) is a top view, (B) is sectional drawing of the EE cross section of (A). 図６（Ａ）のＦ部の拡大図である。It is an enlarged view of F section of Drawing 6 (A). 図６（Ｂ）のＧ部の拡大図である。It is an enlarged view of the G section of Drawing 6 (B). 図１に示すプロセスチャンバーから基板を搬出して他のプロセスチャンバーへ搬入する際の産業用ロボットの動きを説明するための図である。It is a figure for demonstrating a motion of the industrial robot at the time of carrying out a board | substrate from the process chamber shown in FIG. 1, and carrying in into another process chamber. 本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot concerning other embodiment of this invention. 本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot concerning other embodiment of this invention.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１が有機ＥＬディスプレイの製造システム３に組み込まれた状態を示す平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。図３は、図２に示す産業用ロボット１の内部構造を側面から説明するための断面図である。 (Schematic configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a plan view showing a state in which an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention is incorporated in an organic EL display manufacturing system 3. 2A and 2B are views of the industrial robot 1 shown in FIG. 1, wherein FIG. 2A is a plan view and FIG. 2B is a side view. FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining the internal structure of the industrial robot 1 shown in FIG. 2 from the side.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するためのロボットである。このロボット１は、比較的大型の基板２の搬送に適したロボットである。ロボット１は、図１に示すように、有機ＥＬディスプレイの製造システム３に組み込まれて使用される。   The industrial robot 1 (hereinafter referred to as “robot 1”) of this embodiment uses a glass substrate 2 (hereinafter referred to as “substrate 2”) for an organic EL (organic electroluminescence) display, which is an object to be transported. It is a robot for carrying. The robot 1 is a robot suitable for transporting a relatively large substrate 2. As shown in FIG. 1, the robot 1 is used by being incorporated in an organic EL display manufacturing system 3.

製造システム３は、中心に配置されるトランスファーチャンバー４（以下、「チャンバー４」とする。）と、チャンバー４を囲むように配置される複数のプロセスチャンバー５〜１０（以下、「チャンバー５〜１０」とする。）とを備えている。チャンバー４およびチャンバー５〜１０の内部は、真空になっている。チャンバー４の内部には、ロボット１の一部が配置されている。ロボット１を構成する後述のフォーク部２１がチャンバー５〜１０内に入り込むことで、ロボット１は、チャンバー５〜１０間で基板２を搬送する。すなわち、ロボット１は、真空中で基板２を搬送する。チャンバー５〜１０には、各種の装置等が配置されており、ロボット１で搬送された基板２が収容される。また、チャンバー５〜１０では、基板２に対して各種の処理が行われる。   The manufacturing system 3 includes a transfer chamber 4 (hereinafter referred to as “chamber 4”) disposed in the center and a plurality of process chambers 5 to 10 (hereinafter referred to as “chambers 5 to 10” disposed so as to surround the chamber 4. ")"). The insides of the chamber 4 and the chambers 5 to 10 are in a vacuum. A part of the robot 1 is disposed inside the chamber 4. When a fork unit 21 (described later) constituting the robot 1 enters the chambers 5 to 10, the robot 1 transports the substrate 2 between the chambers 5 to 10. That is, the robot 1 transports the substrate 2 in a vacuum. Various devices and the like are arranged in the chambers 5 to 10, and the substrate 2 transported by the robot 1 is accommodated. In the chambers 5 to 10, various processes are performed on the substrate 2.

図２、図３に示すように、ロボット１は、基板２が搭載されるハンド１３と、ハンド１３がその先端側に回動可能に連結されるアーム１４と、アーム１４の基端側が回動可能に連結される本体部１５と、本体部１５を昇降させる昇降機構１６とを備えている。本体部１５および昇降機構１６は、略有底円筒状のケース体１７の中に収容されている。ケース体１７の上端には、円板状に形成されたフランジ１８が固定されている。フランジ１８には、本体部１５の上端側部分が配置される貫通孔が形成されている。なお、図２（Ａ）では、本体部１５、昇降機構１６およびケース体１７等の図示を省略している。   As shown in FIGS. 2 and 3, the robot 1 includes a hand 13 on which the substrate 2 is mounted, an arm 14 to which the hand 13 is pivotally connected to a distal end side thereof, and a proximal end side of the arm 14 is rotated. The main body part 15 connected so that it is possible and the raising / lowering mechanism 16 which raises / lowers the main body part 15 are provided. The main body 15 and the lifting mechanism 16 are accommodated in a substantially bottomed cylindrical case body 17. A flange 18 formed in a disk shape is fixed to the upper end of the case body 17. The flange 18 is formed with a through hole in which the upper end portion of the main body 15 is disposed. In FIG. 2A, the main body 15, the lifting mechanism 16, the case body 17, and the like are not shown.

ハンド１３およびアーム１４は、本体部１５の上側に配置されている。また、ハンド１３およびアーム１４は、フランジ１８の上側に配置されている。上述のように、ロボット１の一部は、チャンバー４の内部に配置されている。具体的には、ロボット１の、フランジ１８の下端面よりも上側の部分がチャンバー４の内部に配置されている。すなわち、ロボット１の、フランジ１８の下端面よりも上側の部分は、真空領域ＶＲの中に配置されており、ハンド１３およびアーム１４は、真空中に配置されている。一方、ロボット１の、フランジ１８の下端面よりも下側の部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されている。   The hand 13 and the arm 14 are disposed on the upper side of the main body 15. Further, the hand 13 and the arm 14 are disposed on the upper side of the flange 18. As described above, a part of the robot 1 is disposed inside the chamber 4. Specifically, a portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 18 is disposed inside the chamber 4. That is, the part above the lower end surface of the flange 18 of the robot 1 is disposed in the vacuum region VR, and the hand 13 and the arm 14 are disposed in a vacuum. On the other hand, a portion of the robot 1 below the lower end surface of the flange 18 is disposed in the atmospheric region AR (in the atmosphere).

ハンド１３は、アーム１４に連結される基部２０と、基板２が搭載される４本のフォーク部２１とを備えている。フォーク部２１は、直線状に形成されている。４本のフォーク部２１のうちの２本のフォーク部２１は、互いに所定の間隔をあけた状態で平行に配置されている。この２本のフォーク部２１は、基部２０から水平方向の一方側へ突出するように基部２０に固定されている。残りの２本のフォーク部２１は、基部２０から水平方向の一方側へ突出する２本のフォーク部２１と反対側に向かって基部２０から突出するように基部２０に固定されている。   The hand 13 includes a base 20 connected to the arm 14 and four forks 21 on which the substrate 2 is mounted. The fork portion 21 is formed in a straight line. Of the four fork portions 21, two fork portions 21 are arranged in parallel with a predetermined distance therebetween. The two fork portions 21 are fixed to the base portion 20 so as to protrude from the base portion 20 to one side in the horizontal direction. The remaining two fork portions 21 are fixed to the base portion 20 so as to protrude from the base portion 20 toward the opposite side of the two fork portions 21 protruding from the base portion 20 to one side in the horizontal direction.

アーム１４は、第１アーム部２３と第２アーム部２４との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部２３および第２アーム部２４は、中空状に形成されている。すなわち、アーム１４の全体は、中空状に形成されている。第１アーム部２３の基端側は、本体部１５に回動可能に連結されている。第１アーム部２３の先端側には、第２アーム部２４の基端側が回動可能に連結されている。すなわち、第１アーム部２３と第２アーム部２４は互いに相対回動可能に連結されている。第２アーム部２４の先端側には、ハンド１３が回動可能に連結されている。   The arm 14 is composed of two arm parts, a first arm part 23 and a second arm part 24. The first arm part 23 and the second arm part 24 are formed in a hollow shape. That is, the entire arm 14 is formed in a hollow shape. The base end side of the first arm portion 23 is rotatably connected to the main body portion 15. The proximal end side of the second arm portion 24 is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion 23. That is, the 1st arm part 23 and the 2nd arm part 24 are connected so that relative rotation is mutually possible. The hand 13 is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 24.

アーム１４と本体部１５との連結部（すなわち、第１アーム部２３と本体部１５との連結部）は、関節部２５となっている。第１アーム部２３と第２アーム部２４との連結部は、関節部２６となっている。アーム１４とハンド１３との連結部（すなわち、第２アーム部２４とハンド１３との連結部）は、関節部２７となっている。第１アーム部２３に対する第２アーム部２４の回動中心と本体部１５に対する第１アーム部２３の回動中心との距離は、第１アーム部２３に対する第２アーム部２４の回動中心と第２アーム部２４に対するハンド１３の回動中心との距離と等しくなっている。   A connecting portion between the arm 14 and the main body portion 15 (that is, a connecting portion between the first arm portion 23 and the main body portion 15) is a joint portion 25. A connecting portion between the first arm portion 23 and the second arm portion 24 is a joint portion 26. A connecting portion between the arm 14 and the hand 13 (that is, a connecting portion between the second arm portion 24 and the hand 13) is a joint portion 27. The distance between the rotation center of the second arm portion 24 relative to the first arm portion 23 and the rotation center of the first arm portion 23 relative to the main body portion 15 is the rotation center of the second arm portion 24 relative to the first arm portion 23. The distance from the center of rotation of the hand 13 with respect to the second arm portion 24 is equal.

