JP2014121738A - Cutting device - Google Patents

Cutting device Download PDF

Info

Publication number
JP2014121738A
JP2014121738A JP2012277630A JP2012277630A JP2014121738A JP 2014121738 A JP2014121738 A JP 2014121738A JP 2012277630 A JP2012277630 A JP 2012277630A JP 2012277630 A JP2012277630 A JP 2012277630A JP 2014121738 A JP2014121738 A JP 2014121738A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fluid supply
workpiece
fluid
cutting
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012277630A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6068971B2 (en
Inventor
Manpei Tanaka
万平 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Disco Corp
Original Assignee
Disco Abrasive Systems Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Abrasive Systems Ltd filed Critical Disco Abrasive Systems Ltd
Priority to JP2012277630A priority Critical patent/JP6068971B2/en
Publication of JP2014121738A publication Critical patent/JP2014121738A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6068971B2 publication Critical patent/JP6068971B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a possibility of supplying excessive fluid from fluid supplying means to a workpiece.SOLUTION: Washing water supplying means 20 provided on a cutting device 1 is disposed so as to intersect a moving path of holding means 6 in a cutting advancing direction. The fluid supplying means 20 has a fluid supplying pipe 21, and is equipped with a first fluid supplying portion 22 corresponding to a first workpiece W1, and a second fluid supplying portion 23 arranged so as to be switched with the first fluid supplying portion 22, and corresponding to a second workpiece W2. The supplying amount of washing water can be changed according to the size of a workpiece. Consequently, even when the first workpiece W1 with size smaller than the second workpiece W2 is washed, a possibility of excessively supplying washing water 9 to an outer peripheral side is eliminated, and the supplying amount of the washing water 9 can be reduced.

Description

本発明は、保持手段によって保持された被加工物に切削を施す切削装置に関する。   The present invention relates to a cutting apparatus that performs cutting on a workpiece held by holding means.

切削装置において被加工物を切削すると、コンタミが発生して被加工物に付着するため、被加工物を切削加工した後、洗浄水を被加工物に供給しながら洗浄を実施している。切削装置の構成としては、被加工物を保持する保持手段と、保持手段に保持された被加工物を切削する切削手段と、保持手段の移動経路上に交差して配設され移動経路上を移動する保持手段に保持された被加工物に洗浄水を供給する流体供給手段と、を備えるものがある。   When the workpiece is cut by the cutting apparatus, contamination occurs and adheres to the workpiece. Therefore, after the workpiece is cut, cleaning is performed while supplying cleaning water to the workpiece. The configuration of the cutting apparatus includes a holding means for holding the workpiece, a cutting means for cutting the workpiece held by the holding means, and a movement path of the holding means that is disposed so as to intersect the movement path. And a fluid supply unit that supplies cleaning water to the workpiece held by the moving holding unit.

切削後の被加工物を洗浄する際は、保持手段が流体供給手段の下方を通過するとともに、流体供給手段が保持手段に保持された被加工物に洗浄水を供給して被加工物に付着したコンタミを除去している(例えば、下記の特許文献1を参照)。   When cleaning the workpiece after cutting, the holding means passes below the fluid supply means, and the fluid supply means supplies cleaning water to the workpiece held by the holding means and adheres to the workpiece. The contaminated contamination is removed (see, for example, Patent Document 1 below).

切削装置では、異なるサイズの被加工物を同一の切削装置において切削する場合があるため、切削後の被加工物を洗浄する流体供給手段は、切削装置において切削されると想定される最大サイズの被加工物全面に流体を供給して洗浄できる長さに設定されている。   In the cutting apparatus, since workpieces of different sizes may be cut by the same cutting apparatus, the fluid supply means for cleaning the workpiece after cutting has a maximum size assumed to be cut by the cutting apparatus. The length is set such that fluid can be supplied to the entire surface of the workpiece and cleaned.

特開2003−234308号公報JP 2003-234308 A

しかしながら、上記の如く構成される切削装置においてサイズの小さい被加工物を洗浄する場合には、被加工物の外周側の被加工物が存在しない領域にも流体(例えば、洗浄水)を供給することになるため、流体を過剰に供給することとなり非経済的であるという問題があった。   However, when a small-sized workpiece is cleaned by the cutting apparatus configured as described above, fluid (for example, cleaning water) is supplied also to a region where the workpiece on the outer peripheral side of the workpiece does not exist. Therefore, there is a problem that the fluid is excessively supplied and it is not economical.

本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、流体供給手段から過剰な流体を被加工物に供給するおそれを低減することに発明の解決すべき課題がある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and there is a problem to be solved by reducing the risk of supplying an excessive fluid from a fluid supply means to a workpiece.

本発明は、被加工物を保持する保持手段と該保持手段に保持された被加工物を切削する切削手段とを備えた切削装置であって、該保持手段を切削送り方向に移動させる切削送り手段と、該切削送り方向における該保持手段の移動経路に交差して配設され、該保持手段に保持された被加工物に流体を供給する流体供給手段と、を備え、該流体供給手段は、第一のサイズを有する第一被加工物に対応する第一流体供給部と、該第一流体供給部と切り替え可能に配設され、第二のサイズを有する第二被加工物に対応する第二流体供給部と、を有する。   The present invention relates to a cutting apparatus comprising a holding means for holding a workpiece and a cutting means for cutting the workpiece held by the holding means, wherein the cutting feed moves the holding means in the cutting feed direction. And a fluid supply means arranged to intersect the movement path of the holding means in the cutting feed direction and supply a fluid to the workpiece held by the holding means, the fluid supply means A first fluid supply corresponding to a first workpiece having a first size and a switchable arrangement with the first fluid supply corresponding to a second workpiece having a second size. A second fluid supply unit.

上記流体供給手段は、流体供給源に接続され前記移動経路に交差した交差方向に伸長し、該交差方向を軸に回転可能に配設された流体供給パイプを有し、上記第一流体供給部は、該流体供給パイプに形成され該交差方向に整列した複数の第一流体供給孔を含み、
上記第二流体供給部は、該流体供給パイプに形成され該交差方向に整列した複数の第二流体供給孔を含み、該流体供給パイプは、該第一流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに該第二流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第一の向きと該第二流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに該第一流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第二の向きとに選択的に向くように構成される。
The fluid supply means includes a fluid supply pipe that is connected to a fluid supply source, extends in a crossing direction intersecting the moving path, and is rotatably arranged around the crossing direction. The first fluid supply unit Comprises a plurality of first fluid supply holes formed in the fluid supply pipe and aligned in the intersecting direction;
The second fluid supply unit includes a plurality of second fluid supply holes formed in the fluid supply pipe and aligned in the intersecting direction, and the fluid supply pipe supplies fluid to the workpiece from the first fluid supply hole. A first direction that regulates the ejection of fluid from the second fluid supply hole to the workpiece and a fluid from the second fluid supply hole to the workpiece and from the first fluid supply hole It is configured to selectively face the second direction that restricts the ejection of fluid to the workpiece.

