JP2014128888A - 液体流動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体の消費を抑えつつ、気泡室内に貯留された気泡を排出することができる液体流動装置を提供することにある。
【解決手段】流路の途中に設けられ、流路を通過する液体内に含まれた気泡を貯留する気泡室４０と、気泡室４０よりも上流の液体導入流路３９内に露出した第１の電極５１と、気泡室４０内に露出した第２の電極５５と、第１の電極５１と第２の電極５５との間に電圧を印加して、当該電極間の電気抵抗を検出する検出手段６８と、を備えた。
【選択図】図３

Description

本発明は、流路内を液体が流動する液体流動装置に関するものであり、特にインクジェット式記録装置などの内部の流路を通じて開口から液体を噴射する液体流動装置に関するものである。

液体流動装置の一種である液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。

この種の液体噴射装置としては、流通に乗せ易く取り扱いが容易なカートリッジタイプの液体貯留部材を用いるものが開発されている。例えば、液体状のインクが封入されたインクカートリッジを液体導入針の一種であるインク導入針に挿入し、インク導入針の先端側に開設された導入孔を通じて、インクカートリッジ内のインクを液体噴射ヘッド内に導入している。そして、液体噴射ヘッドは、インク流路を介して圧力室内に導入したインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用してノズルからインク滴を噴射（吐出）する。

このような構成の液体噴射装置では、インクカートリッジをインク導入針に接続する際等に、インク導入針内に気泡が入りこむ虞があった。この気泡が液体噴射ヘッドのインク流路内に混入すると、記録動作（インク滴の噴射動作）時に生じる圧力変動を気泡が吸収することによる圧力損失や、気泡が流路を塞ぐことによるインクの供給不足等の不具合を招く虞がある。このため、気泡がインク流路内に混入しないように、インクカートリッジに挿入されるインク導入針と液体噴射ヘッドとの間にインク内の気泡の通過を抑制するためのフィルターを設けたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

フィルターに捕捉された気泡は、フィルターより上流側に設けられた気泡室内に貯留される。そして、この気泡室内の気泡は、記録動作時よりインク流路内のインクの流量を多くしてノズルから大量のインクを排出するクリーニング動作によって、インクと共にノズルから強制的に排出される。

特開２０１１−１９４７５３号公報

しかしながら、上記のような液体噴射装置では、クリーニング動作が所定の時間間隔で定期的に行われるため、インクを無駄に消費していた。具体的には、気泡室内に気泡がほとんど混入していない場合でも、クリーニング動作によってインクが大量に排出される虞があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体の消費を抑えつつ、気泡室内に貯留された気泡を排出することができる液体流動装置を提供することにある。

本発明の液体流動装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体が通過可能な流路を備えた液体流動装置であって、
前記流路の途中に設けられ、前記流路を通過する液体内に含まれた気泡を貯留する気泡室と、
前記気泡室よりも上流の流路内に露出した第１の電極と、
前記気泡室内に露出した第２の電極と、
前記第１の電極と前記第２の電極との間に電圧を印加して、当該電極間の電気抵抗を検出する検出手段と、
を備えたことを特徴とする。

本発明の液体流動装置によれば、第１の電極と第２の電極との間の電気抵抗によって気泡室内の気泡の大きさを知ることができる。このため、気泡室内の気泡の大きさに応じて、気泡室内の気泡を排出する排出動作をより適切に行うことができる。これにより、無駄な排出動作が実行されることが抑制される。このため、排出動作で消費する液体の量を抑えることができると共に、排出動作の動作時間を短縮することができる。加えて、流路内の液体の有無を検出でき、流路への液体の供給が無くなることを早期に検出することができる。

上記構成において、前記気泡室は、液体の通過を許容する一方、液体内に含まれた気泡の通過を抑制する導電性のフィルターを備え、
該フィルターが前記第２の電極であることが望ましい。

この構成によれば、第２の電極をフィルターとは別個に設ける必要がなく、構成を簡単にすることができる。また、フィルターに張り付いた気泡を確実に検知できるため、気泡の検知能力が向上する。

