JP2014107457A - 太陽電池モジュールおよびその製造方法 - Google Patents

太陽電池モジュールおよびその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2014107457A
JP2014107457A JP2012260355A JP2012260355A JP2014107457A JP 2014107457 A JP2014107457 A JP 2014107457A JP 2012260355 A JP2012260355 A JP 2012260355A JP 2012260355 A JP2012260355 A JP 2012260355A JP 2014107457 A JP2014107457 A JP 2014107457A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bus wiring
wiring
nozzle
bus
solar cell
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2012260355A
Other languages
English (en)
Inventor
Masashi Nishikame
正志 西亀
Tomoya Misawa
智也 三澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi High Technologies Corp
Hitachi High Tech Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi High Technologies Corp, Hitachi High Tech Corp filed Critical Hitachi High Technologies Corp
Priority to JP2012260355A priority Critical patent/JP2014107457A/ja
Priority to PCT/JP2013/079738 priority patent/WO2014084001A1/ja
Priority to TW102140552A priority patent/TW201431107A/zh
Publication of JP2014107457A publication Critical patent/JP2014107457A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02—Details
    • H01L31/0224—Electrodes
    • H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

【課題】太陽電池素子と非接触の状態で配線を形成することが可能なノズルを用いた太陽電池のバス配線形成において、バス配線材料の使用量低減を可能にする技術を提供する。
【解決手段】複数の吐出口からバス配線材料を吐出し、薄膜のバス配線１２を形成するとともに、バス配線１２始終端のバス配線材料使用量を低減するバス配線１２断面形状とバス配線１２パターンを形成する。
【選択図】図５