本発明にかかる切削装置には、第一のサイズを有する第一被加工物に対応する第一流体供給部と、第一流体供給部と切り替え可能に配設されるとともに第二のサイズを有する第二被加工物に対応する第二流体供給部とを有する流体供給手段を備えているため、被加工物のサイズに応じて流体の供給量を変更することができる。したがって、流体供給手段から過剰な流体をサイズの異なる被加工物に対して供給するおそれを低減することが可能となる。   The cutting device according to the present invention has a first fluid supply unit corresponding to a first workpiece having a first size, a switchable arrangement with the first fluid supply unit, and a second size. Since the fluid supply means having the second fluid supply unit corresponding to the second workpiece is provided, the amount of fluid supply can be changed according to the size of the workpiece. Therefore, it is possible to reduce the risk of supplying an excessive fluid from the fluid supply means to the workpieces having different sizes.

流体供給手段が、流体供給源に接続され保持手段の移動経路に交差した交差方向に伸長し、交差方向を軸に回転可能に配設された流体供給パイプを有し、第一流体供給部は、流体供給パイプに形成され交差方向に整列した複数の第一流体供給孔を含み、第二流体供給部は、流体供給パイプに形成され該交差方向に整列した複数の第二流体供給孔を含み、流体供給パイプは、第一流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに第二流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第一の向きと、第二流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに第一流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第二の向きとに選択的に向くように構成されることにより、第一被加工物を洗浄する際には、流体供給パイプを第一の向きに向けることにより、第一流体供給部に含まれている複数の第一流体供給孔から流体を噴出するとともに第二流体供給部に含まれている第二流体供給孔から流体が噴出することを規制することができる。また、第二被加工物を洗浄する際には、流体供給パイプを第二の向きに向けることにより、複数の第二流体供給孔から流体を噴出するとともに第一流体供給孔から流体が噴出することを規制することができる。したがって、1つの流体供給パイプで、被加工物のサイズに合わせて流体の供給量を調整することが可能となり、小さいサイズの被加工物の外周側にまで過剰に流体を供給することはなくなり、流体の供給量を低減することが可能となる。   The fluid supply means has a fluid supply pipe connected to the fluid supply source and extending in a crossing direction intersecting the moving path of the holding means, and arranged to be rotatable about the crossing direction. A plurality of first fluid supply holes formed in the fluid supply pipe and aligned in the cross direction, and the second fluid supply part includes a plurality of second fluid supply holes formed in the fluid supply pipe and aligned in the cross direction. The fluid supply pipe ejects fluid from the first fluid supply hole to the workpiece and regulates the fluid ejection from the second fluid supply hole to the workpiece, and from the second fluid supply hole. The first workpiece is configured to be directed to a second direction that ejects fluid to the workpiece and regulates fluid ejection from the first fluid supply hole to the workpiece. When cleaning, point the fluid supply pipe in the first direction And ejecting the fluid from the plurality of first fluid supply holes included in the first fluid supply unit and restricting the fluid from being ejected from the second fluid supply hole included in the second fluid supply unit. be able to. Further, when cleaning the second workpiece, by directing the fluid supply pipe in the second direction, the fluid is ejected from the plurality of second fluid supply holes and the fluid is ejected from the first fluid supply hole. Can be regulated. Therefore, it becomes possible to adjust the amount of fluid supplied in accordance with the size of the workpiece with one fluid supply pipe, and it will not supply excessive fluid to the outer peripheral side of the workpiece of small size, It is possible to reduce the amount of fluid supplied.

切削装置の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of a cutting device. 洗浄水供給手段の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of a washing water supply means. 洗浄水供給パイプと固定接続部の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of a washing water supply pipe and a fixed connection part. 図3の洗浄水供給パイプのA−A断面図である。It is AA sectional drawing of the washing water supply pipe of FIG. 図3の固定接続部のB−B断面図である。It is BB sectional drawing of the fixed connection part of FIG. (a)は、洗浄水供給パイプの第一の向きを示す断面図であり、(b)は、第一被加工物と第一の向きに向いた洗浄水供給パイプとの位置関係を示す平面図である。(A) is sectional drawing which shows the 1st direction of a wash water supply pipe, (b) is a plane which shows the positional relationship of the wash water supply pipe which faced the 1st workpiece and the 1st direction. FIG. 被加工物に洗浄及び乾燥を実施する状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which implements washing | cleaning and drying to a to-be-processed object. (a)は、洗浄水供給パイプの第二の向きを示す断面図であり、(b)は、第二被加工物と第二の向きに向いた洗浄水供給パイプとの位置関係を示す平面図である。(A) is sectional drawing which shows the 2nd direction of a washing water supply pipe, (b) is a plane which shows the positional relationship of the washing water supply pipe which faced the 2nd workpiece and the 2nd direction. FIG. 洗浄水供給手段の第二例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 2nd example of a washing water supply means. 洗浄水供給手段の第二例を示す正面図である。It is a front view which shows the 2nd example of a washing water supply means.

図1に示す切削装置1は、装置ベース2を有し、装置ベース2の前部には、複数の被加工物を収容するカセット3が配設されている。装置ベース2の上面2aにおけるカセット3の後方側には、カセット3から加工前の被加工物を搬出するとともにカセット3に加工後の被加工物を搬入する搬入出手段4が配設されている。搬入出手段4の近傍には、被加工物が仮置きされる仮置き領域5が設けられている。   A cutting apparatus 1 shown in FIG. 1 has an apparatus base 2, and a cassette 3 that accommodates a plurality of workpieces is disposed at the front of the apparatus base 2. On the rear side of the cassette 3 on the upper surface 2 a of the apparatus base 2, loading / unloading means 4 for unloading the workpiece before processing from the cassette 3 and loading the processed workpiece into the cassette 3 is disposed. . In the vicinity of the carry-in / out means 4, a temporary placement region 5 in which a workpiece is temporarily placed is provided.