上記各構成において、前記電極間に印加される電圧が、交流電圧であることが望ましい。

この構成によれば、電気抵抗を測定する際に、第１の電極と第２の電極との間で液体が電気分解されることを抑制できる。

また、上記各構成において、前記電極間に印加される電圧が、所定の時間間隔で印加されるパルス電圧であることが望ましい。

この構成によれば、電気抵抗を測定する際に、第１の電極と第２の電極との間で液体が電気分解されることをさらに抑制できる。

さらに、上記各構成において、液体を排出する排出口と、
気泡室内の気泡を前記排出口から排出させる排出動作を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記検出手段が検出した電気抵抗に基づいて前記排出動作を実行することが望ましい。

この構成によれば、検出手段が検出した電気抵抗に基づいて排出動作をより適切な条件で実行するため、無駄な排出動作が実行されることが抑制される。このため、排出動作で消費する液体の量を抑えることができると共に、排出動作の動作時間を短縮することができる。

プリンターの斜視図である。 記録ヘッドの要部断面図である。 液体導入ユニットの要部を表す模式図であり、（ａ）は要部断面図、（ｂ）は第１の電極近傍の平面図、（ｃ）は第１の電極の拡大図である。 プリンターの電気的構成を説明するブロック図である。 気泡室内の気泡の大きさと電気抵抗検出部によって検出される電気抵抗の関係を表わすグラフである。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明では、本発明の液体流動装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を搭載したインクジェット式プリンター（以下、プリンター）を例に挙げる。

プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２（着弾対象の一種）の表面に対して液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送する搬送機構６等を備えている。ここで、上記のインクは、本発明の液体の一種であり、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、後述する液体導入ユニット３８に対して着脱可能に装着される。

上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。従ってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、リニアエンコーダー１３によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）が、プリンター１のプリンターコントローラー６１（図４参照）に送信される。

キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ４の走査の基点となるホームポジションが設定されている。ホームポジションには、記録ヘッド３のノズル形成面（ノズルプレート２６：図２参照）を封止するキャッピング部材１１と、ノズル形成面を払拭するためのワイパー部材１２とが配置されている。キャッピング部材１１は、長方形状の底部とこの底部の周縁から起立する側壁部とを有する上面が開放したトレイ状の部材であり、ゴム等の弾性部材により形成される。また、キャッピング部材１１には、その内側を減圧するポンプ（図示せず）が接続されている。これにより、ノズル形成面をキャッピング部材１１により封止した後でポンプを動作させることで、記録ヘッド３内の気泡や増粘したインクをノズル３０から吸引することができる（クリーニング動作）。なお、このクリーニング動作では、１回の記録動作によりノズル３０から噴射（吐出）されるインクよりも多くのインクが吸引される。

記録ヘッド３は、図２に示すように、ヘッドケース１６、振動子ユニット１７、及び流路ユニット１８から構成されている。ヘッドケース１６は、例えば、エポキシ系樹脂により作製された中空箱体状部材であり、その先端面（下面）には流路ユニット１８を固定し、ケース内部に形成された収容空部１９内には振動子ユニット１７を収容している。また、ヘッドケース１６の内部には、その高さ方向を貫通してケース流路２０が形成されている。このケース流路２０は、液体導入ユニット３８側からのインクを後述するリザーバー２１に供給するための流路である。

振動子ユニット１７は、櫛歯状に列設された複数の圧電素子２２と、この圧電素子２２に駆動基板からの駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル２３（配線部材）と、圧電素子２２の一側端部を固定する固定板２４と、から構成される。圧電素子２２の固定板２４に固定されない自由端部の先端面は、後述する島部３６（振動板２７）に接合されている。そして、この圧電素子２２は、駆動信号の印加により伸縮して圧力室２９の容積を膨張又は収縮することで、圧力室２９内のインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動の制御によりノズル３０からインクを噴射させることができる。

流路ユニット１８は、流路形成基板２５の一方の面にノズルプレート２６を、流路形成基板２５の他方の面に振動板２７をそれぞれ接合して構成されている。この流路ユニット１８には、リザーバー２１（共通液室）、インク供給口２８、および圧力室２９からなる一連の流路が設けられている。リザーバー２１は、ノズル列方向に沿って長尺な空部であり、その上部にケース流路２０が連通している。インク供給口２８は、各圧力室２９とリザーバー２１を連通させる流路幅の狭い狭窄部である。圧力室２９は、ノズル列に直交する方向に沿って長尺な空部であり、ノズル３０（本発明における排出口に相当）が連通（開口）している。

