JP2014106302A - 改良されたフォトイメージング - Google Patents
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Abstract
【解決手段】具体的には、湿式硬化性フォトポリマで被覆された基板をフォトイメージングするための方法及び装置であって、フォトイメージングされた基板は、電気回路、或いは、例えば、線、正方形、螺旋、円、又は、他の幾何学的及び非幾何学的図形等の、光化学機械加工産業(PCMI) において使用される他の特徴等のイメージを形成するために使用される。
【選択図】図5
Description
基板に被覆材を提供することと、
該被覆材の少なくとも部分上に液状紫外線硬化性フォトポリマを堆積させて、約178μm(0.007インチ)未満の厚みを有する紫外線硬化性フォトポリマのフィルムを形成することと、
前記液状紫外線硬化性フォトポリマ上にフォトツールを位置決めすることと、
前記液状紫外線硬化性フォトポリマに放射を適用して、前記フォトツールを介して照射領域内の前記フォトポリマ層を硬化させることと、
を備える方法が提供される。
基板に被覆材を提供することと、
該被覆材の少なくとも部分上に液体フォトポリマを堆積させて、フォトポリマの薄膜を形成することと、
前記液体フォトポフォトポリマ上にフォトツールを位置決めすることと、
前記液体フォトポリマに照射を適用して、前記フォトツールを介して照射領域内の前記フォトポリマ層を硬化させることと、
を備える方法が提供される。
被覆材を有する基板の少なくとも片側上の液体フォトポリマ上に位置決めされることができる少なくとも一つのフォトツールと、
約178μm(0.007インチ)未満の厚みを有するフォトポリマのフィルムを形成するために、前記被覆材を有する基板上の前記液体フォトポリマに圧縮力を付与することができるローラと、
前記液体フォトポリマを硬化させることができる放射源と、
を備える装置が提供される。
被覆材を有する基板の少なくとも片側上の液体フォトポリマ上に位置決めされることができる少なくとも一つのフォトツールと、
フォトポリマの薄膜を形成するために、被覆材を有する基板上の液体フォトポリマに圧縮力を付与することができるローラと、
液体フォトポリマを硬化させることができる放射源と、
を備える装置が提供される。
基板を提供することと、
該基板の少なくとも片側上にインクジェット被覆を提供することと、該インクジェット被覆は、伝導性粒子を備え、
前記インクジェット被覆を備える基板の少なくとも片側上に液体フォトポリマを堆積させることと、
前記基板の少なくとも片側上の前記液体フォトポリマ上にフォトツールを位置決めすることと、
約178μm(0.007インチ)未満の厚みを有するフォトポリマのフィルムを形成するために、堆積された液体フォトポリマに圧縮力を付与することと、
前記液体フォトポリマに放射を適用して、前記フォトツールを介して照射領域内の前記フォトポリマを硬化させることと、
を備える方法が提供される。
被覆材を有する基板の少なくとも片側上の液体フォトポリマ上に位置決めされることができる少なくとも一つのフォトツールと、前記フォトポリマの薄膜を形成するために、前記被覆材を有する基板上の前記液体フォトポリマに圧縮力を付与することができるローラと、
前記液体フォトポリマを硬化させることができる放射源と、
を備える装置が提供される。
Claims (46)
- 基板をフォトイメージングするための方法であって、
基板に被覆材を提供することと、
該被覆材の少なくとも部分上に液体フォトポリマを堆積させて、約178μm(0.007インチ)未満の厚みを有するフォトポリマのフィルムを形成することと、
前記液体フォトポリマ上にフォトツールを位置決めすることと、
前記液体フォトポリマに放射を適用して、前記フォトツールを介して照射領域内の前記フォトポリマを硬化させることと、
を備える、基板をフォトイメージングするための方法。 - 前記液体フォトポリマの硬化の前に予備乾燥を有しない、請求項1に記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記フォトポリマは、約1%未満の溶剤、約3%未満の溶剤、約10%未満の溶剤、又は約15%未満の溶剤を含む、請求項1又は2の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記フォトポリマは、実質的に全て固形である、すなわち、溶剤が全く存在しない、請求項1又は2の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記被覆材は、金属又は非金属であるか、或いは、シーディング材料の層が、銅又はニッケルの無電解めっきを許容するための開始剤として作用することができるプラスチック上に堆積されている、請求項1乃至4の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記被覆材は、前記基板の第一及び第二側上に、導電性ポリマ(PEDOTT)等の導電性材料、グラフェン、又はインジウムスズ酸化物(ITO)等の導電性酸化物を備える、請求項5に記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記基板は誘電体である請求項1乃至6の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記被覆材は金属であり、以下の銅、銀及び金の何れか一つ又は組み合わせを含む、請求項1乃至7の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記被覆材を有する前記基板は、実質的に平坦であり、約1m×1mまでの大きさを有する、請求項1乃至8の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