切削装置1の前部には被加工物を保持する保持手段6が配設されている。保持手段6の周囲は移動板10によってカバーされており、保持手段6は、移動板10とともに装置ベース2の内部に配設された切削送り手段11によって駆動されて切削送り方向(X軸方向)に移動することができる。また、保持手段6には、被加工物をクランプするクランプ部7が配設されている。なお、図1に示す保持手段6が位置している領域は、保持手段6に対する被加工物の搬入または搬出が行われる搬入搬出領域P1となっている。   A holding means 6 for holding a workpiece is disposed at the front portion of the cutting apparatus 1. The periphery of the holding means 6 is covered by a moving plate 10, and the holding means 6 is driven by a cutting feed means 11 disposed inside the apparatus base 2 together with the moving plate 10, and the cutting feed direction (X-axis direction). Can be moved to. The holding means 6 is provided with a clamp portion 7 for clamping the workpiece. The area where the holding means 6 shown in FIG. 1 is located is a loading / unloading area P1 where the workpiece is carried into or out of the holding means 6.

仮置き領域5と保持手段6との間には、搬送手段8が配設されている。搬送手段8は、仮置き領域5と搬入搬出領域P1に位置する保持手段6との間で被加工物を搬送することができる。   Between the temporary placement area 5 and the holding means 6, a conveying means 8 is disposed. The conveyance means 8 can convey the workpiece between the temporary placement area 5 and the holding means 6 located in the carry-in / out area P1.

装置ベース2のX軸方向後部側には、被加工物に切削を行う切削手段12が配設されている。切削手段12は、Y軸方向の軸心を有するスピンドル13と、スピンドル13に装着された切削ブレード14とを少なくとも備えている。なお、図1に示す切削手段12が配設された領域は、被加工物に対して切削を行う切削領域P2となっている。   On the rear side of the apparatus base 2 in the X-axis direction, cutting means 12 for cutting the workpiece is disposed. The cutting means 12 includes at least a spindle 13 having an axis in the Y-axis direction and a cutting blade 14 attached to the spindle 13. In addition, the area | region where the cutting means 12 shown in FIG. 1 is arrange | positioned becomes the cutting area P2 which cuts with respect to a to-be-processed object.

切削装置1は、搬入搬出領域P1と切削領域P2との間における保持手段6の移動経路の方向である切削送り方向(X軸方向)と交差するように配設され切削後の被加工物を洗浄する洗浄水供給手段20と、洗浄後の被加工物を乾燥する乾燥エアー供給手段50と、を備えている。洗浄水供給手段20及び乾燥エアー供給手段50は、いずれも、被加工物に対して流体を供給する流体供給手段として機能する。   The cutting device 1 is disposed so as to intersect with a cutting feed direction (X-axis direction) which is a direction of a moving path of the holding means 6 between the carry-in / carry-out region P1 and the cutting region P2, and a workpiece after cutting is disposed. A cleaning water supply means 20 for cleaning and a dry air supply means 50 for drying the workpiece after cleaning are provided. Both the cleaning water supply means 20 and the dry air supply means 50 function as fluid supply means for supplying fluid to the workpiece.

図2に示すように、洗浄水供給手段20は、装置ベース2から立設された一対の支持片34と、支持片34によって回転可能に支持された流体供給パイプ21とを備えている。流体供給パイプ21は、保持手段6の移動方向と交差する交差方向(Y軸方向)を長手方向としており、その一端部にはツマミ29が形成され、他端部には固定接続部30が連結されている。   As shown in FIG. 2, the cleaning water supply means 20 includes a pair of support pieces 34 erected from the apparatus base 2, and a fluid supply pipe 21 that is rotatably supported by the support pieces 34. The fluid supply pipe 21 has a longitudinal direction that intersects the moving direction of the holding means 6 (Y-axis direction), a knob 29 is formed at one end thereof, and a fixed connection portion 30 is connected to the other end. Has been.

各支持片34にはY軸方向に貫通する貫通孔35が形成されており、一方の支持片34の貫通孔35には液体供給パイプ21の一端側が回転可能に挿通され、他方の支持片34の貫通孔35には固定接続部30が固定されて挿通されている。流体供給パイプ21は、固定接続部30に対して回転可能に連結されており、ツマミ29を回すことにより、Y軸方向の回転軸を中心として流体供給パイプ21を回転させることができる。   Each support piece 34 is formed with a through-hole 35 penetrating in the Y-axis direction. One end of the liquid supply pipe 21 is rotatably inserted into the through-hole 35 of one support piece 34, and the other support piece 34. The fixed connection portion 30 is fixedly inserted into the through hole 35. The fluid supply pipe 21 is rotatably connected to the fixed connection portion 30, and the fluid supply pipe 21 can be rotated about the rotation axis in the Y-axis direction by turning the knob 29.

流体供給パイプ21は、図3(a)に示すように、周面の一部が第一流体供給部22となっており、図3(b)に示すように、流体供給パイプ21の周面の一部であって流体供給パイプ21の回転軸を基準として第一流体供給部22と対称な位置が第二流体供給部23となっている。   3A, a part of the peripheral surface of the fluid supply pipe 21 is a first fluid supply unit 22, and as shown in FIG. 3B, the peripheral surface of the fluid supply pipe 21 The second fluid supply unit 23 is a portion that is symmetrical to the first fluid supply unit 22 with respect to the rotation axis of the fluid supply pipe 21.

図3(a)に示す第一流体供給部22には、Y軸方向に整列して複数の第一流体供給孔27が形成されており、図3(b)に示す第二流体供給部23には、Y軸方向に整列して複数の第二流体供給孔28が形成されている。ツマミ29を回して流体供給パイプ21を回転させることにより、第一流体供給孔27及び第二流体供給孔28を所望の方向に向かせることができる。   A plurality of first fluid supply holes 27 are formed in the first fluid supply part 22 shown in FIG. 3A so as to be aligned in the Y-axis direction, and the second fluid supply part 23 shown in FIG. A plurality of second fluid supply holes 28 are formed in alignment in the Y-axis direction. By rotating the knob 29 to rotate the fluid supply pipe 21, the first fluid supply hole 27 and the second fluid supply hole 28 can be directed in a desired direction.