上記ノズルプレート３６は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル３０が列状に穿設されたステンレス鋼やシリコン結晶等の薄いプレートである。本実施形態のノズル列は、例えば１８０個のノズル３０によって構成されている。

上記振動板２７は、支持板３２の表面に弾性体膜３３を積層した二重構造である。本実施形態では、金属板の一種であるステンレス板を支持板３２とし、この支持板３２の表面に樹脂フィルムを弾性体膜３３としてラミネートした複合板材を用いて振動板２７を作製している。この振動板２７には、圧力室２９の容積を変化させるダイヤフラム部３４が設けられている。また、この振動板２７には、リザーバー２１の一部を封止するコンプライアンス部３５が設けられている。

上記のダイヤフラム部３４は、エッチング加工等によって圧力室２９に対向する領域の支持板３２を部分的に除去することで作製される。即ち、このダイヤフラム部３４は、圧電素子２２の自由端部（固定板２４に固定される側とは反対側の端部）の先端面が接合される島部３６と、この島部３６を囲む薄肉弾性部とからなる。上記のコンプライアンス部３５は、リザーバー２１の開口面に対向する領域の支持板３２を、ダイヤフラム部３４と同様にエッチング加工等によって除去することにより作製され、リザーバー２１に貯留されたインクの圧力変動を吸収するダンパーとして機能する。

そして、上記の島部３６には圧電素子２２の先端面が接合されているので、この圧電素子２２の自由端部を伸縮させることで圧力室２９の容積を変動させることができる。この容積変動に伴って圧力室２９内のインクに圧力変動が生じる。そして、記録ヘッド３は、この圧力変動を利用してノズル３０からインク滴を吐出する。

この記録ヘッド３の上方には、上面にインクカートリッジ７が装着され、インクカートリッジ７からのインクを記録ヘッド３に導入する液体導入ユニット３８が設けられている。この液体導入ユニット３８は、図３（ａ）に示すように、インクカートリッジ７からのインクを導入する液体導入流路３９と、該液体導入流路３９の下流側に位置し、液体に混入した気泡Ｂを収容する気泡室４０と、該気泡室４０の下端部に連通し、ケース流路２０側にインクを送る接続流路４１と、からなる一連の流路（本発明における流路に相当）を有している。また、本実施形態の液体導入ユニット３８の内部には、中継基板４４が配置される基板配置空間４５が設けられている。中継基板４４は、後述するプリンターコントローラー６１に電気的に接続され、このプリンターコントローラー６１との間で電気信号の送受信を行う。さらに、液体導入ユニット３８の上面には、インクカートリッジ７内に挿入されるインク導入針４３が当該面に対して垂直な方向に突設されている。

液体導入流路３９は、インク導入針４３の内部に設けられた針内流路４７と、インク導入針４３と気泡室４０との間を接続する水平流路４８とから構成されている。針内流路４７は、インク導入針４３の尖端部に設けられた導入孔４９と連通している。これにより、インクカートリッジ７がインク導入針４３に接続された状態で、インクカートリッジ７からのインクは、導入孔４９を通じて針内流路４７へ導入される。水平流路４８は、液体導入ユニット３８の上面方向に沿って延在した流路である。この水平流路４８の途中には、ステンレス鋼等の金属からなる第１の電極５１が突出（露出）している。

第１の電極５１は、水平流路４８内のインクの流れを妨げないように水平流路４８の幅よりも小径な円筒状に形成された電極である。図３（ｂ）に示すように、水平流路４８を流れるインクは、第１の電極５１を避けて、その両側を通過する。なお、図３（ｂ）の矢印がインクの流れを表わしている。また、図３（ｃ）に示すように、本実施形態の第１の電極５１の先端部分には、先端に向けて次第に縮径するようにＣ面（面取り）加工が施されている。

そして、この第１の電極５１は、中継基板４４と電気的に接続されている。本実施形態では、第１の電極５１の下端部が金属製の板バネ５２に接続されており、この板バネ５２を介して中継基板４４と電気的に接続されている。このため、第１の電極５１は、板バネ５２の弾性により上下方向に搖動可能になり、インクカートリッジ７をインク導入針４３に接続する際等に発生する衝撃によって、第１の電極５１が水平流路４８の壁面に衝突して破損したり、第１の電極５１が水平流路４８から抜け落ちたりすることを抑制できる。なお、板バネ５２を用いずに、半田等によって第１の電極５１を中継基板４４に直接接合することもできる。あるいは、配線等を用いて、第１の電極５１と中継基板４４とを電気的に接続してもよい。