Description

本発明は、太陽電池モジュールおよびその製造方法に関する。特に、太陽電池素子表面のバス配線形成に関する。
本技術分野の背景技術として、特開２００５−３５３８５１号公報（特許文献１）がある。この公報には、太陽電池素子表面の配線パターン形成方法として、スクリーン印刷法が記載されている。また、特開２０１１−１９８９８２号公報（特許文献２）がある。この公報には、太陽電池素子表面のバス配線パターン形成方法として、１箇所の吐出口を有するノズルからパターン形成材料を吐出させる方法が記載されている。
特開２００５−３５３８５１号公報 特開２０１１−１９８９８２号公報
前記特許文献１に記載されているようなスクリーン印刷法を用いて配線を形成する場合、印刷中にスキージの印圧によって太陽電池素子が割れる場合があり、歩留まり低下の要因となっている。また、スクリーン印刷版は定期的に洗浄・交換する必要があり、コスト上昇の要因となっている。
一方、前記特許文献２に記載されているようにノズルを用いて配線を形成する場合、ノズルと太陽電池素子は非接触の状態で配線を形成するので、上記スクリーン印刷法における、素子の割れは無い。また、スクリーン印刷版の洗浄・交換のような消耗品に起因するコストも抑えられる。しかしながら、前記特許文献２に記載されている方法でバス配線を形成した場合、バス配線パターンの配線幅は一箇所の吐出口を有するノズルから吐出するため、バス配線の膜厚を薄くすることが困難であるとともに図１に示すようにバス配線形成開始から終了までの間一定幅となる。
一方、スクリーン印刷法を用いて配線を形成する場合、バス配線に使用する材料の使用を低減するために図２に示すパターン形状が存在する。
そこで、本発明は、ノズルを用いながらバス配線に使用する材料の使用を低減するバス配線形状と配線形成方法を提供する。
上記課題を解決するために、複数の吐出口を有するノズルを用いてバス配線を形成することを特徴とする。
本発明によれば、ノズルを用いたバス配線の形成においてバス配線に使用する材料の使用を低減するバス配線形状と配線形成方法を提供することができる。
従来技術における１箇所の吐出口を有するノズルにより形成されたバス配線パターンの一例を示す図である。 スクリーン印刷法により形成されたバス配線パターンの一例を示す図である。 実施例１におけるバス配線形成装置の構成図の例である。 実施例１におけるノズルの吐出口配置とバス配線断面形状を示す図である。 実施例１における方法により形成されたバス配線パターンを示す図である。 実施例１におけるノズルの吐出口配置の変形例とバス配線断面形状を示す図である。 実施例１におけるノズルの吐出口配置のさらなる変形例とバス配線断面形状を示す図である。 実施例２におけるノズルの吐出口配置とバス配線断面形状を示す図である。 実施例２における方法により形成されたバス配線パターンを示す図である。 実施例３におけるノズルの吐出口配置とバス配線断面形状を示す図である。 実施例３における方法により形成されたバス配線パターンを示す図である。 実施例４におけるノズルの吐出口配置とバス配線断面形状を示す図である。
以下、実施例について図面を用いて説明する。
［実施例１］
本実施例では、複数の吐出口を有するノズルを用いて太陽電池素子基板にバス配線を形成する方法を説明する。
図３は、本実施例のバス配線形成装置の構成図の例である。
図３のバス配線形成装置はレギュレータ５、バス配線材料タンク６、配管８、バルブ９、ノズル１０、バス配線材料溜空間１１、吐出口１３を備えている。
バス配線材料７は、バス配線材料タンク６に蓄えられ、配管８を通じてノズル１０に供給される。バス配線材料タンク６にはレギュレータ５を介して高圧ガスが接続され、レギュレータ５によってバス配線材料タンク６内の圧力を制御し、ノズル１０へのバス配線材料供給速度を制御する。バルブ９が配管８の途中に設置され、ノズル１０へのバス配線材料の供給のＯＮ／ＯＦＦ制御を行う。
なお、本実施例では、電極材料供給手段として高圧ガスによる圧送とバルブ駆動による吐出制御について記載したが、これに限らず、シリンダポンプ、モーノポンプ、ピストンポンプ、プランジャーポンプ、ダイヤフラムポンプ、レシプロポンプ、等、各種液送ポンプを使用することができる。
本実施例におけるノズル１０の吐出口１３の配置図と太陽電池素子基板１上に形成したバス配線１２の断面形状を図４に示す。バス配線材料７にはスクリーン印刷法で使用されている銀ペースト材料を使用した。また、実施例では吐出口を直径５０μｍで４０箇所の吐出口を有するノズルにより２０００μｍ幅のバス配線１２を形成したが、図４では、簡易的に５箇所の吐出口を有するノズルで本実施例を説明する。また、本実施例では、フィンガー配線２を形成した後にバス配線１２を形成したが、バス配線１２形成後にフィンガー配線２を形成しても良い。図４(a)はバス配線１２形成時に太陽電池素子基板１側に配置される吐出口１３について、ノズルの進行方向に対する配置を示したものである。吐出口１３の配置は、隣接する他の吐出口１３に対する加工時の変形を防止するためそれぞれの吐出口１３が接することなく、且つ加工時の影響を及ぼさない様に吐出口１３の中心から隣接する吐出口１３の中心までの距離を１５０μｍ離れた位置に配置した。本実施例では、隣接する吐出口１３の中心どうしの距離を１５０μｍとしたが、この距離を限定するものではない。