ここで、図3(b)に示す第二流体供給部23では、大きいサイズを有する被加工物の大きさに対応するために、図3(a)に示す第一流体供給孔27の数よりも第二流体供給孔28の数の方が多くなっている。一方、第一流体供給部22では、小さいサイズの被加工物に対応するために、第二流体供給孔28の数よりも第一流体供給孔27の数を少なくしており、小さいサイズの被加工物の外周側にまで流体を供給することがないように構成している。   Here, in the second fluid supply section 23 shown in FIG. 3B, in order to correspond to the size of the workpiece having a large size, the number of the first fluid supply holes 27 shown in FIG. However, the number of the second fluid supply holes 28 is larger. On the other hand, in the first fluid supply unit 22, the number of the first fluid supply holes 27 is smaller than the number of the second fluid supply holes 28 in order to cope with a small-sized workpiece, It is comprised so that a fluid may not be supplied to the outer peripheral side of a workpiece.

図4に示すように、流体供給パイプ21の内部には、流体が流れる空洞が形成されているとともに、その空洞を2つに仕切る仕切り部24が形成されており、この仕切り部24によって第一流体供給部22側の第一の流路25と、第二流体供給部23側の第二の流路26とに仕切られている。第一の流路25は、流体供給パイプ21の周面において開口する第一流体供給孔27に連通し、第二の流路26は、流体供給パイプ21の周面において開口する第二流体供給孔28に連通した構成となっている。   As shown in FIG. 4, a cavity through which a fluid flows is formed inside the fluid supply pipe 21, and a partition part 24 that partitions the cavity into two is formed. It is partitioned into a first flow path 25 on the fluid supply unit 22 side and a second flow path 26 on the second fluid supply unit 23 side. The first flow path 25 communicates with a first fluid supply hole 27 that is open on the peripheral surface of the fluid supply pipe 21, and the second flow path 26 is a second fluid supply that opens on the peripheral surface of the fluid supply pipe 21. The structure communicates with the hole 28.

第一流体供給孔27は、図3(a)に示すように、Y軸方向に整列して複数形成されており、第二流体供給孔28は、図3(b)に示すように、Y軸方向に整列して複数形成されている。ツマミ29を回して流体供給パイプ21を回転させることにより、第一流体供給孔27及び第二流体供給孔28を所望の方向に向けることができる。   As shown in FIG. 3A, a plurality of first fluid supply holes 27 are formed in alignment in the Y-axis direction, and the second fluid supply hole 28 is formed of Y as shown in FIG. A plurality are formed in alignment in the axial direction. By rotating the knob 29 to rotate the fluid supply pipe 21, the first fluid supply hole 27 and the second fluid supply hole 28 can be directed in a desired direction.

図4に示すように、乾燥エアー供給手段50を構成する流体供給パイプ51の周面においても、流体供給パイプ51の回転軸を基準として第一流体供給部52の裏側に第二流体供給部53が配設されている。また、仕切り部54によって内部の空洞が第一の流路55と第二の流路56とに仕切られており、第一の流路55は第一流体供給孔57に連通し、第二の流路56は第二流体供給孔58に連通している。第一流体供給孔57及び第二流体供給孔58がY軸方向にそれぞれ整列し、第二流体供給孔58の数が第一流体供給孔57の数より多い点も、洗浄水供給手段20と同様である。   As shown in FIG. 4, also on the peripheral surface of the fluid supply pipe 51 constituting the dry air supply means 50, the second fluid supply unit 53 is provided on the back side of the first fluid supply unit 52 with respect to the rotation axis of the fluid supply pipe 51. Is arranged. Further, the internal cavity is partitioned into a first flow channel 55 and a second flow channel 56 by the partition portion 54, and the first flow channel 55 communicates with the first fluid supply hole 57 and the second flow channel 57. The flow path 56 communicates with the second fluid supply hole 58. The first fluid supply hole 57 and the second fluid supply hole 58 are aligned in the Y-axis direction, and the number of the second fluid supply holes 58 is larger than the number of the first fluid supply holes 57. It is the same.

固定接続部30には、図5に示すように、供給孔31が形成されており、供給孔31は、図4に示した第一の流路25および第二の流路26よりも小さく形成されており、流体供給パイプ21の回転により、供給孔31が、図4に示した第一の流路25または第二の流路26に選択的に連通する構成となっている。   As shown in FIG. 5, a supply hole 31 is formed in the fixed connection portion 30, and the supply hole 31 is formed smaller than the first flow path 25 and the second flow path 26 shown in FIG. 4. Thus, the supply hole 31 selectively communicates with the first flow path 25 or the second flow path 26 shown in FIG. 4 by the rotation of the fluid supply pipe 21.

図2に示すように、固定接続部30の供給孔31には、バルブ32を介して洗浄水供給源33が接続されている。そして、バルブ32を開くとともに洗浄水供給源33が作動すると、供給孔31に連通した第一の流路25または第二の流路26のいずれかに洗浄水を供給し、第一洗浄水供給孔27または第二洗浄水供給孔28から洗浄水を噴出させることができる。   As shown in FIG. 2, a cleaning water supply source 33 is connected to the supply hole 31 of the fixed connection portion 30 via a valve 32. Then, when the valve 32 is opened and the cleaning water supply source 33 is activated, the cleaning water is supplied to either the first channel 25 or the second channel 26 communicating with the supply hole 31, and the first cleaning water supply The washing water can be ejected from the hole 27 or the second washing water supply hole 28.

なお、図示していないが、図1に示した乾燥エアー供給手段50についても、流体供給パイプ、固定接続部及び支持片については洗浄水供給手段20と同様の構成となっており、固定接続部にエアー供給源が連結される点のみ異なっている。   Although not shown, the dry air supply means 50 shown in FIG. 1 has the same configuration as the cleaning water supply means 20 with respect to the fluid supply pipe, the fixed connection portion, and the support piece, and the fixed connection portion. The only difference is that the air supply source is connected to.

以下では、切削装置1において被加工物を切削及び洗浄する動作について説明する。図1に示す第一被加工物W1の径は、第一のサイズ(例えば、φ300mm)を有している。第一被加工物W1は、交差する複数のストリートSによって区画された表面の各領域にデバイスDをそれぞれ有している。そして、第一被加工物W1の切削時には、図1に示すように、第一被加工物W1は保護テープTを介して環状のフレームFと一体となっており、この状態でカセット3に複数収容されている。   Below, the operation | movement which cuts and wash | cleans a workpiece in the cutting device 1 is demonstrated. The diameter of the first workpiece W1 shown in FIG. 1 has a first size (for example, φ300 mm). The first workpiece W1 has a device D in each region of the surface partitioned by a plurality of intersecting streets S. When the first workpiece W1 is cut, the first workpiece W1 is integrated with the annular frame F via the protective tape T as shown in FIG. Contained.

