JP2014120648A - サファイアウェーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のサファイアウェーハの加工方法は、サファイアウェーハ(W)の中心をチャックテーブル(2)の回転軸(82)に一致させるように保持する工程と、サファイアウェーハ(W)の外周縁に切削ブレード(31)を位置付ける工程と、切削ブレード(31)によりサファイアウェーハ(W)の外周縁に沿ってサファイアウェーハ(W)を断続的に切り込むことで、複数の切削痕(63)を連続して形成する工程とを有している。
【選択図】図3
Description
ブレード種別:外径52mm、刃厚1mmのレジンブレード
スピンドル回転数:4000rpm
Z送り速度:0.1mm/s
切り込み深さ:150μm
チャックテーブル送り角度:5度
サファイアウェーハの厚み:300μm
加工済みのサファイアウェーハWは、表面61に保護テープ78(図4A参照)が貼着され、環状フレーム69(図1参照)から剥がされた状態でレーザー加工装置(不図示)に搬入される。
2 チャックテーブル
3 切削手段
31 切削ブレード
61 サファイアウェーハの表面
62 サファイアウェーハの裏面
63 切削痕
64 底面
76 研削手段
81 サファイアウェーハの中心
82 チャックテーブルの回転軸
W サファイアウェーハ
Claims (2)
- サファイアウェーハの外周縁を切削ブレードにより除去するサファイアウェーハの加工方法であって、
サファイアウェーハを保持する保持面と、該保持面に直交し該保持面の中心を通る回転軸とを有するチャックテーブルで、サファイアウェーハの中心を該回転軸に一致させてサファイアウェーハの裏面を保持する保持工程と、
該保持工程を実施した後に、該切削ブレードを該回転軸に直交する直線上のサファイアウェーハの外周縁に位置付ける位置付け工程と、
該位置付け工程を実施した後に、該切削ブレードによりサファイアウェーハの外周縁に沿ってサファイアウェーハを断続的に所定の深さ切り込むことで複数の切削痕を所定の角度間隔で形成する切削痕形成工程と、から構成され、
該所定の角度は隣接する該切削痕の両端同士が重なり合う角度であること、を特徴とするサファイアウェーハの加工方法。 - 該切削痕形成工程を実施した後に、複数の切削痕が形成された表面側を保持テーブルに保持し、該複数の切削痕が形成された表面と反対の裏面側から研削手段で仕上げ厚みまで研削を行う研削工程を含み、
該切削痕形成工程においては、少なくとも該仕上げ厚みに相当する深さにおいて該隣接する切削痕の両端同士が重なり合うように該所定の深さ及び該所定の角度を設定することを特徴とする、請求項1記載のサファイアウェーハの加工方法。
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