一方、図４(b)に示すように複数の吐出口１３により形成されたバス配線同士が隣接したバス配線断面形状を得るために吐出口１３aと１３bの接線１４a、吐出口１３bと１３cの接線１４b、吐出口１３cと１３dの接線１４c、吐出口１３dと１３eの接線１４dはノズルの進行方向に対して平行に配置した。
図５は、本実施例で形成したバス配線のパターンである。図４の吐出口１３aから吐出されたバス配線が図５のバス配線１２aに対応し、同じく図４の吐出口１３bから吐出されたバス配線が図５のバス配線１２b、図４の吐出口１３cから吐出されたバス配線が図５のバス配線１２c、図４の吐出口１３dから吐出されたバス配線が図５のバス配線１２d、図４の吐出口１３eから吐出されたバス配線が図５のバス配線１２eに対応する。図４に示した複数の吐出口に共通した接線１５は、図５におけるバス配線１２の始終端のパターン形状に対応する。
図６及び図７は、本実施例の変形例を示したものである。
図６(a)において、吐出口１３aのノズルの進行方向に平行な接線１４aが吐出口１３bの外周が２点の交点を持って重なるように配置した。同様に、吐出口１３bのノズル１０の進行方向に平行な接線１４bが吐出口１３cの外周が２点の交点を持って重なるように配置した。以下、他の吐出口１３も同様に配置した。図６(b)この吐出口１３の配置によって得られるバス配線１２の断面形状を示したものである。バス配線１２aとバス配線１２bは重なり合って形成され、同様にバス配線１２bとバス配線１２cは重なり合って形成される。以下、同様にバス配線１２は隣接する他のバス配線１２と重なり合って形成される。
図７(a) において、吐出口１３aのノズルの進行方向に平行な接線１４aが吐出口１３bの外周と交点を持たないように配置した。同様に、吐出口１３bのノズル１０の進行方向に平行な接線１４bが吐出口１３cの外周と交点を持たないように配置した。以下、他の吐出口１３も同様に配置した。図７(b)はこの吐出口１３の配置によって得られるバス配線１２の断面形状を示したものである。バス配線１２aとバス配線１２bは重なり合うことなく形成され、同様にバス配線１２bとバス配線１２cは重なり合うことなく形成される。以下、同様にバス配線１２は隣接する他のバス配線１２と重なり合うことなく形成される。
本実施例によれば、ノズルを用いたバス配線の形成においてバス配線に使用する材料の使用を低減するバス配線形状と配線形成方法を提供することができる。
［実施例２］
本実施例では、複数の吐出口１３を有するノズル１０を用いて太陽電池素子基板１に上述の第１実施例とは異なるバス配線パターンを有するバス配線１２を形成する方法を説明する。
図３は、本実施例のバス配線形成装置の構成図の例である。図３のバス配線形成装置は、レギュレータ５、バス配線材料タンク６、配管８、バルブ９、ノズル１０、バス配線材料溜空間１１、吐出口１３を備えている。
バス配線材料７は、バス配線材料タンク６に蓄えられ、配管８を通じてノズル１０に供給される。バス配線材料タンク６にはレギュレータ５を介して高圧ガスが接続され、レギュレータ５によってバス配線材料タンク６内の圧力を制御し、ノズル１０へのバス配線材料供給速度を制御する。バルブ９が配管８の途中に設置され、ノズル１０へのバス配線材料の供給のＯＮ／ＯＦＦ制御を行う。
なお、本実施例では、電極材料供給手段として高圧ガスによる圧送とバルブ駆動による吐出制御について記載したが、これに限らず、シリンダポンプ、モーノポンプ、ピストンポンプ、プランジャーポンプ、ダイヤフラムポンプ、レシプロポンプ、等、各種液送ポンプを使用することができる。
本実施例におけるノズル１０の吐出口１３の配置図と太陽電池素子基板１上形成したバス配線１２の断面形状を図８に示す。バス配線材料７にはスクリーン印刷法で使用されている銀ペースト材料を使用した。また、実施例では吐出口を直径５０μｍで４０箇所の吐出口を有するノズルにより２０００μｍ幅のバス配線１２を形成したが、図８では、簡易的に５箇所の吐出口を有するノズルで本実施例を説明する。また、本実施例では、フィンガー配線２を形成した後にバス配線１２を形成したが、バス配線１２形成後にフィンガー配線２を形成しても良い。図８(a)はバス配線１２形成時に太陽電池素子基板１側に配置される吐出口１３について、ノズルの進行方向に対する配置を示したものである。吐出口１３の配置は、隣接する他の吐出口１３に対する加工時の変形を防止するためそれぞれの吐出口１３が接することなく、且つ加工時の影響を及ばさない様に吐出口１３の中心から隣接する吐出口１３の中心までの距離を１５０μｍ離れた位置に配置した。本実施例では、隣接する吐出口１３の中心どうしの距離を１５０μｍとしたが、この距離を限定するものではない。
一方、図８(b)に示すように複数の吐出口１３により形成されたバス配線同士が隣接したバス配線断面形状を得るために吐出口１３aと１３bの接線１４a、吐出口１３bと１３cの接線１４b、吐出口１３cと１３dの接線１４c、吐出口１３dと１３eの接線１４dはノズルの進行方向に対して平行に配置した。
図９は、本実施例で形成したバス配線のパターンである。図８の吐出口１３aから吐出されたバス配線が図９のバス配線１２aに対応し、同じく図８の吐出口１３bから吐出されたバス配線が図９のバス配線１２b、図８の吐出口１３cから吐出されたバス配線が図９のバス配線１２c、図８の吐出口１３dから吐出されたバス配線が図９のバス配線１２d、図８の吐出口１３eから吐出されたバス配線が図９のバス配線１２eに対応する。図９におけるバス配線１２の始終端のパターン形状は、図８の吐出口１３の配置に対応する。
本実施例によれば、ノズルを用いたバス配線を形成においてバス配線に使用する材料の使用を低減するバス配線形状と配線形成方法を提供することができる。