第１アーム部２３は、本体部１５から水平方向の一方側へ伸びるように、本体部１５に取り付けられている。第１アーム部２３には、第１アーム部２３が伸びる方向と反対側（すなわち、水平方向の他方側）へ本体部１５から伸びるカウンターウエイト２８が取り付けられている。第２アーム部２４は、第１アーム部２３よりも上側に配置されている。また、ハンド１３は、第２アーム部２４よりも上側に配置されている。   The first arm portion 23 is attached to the main body portion 15 so as to extend from the main body portion 15 to one side in the horizontal direction. A counterweight 28 is attached to the first arm portion 23 so as to extend from the main body portion 15 on the side opposite to the direction in which the first arm portion 23 extends (that is, the other side in the horizontal direction). The second arm part 24 is disposed above the first arm part 23. Further, the hand 13 is disposed above the second arm portion 24.

本体部１５には、本体部１５に対して第１アーム部２３を回動させるためのモータ３１が取り付けられている。また、本体部１５は、第１アーム部２３の基端側が固定される中空回転軸３２と、モータ３１の回転を減速して第１アーム部２３に伝達する減速機３３と、減速機３３のケース体を保持するとともに中空回転軸３２を回動可能に保持する略円筒状の保持部材３４とを備えている。   A motor 31 for rotating the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15 is attached to the main body portion 15. The main body 15 includes a hollow rotary shaft 32 to which the proximal end side of the first arm portion 23 is fixed, a speed reducer 33 that decelerates the rotation of the motor 31 and transmits the reduced speed to the first arm portion 23, and the speed reducer 33. A substantially cylindrical holding member 34 that holds the case body and rotatably holds the hollow rotary shaft 32 is provided.

減速機３３は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。この減速機３３は、その貫通孔の軸中心と中空回転軸３２の軸中心とが一致するように配置されている。減速機３３の入力側には、プーリおよびベルトを介してモータ３１が連結されている。減速機３３の出力側には、中空回転軸３２の下端が固定されている。中空回転軸３２の上端には、第１アーム部２３の基端側の下面が固定されている。中空回転軸３２は、保持部材３４の内周側に配置されており、中空回転軸３２の外周面と保持部材３４の内周面との間には軸受が配置されている。   The speed reducer 33 is a hollow speed reducer in which a through hole is formed at the center in the radial direction. The speed reducer 33 is arranged so that the axial center of the through hole coincides with the axial center of the hollow rotary shaft 32. A motor 31 is connected to the input side of the speed reducer 33 via a pulley and a belt. The lower end of the hollow rotary shaft 32 is fixed to the output side of the speed reducer 33. A lower surface on the proximal end side of the first arm portion 23 is fixed to the upper end of the hollow rotary shaft 32. The hollow rotary shaft 32 is disposed on the inner peripheral side of the holding member 34, and a bearing is disposed between the outer peripheral surface of the hollow rotary shaft 32 and the inner peripheral surface of the holding member 34.

関節部２５には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐ磁性流体シール３５が配置されている。磁性流体シール３５は、中空回転軸３２の外周面と保持部材３４の内周面との間に配置されている。また、関節部２５には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐためのベローズ３６が配置されている。具体的には、磁性流体シール３５の外周側であって、かつ、保持部材３４の外周側にベローズ３６が配置されている。ベローズ３６の下端は、保持部材３４に固定され、ベローズ３６の上端は、フランジ１８に固定されている。昇降機構１６を構成する後述のモータ４０が回転して本体部１５が昇降すると、ベローズ３６が伸縮する。   A magnetic fluid seal 35 that prevents the outflow of air to the vacuum region VR is disposed at the joint portion 25. The magnetic fluid seal 35 is disposed between the outer peripheral surface of the hollow rotary shaft 32 and the inner peripheral surface of the holding member 34. In addition, a bellows 36 for preventing the outflow of air to the vacuum region VR is disposed at the joint portion 25. Specifically, a bellows 36 is disposed on the outer peripheral side of the magnetic fluid seal 35 and on the outer peripheral side of the holding member 34. The lower end of the bellows 36 is fixed to the holding member 34, and the upper end of the bellows 36 is fixed to the flange 18. When the below-described motor 40 constituting the elevating mechanism 16 rotates and the main body 15 moves up and down, the bellows 36 expands and contracts.

昇降機構１６は、上下方向を軸方向として配置されるネジ部材３８と、ネジ部材３８に係合するナット部材３９と、ネジ部材３８を回転させるモータ４０とを備えている。ネジ部材３８は、ケース体１７の底面側に回転可能に取り付けられている。モータ４０は、ケース体１７の底面側に取り付けられている。ネジ部材３８は、プーリおよびベルトを介してモータ４０に連結されている。ナット部材３９は、所定のブラケットを介して本体部１５に取り付けられている。本形態では、モータ４０が回転すると、ネジ部材３８が回転して、本体部１５がナット部材３９と一緒に昇降する。   The elevating mechanism 16 includes a screw member 38 that is arranged with the vertical direction as an axial direction, a nut member 39 that engages with the screw member 38, and a motor 40 that rotates the screw member 38. The screw member 38 is rotatably attached to the bottom surface side of the case body 17. The motor 40 is attached to the bottom surface side of the case body 17. The screw member 38 is connected to the motor 40 via a pulley and a belt. The nut member 39 is attached to the main body 15 via a predetermined bracket. In this embodiment, when the motor 40 rotates, the screw member 38 rotates, and the main body 15 moves up and down together with the nut member 39.

（第１アーム部、第２アーム部の内部の構成および関節部の構成）
図４は、図３に示す第１アーム部２３および関節部２６の拡大図である。図５は、図３に示す第２アーム部２４および関節部２７の拡大図である。 (Internal configuration of first arm portion and second arm portion and configuration of joint portion)
FIG. 4 is an enlarged view of the first arm portion 23 and the joint portion 26 shown in FIG. FIG. 5 is an enlarged view of the second arm portion 24 and the joint portion 27 shown in FIG.

上述のように、第１アーム部２３および第２アーム部２４は、中空状に形成されている。中空状に形成される第１アーム部２３の内部空間４５には、第１アーム部２３に対して第２アーム部２４を回動させるためのモータ４６と、第２アーム部２４に対してハンド１３を回動させるためのモータ４７とが配置されている。関節部２６は、モータ４６の回転を減速して第２アーム部２４に伝達する減速機４８を備えている。減速機４８は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。また、関節部２６は、中空回転軸５０と、中空回転軸５０の外周側に、かつ、中空回転軸５０と同軸上に配置される中空回転軸５１とを備えている。なお、中空回転軸５０の外周面と中空回転軸５１の内周面との間には、軸受が配置されている。   As described above, the first arm portion 23 and the second arm portion 24 are formed in a hollow shape. In the internal space 45 of the first arm portion 23 formed in a hollow shape, a motor 46 for rotating the second arm portion 24 with respect to the first arm portion 23 and a hand with respect to the second arm portion 24. A motor 47 for rotating the motor 13 is disposed. The joint portion 26 includes a speed reducer 48 that decelerates the rotation of the motor 46 and transmits it to the second arm portion 24. The speed reducer 48 is a hollow speed reducer in which a through hole is formed at the center in the radial direction. The joint portion 26 includes a hollow rotary shaft 50 and a hollow rotary shaft 51 disposed on the outer peripheral side of the hollow rotary shaft 50 and coaxially with the hollow rotary shaft 50. A bearing is disposed between the outer peripheral surface of the hollow rotary shaft 50 and the inner peripheral surface of the hollow rotary shaft 51.

減速機４８の入力側には、プーリ５２、５３およびベルト５４を介してモータ４６が連結されている。減速機４８の出力側には、中空回転軸５１の下端が固定されている。減速機４８は、その貫通孔の軸中心と中空回転軸５１の軸中心とが一致するように配置されている。中空回転軸５１の上端は、第２アーム部２４の基端側の下面に固定されている。減速機４８のケース体は、略円筒状に形成される保持部材５５に固定されている。保持部材５５は、第１アーム部２３の先端側に固定されている。また、保持部材５５は、中空回転軸５１の外周側に配置されている。モータ４６が回転すると、プーリ５２、５３、ベルト５４および減速機４８等を介してモータ４６の動力が第２アーム部２４の基端側に伝達されて、第２アーム部２４が回動する。   A motor 46 is connected to the input side of the speed reducer 48 via pulleys 52 and 53 and a belt 54. The lower end of the hollow rotary shaft 51 is fixed to the output side of the speed reducer 48. The speed reducer 48 is arranged so that the axial center of the through hole coincides with the axial center of the hollow rotary shaft 51. The upper end of the hollow rotary shaft 51 is fixed to the lower surface on the proximal end side of the second arm portion 24. The case body of the speed reducer 48 is fixed to a holding member 55 formed in a substantially cylindrical shape. The holding member 55 is fixed to the distal end side of the first arm portion 23. The holding member 55 is disposed on the outer peripheral side of the hollow rotary shaft 51. When the motor 46 rotates, the power of the motor 46 is transmitted to the base end side of the second arm portion 24 through the pulleys 52 and 53, the belt 54, the speed reducer 48, and the like, and the second arm portion 24 rotates.