図1に示す搬入出手段4は、保護テープTを介してフレームFと一体となった第一被加工物W1をカセット3から引き出して仮置き領域5に仮置きする。次いで、搬送手段8が、仮置き領域5に仮置きされた第一被加工物W1を搬入出領域P1で待機する保持手段6に搬送する。保持手段6によって被加工物W1が保持された後、クランプ部7によって環状のフレームFがクランプされる。   The carry-in / out means 4 shown in FIG. 1 draws the first workpiece W1 integrated with the frame F through the protective tape T from the cassette 3 and temporarily places it in the temporary placement area 5. Next, the transport means 8 transports the first workpiece W1 temporarily placed in the temporary placement area 5 to the holding means 6 that stands by in the carry-in / out area P1. After the workpiece W <b> 1 is held by the holding means 6, the annular frame F is clamped by the clamp portion 7.

次に、切削送り手段11によって保持手段6を切削領域P2に向けて移動させる。保持手段6が切削領域P2に位置する切削手段12の下方に移動してきたら、回転する切削ブレード14によって第一被加工物W1をストリートSに沿って切削する。切削中は、切削ブレード14と第一被加工物W1との接触部位に対して切削水が供給される。   Next, the holding means 6 is moved toward the cutting area P2 by the cutting feed means 11. When the holding means 6 moves below the cutting means 12 located in the cutting region P2, the first workpiece W1 is cut along the street S by the rotating cutting blade 14. During the cutting, cutting water is supplied to the contact portion between the cutting blade 14 and the first workpiece W1.

第一被加工物W1が切削された後、第一被加工物W1に付着したコンタミを除去するため、切削送り手段11によって保持手段6を切削領域P2から搬入搬出領域P1に向けて移動させる。そして、保持手段6を洗浄水供給手段20の下方を通過させながら、流体供給パイプ21から第一被加工物W1にむけて洗浄水を供給して洗浄を行う。   After the first workpiece W1 is cut, the holding means 6 is moved from the cutting area P2 toward the loading / unloading area P1 by the cutting feed means 11 in order to remove the contamination adhered to the first workpiece W1. Then, cleaning is performed by supplying cleaning water from the fluid supply pipe 21 toward the first workpiece W1 while passing the holding unit 6 below the cleaning water supply unit 20.

具体的には、図2に示した洗浄水供給パイプ21の一端に形成されたツマミ部29を回転させ、洗浄水供給パイプ21を図6(a)に示す第一の向き40に向ける。ここで、第一の向き40とは、図5に示した供給孔31と第一の流路25とを連通させ、図6(a)に示すように、第一流体供給孔27を下方に位置させて第一被加工物W1に向くようにした向きであり、供給孔31を介して第一の流路25に導入された洗浄水9を第一流体供給孔27から第一被加工物W1にむけて噴出するとともに、第二流体供給孔28から第一被加工物W1にむけて洗浄水9が噴出することを規制する向きをいう。   Specifically, the knob portion 29 formed at one end of the cleaning water supply pipe 21 shown in FIG. 2 is rotated to direct the cleaning water supply pipe 21 in the first direction 40 shown in FIG. Here, the first direction 40 allows the supply hole 31 and the first flow path 25 shown in FIG. 5 to communicate with each other, and the first fluid supply hole 27 is directed downward as shown in FIG. The cleaning water 9 introduced into the first flow path 25 through the supply hole 31 is directed from the first fluid supply hole 27 to the first workpiece W1. It refers to a direction that regulates the ejection of cleaning water 9 from the second fluid supply hole 28 toward the first workpiece W1 while ejecting toward W1.

流体供給パイプ21が第一の向き40に向いた状態では、図6(b)に示すように、Y軸方向両端側にある第一流体供給孔27が第一被加工物W1の外周部WcのX軸方向の接線の延長線上に位置づけられる。すなわち、外周部WcのX軸方向の2本の接線の間よりも外側には第一流体供給孔27が存在しない状態となる。このように、流体供給パイプ21を回転させるだけで、両端の第一流体供給孔27の間の長さが第一被加工物W1の直径にほぼ一致するようにすることができ、洗浄水供給パイプ21は、第一流体供給孔27から第一被加工物W1の外周側に過剰に流体を供給することがなくなる。   In the state where the fluid supply pipe 21 is oriented in the first direction 40, as shown in FIG. 6B, the first fluid supply holes 27 on both ends in the Y-axis direction are the outer peripheral portions Wc of the first workpiece W1. It is positioned on the extension line of the tangent line in the X-axis direction. That is, the first fluid supply hole 27 does not exist outside the space between the two tangents in the X-axis direction of the outer peripheral portion Wc. In this way, the length between the first fluid supply holes 27 at both ends can be made to substantially match the diameter of the first workpiece W1 simply by rotating the fluid supply pipe 21, and the cleaning water supply The pipe 21 does not supply excessive fluid from the first fluid supply hole 27 to the outer peripheral side of the first workpiece W1.

このようにして流体供給パイプ21を第一の向きに向けた状態で、第一被加工物W1を保持した保持手段6をX軸方向に移動させて洗浄水供給手段20に接近させ、図7に示すように、保持手段6がX軸方向に移動して洗浄水供給パイプ21の下方を通過するときに、洗浄水供給手段20によって、第一の流路25に流れ込んできた洗浄水9を第一流体供給孔27から第一被加工物W1の上面にむけて供給することにより、デバイスDに付着したコンタミが除去される。   In this way, with the fluid supply pipe 21 oriented in the first direction, the holding means 6 holding the first workpiece W1 is moved in the X-axis direction to approach the cleaning water supply means 20, and FIG. As shown in FIG. 5, when the holding unit 6 moves in the X-axis direction and passes below the cleaning water supply pipe 21, the cleaning water 9 that has flowed into the first flow path 25 by the cleaning water supply unit 20 is removed. By supplying the first fluid supply hole 27 toward the upper surface of the first workpiece W1, contamination attached to the device D is removed.

