JP2014107314A - 剥離補助方法および剥離補助装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フラッシュ光を透過するガラス基板81に貼り付けられたポリイミド膜82にデバイス83が形成されている。ガラス基板81とポリイミド膜82との界面にガラス基板81を透過して波長400nmよりも短い紫外域のフラッシュ光を照射し、その界面の化学結合を切断してガラス基板81とポリイミド膜82との密着性を弱めている。このため、続く剥離工程では、被剥離層たるポリイミド膜82を小さな応力にて容易にガラス基板81から剥離することができる。従って、ポリイミド膜82およびそれに形成されたデバイス83に物理的なダメージを与えることなく、均一かつ清浄にポリイミド膜82の剥離を補助することができる。
【選択図】図5
Description
3 制御部
8 被処理体
10 チャンバー
15 処理空間
18 チャンバー窓
20 保持プレート
21 ヒータ
22 支持ピン
40 ガス供給機構
50 排気機構
60 光学フィルタ
70 フラッシュ光源
72 リフレクタ
81 ガラス基板
82 ポリイミド膜
83 デバイス
85 接着剤
182 樹脂層
FL フラッシュランプ
Claims (14)
- フラッシュ光を透過する基板上に貼り付けられた被剥離層の剥離を補助する剥離補助方法であって、
所定の波長よりも短い波長域のフラッシュ光を前記基板と前記被剥離層との界面に前記基板を透過して照射することを特徴とする剥離補助方法。 - 請求項1記載の剥離補助方法において、
前記フラッシュ光の照射によって前記界面の化学結合を切断することを特徴とする剥離補助方法。 - 請求項1または請求項2に記載の剥離補助方法において、
前記波長域は、紫外域であることを特徴とする剥離補助方法。 - 請求項3記載の剥離補助方法において、
前記所定の波長は400nmであることを特徴とする剥離補助方法。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の剥離補助方法において、
フラッシュランプより出射された光からフィルタによって前記所定の波長以上の成分をカットして前記フラッシュ光を前記界面に照射することを特徴とする剥離補助方法。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の剥離補助方法において、
前記被剥離層が貼り付けられた前記基板の周囲の雰囲気を減圧し、前記界面に存在する気泡を膨張させることを特徴とする剥離補助方法。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の剥離補助方法において、
前記基板はガラス基板であり、
前記被剥離層は樹脂層であることを特徴とする剥離補助方法。 - 請求項1から請求項7のいずれかに記載の剥離補助方法において、
前記被剥離層は前記基板上に接着剤にて貼り付けられていることを特徴とする剥離補助方法。 - フラッシュ光を透過する基板上に貼り付けられた被剥離層の剥離を補助する剥離補助装置であって、
前記基板および前記被剥離層を収容するチャンバーと、
前記チャンバー内にて、前記被剥離層が貼り付けられた前記基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記基板を透過して前記基板と前記被剥離層との界面にフラッシュ光を照射するフラッシュランプと、
前記保持部と前記フラッシュランプとの間に設けられ、所定の波長よりも短い波長域を透過するフィルタと、
を備えることを特徴とする剥離補助装置。 - 請求項9記載の剥離補助装置において、
前記波長域は、紫外域であることを特徴とする剥離補助装置。 - 請求項10記載の剥離補助装置において、
前記所定の波長は400nmであることを特徴とする剥離補助装置。 - 請求項9から請求項11のいずれかに記載の剥離補助装置において、
前記チャンバー内の雰囲気を減圧する減圧手段をさらに備えることを特徴とする剥離補助装置。 - 請求項9から請求項12のいずれかに記載の剥離補助装置において、
前記基板はガラス基板であり、
前記被剥離層は樹脂層であることを特徴とする剥離補助装置。 - 請求項9から請求項13のいずれかに記載の剥離補助装置において、
前記被剥離層は前記基板上に接着剤にて貼り付けられていることを特徴とする剥離補助装置。
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