中空回転軸５０の下端側には、プーリ５７が固定されている。モータ４７の出力軸には、プーリ５８が固定されている。プーリ５７とプーリ５８とには、ベルト５９が架け渡されている。中空回転軸５０の上端には、プーリ６０が固定されている。プーリ６０は、中空状に形成される第２アーム部２４の基端側の内部に配置されている。関節部２７は、モータ４７の回転を減速してハンド１３に伝達する減速機６１と、中空回転軸６２とを備えている。減速機６１は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。   A pulley 57 is fixed to the lower end side of the hollow rotary shaft 50. A pulley 58 is fixed to the output shaft of the motor 47. A belt 59 is stretched between the pulley 57 and the pulley 58. A pulley 60 is fixed to the upper end of the hollow rotary shaft 50. The pulley 60 is disposed inside the proximal end of the second arm portion 24 formed in a hollow shape. The joint portion 27 includes a speed reducer 61 that decelerates the rotation of the motor 47 and transmits it to the hand 13, and a hollow rotary shaft 62. The speed reducer 61 is a hollow speed reducer in which a through hole is formed at the center in the radial direction.

減速機６１の入力側には、プーリ６３が固定されている。プーリ６０とプーリ６３とには、ベルト６４が架け渡されている。減速機６１の出力側には、中空回転軸６２の下端が固定されている。減速機６１は、その貫通孔の軸中心と中空回転軸６２の軸中心とが一致するように配置されている。中空回転軸６２の上端は、ハンド１３の基部２０の下面に固定されている。減速機６１のケース体は、略円筒状に形成される保持部材６５に固定されている。保持部材６５は、第２アーム部２４の先端側に固定されている。また、保持部材６５は、中空回転軸６２の外周側に配置されている。モータ４７が回転すると、プーリ５７、５８、６０、６３、ベルト５９、６４および減速機６１等を介してモータ４７の動力がハンド１３の基部２０に伝達されて、ハンド１３が回動する。   A pulley 63 is fixed to the input side of the speed reducer 61. A belt 64 is bridged between the pulley 60 and the pulley 63. The lower end of the hollow rotary shaft 62 is fixed to the output side of the speed reducer 61. The reduction gear 61 is arranged so that the axial center of the through hole coincides with the axial center of the hollow rotary shaft 62. The upper end of the hollow rotary shaft 62 is fixed to the lower surface of the base 20 of the hand 13. The case body of the speed reducer 61 is fixed to a holding member 65 formed in a substantially cylindrical shape. The holding member 65 is fixed to the distal end side of the second arm portion 24. The holding member 65 is disposed on the outer peripheral side of the hollow rotary shaft 62. When the motor 47 rotates, the power of the motor 47 is transmitted to the base portion 20 of the hand 13 through the pulleys 57, 58, 60, 63, the belts 59, 64, the speed reducer 61, etc., and the hand 13 rotates.

第１アーム部２３の内部空間４５は密閉されており、内部空間４５の圧力は大気圧となっている。また、第２アーム部２４の内部空間６６も密閉されており、内部空間６６の圧力も大気圧となっている。すなわち、アーム１４の内部空間４５、６６は、大気圧となっている。なお、内部空間４５と内部空間６６とは、中空回転軸５０の内周側を介して通じている。   The internal space 45 of the first arm portion 23 is sealed, and the pressure in the internal space 45 is atmospheric pressure. The internal space 66 of the second arm portion 24 is also sealed, and the pressure in the internal space 66 is atmospheric pressure. That is, the internal spaces 45 and 66 of the arm 14 are at atmospheric pressure. The internal space 45 and the internal space 66 communicate with each other via the inner peripheral side of the hollow rotary shaft 50.

上述のように、モータ４６、４７は、内部空間４５に配置されている。また、減速機４８は、第１アーム部２３の先端側において、内部空間４５に配置され、減速機６１は、第２アーム部２４の先端側において、内部空間６６に配置されている。すなわち、モータ４６、４７および減速機４８、６１は、大気中に配置されている。モータ４６には、モータ４６を冷却するための冷却用パイプ７０が巻回されている。この冷却用パイプ７０には、圧縮空気が供給可能となっており、冷却用パイプ７０の内部を通過する圧縮空気によって、モータ４６が冷却される。なお、本形態では、モータ４７の発熱量はモータ４６の発熱量に比べて小さいため、モータ４７には、冷却用パイプが巻回されていない。   As described above, the motors 46 and 47 are disposed in the internal space 45. The speed reducer 48 is disposed in the internal space 45 on the distal end side of the first arm portion 23, and the speed reducer 61 is disposed in the internal space 66 on the distal end side of the second arm portion 24. That is, the motors 46 and 47 and the speed reducers 48 and 61 are disposed in the atmosphere. A cooling pipe 70 for cooling the motor 46 is wound around the motor 46. The cooling pipe 70 can be supplied with compressed air, and the motor 46 is cooled by the compressed air passing through the inside of the cooling pipe 70. In this embodiment, since the amount of heat generated by the motor 47 is smaller than the amount of heat generated by the motor 46, no cooling pipe is wound around the motor 47.

関節部２６には、内部空間４５の密閉状態を確保するための磁性流体シール７１が配置され、関節部２７には、内部空間６６の密閉状態を確保するための磁性流体シール７２が配置されている。すなわち、関節部２６には、内部空間４５から真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐ磁性流体シール７１が配置され、関節部２７には、内部空間６６から真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐ磁性流体シール７２が配置されている。磁性流体シール７１は、中空回転軸５１の外周面と保持部材５５の内周面との間に配置され、磁性流体シール７２は、中空回転軸６２の外周面と保持部材６５の内周面との間に配置されている。なお、内部空間６６には、ベルト６４の張力を調整するためのテンションプーリ７３が配置されている。   A magnetic fluid seal 71 for securing the sealed state of the internal space 45 is disposed at the joint portion 26, and a magnetic fluid seal 72 for securing the sealed state of the internal space 66 is disposed at the joint portion 27. Yes. That is, the magnetic fluid seal 71 that prevents the air from flowing out from the internal space 45 to the vacuum region VR is disposed in the joint portion 26, and the air flow from the internal space 66 to the vacuum region VR is prevented in the joint portion 27. A magnetic fluid seal 72 is disposed. The magnetic fluid seal 71 is disposed between the outer peripheral surface of the hollow rotating shaft 51 and the inner peripheral surface of the holding member 55, and the magnetic fluid seal 72 is formed between the outer peripheral surface of the hollow rotating shaft 62 and the inner peripheral surface of the holding member 65. It is arranged between. Note that a tension pulley 73 for adjusting the tension of the belt 64 is disposed in the internal space 66.

（第１アーム部および第２アーム部の構成）
図６は、図５に示す第２アーム部２４のアーム部本体８０の図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＥ−Ｅ断面の断面図である。図７は、図６（Ａ）のＦ部の拡大図である。図８は、図６（Ｂ）のＧ部の拡大図である。 (Configuration of first arm portion and second arm portion)
6A and 6B are views of the arm portion main body 80 of the second arm portion 24 shown in FIG. 5, where FIG. 6A is a plan view and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line EE in FIG. FIG. 7 is an enlarged view of a portion F in FIG. FIG. 8 is an enlarged view of a portion G in FIG.

第２アーム部２４は、アーム部本体８０と複数の蓋部材８１とを備えている。アーム部本体８０は、アーム部本体８０の上面を構成する上面部８０ａと、アーム部本体８０の下面を構成するとともに上面部８０ａと所定の隙間を介して略平行に対向配置される下面部８０ｂと、上面部８０ａの外周端と下面部８０ｂの外周端とを繋ぐ側面部８０ｃとから構成されている。上面部８０ａおよび下面部８０ｂは、細長い略長円形の平板状に形成されており、上下方向で対向している。側面部８０ｃは、上下方向から見たときの形状が細長い略長円形状となる筒状に形成されている。上面部８０ａと下面部８０ｂと側面部８０ｃとによって囲まれた空間は、内部空間６６となっている。本形態の上面部８０ａは、第１平面部であり、下面部８０ｂは、第２平面部である。以下の説明では、上面部８０ａおよび下面部８０ｂの、第２アーム部２４の基端側を「基端側」とし、上面部８０ａおよび下面部８０ｂの、第２アーム部２４の先端側を「先端側」とする。   The second arm portion 24 includes an arm portion main body 80 and a plurality of lid members 81. The arm part main body 80 includes an upper surface part 80a constituting the upper surface of the arm part main body 80, and a lower surface part 80b constituting the lower surface of the arm part main body 80 and facing the upper surface part 80a in a substantially parallel manner with a predetermined gap. And a side surface portion 80c that connects the outer peripheral end of the upper surface portion 80a and the outer peripheral end of the lower surface portion 80b. The upper surface portion 80a and the lower surface portion 80b are formed in an elongated, substantially oval flat plate shape, and face each other in the vertical direction. The side surface portion 80c is formed in a cylindrical shape having an elongated oval shape when viewed from the vertical direction. A space surrounded by the upper surface portion 80a, the lower surface portion 80b, and the side surface portion 80c is an internal space 66. In this embodiment, the upper surface portion 80a is a first flat surface portion, and the lower surface portion 80b is a second flat surface portion. In the following description, the base end side of the second arm portion 24 of the upper surface portion 80a and the lower surface portion 80b is referred to as “base end side”, and the distal end side of the second arm portion 24 of the upper surface portion 80a and the lower surface portion 80b is “ It shall be “tip side”.