［実施例３］
本実施例では、複数の吐出口１３を有するノズル１０を用いて太陽電池素子基板１に上述の第１実施例とは異なるバス配線パターンを有するバス配線１２を形成する方法を説明する。
図３は、本実施例のバス配線形成装置の構成図の例である。図３のバス配線形成装置は、レギュレータ５、バス配線材料タンク６、配管８、バルブ９、ノズル１０、バス配線材料溜空間１１、吐出口１３を備えている。
バス配線材料７は、バス配線材料タンク６に蓄えられ、配管８を通じてノズル１０に供給される。バス配線材料タンク６にはレギュレータ５を介して高圧ガスが接続され、レギュレータ５によってバス配線材料タンク６内の圧力を制御し、ノズル１０へのバス配線材料供給速度を制御する。バルブ９が配管８の途中に設置され、ノズル１０へのバス配線材料の供給のＯＮ／ＯＦＦ制御を行う。
なお、本実施例では、電極材料供給手段として高圧ガスによる圧送とバルブ駆動による吐出制御について記載したが、これに限らず、シリンダポンプ、モーノポンプ、ピストンポンプ、プランジャーポンプ、ダイヤフラムポンプ、レシプロポンプ、等、各種液送ポンプを使用することができる。
本実施例におけるノズル１０の吐出口１３の配置図と太陽電池素子基板１上に形成したバス配線１２の断面形状を図１０に示す。バス配線材料７にはスクリーン印刷法で使用されている銀ペースト材料を使用した。また、実施例では吐出口を直径５０μｍで４０箇所の吐出口を有するノズルにより２０００μｍ幅のバス配線１２を形成したが、図１０では、簡易的に５箇所の吐出口を有するノズルで本実施例を説明する。また、本実施例では、フィンガー配線２を形成した後にバス配線１２を形成したが、バス配線１２形成後にフィンガー配線２を形成しても良い。図１０(a)はバス配線１２形成時に太陽電池素子基板１側に配置される吐出口１３について、ノズルの進行方向に対する配置を示したものである。吐出口１３の配置は、隣接する他の吐出口１３に対する加工時の変形を防止するためそれぞれの吐出口１３が接することなく、且つ加工時の影響を及ばさない様に吐出口１３の中心から隣接する吐出口１３の中心までの距離を１５０μｍ離れた位置に配置した。本実施例では、隣接する吐出口１３の中心どうしの距離を１５０μｍとしたが、この距離を限定するものではない。
一方、図１０(b)に示すように複数の吐出口１３により形成されたバス配線同士が隣接したバス配線断面形状を得るために吐出口１３aと１３bの接線１４a、吐出口１３bと１３cの接線１４b、吐出口１３cと１３dの接線１４c、吐出口１３dと１３eの接線１４dはノズルの進行方向に対して平行に配置した。
図１１は、本実施例で形成したバス配線のパターンである。図１０の吐出口１３aから吐出されたバス配線が図１１のバス配線１２aに対応し、同じく図１０の吐出口１３bから吐出されたバス配線が図１１のバス配線１２b、図１０の吐出口１３cから吐出されたバス配線が図１１のバス配線１２c、図１０の吐出口１３dから吐出されたバス配線が図１１のバス配線１２d、図１０の吐出口１３eから吐出されたバス配線が図１１のバス配線１２eに対応する。図１１におけるバス配線１２の始終端のパターン形状は、図１０の吐出口１３の配置に対応する。
本実施例によれば、ノズルを用いたバス配線の形成においてバス配線に使用する材料の使用を低減するバス配線形状と配線形成方法を提供することができる。
［実施例４］
本実施例では、複数の吐出口１３を有するノズル１０を用いて太陽電池素子基板１に上述のバリエーションの一例として、バス配線パターンを有するバス配線１２を形成する方法を、図１２を用いて説明する。
本実施例におけるノズル１０の吐出口１３の配置図と太陽電池素子基板１上形成したバス配線１２の断面形状を図１２に示す。バス配線材料７にはスクリーン印刷法で使用されている銀ペースト材料を使用した。また、実施例では吐出口を直径５０μｍで４０箇所の吐出口を有するノズルにより２０００μｍ幅のバス配線１２を形成したが、図１２では、簡易的に２４箇所の吐出口を有するノズルで本実施例を説明する。また、本実施例では、フィンガー配線２を形成した後にバス配線１２を形成したが、バス配線１２形成後にフィンガー配線２を形成しても良い。
図１２(a)はバス配線１２形成時に太陽電池素子基板１側に配置される吐出口１３について、ノズルの進行方向に対する配置を示したものである。吐出口１３の配置は、隣接する他の吐出口１３に対する加工時の変形を防止するためそれぞれの吐出口１３が接することなく、且つ加工時の影響を及ばさない様に吐出口１３の中心から隣接する吐出口１３の中心までの距離を２００μｍ以上離れた位置に配置した。本実施例では、隣接する吐出口１３の中心どうしの距離を２００μｍ以上としたが、この距離を限定するものではない。
一方、図１２(b)に示すように複数の吐出口１３により形成されたバス配線同士が隣接したバス配線断面形状を得るように配置した。
本実施例によれば、ノズルを用いたバス配線の形成においてバス配線に使用する材料の使用を低減するバス配線形状と配線形成方法を提供することができる。
１ 太陽電池素子基板
２ フィンガー配線
３ １箇所の吐出口を有するノズルにより形成されたバス配線
４ 印刷法により形成されたバス配線
５ レギュレータ
６ バス配線材料タンク
７ バス配線材料
８ 配管
９ バルブ
１０ ノズル
１１ バス配線材料溜空間
１２ バス配線
１３ 吐出口
１４ ノズルの進行方向に平行な吐出口の接線
１５ 複数の吐出口に共通した接線