気泡室４０は、水平流路４８の下流端に接続される気泡貯留空間５４と、液体導入流路３９側から接続流路４１側に流れるインクの通過を許容する一方、このインク内に含まれた気泡等の通過を抑制する（インクを濾過する）フィルター５５が配置されたフィルター配置空間５６とを備えている。気泡貯留空間５４は、フィルター５５を通過できなかったインク内に含まれる気泡Ｂを一時的に貯留する円筒状の流路である。なお、気泡貯留空間５４の内壁面に、上流側から下流側に向けて延在する溝を設けても良い。この場合、気泡が気泡貯留空間５４の内径に亘る大きさに成長すると、インクは気泡を避けて溝を流下する。これにより、記録ヘッド３に対するインクの供給量が著しく低下する或いはインクが供給されない不具合を抑制することができる。

フィルター配置空間５６は、上端が気泡貯留空間５４と連通し、下端が接続流路４１と連通した流路であり、その途中にフィルター５５が配置されている。本実施形態では、フィルター５５の外径が気泡貯留空間５４の内径よりも大きく形成されている。このため、フィルター配置空間５６は、気泡貯留空間５４側からフィルター５５が配置される中央部分まで、その内径が次第に大きくなるように形成されている。また、フィルター５５が配置される中央部分から接続流路４１まで、その内径が次第に小さくなるように形成されている。

本実施形態のフィルター５５は、金属等からなる導電性のフィルター５５であり、その一部、より具体的には一側（本実施形態では中継基板４４側）の端部がフィルター配置空間５６から外側に向けて延出している。このフィルター５５の延出した部分に、一端が中継基板４４に接続される配線５７の他端が接続されている。これによりフィルター５５は、中継基板４４と電気的に接続され、電極（第２の電極）として機能する。なお、このようなフィルター５５としては、金属製の糸を綾畳織り等の織り方で網目状に織って作成したものや、金属製の板にプレス等によって複数の穴を開けたものを用いることができる。

次に、プリンター１の電気的構成を説明する。
図４は、プリンター１の電気的な構成を説明するブロック図である。外部装置６０は、例えばコンピューターやデジタルカメラなどの画像を取り扱う電子機器である。この外部装置６０は、プリンター１と通信可能に接続されており、プリンター１において記録紙等の記録媒体に画像やテキストを印刷させるため、その画像等に応じた印刷データをプリンター１に送信する。

本実施形態におけるプリンター１は、搬送機構６、キャリッジ移動機構５、リニアエンコーダー１３、第１の電極５１、フィルター５５（第２の電極）、記録ヘッド３、及び、プリンターコントローラー６１を有する。

プリンターコントローラー６１は、プリンター１の各部の制御を行うための制御ユニットである。このプリンターコントローラー６１は、インターフェース（Ｉ／Ｆ）部と、ＣＰＵ６５（本発明における制御部に相当）と、記憶部６６と、駆動信号生成部６７と、電気抵抗検出部６８（本発明における検出手段に相当）と、を有する。インターフェース部６４は、外部装置６０からプリンター１へ印刷データや印刷命令を送ったり、外部装置６０がプリンター１の状態情報を受け取ったりする等プリンター１の状態データの送受信を行う。ＣＰＵ６５は、プリンター１全体の制御を行うための演算処理装置である。記憶部６６は、ＣＰＵ６５のプログラムや各種制御に用いられるデータを記憶する素子であり、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＮＶＲＡＭ（不揮発性記憶素子）を含む。この記憶部６６に記憶されているプログラムに従って、ＣＰＵ６５は各ユニットを制御する。

