JPH11295500A - 紫外線照射装置 - Google Patents
紫外線照射装置Info
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- JPH11295500A JPH11295500A JP10112897A JP11289798A JPH11295500A JP H11295500 A JPH11295500 A JP H11295500A JP 10112897 A JP10112897 A JP 10112897A JP 11289798 A JP11289798 A JP 11289798A JP H11295500 A JPH11295500 A JP H11295500A
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Abstract
ことなく、紫外線放射強度の低下を防止し、この反応生
成物による塵の発生を防止する。 【解決手段】 容器1内部に誘電体バリア放電ランプ2
が配置され、該容器1に前記誘電体バリア放電ランプ2
から放射される紫外線を取り出す窓部材3が形成されて
なる紫外線照射装置において、前記窓部材3を100℃
以上に加熱する加熱手段が設けられていることを特徴と
する紫外線照射装置。
Description
ランプから放射される紫外線と、この紫外線によって同
時に発生するオゾンによって乾式洗浄するための紫外線
照射装置に関するものである。
装置による乾式洗浄技術が知られており、この紫外線照
射装置によって、液晶や半導体分野では光アッシングや
精密光洗浄を行なっていた。
から紫外線光源として253.7nmや184.9nm
の波長の紫外線を良好に放射する低圧水銀ランプや中圧
水銀ランプが用いられている。
る場合、有機溶剤、酸、アルカリなどの各種薬品が使用
されているため、それらの薬品が気化して遊離している
ことが多い。これらの薬品の中には、紫外線を吸収し、
その光エネルギーで分解し他の薬品と反応して反応生成
物を生じるものがあり、一例として、硫化水素三アンモ
ニウム(NH4)H(SO4)2や硫酸アンモニウム(N
H4)2SO4が生成される。
内で細かな塵として対流し、この細かな塵が集まると、
製造プロセスに悪影響を及ぼす原因になる場合があっ
た。
り、光のエネルギーが強く単一波長を効率良く放射する
誘電体バリア放電ランプがこのような紫外線照射装置の
紫外線光源として利用されるようになってきた。
て使用した紫外線照射装置は、誘電体バリア放電ランプ
を大気と離間するために密閉された容器内に配置して、
この誘電体バリア放電ランプから放射された紫外線は容
器の一部に設けられた窓部材を透過して、非処理物に照
射されるものである。
バリア放電ランプを使用した紫外線照射装置は、紫外線
を透過するするための窓部材を有しており、前述した反
応生成物が対流してこの窓部材に付着するという問題が
あった。
電体バリア放電ランプは、点灯時、ランプの表面温度が
約70℃程度と低温であるため、ランプから放射される
輻射熱によって窓部材を十分に加熱することができず、
窓部材に接近してきた反応生成物が窓部材からの輻射熱
により分解させれず、直接窓部材に付着してしまう現象
によるものである。
より、紫外線の透過率が低下し、照射領域内の紫外線強
度が不均一になる、という問題があった。さらに、非処
理物の処理不良や、処理ムラが発生し、歩留まりが低く
なるという問題があった。
積が多くなった場合、窓部材よりこの反応生成物が剥離
し大きな塵となって、クリーンルームである処理環境を
汚染する、という問題があった。
されたものであって、その目的は、紫外線による反応生
成物が窓部材に付着することなく、よって、紫外線放射
強度の低下を防止し、この反応生成物による塵の発生を
防止することができる紫外線照射装置を提供することに
ある。
に、請求項1に記載の紫外線照射装置は、容器内部に誘
電体バリア放電ランプが配置され、該容器に前記誘電体
バリア放電ランプから放射される紫外線を取り出す窓部
材が形成されてなる紫外線照射装置において、前記窓部
材を100℃以上に加熱する加熱手段が設けられている
ことを特徴とする。
項1に記載の紫外線照射装置であって、特に、前記加熱
手段は、紫外線照射装置内に設けられていることを特徴
とする。
項2に記載の紫外線照射装置であって、特に、前記加熱
手段は、窓部材の表面に形成された厚膜ヒータであるこ
とを特徴とする。
項2に記載の紫外線照射装置であって、特に、前記加熱
手段は、窓部材の表面に形成された線状ヒータであるこ
とを特徴とする。
項2に記載の紫外線照射装置であって、特に、前記加熱
手段は、白熱電球であることを特徴とする。
の説明図である。ステンレス製の容器1の内部には、紫
外線を放射するための誘電体バリア放電ランプ2が複数
配置されており、容器1の前方には紫外線を透過するた
めの石英ガラスよりなる窓部材3が配置されている。そ
して、この窓部材3の紫外線照射装置内側には、この窓
部材3を100℃以上に加熱する加熱手段Hが形成され
ている。なお、加熱手段Hは、後で詳細に説明する。
誘電体バリア放電ランプ2は大気と隔離され、容器1内
には、誘電体バリア放電ランプ2から放射される光に対
して透過性の不活性体、例えば窒素、アルゴン、ネオン
等のガスが充満されている。。この誘電体バリア放電ラ
ンプ2は、放電用ガスとして250トールのキセノンガ
スが封入されており、発光する部分の表面積1cm2あ
たりの入力電力が0.2Wであり、波長172nmに最
大値を有する紫外線が効率よく放射されるものである。
される紫外線を効率良く窓部材3の方向に反射させる反
射鏡である。
紫外線照射装置内側、具体的には誘電体バリア放電ラン
プ側の表面に厚膜ヒータが形成されている。この厚膜ヒ
ータH1は、導電性発熱ペーストを窓部材3にスクリー
ン印刷し500℃で30分間焼成したものである。な
お、この厚膜ヒータH1の発熱量は1.9KWである。
に、窓部材3の紫外線照射装置内側、具体的には誘電体
バリア放電ランプ側の表面に線状ヒータであるマイクロ
ヒータH2が形成されている。
管に、その管軸に沿ってニクロム線よりなる発熱体を配
置して細管との間を高純度のマグネシウム粉末で充填し
た線状ヒータであり、屈曲可能なヒータである。なお、
このマクロヒータは外径1.6mm、長さ40m、発熱
量はは約4KWである。
窓部材3の紫外線照射装置内側、具体的には誘電体バリ
ア放電ランプ側の表面に形成する理由は、それぞれのヒ