保持手段6に保持された第一被加工物W1の洗浄を行いつつ、保持手段6がさらにX軸方向に移動すると、乾燥エアー供給手段50によって、洗浄水供給パイプ21と同様の構造となっている乾燥エアー供給パイプ51の第一流体供給孔57から第一被加工物W1の上面にむけて乾燥エアー59が供給される。これにより、デバイスDに残存した切削水や洗浄水が除去される。このようにして、切削後の第一被加工物W1に対する洗浄及び乾燥が終了する。   When the holding means 6 is further moved in the X-axis direction while cleaning the first workpiece W1 held by the holding means 6, the dry air supply means 50 has the same structure as the cleaning water supply pipe 21. Dry air 59 is supplied from the first fluid supply hole 57 of the dry air supply pipe 51 to the upper surface of the first workpiece W1. Thereby, the cutting water and cleaning water remaining in the device D are removed. In this way, the cleaning and drying of the first workpiece W1 after cutting is completed.

第一被加工物W1の径よりも大きい第二のサイズ(例えば、φ450mm)を有する第二被加工物W2を洗浄する場合は、図2に示した洗浄水供給パイプ21の一端に形成されたツマミ部29を回転させ、洗浄水供給パイプ21を図8(a)に示す第二の向き41に向ける。ここで、第二の向き41とは、図5に示した供給孔31と第二の流路26とを連通させ、図8(a)に示すように、第二流体供給孔28を下方に位置させて第二被加工物W2に向くようにした向きであり、供給孔31を介して第二の流路26に導入された洗浄水9を第二流体供給孔28から被加工物にむけて噴出するとともに、第一流体供給孔27から被加工物にむけて洗浄水9が噴出することを規制する向きをいう。   When the second workpiece W2 having a second size (for example, φ450 mm) larger than the diameter of the first workpiece W1 is cleaned, it is formed at one end of the cleaning water supply pipe 21 shown in FIG. The knob portion 29 is rotated so that the cleaning water supply pipe 21 is directed in the second direction 41 shown in FIG. Here, the second direction 41 allows the supply hole 31 and the second flow path 26 shown in FIG. 5 to communicate with each other, and the second fluid supply hole 28 is directed downward as shown in FIG. The cleaning water 9 introduced into the second flow path 26 through the supply hole 31 is directed from the second fluid supply hole 28 toward the work piece in a direction that is positioned so as to face the second work piece W2. And the direction in which the cleaning water 9 is restricted from being ejected from the first fluid supply hole 27 toward the workpiece.

洗浄水供給パイプ21が第二の向き41に向いた状態では、図8(b)に示すように、Y軸方向両端側にある第二流体供給孔28が第二被加工物W2の外周部WcのX軸方向の2本の接線の間よりも外側には第二流体供給孔28が存在しない。   In the state where the cleaning water supply pipe 21 is oriented in the second direction 41, as shown in FIG. 8 (b), the second fluid supply holes 28 on both ends in the Y-axis direction are the outer peripheral portions of the second workpiece W2. The second fluid supply hole 28 does not exist outside the space between the two tangents of Wc in the X-axis direction.

この状態において、図7に示した第一被加工物W1の洗浄動作と同様、洗浄水供給手段20によって、第二流体供給孔28から第二被加工物W2の上面にむけて洗浄水9が供給され、デバイスDに付着したコンタミが除去される。このように、流体供給パイプ21を回転させるだけで、両端の第二流体供給孔28の間の長さが第一被加工物W1の直径にほぼ一致するようにすることができるため、大きい被加工物にも対応して十分な洗浄を行うことが可能となる。   In this state, as in the cleaning operation of the first workpiece W1 shown in FIG. 7, the cleaning water 9 is supplied from the second fluid supply hole 28 to the upper surface of the second workpiece W2 by the cleaning water supply means 20. The supplied contaminants attached to the device D are removed. In this way, the length between the second fluid supply holes 28 at both ends can be made to substantially match the diameter of the first workpiece W1 simply by rotating the fluid supply pipe 21, so that a large workpiece It is possible to perform sufficient cleaning corresponding to the workpiece.

次いで、被加工物を保持する保持手段6aに保持された第二被加工物W1の洗浄を行いつつ、保持手段6aがさらにX軸方向に移動し、図7に示した第一被加工物W1の乾燥動作と同様に乾燥エアー供給手段50によって第二被加工物W2を乾燥させる。すなわち、乾燥エアー供給パイプ51を回転させ、第二流体供給孔58を下方に向けた後、乾燥エアー供給手段50によって、第二流体供給孔58から第二被加工物W2の上面にむけて乾燥エアーが供給され、デバイスDに残存した切削水や洗浄水が除去される。このようにして、切削後の第二被加工物W2に対する洗浄及び乾燥が終了する。   Next, while cleaning the second workpiece W1 held by the holding means 6a that holds the workpiece, the holding means 6a further moves in the X-axis direction, and the first workpiece W1 shown in FIG. Similarly to the drying operation, the second workpiece W2 is dried by the dry air supply means 50. That is, after the dry air supply pipe 51 is rotated and the second fluid supply hole 58 is directed downward, the dry air supply means 50 dries from the second fluid supply hole 58 toward the upper surface of the second workpiece W2. Air is supplied, and the cutting water and cleaning water remaining in the device D are removed. In this way, the cleaning and drying of the second workpiece W2 after cutting is completed.

以上のように、洗浄水供給手段20によって第一被加工物W1を洗浄する際には、洗浄水供給パイプ21を第一の向き40に向けることにより、第一流体供給部22を構成する複数の第一流体供給孔27から洗浄水9を噴出するとともに第二流体供給部23を構成する第二流体供給孔28から洗浄水9が噴出することを規制することができる。また、第二被加工物W2を洗浄する際には、洗浄水供給パイプ21を第二の向き41に向けることにより、複数の第二流体供給孔28から洗浄水9を噴出するとともに第一流体供給孔27から洗浄水9が噴出することを規制することができる。
したがって、被加工物のサイズに合わせて洗浄水の噴出幅を変更することが可能となるため、小さいサイズの被加工物の外周側にまで過剰に洗浄水9を供給するおそれがなくなり、洗浄水の供給量を低減することが可能となるとともに、大きいサイズの被加工物に対しては必要な範囲で十分な洗浄水を噴出することができる。
As described above, when the first workpiece W <b> 1 is cleaned by the cleaning water supply means 20, the cleaning fluid supply pipe 21 is directed in the first direction 40 to configure the first fluid supply unit 22. It is possible to restrict the washing water 9 from being ejected from the first fluid supply hole 27 and from the second fluid supply hole 28 constituting the second fluid supply part 23. Further, when the second workpiece W2 is cleaned, the cleaning water 9 is jetted from the plurality of second fluid supply holes 28 by directing the cleaning water supply pipe 21 in the second direction 41 and the first fluid. It is possible to restrict the washing water 9 from being ejected from the supply hole 27.
Accordingly, since it is possible to change the ejection width of the cleaning water in accordance with the size of the workpiece, there is no possibility of supplying the cleaning water 9 excessively to the outer peripheral side of the small-size workpiece. As a result, it is possible to reduce the supply amount of water and to eject sufficient cleaning water within a necessary range for a large-sized workpiece.