上面部８０ａの先端側には、中空回転軸６２や保持部材６５が挿通される挿通孔８０ｄが形成されている。上面部８０ａの基端側には、関節部２６を組み立てるための作業用孔８０ｅが形成されている。挿通孔８０ｄおよび作業用孔８０ｅは、上面部８０ａを貫通する丸孔状に形成されている。上面部８０ａの、挿通孔８０ｄと作業用孔８０ｅとの間には、内部空間６６に通じる複数の貫通孔８０ｆが形成されている。本形態では、４個の貫通孔８０ｆが一定のピッチで上面部８０ａに形成されている。貫通孔８０ｆは、丸孔状に形成されている。すなわち、貫通孔８０ｆは、円形状に形成されている。また、本形態では、作業用孔８０ｅの内径と貫通孔８０ｆの内径とが等しくなっている。   An insertion hole 80d through which the hollow rotary shaft 62 and the holding member 65 are inserted is formed on the distal end side of the upper surface portion 80a. A work hole 80e for assembling the joint portion 26 is formed on the base end side of the upper surface portion 80a. The insertion hole 80d and the work hole 80e are formed in a round hole shape penetrating the upper surface portion 80a. A plurality of through holes 80f communicating with the internal space 66 are formed between the insertion hole 80d and the work hole 80e in the upper surface portion 80a. In this embodiment, four through holes 80f are formed in the upper surface portion 80a at a constant pitch. The through hole 80f is formed in a round hole shape. That is, the through hole 80f is formed in a circular shape. In this embodiment, the inner diameter of the working hole 80e is equal to the inner diameter of the through hole 80f.

上面部８０ａの上面には、円環状の溝部８０ｇが下側へ窪むように形成されている。本形態では、５個の溝部８０ｇが形成されている。５個の溝部８０ｇのうちの４個の溝部８０ｇのそれぞれは、４個の貫通孔８０ｆのそれぞれを囲むように形成され、残りの１個の溝部８０ｇは、作業用孔８０ｅを囲むように形成されている。   An annular groove 80g is formed on the upper surface of the upper surface portion 80a so as to be depressed downward. In this embodiment, five groove portions 80g are formed. Of the five groove portions 80g, each of the four groove portions 80g is formed so as to surround each of the four through holes 80f, and the remaining one groove portion 80g is formed so as to surround the working hole 80e. Has been.

下面部８０ｂの基端側には、中空回転軸５０が挿通される挿通孔８０ｋが形成されている。下面部８０ｂの先端側には、関節部２７を組み立てるための作業用孔８０ｍが形成されている。挿通孔８０ｋおよび作業用孔８０ｍは、下面部８０ｂを貫通する丸孔状に形成されている。挿通孔８０ｋは、上面部８０ａに形成される作業用孔８０ｅの下側に形成され、作業用孔８０ｍは、上面部８０ａに形成される挿通孔８０ｄの下側に形成されている。   An insertion hole 80k through which the hollow rotary shaft 50 is inserted is formed on the base end side of the lower surface portion 80b. A work hole 80m for assembling the joint portion 27 is formed on the distal end side of the lower surface portion 80b. The insertion hole 80k and the work hole 80m are formed in a round hole shape penetrating the lower surface portion 80b. The insertion hole 80k is formed below the work hole 80e formed in the upper surface portion 80a, and the work hole 80m is formed below the insertion hole 80d formed in the upper surface portion 80a.

下面部８０ｂの上面（すなわち、上面部８０ａとの対向面）には、下側へ窪む複数の凹部８０ｎが形成されている。凹部８０ｎは、下面部８０ｂを貫通しないように形成されている。本形態では、４個の凹部８０ｎが一定のピッチで形成されている。凹部８０ｎは、円形状に形成されている。具体的には、凹部８０ｎは、貫通孔８０ｆの内径と内径の等しい円形状に形成されている。４個の凹部８０ｎは、４個の貫通孔８０ｆのピッチと同じピッチで形成されている。また、凹部８０ｎは、上下方向から見たときに、貫通孔８０ｆと重なるように形成されており、上下方向から見たときに、貫通孔８０ｆの内周面と凹部８０ｎの内周面とが略一致している。なお、最も基端側に配置される凹部８０ｎには、テンションプーリ７３を取り付けるための取付座８０ｐが形成されている。   On the upper surface of the lower surface portion 80b (that is, the surface facing the upper surface portion 80a), a plurality of concave portions 80n that are recessed downward are formed. The concave portion 80n is formed so as not to penetrate the lower surface portion 80b. In this embodiment, four concave portions 80n are formed at a constant pitch. The recess 80n is formed in a circular shape. Specifically, the recess 80n is formed in a circular shape having the same inner diameter as the inner diameter of the through hole 80f. The four recesses 80n are formed at the same pitch as the pitch of the four through holes 80f. The recess 80n is formed so as to overlap with the through hole 80f when viewed from the vertical direction, and the inner peripheral surface of the through hole 80f and the inner peripheral surface of the recess 80n are viewed from the vertical direction. It is almost coincident. A mounting seat 80p for mounting the tension pulley 73 is formed in the recess 80n arranged on the most proximal side.

アーム部本体８０は、アルミニウム合金で形成されている。このアーム部本体８０は、アルミニウム合金のブロックを切削加工することで形成されており、上面部８０ａと下面部８０ｂと側面部８０ｃとは一体となっている。すなわち、内部空間６６は、貫通孔８０ｆ、挿通孔８０ｄ、８０ｋおよび作業用孔８０ｅ、８０ｍから挿入される切削工具を用いた切削加工によって形成されており、切削加工によって内部空間６６が形成されることで、上面部８０ａ、下面部８０ｂおよび側面部８０ｃも形成される。   The arm main body 80 is made of an aluminum alloy. The arm portion main body 80 is formed by cutting an aluminum alloy block, and the upper surface portion 80a, the lower surface portion 80b, and the side surface portion 80c are integrated. That is, the internal space 66 is formed by cutting using a cutting tool inserted from the through hole 80f, the insertion holes 80d and 80k, and the work holes 80e and 80m, and the internal space 66 is formed by cutting. Thus, the upper surface portion 80a, the lower surface portion 80b, and the side surface portion 80c are also formed.

蓋部材８１は、貫通孔８０ｆの内径よりも外径の大きな円板状に形成されている。蓋部材８１の外径は、円環状に形成される溝部８０ｇの外径よりも大きくなっている。蓋部材８１は、貫通孔８０ｆを塞ぐように上面部８０ａの上面に固定されている。上面部８０ａと蓋部材８１との間には、内部空間６６からの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。このシール部材は、貫通孔８０ｆを囲むように形成される溝部８０ｇに嵌め込まれている。   The lid member 81 is formed in a disk shape having an outer diameter larger than the inner diameter of the through hole 80f. The outer diameter of the lid member 81 is larger than the outer diameter of the groove 80g formed in an annular shape. The lid member 81 is fixed to the upper surface of the upper surface portion 80a so as to close the through hole 80f. An annular seal member (not shown) that prevents the outflow of air from the internal space 66 is disposed between the upper surface portion 80 a and the lid member 81. This seal member is fitted into a groove 80g formed so as to surround the through hole 80f.

作業用孔８０ｅは、蓋部材８１と同形状に形成される蓋部材８２によって覆われている。すなわち、蓋部材８２は、作業用孔８０ｅを塞ぐように上面部８０ａの上面に固定されている。上面部８０ａと蓋部材８２との間には、内部空間６６からの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。このシール部材は、作業用孔８０ｅを囲むように形成される溝部８０ｇに嵌め込まれている。下面部８０ｂの下面には、作業用孔８０ｍを塞ぐように円板状の蓋部材８３が固定されている。下面部８０ｂと蓋部材８３との間には、内部空間６６からの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。このシール部材は、蓋部材８３の外周側に形成される円環状の溝部に嵌め込まれている。   The working hole 80e is covered with a lid member 82 formed in the same shape as the lid member 81. That is, the lid member 82 is fixed to the upper surface of the upper surface portion 80a so as to close the work hole 80e. An annular seal member (not shown) that prevents the outflow of air from the internal space 66 is disposed between the upper surface portion 80 a and the lid member 82. This seal member is fitted into a groove 80g formed so as to surround the work hole 80e. A disk-shaped lid member 83 is fixed to the lower surface of the lower surface portion 80b so as to close the work hole 80m. An annular seal member (not shown) that prevents the outflow of air from the internal space 66 is disposed between the lower surface portion 80 b and the lid member 83. This seal member is fitted in an annular groove formed on the outer peripheral side of the lid member 83.