ＣＰＵ６５は、リニアエンコーダー１３から出力されるエンコーダーパルスＥＰからタイミングパルスＰＴＳを生成するタイミングパルス生成手段として機能する。そして、ＣＰＵ６５は、このタイミングパルスＰＴＳに同期させて印刷データの転送や、駆動信号生成部６７による駆動信号ＣＯＭの生成等を制御する。また、ＣＰＵ６５は、タイミングパルスＰＴＳに基づいて、ラッチ信号ＬＡＴ等のタイミング信号を生成して記録ヘッド３のヘッド制御部６３に出力する。ヘッド制御部６３は、プリンターコントローラー６１からのヘッド制御信号（印刷データおよびタイミング信号）に基づき、記録ヘッド３の圧電素子２２に対する駆動信号ＣＯＭの噴射駆動パルスＤＰの印加制御等を行う。さらに、ＣＰＵ６５は、電気抵抗検出部６８が検出した電気抵抗に基づいて、気泡室４０内の気泡をノズル３０から排出させるクリーニング動作（排出動作）を制御する。

駆動信号生成部６７は、駆動信号の波形に関する波形データに基づいて、アナログの電圧信号を生成する。また、駆動信号生成部６７は、上記の電圧信号を増幅して駆動信号ＣＯＭを生成する。この駆動信号ＣＯＭは、記録媒体２に対する記録動作時に記録ヘッド３の圧力発生部である圧電素子２２に印加されるものであり、繰り返し周期である単位期間内に、噴射駆動パルスＤＰを少なくとも１つ以上含む一連の信号である。ここで、噴射駆動パルスＤＰとは、記録ヘッド３のノズル３０から液滴状のインクを噴射させるために、圧電素子２２に所定の動作を行わせるものである。

電気抵抗検出部６８は、第１の電極５１とフィルター５５との間に電圧を印加して、当該電極間の電気抵抗を検出する。この電気抵抗は、図５に示すように、気泡室４０内の気泡Ｂの大きさに応じて大きくなるため、気泡室４０内の気泡Ｂの大きさを知ることができる。なお、第１の電極５１とフィルター５５との間に印加される電圧は、周期的に正極性と負極性とが交互に変化する交流電圧であることが望ましい。このようにすれば、電気抵抗を測定する際に、第１の電極５１とフィルター５５との間でインクが電気分解されることを抑制できる。あるいは、第１の電極５１とフィルター５５との間に印加される電圧は、所定の時間間隔で印加されるパルス電圧であることが望ましい。このパルス電圧は、一方の極性のみに変化する単極性パルスでも良いし、正極性と負極性との両方に変化する両極性パルスでも良い。この場合も、電気抵抗を測定する際における第１の電極５１とフィルター５５との間のインクの電気分解を抑制することができる。

そして、電気抵抗検出部６８が検出した電気抵抗は電気信号としてＣＰＵ６５に送信される。ＣＰＵ６５は、この電気抵抗に基づいて、気泡室４０内の気泡Ｂの大きさを判断し、クリーニング動作を行うか否かを決定する。ここで、クリーニング動作は、気泡室４０内を流れるインクの量を記録動作時よりも多くして、気泡室４０内の気泡Ｂをインクと共にノズル３０から強制的に排除する動作である。

例えば、ＣＰＵ６５は、電気抵抗検出部６８によって検出された電気抵抗が閾値抵抗Ｒｔｈ以上の場合に、クリーニング動作を実行し、気泡室４０内の気泡Ｂを排出する。ここで、閾値抵抗Ｒｔｈは、インクの噴射不良を起こさないように設定される。詳しく説明すると、気泡室４０内の気泡が一定の大きさまで成長すると、この気泡が記録ヘッド３側に流下し易くなる。記録ヘッド３側に気泡が混入すると、圧力変動を気泡が吸収することによる圧力損失や、気泡が流路を塞ぐことによるインクの供給不足等によって噴射不良が起こり易くなる。このため、このような噴射不良が生じ始める前に、クリーニング動作を実行し、気泡を排出する必要がある。これにより、閾値抵抗Ｒｔｈは、このような噴射不良が生じ始める気泡の大きさに対応する電気抵抗、あるいは、ある程度のマージンを取ってこの電気抵抗よりも低い電気抵抗に設定される。