異なるサイズの被加工物を洗浄する手段は、上記洗浄水供給手段20の構成に限定されるものではない。異なるサイズの被加工物を洗浄する手段の第二例として、図9に示す洗浄水供給手段60がある。洗浄水供給手段60は、中心軸を中心として回転可能な筒状の洗浄水供給パイプ61を有しており、洗浄水供給パイプ61には、複数の第一流体供給孔62と、洗浄水供給パイプ61の回転中心を基準として対称な位置にある複数の第二流体供給孔63と、第一流体供給孔62と第二流体供給孔63とに連通する流路64とが形成されている。上記洗浄水供給手段20の洗浄水供給パイプ21と同様に、第二流体供給孔63の数は、第一流体供給孔62の数とは異なっている。   The means for cleaning workpieces of different sizes is not limited to the structure of the cleaning water supply means 20 described above. As a second example of the means for cleaning workpieces of different sizes, there is a cleaning water supply means 60 shown in FIG. The cleaning water supply means 60 includes a cylindrical cleaning water supply pipe 61 that can rotate around a central axis. The cleaning water supply pipe 61 includes a plurality of first fluid supply holes 62 and a cleaning water supply. A plurality of second fluid supply holes 63 that are symmetrical with respect to the rotation center of the pipe 61 and a flow path 64 that communicates with the first fluid supply hole 62 and the second fluid supply hole 63 are formed. Similar to the cleaning water supply pipe 21 of the cleaning water supply means 20, the number of the second fluid supply holes 63 is different from the number of the first fluid supply holes 62.

図9及び図10に示すように、洗浄水供給パイプ61の外周側には、第一流体供給孔62または第二流体供給孔63を選択的に閉口して流体の噴出を規制する規制カバー65を備えている。図10に示すように、洗浄水供給パイプ61の一端には、ツマミ部66が形成されており、ツマミ部66を回すと規制カバー65が回転し、第一流体供給孔62または第二流体供給孔63を選択的に閉口することができる。したがって、洗浄水供給手段60においても、被加工物のサイズに合わせて洗浄水の供給量を変更することができ、洗浄水の供給量を低減することが可能となる。   As shown in FIGS. 9 and 10, on the outer peripheral side of the cleaning water supply pipe 61, a restriction cover 65 that selectively closes the first fluid supply hole 62 or the second fluid supply hole 63 to restrict the ejection of fluid. It has. As shown in FIG. 10, a knob portion 66 is formed at one end of the cleaning water supply pipe 61, and when the knob portion 66 is turned, the regulation cover 65 rotates and the first fluid supply hole 62 or the second fluid supply is supplied. The hole 63 can be selectively closed. Therefore, the cleaning water supply means 60 can also change the supply amount of the cleaning water in accordance with the size of the workpiece, and the supply amount of the cleaning water can be reduced.

なお、図1−図10に示した例では、流体供給パイプを2種類の被加工物の大きさに対応させた構成としたが、流体供給部を3種類以上設けることにより、大きさが3種類以上の被加工物にも対応することができる。例えば図4に示した構成を変更して流体供給パイプの内部を3つ以上に仕切り、3つに仕切られた空間のうちの1つのみが図5に示した流体供給路31に連通するようにする。また、図9に示した構成を変更し、規制カバー65が、3種類以上の流体供給部のうちの2つを閉口するようにする。   In the example shown in FIGS. 1 to 10, the fluid supply pipe is configured to correspond to the size of two types of workpieces. However, the size of the fluid supply pipe is 3 by providing three or more types of fluid supply units. More than one type of workpiece can be handled. For example, the configuration shown in FIG. 4 is changed so that the interior of the fluid supply pipe is divided into three or more, and only one of the three partitioned spaces communicates with the fluid supply path 31 shown in FIG. To. Further, the configuration shown in FIG. 9 is changed so that the restriction cover 65 closes two of the three or more types of fluid supply units.

1:切削装置
2:装置ベース 2a:上面 3:カセット 4:搬入出手段 5:仮置き領域
6,6a:保持手段 7:クランプ部 8:搬送手段 9:洗浄水
10:移動板 11:切削送り手段 12:切削手段 13:スピンドル
14:切削ブレード
20:洗浄水供給手段(流体供給手段)
21:洗浄水供給パイプ 22:第一流体供給部
23:第二流体供給部 24:仕切り部 25:第一の流路 26:第二の流路
27:第一流体供給孔 28:第二流体供給孔 29:ツマミ部
30:固定接続部 31:流体供給路 32:バルブ 33:洗浄水供給源
34:支持片 35:貫通孔
40:第一の向き 41:第二の向き
50:乾燥エアー供給手段(流体供給手段)
51:乾燥エアー供給パイプ 52:第一流体供給部 53:第二流体供給部
54:仕切り部 55:第一の流路 56:第二の流路
57:第一流体供給孔 58:第二流体供給孔 59:乾燥エアー
60:洗浄水供給手段 61:流体供給パイプ 62:第一流体供給孔
63:第二流体供給孔 64:流路 65:規制カバー 66:ツマミ部
W1:第一被加工物 W2:第二被加工物 Wc:外周部 D:デバイス
P1:搬入出領域
P2:切削領域
1: Cutting device 2: Device base 2a: Upper surface 3: Cassette 4: Loading / unloading means 5: Temporary placement area 6, 6a: Holding means 7: Clamping unit 8: Conveying means 9: Washing water 10: Moving plate 11: Cutting feed Means 12: Cutting means 13: Spindle 14: Cutting blade 20: Washing water supply means (fluid supply means)
21: Washing water supply pipe 22: First fluid supply unit 23: Second fluid supply unit 24: Partition unit 25: First channel 26: Second channel 27: First fluid supply hole 28: Second fluid Supply hole 29: Knob part 30: Fixed connection part 31: Fluid supply path 32: Valve 33: Washing water supply source 34: Support piece 35: Through hole 40: First direction 41: Second direction 50: Dry air supply Means (fluid supply means)
51: Dry air supply pipe 52: First fluid supply part 53: Second fluid supply part 54: Partition part 55: First flow path 56: Second flow path 57: First fluid supply hole 58: Second fluid Supply hole 59: Dry air 60: Washing water supply means 61: Fluid supply pipe 62: First fluid supply hole 63: Second fluid supply hole 64: Flow path 65: Restriction cover 66: Knob part W1: First workpiece W2: Second workpiece Wc: Outer peripheral part D: Device P1: Loading / unloading area P2: Cutting area