第１アーム部２３は、第２アーム部２４と同様に、アーム部本体８５と複数の蓋部材８６とを備えている。アーム部本体８５は、図４に示すように、アーム部本体８５の上面を構成する上面部８５ａと、アーム部本体８５の下面を構成するとともに上面部８５ａと所定の隙間を介して略平行に対向配置される下面部８５ｂと、上面部８５ａの外周端と下面部８５ｂの外周端とを繋ぐ側面部８５ｃとから構成されている。上面部８５ａおよび下面部８５ｂは、細長い略長円形の平板状に形成されている。側面部８５ｃは、上下方向から見たときの形状が細長い略長円形状となる筒状に形成されている。上面部８５ａと下面部８５ｂと側面部８５ｃとによって囲まれた空間は、内部空間４５となっている。本形態の上面部８５ａは、第１平面部であり、下面部８５ｂは、第２平面部である。以下の説明では、上面部８５ａおよび下面部８５ｂの、第１アーム部２３の基端側を「基端側」とし、上面部８５ａおよび下面部８５ｂの、第１アーム部２３の先端側を「先端側」とする。   Similar to the second arm portion 24, the first arm portion 23 includes an arm portion main body 85 and a plurality of lid members 86. As shown in FIG. 4, the arm body 85 includes an upper surface 85 a that constitutes the upper surface of the arm body 85, a lower surface of the arm body 85, and substantially parallel to the upper surface 85 a via a predetermined gap. It is comprised from the lower surface part 85b opposed, and the side part 85c which connects the outer peripheral end of the upper surface part 85a, and the outer peripheral end of the lower surface part 85b. The upper surface portion 85a and the lower surface portion 85b are formed in an elongated, substantially oval flat plate shape. The side surface portion 85c is formed in a cylindrical shape having an elongated oval shape when viewed from the up-down direction. A space surrounded by the upper surface portion 85a, the lower surface portion 85b, and the side surface portion 85c is an internal space 45. In this embodiment, the upper surface portion 85a is a first flat surface portion, and the lower surface portion 85b is a second flat surface portion. In the following description, the base end side of the first arm portion 23 of the upper surface portion 85a and the lower surface portion 85b is referred to as “base end side”, and the distal end side of the first arm portion 23 of the upper surface portion 85a and the lower surface portion 85b is “ It shall be “tip side”.

上面部８５ａの先端側には、中空回転軸５０、５１や保持部材５５が挿通される挿通孔８５ｄが形成されている。また、上面部８５ａの先端側には、モータ４６、４７を取り付けるための作業用孔８５ｅが形成され、上面部８５ａの基端側には、関節部２５を組み立てるための作業用孔８５ｆが形成されている。挿通孔８５ｄおよび作業用孔８５ｅ、８５ｆは、上面部８５ａを貫通する丸孔状に形成されている。   An insertion hole 85d through which the hollow rotary shafts 50 and 51 and the holding member 55 are inserted is formed on the distal end side of the upper surface portion 85a. Further, a working hole 85e for attaching the motors 46 and 47 is formed on the distal end side of the upper surface portion 85a, and a working hole 85f for assembling the joint portion 25 is formed on the proximal end side of the upper surface portion 85a. Has been. The insertion hole 85d and the working holes 85e and 85f are formed in a round hole shape penetrating the upper surface portion 85a.

上面部８５ａの、作業用孔８５ｅと作業用孔８５ｆとの間には、内部空間４５に通じる複数の貫通孔８５ｇが形成されている。本形態では、２個の貫通孔８５ｇが所定のピッチで上面部８５ａに形成されている。貫通孔８５ｇは、丸孔状に形成されている。すなわち、貫通孔８５ｇは、円形状に形成されている。また、本形態では、作業用孔８５ｅ、８５ｆの内径と貫通孔８５ｇの内径とが等しくなっている。上面部８５ａの上面には、円環状の溝部が下側へ窪むように形成されている。本形態では、５個の溝部が形成されている。５個の溝部のそれぞれは、挿通孔８５ｄ、作業用孔８５ｅ、８５ｆおよび２個の貫通孔８５ｇのそれぞれを囲むように形成されている。   A plurality of through holes 85g communicating with the internal space 45 are formed between the working hole 85e and the working hole 85f in the upper surface portion 85a. In this embodiment, two through holes 85g are formed in the upper surface portion 85a at a predetermined pitch. The through hole 85g is formed in a round hole shape. That is, the through hole 85g is formed in a circular shape. In the present embodiment, the inner diameters of the working holes 85e and 85f are equal to the inner diameter of the through hole 85g. An annular groove portion is formed on the upper surface of the upper surface portion 85a so as to be depressed downward. In this embodiment, five groove portions are formed. Each of the five grooves is formed to surround each of the insertion hole 85d, the working holes 85e and 85f, and the two through holes 85g.

下面部８５ｂの先端側には、関節部２６を組み立てたり、モータ４６、４７を取り付けたりするための作業用孔８５ｍが形成されている。作業用孔８５ｍは、下面部８５ｂを貫通する丸孔状に形成されている。また、作業用孔８５ｍは、上面部８５ａに形成される挿通孔８５ｄおよび作業用孔８５ｅの下側に形成されている。   A work hole 85m for assembling the joint 26 and attaching the motors 46 and 47 is formed on the distal end side of the lower surface 85b. The working hole 85m is formed in a round hole shape penetrating the lower surface portion 85b. The work hole 85m is formed below the insertion hole 85d and the work hole 85e formed in the upper surface portion 85a.

下面部８５ｂの上面（すなわち、上面部８５ａとの対向面）には、下側へ窪む複数の凹部８５ｎが形成されている。凹部８５ｎは、下面部８５ｂを貫通しないように形成されている。本形態では、２個の凹部８５ｎが所定のピッチで形成されている。凹部８５ｎは、円形状に形成されている。具体的には、凹部８５ｎは、貫通孔８５ｇの内径と内径の等しい円形状に形成されている。２個の凹部８５ｎは、２個の貫通孔８５ｇのピッチと同じピッチで形成されている。また、凹部８５ｎは、上下方向から見たときに、貫通孔８５ｇと重なるように形成されており、上下方向から見たときに、貫通孔８５ｇの内周面と凹部８５ｎの内周面とが略一致している。   On the upper surface of the lower surface portion 85b (that is, the surface facing the upper surface portion 85a), a plurality of concave portions 85n that are recessed downward are formed. The recess 85n is formed so as not to penetrate the lower surface portion 85b. In this embodiment, two concave portions 85n are formed at a predetermined pitch. The recess 85n is formed in a circular shape. Specifically, the recess 85n is formed in a circular shape having the same inner diameter as that of the through hole 85g. The two recesses 85n are formed at the same pitch as the pitch of the two through holes 85g. The recess 85n is formed so as to overlap with the through hole 85g when viewed from the vertical direction. When viewed from the vertical direction, the inner peripheral surface of the through hole 85g and the inner peripheral surface of the recess 85n are formed. It is almost coincident.

アーム部本体８５は、アーム部本体８０と同様に、アルミニウム合金のブロックを切削加工することで形成されており、上面部８５ａと下面部８５ｂと側面部８５ｃとは一体となっている。すなわち、内部空間４５は、貫通孔８５ｇ、挿通孔８５ｄおよび作業用孔８５ｅ、８５ｆ、８５ｍから挿入される切削工具を用いた切削加工によって形成されており、切削加工によって内部空間４５が形成されることで、上面部８５ａ、下面部８５ｂおよび側面部８５ｃも形成される。   Similarly to the arm main body 80, the arm main body 85 is formed by cutting an aluminum alloy block, and the upper surface 85a, the lower surface 85b, and the side surface 85c are integrated. That is, the internal space 45 is formed by cutting using a cutting tool inserted from the through hole 85g, the insertion hole 85d, and the working holes 85e, 85f, and 85m, and the internal space 45 is formed by cutting. Thus, the upper surface portion 85a, the lower surface portion 85b, and the side surface portion 85c are also formed.

蓋部材８６は、貫通孔８５ｇの内径よりも外径の大きな円板状に形成されている。蓋部材８６の外径は、上面部８５ａの上面に形成される円環状の溝部の外径よりも大きくなっている。蓋部材８６は、貫通孔８５ｇを塞ぐように上面部８５ａの上面に固定されている。上面部８５ａと蓋部材８６との間には、内部空間４５からの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。このシール部材は、貫通孔８５ｇを囲むように形成される溝部に嵌め込まれている。   The lid member 86 is formed in a disk shape having an outer diameter larger than the inner diameter of the through hole 85g. The outer diameter of the lid member 86 is larger than the outer diameter of the annular groove formed on the upper surface of the upper surface portion 85a. The lid member 86 is fixed to the upper surface of the upper surface portion 85a so as to close the through hole 85g. An annular seal member (not shown) that prevents the outflow of air from the internal space 45 is disposed between the upper surface portion 85 a and the lid member 86. The seal member is fitted in a groove formed so as to surround the through hole 85g.

また、上面部８５ａの上面には、蓋部材８６と同形状に形成される蓋部材８７が作業用孔８５ｆを塞ぐように固定されている。上面部８５ａと蓋部材８７との間には、内部空間４５からの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。このシール部材は、作業用孔８５ｆを囲むように形成される溝部に嵌め込まれている。また、上面部８５ａの上面には、略有底円筒状に形成される蓋部材８８が作業用孔８５ｅを塞ぐように固定されている。上面部８５ａと蓋部材８８との間には、内部空間４５からの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。このシール部材は、作業用孔８５ｅを囲むように形成される溝部に嵌め込まれている。   Further, a lid member 87 formed in the same shape as the lid member 86 is fixed to the upper surface of the upper surface portion 85a so as to block the working hole 85f. An annular seal member (not shown) that prevents the outflow of air from the internal space 45 is disposed between the upper surface portion 85 a and the lid member 87. The seal member is fitted in a groove formed so as to surround the working hole 85f. Further, a lid member 88 formed in a substantially bottomed cylindrical shape is fixed to the upper surface of the upper surface portion 85a so as to block the working hole 85e. An annular seal member (not shown) that prevents the outflow of air from the internal space 45 is disposed between the upper surface portion 85 a and the lid member 88. This seal member is fitted into a groove formed so as to surround the working hole 85e.