このように、電気抵抗検出部６８によって第１の電極５１とフィルター５５との間の電気抵抗によって気泡室４０内の気泡の大きさを知ることができる。このため、気泡室４０内の気泡の大きさに応じて、気泡室４０内の気泡を排出するクリーニング動作を、より適切なタイミングおよび頻度で行うことができる。これにより、無駄な排出動作が実行されることが抑制される。このため、排出動作で消費するインクの量を抑えることができると共に、クリーニング動作の動作時間を短縮することができる。また、インクカートリッジ７からのインクの供給が途絶えると、第１の電極５１の近傍からインクが急激に減少するため、電気抵抗検出部６８によって検出される電気抵抗が急激に高くなる。これにより、流路内のインクの有無を検出でき、流路へのインクの供給が無くなることを早期に検出することができる。さらに、フィルター５５を第２の電極としたので、第２の電極をフィルター５５とは別個に設ける必要がなく、構成を簡単にすることができる。また、フィルター５５に張り付いた気泡を確実に検知できるため、気泡の検知能力が向上する。
なお、電気抵抗検出部６８により検出される気泡の大きさに応じて、クリーニング動作時における排出量を調整するようにしてもよい。これにより、排出動作で消費するインクの量をさらに抑えることができる。

ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、第１の電極を円筒状に形成したが、これには限られず、水平流路内のインクに接触して電気抵抗を測ることができれば、どのような形状であっても良い。例えば、水平流路の内周面に沿った円環状の電極にすることもできる。また、上記実施形態では、導電性のフィルターを用いて第２の電極としたが、これには限られない。気泡室内において、フィルターとは別個に、第２の電極を設けても良い。さらに、上記実施形態では、ＣＰＵと電気抵抗検出部とを設けたが、これには限られない。電気抵抗検出部を設けずに、ＣＰＵを第１の電極とフィルターとの間の電気抵抗を検出する検出手段として機能させることもできる。また、第１の電極およびフィルターを、中継基板を介してプリンターコントローラーに接続したが、これには限られない。配線等を用いて、第１の電極およびフィルターを、直接プリンターコントローラーに接続してもよい。

そして、本発明は、流路内を液体が流動する液体流動装置であれば、プリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置や、記録装置以外の液体噴射装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも適用することができる。

１…プリンター，３…記録ヘッド，４…キャリッジ，５…キャリッジ移動機構，６…搬送機構，７…インクカートリッジ，１３…リニアエンコーダー，１６…ヘッドケース，１７…振動子ユニット，１８…流路ユニット，１９…収容空部，２０…ケース流路，２１…リザーバー，２２…圧電素子，２３…フレキシブルケーブル，２４…固定板，２５…流路形成基板，２６…ノズルプレート，２７…振動板，２８…インク供給口，２９…圧力室，３０…ノズル，３８…液体導入ユニット，３９…液体導入流路，４０…気泡室，４１…接続流路，４３…インク導入針，４４…中継基板，４５…基板配置空間，４７…針内流路，４８…水平流路，４９…導入孔，５１…第１の電極，５２…板バネ，５４…気泡貯留空間，５５…フィルター，５６…フィルター配置空間，６１…プリンターコントローラー，６３…ヘッド制御部，６４…インターフェース部，６５…ＣＰＵ，６６…記憶部，６７…駆動信号生成部，６８…電気抵抗検出部

Claims (5)

1. 液体が通過可能な流路を備えた液体流動装置であって、
   前記流路の途中に設けられ、前記流路を通過する液体内に含まれた気泡を貯留する気泡室と、
   前記気泡室よりも上流の流路内に露出した第１の電極と、
   前記気泡室内に露出した第２の電極と、
   前記第１の電極と前記第２の電極との間に電圧を印加して、当該電極間の電気抵抗を検出する検出手段と、
   を備えたことを特徴とする液体流動装置。
2. 前記気泡室は、液体の通過を許容する一方、液体内に含まれた気泡の通過を抑制する導電性のフィルターを備え、
   該フィルターが前記第２の電極であることを特徴とする請求項１に記載の液体流動装置。
3. 前記電極間に印加される電圧が、交流電圧であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体流動装置。
4. 前記電極間に印加される電圧が、所定の時間間隔で印加されるパルス電圧であることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の液体流動装置。
5. 液体を排出する排出口と、
   気泡室内の気泡を前記排出口から排出させる排出動作を制御する制御部と、
   を備え、
   前記制御部は、前記検出手段が検出した電気抵抗に基づいて前記排出動作を実行することを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体流動装置。

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