Claims (8)

  1. 少なくとも２箇所以上のバス配線材料の吐出口を有することを特徴とする太陽電池のバス配線形成用ノズル。
  2. 請求項１に記載のノズルにおいて、所望の配線パターンを形成するために配置された吐出口を有することを特徴とする太陽電池のバス配線形成用ノズル。
  3. 請求項１に記載のノズルで太陽電池のバス配線を形成することを特徴とする配線形成方法。
  4. 請求項３に記載の配線形成方法により形成されたことを特徴とするバス配線のパターン形状。
  5. 請求項２に記載の配線形成方法により形成されたことを特徴とするバス配線の断面形状。
  6. 請求項１に記載のノズルを有する太陽電池のバス配線形成装置。
  7. 一つのバス配線が、バス配線材料の複数の流れが集まって形成されたものであることを特徴とするバス配線のパターン形状。
  8. 請求項７に記載のバス配線の断面形状。
JP2012260355A 2012-11-28 2012-11-28 太陽電池モジュールおよびその製造方法 Pending JP2014107457A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012260355A JP2014107457A (ja) 2012-11-28 2012-11-28 太陽電池モジュールおよびその製造方法
PCT/JP2013/079738 WO2014084001A1 (ja) 2012-11-28 2013-11-01 太陽電池モジュールおよびその製造方法
TW102140552A TW201431107A (zh) 2012-11-28 2013-11-07 太陽能電池模組及其製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012260355A JP2014107457A (ja) 2012-11-28 2012-11-28 太陽電池モジュールおよびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2014107457A true JP2014107457A (ja) 2014-06-09

Family

ID=50827647

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012260355A Pending JP2014107457A (ja) 2012-11-28 2012-11-28 太陽電池モジュールおよびその製造方法

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2014107457A (ja)
TW (1) TW201431107A (ja)
WO (1) WO2014084001A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017134782A1 (ja) * 2016-02-03 2017-08-10 三菱電機株式会社 太陽電池の製造方法、太陽電池および太陽電池製造装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4955919B2 (ja) * 2002-09-30 2012-06-20 セイコーエプソン株式会社 配線形成方法
JP5368022B2 (ja) * 2008-07-17 2013-12-18 信越化学工業株式会社 太陽電池
JP2012129227A (ja) * 2010-12-13 2012-07-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd パターン形成方法およびパターン形成装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017134782A1 (ja) * 2016-02-03 2017-08-10 三菱電機株式会社 太陽電池の製造方法、太陽電池および太陽電池製造装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201431107A (zh) 2014-08-01
WO2014084001A1 (ja) 2014-06-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100384545C (zh) 流体排出装置和流体排出方法
JP2006289359A (ja) ガス噴射装置
RU2016100442A (ru) Система и способ аддитивного производства трехмерных структур
CN203264929U (zh) 喷洒装置
CN201410484Y (zh) 滚刷清洗装置
US20110096126A1 (en) Printer head and printing method having the same
CN101947883A (zh) 压电元件、其制造方法、压电致动器、喷液头以及喷液装置
CN202527417U (zh) 一种非接触式清洗装置
JP2014107457A (ja) 太陽電池モジュールおよびその製造方法
JP5432304B2 (ja) インクジェット装置
KR20170033563A (ko) 기판 처리 장치
CN103752450A (zh) 喷涂设备
CN102658711B (zh) 一种喷淋装置
CN102582261A (zh) 喷墨头的制造方法及电极形成方法
JP4807380B2 (ja) 機能膜の製造装置
JP2013052379A (ja) 塗布装置
JPWO2011033863A1 (ja) 塗布装置および塗布方法
CN219856474U (zh) 供液机构及包括其的印刷装置
US11660865B2 (en) Print head unit and inkjet printer including the same
CN107849695A (zh) 包括清除刀片的幅材输送系统
JP2015058368A (ja) 塗工ダイとこれを有する塗工装置
CN202669154U (zh) 一种转印装置
CN202175718U (zh) 一种清洗生产线
CN202433672U (zh) 一种显影机的喷淋显影系统
JP2010175919A (ja) スピンレスコート装置およびカラーフィルタ基板