下面部８５ｂの下面には、作業用孔８５ｍを塞ぐように円板状の蓋部材８９が固定されている。下面部８５ｂと蓋部材８９との間には、内部空間４５からの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。このシール部材は、蓋部材８９の外周側に形成される円環状の溝部に嵌め込まれている。   A disk-shaped lid member 89 is fixed to the lower surface of the lower surface portion 85b so as to close the working hole 85m. An annular seal member (not shown) that prevents the outflow of air from the internal space 45 is disposed between the lower surface portion 85 b and the lid member 89. This seal member is fitted into an annular groove formed on the outer peripheral side of the lid member 89.

（産業用ロボットの概略動作）
図９は、図１に示すプロセスチャンバー５から基板２を搬出してプロセスチャンバー６へ基板２を搬入する際の産業用ロボット１の動きを説明するための図である。 (Schematic operation of industrial robots)
FIG. 9 is a view for explaining the movement of the industrial robot 1 when unloading the substrate 2 from the process chamber 5 shown in FIG. 1 and loading the substrate 2 into the process chamber 6.

以上のように構成されたロボット１は、モータ３１、４０、４６、４７を駆動させて、チャンバー５〜１０間で基板２を搬送する。たとえば、図９に示すように、ロボット１は、チャンバー５から基板２を搬出してチャンバー６へ基板２を搬入する。すなわち、ロボット１は、図９（Ａ）に示すように、アーム１４を伸ばしてチャンバー５内で基板２を搭載した後、図９（Ｂ）に示すように、第１アーム部２３と第２アーム部２４とが上下方向で重なるまでアーム１４を縮めてチャンバー５から基板２を搬出する。その後、ロボット１は、ハンド１３を１８０°回動させてから、アーム１４を伸ばして、図９（Ｃ）に示すように、チャンバー６へ基板２を搬入する。   The robot 1 configured as described above drives the motors 31, 40, 46, and 47 to transport the substrate 2 between the chambers 5 to 10. For example, as shown in FIG. 9, the robot 1 unloads the substrate 2 from the chamber 5 and loads the substrate 2 into the chamber 6. That is, the robot 1 extends the arm 14 and mounts the substrate 2 in the chamber 5 as shown in FIG. 9 (A), and then, as shown in FIG. The arm 14 is contracted until the arm portion 24 overlaps with the vertical direction, and the substrate 2 is unloaded from the chamber 5. Thereafter, the robot 1 rotates the hand 13 by 180 °, extends the arm 14, and loads the substrate 2 into the chamber 6 as shown in FIG. 9C.

基板２の搬出時および搬入時には、ハンド１３および第１アーム部２３は、本体部１５に対する第１アーム部２３の回動角度と、第２アーム部２４に対するハンド１３の回動角度が等しく、かつ、本体部１５に対する第１アーム部２３の回動方向と、第２アーム部２４に対するハンド１３の回動方向とが逆方向となるように回動する。すなわち、モータ３１、４７は、本体部１５に対する第１アーム部２３の回動角度と、第２アーム部２４に対するハンド１３の回動角度が等しく、かつ、本体部１５に対する第１アーム部２３の回動方向と、第２アーム部２４に対するハンド１３の回動方向とが逆方向となるように回転する。そのため、基板２の搬出時および搬入時におけるハンド１３の向きが一定に保たれる。   At the time of unloading and loading of the substrate 2, the hand 13 and the first arm part 23 have the same turning angle of the first arm part 23 with respect to the main body part 15 and the turning angle of the hand 13 with respect to the second arm part 24, and The rotation direction of the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15 and the rotation direction of the hand 13 with respect to the second arm portion 24 are reversed. That is, the motors 31 and 47 have the same rotation angle of the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15 and the rotation angle of the hand 13 with respect to the second arm portion 24, and the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15. The rotation direction and the rotation direction of the hand 13 with respect to the second arm portion 24 rotate in the opposite direction. Therefore, the direction of the hand 13 is kept constant when the substrate 2 is unloaded and loaded.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、アーム部本体８０に複数の貫通孔８０ｆが形成されており、貫通孔８０ｆを塞ぐ蓋部材８１とアーム部本体８０の上面部８０ａとの間に、大気圧となっている内部空間６６からの空気の流出を防止する環状のシール部材が配置されている。そのため、本形態では、ロボット１が大型化して第２アーム部２４が大型化しても、複数のシール部材のそれぞれの大きさを小さくすることが可能になり、その結果、第２アーム部２４を組み立てる際にシール部材を容易に取り扱うことが可能になる。同様に、本形態では、アーム部本体８５に複数の貫通孔８５ｇが形成されており、貫通孔８５ｇを塞ぐ蓋部材８６とアーム部本体８５の上面部８５ａとの間に、大気圧となっている内部空間４５からの空気の流出を防止する環状のシール部材が配置されている。そのため、本形態では、ロボット１が大型化して第１アーム部２３が大型化しても、複数のシール部材のそれぞれの大きさを小さくすることが可能になり、その結果、第１アーム部２３を組み立てる際にシール部材を容易に取り扱うことが可能になる。したがって、本形態では、ロボット１が大型化しても、アーム１４の内部空間４５、６６の気密性を確保するためのシール部材を取り付ける際の作業ミスを低減することが可能になる。 (Main effects of this form)
As described above, in this embodiment, the arm portion main body 80 has a plurality of through holes 80f, and the atmospheric pressure is between the lid member 81 that closes the through holes 80f and the upper surface portion 80a of the arm portion main body 80. An annular seal member that prevents the outflow of air from the internal space 66 is disposed. Therefore, in this embodiment, even when the robot 1 is enlarged and the second arm portion 24 is enlarged, it is possible to reduce the size of each of the plurality of seal members. The seal member can be easily handled during assembly. Similarly, in this embodiment, a plurality of through holes 85g are formed in the arm main body 85, and atmospheric pressure is generated between the lid member 86 that closes the through holes 85g and the upper surface 85a of the arm main body 85. An annular seal member that prevents the outflow of air from the internal space 45 is disposed. Therefore, in this embodiment, even if the robot 1 is enlarged and the first arm portion 23 is enlarged, it is possible to reduce the size of each of the plurality of seal members. The seal member can be easily handled during assembly. Therefore, in this embodiment, even if the robot 1 is increased in size, it is possible to reduce work errors when attaching a seal member for ensuring the airtightness of the internal spaces 45 and 66 of the arm 14.

ここで、本形態では、真空中に配置される第２アーム部２４の内部空間６６が大気圧となっているため、中空状に形成される第２アーム部２４は、内部の圧力によって外側に膨らむように変形するが、本形態では、アーム部本体８０の下面部８０ｂの上面に、上下方向から見たときに貫通孔８０ｆと重なる凹部８０ｎが形成されているため、上下両側に向かって略均等に第２アーム部２４が膨らむように第２アーム部２４を変形させることが可能になる。   Here, in this embodiment, since the internal space 66 of the second arm portion 24 arranged in a vacuum is at atmospheric pressure, the second arm portion 24 formed in a hollow shape is exposed to the outside by the internal pressure. In this embodiment, the upper surface of the lower surface portion 80b of the arm portion main body 80 is formed with a concave portion 80n that overlaps the through hole 80f when viewed from the vertical direction. The second arm portion 24 can be deformed so that the second arm portion 24 swells evenly.

すなわち、下面部８０ｂの上面に凹部８０ｎが形成されていない場合には、複数の貫通孔８０ｆが形成される上面部８０ａの強度が下面部８０ｂの強度よりも低くなるため、第２アーム部２４は、内部の圧力によって、下側よりも上側が大きく膨らむように変形しやすくなるが、本形態では、下面部８０ｂの上面に凹部８０ｎが形成されており、下面部８０ｂの強度を上面部８０ａの強度に近づけることが可能になるため、上下両側に向かって略均等に第２アーム部２４が膨らむように第２アーム部２４を変形させることが可能になる。したがって、本形態では、上面部８０ａに複数の貫通孔８０ｆが形成されていても、上下方向の一方側へ傾くように第２アーム部２４が変形したり、捩れるように第２アーム部２４が変形したりするのを抑制することが可能になる。   That is, when the concave portion 80n is not formed on the upper surface of the lower surface portion 80b, the strength of the upper surface portion 80a in which the plurality of through holes 80f are formed is lower than the strength of the lower surface portion 80b. However, in this embodiment, the concave portion 80n is formed on the upper surface of the lower surface portion 80b, and the strength of the lower surface portion 80b is increased by the upper pressure of the upper surface portion 80a. Therefore, the second arm portion 24 can be deformed so that the second arm portion 24 swells substantially uniformly toward the upper and lower sides. Therefore, in this embodiment, even if the plurality of through holes 80f are formed in the upper surface portion 80a, the second arm portion 24 is deformed or twisted so as to be inclined to one side in the vertical direction. Can be prevented from being deformed.