ータに直接、非処理物の処理時に発生する気体薬品の接
触を防止してヒータの劣化を防止すること、あるいは、
ヒータ直下にヒータ自身による影をつくらないようにす
ることにある。
の表面に直接形成することにより、効率良く窓部材3を
加熱することができる。
に、容器1の内部であって、隣接する誘電体バリア放電
ランプ2の間にハロゲン白熱電球5を配置する。この場
合は、白熱電球から放射された赤外線によって、窓部材
3が加熱されるもである。
用すると、前述した厚膜ヒータや線状ヒータに比べて紫
外線照射装置の製造が簡単になるとともに、窓部材に紫
外線を遮蔽するものが完全に存在しないので、照射され
る紫外線強度の均一性がさらに良くなるものである。な
お、本実施例では、白熱電球は、両端封止型500W、
25Aのハロゲンランプを使用したものである。
2に示すように窓部材に厚膜ヒータを形成した場合の、
窓部材の温度による付着物の状態を調べる実験を行なっ
た。結果を図5に示す。
nmの光の透過率を示すものであり、窓部材の温度が上
昇するにつれて透過率が大きくなっており、このことか
ら窓部材の温度が高くなるにつれ窓部材に付着していた
反応生成物は分解して窓部材より遊離し始め、窓部材が
100℃になると、反応生成物がなくなることが分か
る。また、窓部材が100℃になると、反応生成物は窓
部材に接近しただけでその輻射熱により分解し、窓部材
に付着することがない。
0℃以上に加熱することにより反応生成物の窓部材への
付着を防止し、紫外線放射強度の低下を防止でき、反応
生成物による塵の発生を防止することができ。
射装置は、加熱手段によって窓部材を100℃以上に加
熱するので、有機溶剤、酸、アルカリなどの各種薬品に
よる紫外線反応生成物が窓部材に付着することを防止す
ることができ、紫外線放射強度の低下を防止でき、反応
生成物による塵の発生を防止することができる。
られているので、有機溶剤、酸、アルカリなどの各種薬
品による劣化が起こることがない。
を用いて直接窓部材の表面に形成することにより、それ
ぞれのヒータから発生する熱によって直接窓部材が加熱
されるので、効率良く窓部材を加熱することができる。
より、製造が簡単で、しかも、紫外線強度の均一性をさ
らに良くするとともに、窓部材を加熱することができ
る。
明図である。
の説明図である。
図である。
外線透過率の変化を示す実験データである。
Claims (5)
- 【請求項1】 容器内部に誘電体バリア放電ランプが配
置され、該容器に前記誘電体バリア放電ランプから放射
される紫外線を取り出す窓部材が形成されてなる紫外線
照射装置において、 前記窓部材を100℃以上に加熱する加熱手段が設けら
れていることを特徴とする紫外線照射装置。 - 【請求項2】 前記加熱手段は、紫外線照射装置内に設
けられていることを特徴とする請求項1に記載の紫外線
照射装置。 - 【請求項3】 前記加熱手段は、窓部材の表面に形成さ
れた厚膜ヒータであることを特徴とする請求項2に記載
の紫外線照射装置。 - 【請求項4】 前記加熱手段は、窓部材の表面に形成さ
れた線状ヒータであることを特徴とする請求項2に記載
の紫外線照射装置。 - 【請求項5】 前記加熱手段は、白熱電球であることを
特徴とする請求項2に記載の紫外線照射装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11289798A JP3653980B2 (ja) | 1998-04-09 | 1998-04-09 | 紫外線照射装置 |
TW088103250A TW466503B (en) | 1998-04-09 | 1999-03-03 | Ultraviolet ray irradiator |
KR10-1999-0012537A KR100462750B1 (ko) | 1998-04-09 | 1999-04-09 | 자외선 조사장치 |
TW088116423A TW436855B (en) | 1998-04-09 | 1999-09-23 | Ultraviolet ray irradiator |
Applications Claiming Priority (2)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11295500A true JPH11295500A (ja) | 1999-10-29 |
JP3653980B2 JP3653980B2 (ja) | 2005-06-02 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001027984A1 (fr) * | 1998-01-23 | 2001-04-19 | Ushio Denki Kabushiki Kaisya | Appareil emetteur de rayonnement ultraviolet |
US6787787B1 (en) | 1998-01-23 | 2004-09-07 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Ultraviolet radiation producing apparatus |
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EP1630853A2 (en) | 2004-08-25 | 2006-03-01 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | An operating device for an excimer lamp |
CN100420512C (zh) * | 2003-12-26 | 2008-09-24 | 株式会社杰士汤浅 | 激发式气体分子放电灯的照射装置及其使用方法 |
JP2012195058A (ja) * | 2011-03-15 | 2012-10-11 | Ushio Inc | 光照射装置 |
JPWO2015108184A1 (ja) * | 2014-01-20 | 2017-03-23 | ウシオ電機株式会社 | デスミア処理装置 |
-
1998
- 1998-04-09 JP JP11289798A patent/JP3653980B2/ja not_active Expired - Fee Related
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