Claims (2)

被加工物を保持する保持手段と該保持手段に保持された被加工物を切削する切削手段と
を備えた切削装置であって、
該保持手段を切削送り方向に移動させる切削送り手段と、
該切削送り方向における該保持手段の移動経路に交差して配設され、該保持手段に保持された被加工物に流体を供給する流体供給手段と、を備え、
該流体供給手段は、第一のサイズを有する第一被加工物に対応する第一流体供給部と、
該第一流体供給部と切り替え可能に配設され、第二のサイズを有する第二被加工物に対応する第二流体供給部と、を有する切削装置。
A cutting device comprising holding means for holding a workpiece and cutting means for cutting the workpiece held by the holding means,
Cutting feed means for moving the holding means in the cutting feed direction;
Fluid supply means that is disposed across the movement path of the holding means in the cutting feed direction and supplies fluid to the workpiece held by the holding means,
The fluid supply means includes a first fluid supply unit corresponding to a first workpiece having a first size;
A cutting apparatus comprising: a second fluid supply unit that is switchably disposed with the first fluid supply unit and corresponds to a second workpiece having a second size.
前記流体供給手段は、流体供給源に接続され前記移動経路に交差した交差方向に伸長し、該交差方向を軸に回転可能に配設された流体供給パイプを有し、
前記第一流体供給部は、該流体供給パイプに形成され該交差方向に整列した複数の第一流体供給孔を含み、
前記第二流体供給部は、該流体供給パイプに形成され該交差方向に整列した複数の第二流体供給孔を含み、
該流体供給パイプは、該第一流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに該第二流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第一の向きと該第二流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに該第一流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第二の向きとに選択的に向くように構成される、請求項1に記載の切削装置。
The fluid supply means has a fluid supply pipe connected to a fluid supply source and extending in a crossing direction intersecting the moving path, and arranged to be rotatable around the crossing direction.
The first fluid supply part includes a plurality of first fluid supply holes formed in the fluid supply pipe and aligned in the intersecting direction,
The second fluid supply part includes a plurality of second fluid supply holes formed in the fluid supply pipe and aligned in the intersecting direction,
The fluid supply pipe ejects fluid from the first fluid supply hole to the workpiece and regulates the fluid ejection from the second fluid supply hole to the workpiece and the second fluid supply. 2. The device according to claim 1, wherein the fluid is ejected from the hole to the workpiece and is selectively directed to a second direction that regulates fluid ejection from the first fluid supply hole to the workpiece. Cutting equipment.
JP2012277630A 2012-12-20 2012-12-20 Cutting equipment Active JP6068971B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012277630A JP6068971B2 (en) 2012-12-20 2012-12-20 Cutting equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012277630A JP6068971B2 (en) 2012-12-20 2012-12-20 Cutting equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014121738A true JP2014121738A (en) 2014-07-03
JP6068971B2 JP6068971B2 (en) 2017-01-25

Family

ID=51402693

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012277630A Active JP6068971B2 (en) 2012-12-20 2012-12-20 Cutting equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6068971B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102023204782A1 (en) 2022-05-30 2023-11-30 Disco Corporation CUTTING DEVICE
DE102023208013A1 (en) 2022-08-29 2024-02-29 Disco Corporation CUTTING DEVICE

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06154661A (en) * 1992-11-25 1994-06-03 Kawasaki Steel Corp Spray nozzle header
JP2003234308A (en) * 2002-02-08 2003-08-22 Disco Abrasive Syst Ltd Cutting device
JP2008307460A (en) * 2007-06-13 2008-12-25 Uhk:Kk Coating device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06154661A (en) * 1992-11-25 1994-06-03 Kawasaki Steel Corp Spray nozzle header
JP2003234308A (en) * 2002-02-08 2003-08-22 Disco Abrasive Syst Ltd Cutting device
JP2008307460A (en) * 2007-06-13 2008-12-25 Uhk:Kk Coating device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102023204782A1 (en) 2022-05-30 2023-11-30 Disco Corporation CUTTING DEVICE
KR20230166896A (en) 2022-05-30 2023-12-07 가부시기가이샤 디스코 Cutting apparatus
DE102023208013A1 (en) 2022-08-29 2024-02-29 Disco Corporation CUTTING DEVICE
KR20240031038A (en) 2022-08-29 2024-03-07 가부시기가이샤 디스코 Cutting apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP6068971B2 (en) 2017-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6255238B2 (en) Cutting equipment
JP6844970B2 (en) Polishing equipment
JP6129022B2 (en) Grinding machine processing chamber cleaning method
JP4847262B2 (en) Processing equipment
TWI669201B (en) Cutting device
JP6068971B2 (en) Cutting equipment
JP6829633B2 (en) Machine Tools
JP4763398B2 (en) Cutting equipment
JP7068098B2 (en) Grinding device
JP6267977B2 (en) Cutting method
JP6305750B2 (en) Processing machine with static eliminator
KR20140058348A (en) Cutting apparatus
JP6206205B2 (en) Cutting equipment
JP5643019B2 (en) Chuck table
JP5907716B2 (en) Tool for cutting tools
JP7123729B2 (en) loader
JP2016149447A (en) Cleaning gun
JP5784459B2 (en) Processing equipment
JPS58217244A (en) Chip disposer
JP7096733B2 (en) Cutting equipment
JP6964157B2 (en) Machine tool system
JP7300952B2 (en) Conveyor and cutting equipment
JP7333741B2 (en) processing equipment
JP2017154188A (en) Machining device
JP4516811B2 (en) Disc processing equipment

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20150428

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20151020

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160815

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160825

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20161021

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161206

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161226

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6068971

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250