同様に、本形態では、真空中に配置される第１アーム部２３の内部空間４５が大気圧となっているため、中空状に形成される第１アーム部２３は、内部の圧力によって外側に膨らむように変形するが、本形態では、アーム部本体８５の下面部８５ｂの上面に、上下方向から見たときに貫通孔８５ｇと重なる凹部８５ｎが形成されているため、上下両側に向かって略均等に第１アーム部２３が膨らむように第１アーム部２３を変形させることが可能になる。したがって、本形態では、上面部８５ａに複数の貫通孔８５ｇが形成されていても、上下方向の一方側へ傾くように第１アーム部２３が変形したり、捩れるように第１アーム部２３が変形したりするのを抑制することが可能になる。   Similarly, in this embodiment, since the internal space 45 of the first arm portion 23 disposed in a vacuum is at atmospheric pressure, the hollow first hollow arm portion 23 is moved outward by the internal pressure. In this embodiment, the upper surface of the lower surface portion 85b of the arm portion main body 85 is formed with a recess 85n that overlaps the through hole 85g when viewed in the vertical direction. It is possible to deform the first arm portion 23 so that the first arm portion 23 swells evenly. Therefore, in this embodiment, even if a plurality of through holes 85g are formed in the upper surface portion 85a, the first arm portion 23 is deformed or twisted so as to be inclined to one side in the vertical direction. Can be prevented from being deformed.

このように、本形態では、上面部８０ａ、８５ａに複数の貫通孔８０ｆ、８５ｇが形成されていても、上下方向の一方側へ傾くようにアーム１４が変形したり、捩れるようにアーム１４が変形したりするのを抑制することが可能になるため、アーム１４の先端側の位置精度を確保することが可能になる。したがって、本形態では、上面部８０ａ、８５ａに複数の貫通孔８０ｆ、８５ｇが形成されていても、チャンバー５〜１０の所定の位置へ基板２を精度良く搬送することが可能になる。すなわち、本形態では、基板２の目標到達位置からのずれを抑制して基板２の搬送精度を高めることが可能になる。   Thus, in this embodiment, even if the plurality of through holes 80f and 85g are formed in the upper surface portions 80a and 85a, the arm 14 is deformed and twisted so as to be inclined to one side in the vertical direction. Therefore, it is possible to secure the positional accuracy of the arm 14 on the distal end side. Therefore, in this embodiment, even if the plurality of through holes 80f and 85g are formed in the upper surface portions 80a and 85a, the substrate 2 can be accurately transferred to a predetermined position in the chambers 5 to 10. That is, in this embodiment, it is possible to suppress the deviation of the substrate 2 from the target arrival position and increase the conveyance accuracy of the substrate 2.

特に本形態では、上下方向から見たときに、貫通孔８０ｆの内周面と凹部８０ｎの内周面とが略一致し、かつ、貫通孔８５ｇの内周面と凹部８５ｎの内周面とが略一致しているため、上下両側に向かって略均等に第１アーム部２３、第２アーム部２４が膨らむように第１アーム部２３、第２アーム部２４を変形させやすくなる。したがって、本形態では、上面部８０ａ、８５ａに複数の貫通孔８０ｆ、８５ｇが形成されていても、上下方向の一方側へ傾くようにアーム１４が変形したり、捩れるようにアーム１４が変形したりするのを効果的に抑制することが可能になり、その結果、アーム１４の先端側の位置精度を高めることが可能になる。   In particular, in this embodiment, when viewed from above and below, the inner peripheral surface of the through hole 80f and the inner peripheral surface of the recess 80n substantially coincide with each other, and the inner peripheral surface of the through hole 85g and the inner peripheral surface of the recess 85n Therefore, the first arm part 23 and the second arm part 24 can be easily deformed so that the first arm part 23 and the second arm part 24 swell substantially uniformly toward the upper and lower sides. Therefore, in this embodiment, even when the plurality of through holes 80f and 85g are formed in the upper surface portions 80a and 85a, the arm 14 is deformed so as to be inclined to one side in the vertical direction, and the arm 14 is deformed so as to be twisted. It is possible to effectively suppress such a situation, and as a result, it is possible to increase the positional accuracy of the tip side of the arm 14.

本形態では、アーム部本体８０、８５は、アルミニウム合金のブロックを切削加工することで形成されている。そのため、本形態では、互いに別体で形成された上面部８０ａ、８５ａと下面部８０ｂ、８５ｂと側面部８０ｃ、８５ｃとが接合されることでアーム部本体８０、８５が形成されている場合と比較して、内部空間４５、６６からの空気の流出を防止しやすくなる。また、本形態では、アーム部本体８０、８５が鋳物によって形成されている場合と比較して、アーム部本体８０、８５から真空中へ放出されるガス（アウトガス）の放出量を低減することが可能になる。   In this embodiment, the arm part main bodies 80 and 85 are formed by cutting an aluminum alloy block. Therefore, in the present embodiment, the arm main bodies 80 and 85 are formed by joining the upper surface portions 80a and 85a and the lower surface portions 80b and 85b and the side surface portions 80c and 85c formed separately from each other. In comparison, it becomes easier to prevent the outflow of air from the internal spaces 45 and 66. Further, in this embodiment, the amount of gas (outgas) released from the arm main bodies 80 and 85 into the vacuum can be reduced as compared with the case where the arm main bodies 80 and 85 are formed by casting. It becomes possible.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

上述した形態では、アーム１４は、１個の第１アーム部２３と１個の第２アーム部２４とによって構成されている。この他にもたとえば、図１０に示すように、アーム１４は、１個の第１アーム部２３と、２個の第２アーム部２４とによって構成されても良い。この場合には、第１アーム部２３は、略Ｖ形状あるいは直線状に形成されており、その中心部が本体部１５に回動可能に連結される基端部となっている。また、図１０に示すように、第１アーム部２３の２個の先端側のそれぞれに第２アーム部２４が回動可能に連結されており、第１アーム部２３の２個の先端側のそれぞれに関節部２６が形成されている。また、この場合には、たとえば、ハンド１３の基部２０に、水平方向の一方側へ突出する２本のフォーク部２１のみが取り付けられる。なお、図１０では、上述した形態の構成と同一の構成、または、上述した形態の構成に対応する構成については、同一の符号を付している。   In the embodiment described above, the arm 14 is configured by one first arm portion 23 and one second arm portion 24. In addition, for example, as shown in FIG. 10, the arm 14 may be configured by one first arm portion 23 and two second arm portions 24. In this case, the 1st arm part 23 is formed in the substantially V shape or linear form, and the center part becomes a base end part connected with the main-body part 15 so that rotation is possible. As shown in FIG. 10, the second arm portion 24 is rotatably connected to each of the two distal end sides of the first arm portion 23, and the two distal end side portions of the first arm portion 23 are connected to each other. A joint portion 26 is formed in each. In this case, for example, only two fork portions 21 protruding to one side in the horizontal direction are attached to the base portion 20 of the hand 13. In FIG. 10, the same reference numerals are given to the same configuration as the configuration of the above-described configuration or the configuration corresponding to the configuration of the above-described configuration.

また、上述した形態では、ロボット１は、１本のアーム１４を備えているが、図１１に示すように、ロボット１は、本体部１５にその基端側が回動可能に連結される２本のアーム１４を備えていても良い。この場合には、たとえば、ハンド１３の基部２０に、水平方向の一方側へ突出する２本のフォーク部２１のみが取り付けられる。なお、図１１では、上述した形態の構成と同一の構成、または、上述した形態の構成に対応する構成については、同一の符号を付している。   In the above-described embodiment, the robot 1 includes the single arm 14. However, as illustrated in FIG. 11, the robot 1 includes two robots whose base end side is rotatably connected to the main body unit 15. The arm 14 may be provided. In this case, for example, only two fork portions 21 protruding to one side in the horizontal direction are attached to the base portion 20 of the hand 13. In FIG. 11, the same reference numerals are given to the same configuration as the configuration of the above-described configuration or the configuration corresponding to the configuration of the above-described configuration.

上述した形態では、凹部８０ｎは、上下方向から見たときに、貫通孔８０ｆと重なるように形成されており、上下方向から見たときに、貫通孔８０ｆの内周面と凹部８０ｎの内周面とが略一致している。この他にもたとえば、凹部８０ｎは、上下方向から見たときに、凹部８０ｎの一部が貫通孔８０ｆと重なるように形成され、上下方向から見たときに、貫通孔８０ｆの内周面と凹部８０ｎの内周面とがずれていても良い。同様に、上述した形態では、凹部８５ｎは、上下方向から見たときに、貫通孔８５ｇと重なるように形成されており、上下方向から見たときに、貫通孔８５ｇの内周面と凹部８５ｎの内周面とが略一致しているが、凹部８５ｎは、上下方向から見たときに、凹部８５ｎの一部が貫通孔８５ｇと重なるように形成され、上下方向から見たときに、貫通孔８５ｇの内周面と凹部８５ｎの内周面とがずれていても良い。   In the embodiment described above, the recess 80n is formed so as to overlap with the through hole 80f when viewed from the top and bottom direction, and when viewed from the top and bottom direction, the inner peripheral surface of the through hole 80f and the inner periphery of the recess 80n. The surface is almost coincident. In addition, for example, the recess 80n is formed so that a part of the recess 80n overlaps with the through hole 80f when viewed from the top and bottom, and the inner surface of the through hole 80f when viewed from the top and bottom. The inner peripheral surface of the recess 80n may be displaced. Similarly, in the embodiment described above, the recess 85n is formed so as to overlap with the through hole 85g when viewed from the vertical direction, and the inner peripheral surface of the through hole 85g and the recess 85n when viewed from the vertical direction. However, the recess 85n is formed so that a part of the recess 85n overlaps the through hole 85g when viewed from the top and bottom, and the recess 85n penetrates when viewed from the top and bottom. The inner peripheral surface of the hole 85g and the inner peripheral surface of the recess 85n may be shifted.

上述した形態では、凹部８０ｎの内径は、貫通孔８０ｆの内径と等しくなっている。この他にもたとえば、凹部８０ｎの内径は、貫通孔８０ｆの内径より大きくても良いし、貫通孔８０ｆの内径より小さくても良い。同様に、凹部８５ｎの内径は、貫通孔８５ｇの内径と等しくなっているが、凹部８５ｎの内径は、貫通孔８５ｇの内径より大きくても良いし、貫通孔８５ｇの内径より小さくても良い。また、上述した形態では、貫通孔８０ｆ、８５ｇは、円形状に形成されているが、貫通孔８０ｆ、８５ｇは、多角形状に形成されても良いし、楕円形状または長円形状に形成されても良い。また、上述した形態では、凹部８０ｎ、８５ｎは、円形状に形成されているが、凹部８０ｎ、８５ｎは、多角形状に形成されても良いし、楕円形状または長円形状に形成されても良い。   In the embodiment described above, the inner diameter of the recess 80n is equal to the inner diameter of the through hole 80f. In addition, for example, the inner diameter of the recess 80n may be larger than the inner diameter of the through hole 80f, or may be smaller than the inner diameter of the through hole 80f. Similarly, the inner diameter of the recess 85n is equal to the inner diameter of the through hole 85g, but the inner diameter of the recess 85n may be larger than the inner diameter of the through hole 85g or smaller than the inner diameter of the through hole 85g. Moreover, in the form mentioned above, although the through-holes 80f and 85g are formed in circular shape, the through-holes 80f and 85g may be formed in polygonal shape, and are formed in elliptical shape or oval shape. Also good. Further, in the above-described form, the recesses 80n and 85n are formed in a circular shape, but the recesses 80n and 85n may be formed in a polygonal shape, or may be formed in an elliptical shape or an oval shape. .

上述した形態では、凹部８０ｎ、８５ｎは、下面部８０ｂ、８５ｂを貫通しないように形成されている。この他にもたとえば、凹部８０ｎ、８５ｎは、下面部８０ｂ、８５ｂを貫通するように形成されても良い。この場合には、下面部８０ｂ、８５ｂの下面に、凹部８０ｎ、８５ｎを塞ぐ蓋部材が固定される。また、この蓋部材と下面部８０ｂ、８５ｂとの間には、内部空間４５、６６からの空気の流出を防止するシール部材が配置される。   In the embodiment described above, the recesses 80n and 85n are formed so as not to penetrate the lower surface portions 80b and 85b. In addition, for example, the recesses 80n and 85n may be formed so as to penetrate the lower surface portions 80b and 85b. In this case, a lid member that closes the recesses 80n and 85n is fixed to the lower surfaces of the lower surface portions 80b and 85b. In addition, a seal member for preventing the outflow of air from the internal spaces 45 and 66 is disposed between the lid member and the lower surface portions 80b and 85b.

上述した形態では、第１アーム部２３の内部空間４５および第２アーム部２４の内部空間６６が大気圧となっている。この他にもたとえば、内部空間４５または内部空間６６が真空となっていても良い。また、上述した形態では、アーム１４は、第１アーム部２３と第２アーム部２４との２個のアーム部によって構成されているが、アーム１４は、１個のアーム部によって構成されても良いし、３個以上のアーム部によって構成されても良い。アーム１４が３個以上のアーム部によって構成される場合には、全てのアーム部の内部空間が大気圧となっていても良いし、内部空間が真空となっているアーム部があっても良い。   In the embodiment described above, the internal space 45 of the first arm portion 23 and the internal space 66 of the second arm portion 24 are at atmospheric pressure. In addition, for example, the internal space 45 or the internal space 66 may be in a vacuum. In the above-described embodiment, the arm 14 is constituted by two arm parts, ie, the first arm part 23 and the second arm part 24, but the arm 14 may be constituted by one arm part. It may be good and may be constituted by three or more arm parts. When the arm 14 is composed of three or more arm portions, the internal space of all the arm portions may be atmospheric pressure, or there may be an arm portion in which the internal space is vacuum. .

上述した形態では、ロボット１は、第１アーム部２３に対して第２アーム部２４を回動させるためのモータ４６と、第２アーム部２４に対してハンド１３を回動させるためのモータ４７とを備えている。この他にもたとえば、１台のモータによって、第１アーム部２３に対して第２アーム部２４が回動し、かつ、第２アーム部２４に対してハンド１３が回動するように、モータからアーム１４への動力の伝達機構が構成されても良い。   In the form described above, the robot 1 includes a motor 46 for rotating the second arm unit 24 with respect to the first arm unit 23 and a motor 47 for rotating the hand 13 with respect to the second arm unit 24. And. In addition to this, for example, a motor is used so that the second arm portion 24 rotates with respect to the first arm portion 23 and the hand 13 rotates with respect to the second arm portion 24 by one motor. A mechanism for transmitting power from the arm 14 to the arm 14 may be configured.

上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は有機ＥＬディスプレイ用の基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、半導体ウエハ等であっても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、搬送対象物を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、溶接ロボット等の他の用途で使用されるロボットであっても良い。   In the embodiment described above, the object to be transported by the robot 1 is the organic EL display substrate 2, but the object to be transported by the robot 1 may be a glass substrate for a liquid crystal display. It may be a semiconductor wafer or the like. Moreover, in the form mentioned above, although the robot 1 is a robot for conveying a conveyance target object, the robot 1 may be a robot used for other uses, such as a welding robot.

１ ロボット（産業用ロボット）
１４ アーム
４５、６６ 内部空間
８０ａ、８５ａ 上面部（第１平面部）
８０ｂ、８５ｂ 下面部（第２平面部）
８０ｃ、８５ｃ 側面部
８０ｆ、８５ｇ 貫通孔
８０ｎ、８５ｎ 凹部
８１、８６ 蓋部材 1 Robot (industrial robot)
14 Arm 45, 66 Internal space 80a, 85a Upper surface part (first plane part)
80b, 85b Lower surface (second flat surface)
80c, 85c Side surface portion 80f, 85g Through hole 80n, 85n Recessed portion 81, 86 Lid member

Claims (4)

平板状の第１平面部と、前記第１平面部と所定の隙間を介して略平行に対向配置される平板状の第２平面部と、前記第１平面部の外周端と前記第２平面部の外周端とを繋ぐ側面部とを有するアームを備え、
前記アームの少なくとも一部は、前記第１平面部と前記第２平面部と前記側面部とに囲まれる内部空間を有する中空状に形成されるとともに、前記アームは、真空中に配置され、
前記内部空間は、大気圧となっており、
前記第１平面部には、前記内部空間に通じる複数の貫通孔が形成され、
前記アームは、前記第１平面部に固定され前記貫通孔を塞ぐ複数の蓋部材と、前記第１平面部と前記蓋部材との間に配置され前記内部空間からの空気の流出を防止する複数のシール部材とを備え、
前記第２平面部の、前記第１平面部との対向面には、前記第１平面部と前記第２平面部との対向方向から見たときに前記貫通孔と少なくとも一部が重なる複数の凹部が窪むように形成されていることを特徴とする産業用ロボット。 A flat plate-shaped first flat surface portion, a flat plate-shaped second flat surface portion disposed substantially parallel to the first flat surface portion with a predetermined gap, an outer peripheral end of the first flat surface portion, and the second flat surface An arm having a side surface connecting the outer peripheral end of the unit,
At least a part of the arm is formed in a hollow shape having an internal space surrounded by the first plane part, the second plane part, and the side part, and the arm is disposed in a vacuum,
The internal space is at atmospheric pressure,
A plurality of through holes communicating with the internal space are formed in the first plane portion,
The arms are fixed to the first flat surface portion and cover the through hole, and a plurality of lid members are arranged between the first flat surface portion and the cover member to prevent air from flowing out from the internal space. And a sealing member
A plurality of surfaces of the second plane portion that are opposed to the first plane portion overlap at least partly with the through-hole when viewed from the facing direction of the first plane portion and the second plane portion. An industrial robot characterized in that a recess is formed to be recessed. 前記対向方向から見たときに、前記貫通孔の内周面と前記凹部の内周面とが略一致していることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。   2. The industrial robot according to claim 1, wherein when viewed from the opposite direction, the inner peripheral surface of the through hole and the inner peripheral surface of the concave portion substantially coincide with each other. 前記貫通孔は、円形状に形成され、
前記凹部は、前記貫通孔の内径と内径の等しい円形状に形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。 The through hole is formed in a circular shape,
The industrial robot according to claim 1, wherein the recess is formed in a circular shape having an inner diameter equal to the inner diameter of the through hole. 前記内部空間は、前記貫通孔から挿入される切削用工具を用いた切削加工によって形成され、
前記第１平面部と前記第２平面部と前記側面部とが一体となっていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。 The internal space is formed by cutting using a cutting tool inserted from the through hole,
The industrial robot according to any one of claims 1 to 3, wherein the first flat surface portion, the second flat surface portion, and the side surface portion are integrated.
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