記液体フォトポリマは、約150μm、125μm、100μm、75μm、50μm、25μm、10μm、5μm、1μm、0.5μm又は0.1μm未満の厚みで堆積されている、請求項1乃至9の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記液体フォトポリマは、約177μm〜約0.1μm、約125μm〜約0.1μm、約100μm〜約0.1μm、約75μm〜約0.1μm、約50μm〜約0.1μm、約25μm〜約0.1μm、又は約10μm〜約0.1μmの範囲の厚みで堆積されている、請求項1乃至10の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記液体フォトポリマは、前記基板の両側に同時に付与される、請求項1乃至11の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記液体フォトポリマは、略均一及び/又は連続的に堆積されている、請求項1乃至12の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記液体フォトポリマは、インクジェット被覆技術、スプレー、ブラシ、ローラ及び/又は浸漬被覆システムを用いて堆積されている、請求項1乃至13の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記液体フォトポリマが前記被覆材を有する前記基板に付与されるとともに、前記フォトツールが前記基板上に位置決めされると、圧縮力が前記堆積された液体フォトポリマに付与される、請求項1乃至14の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記圧縮力を付与することによって、前記液体フォトポリマは、展開されて及び/又は圧縮されて、略均一かつ連続的なフォトポリマのフィルムが、略均一の厚みで達成される、請求項15に記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記圧縮力は、圧延荷重を付与するローラベースのシステムである、請求項15又は16の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記フォトツールは、望ましい電気回路の陰画像又は陽画像である、請求項1乃至17の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記フォトツールは、前記被覆材を有する前記基板の少なくとも片側又は両側上に前記フォトツールを正確に位置決めする機構と接続されている、請求項1乃至18の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記フォトツールは、保護層を含まない、請求項1乃至19の何れかに記載の基質をフォトイメージングするための方法。
- 前記フォトツールは、イメージングが生じた後、前記被覆材を有する前記基板から前記フォトツールを剥離するのを容易にする保護層を含む、請求項1乃至19の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 使用される前記放射は、紫外線放射である、請求項1乃至21の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 紫外線LED又はレーザは、前記放射源として使用される、請求項1乃至22の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記放射は、前記フォトイメージ工程の品質を向上させるために視準されている、又は部分的に視準されている、請求項1乃至23の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 洗浄工程を含む一連のウェット工程は、電気回路を生成するために実行される、請求項1乃至24の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記方法は、内蔵タイプの小型クリーンルーム内で実行される、請求項1乃至25の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記フォトイメージ工程は、約200μm、約150μm、約140μm、約130μm、約120μm、約110μm、約100μm、約90μm、約80μm、約70μm、約60μm、約50μm、約40μm、約30μm、約20μm、約10μm、又は約5μm未満の、例えば、線、正方形、螺旋、円、又は他の幾何学的及び非幾何学的図形等のPCMIにおいて使用される細線及び/又は特徴を生成する、請求項1乃至26の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 前記方法は、以下の工程;
前記基板の少なくとも片側又は両側上に液体フォトポリマを堆積させることと、
前記基板の少なくとも片側又は両側上の前記液体フォトポリマに亘ってフォトツールを位置決めすることと、
フォトポリマのフィルムを形成するために、前記堆積された液体フォトポリマに圧縮力を付与することと、
前記液体フォトポリマに放射を適用して、前記フォトポリマを硬化させることと、
を備え、
前記各工程は、単一パス又は一連の独立したパスにおいて生じる、請求項1乃至27の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。 - 照射される前に、フォトポリマの前記ウェットフィルムの予備乾燥工程を有しない、請求項1乃至28の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための方法。
- 請求項1乃至29の何れかに記載の方法で製造された電気部品。
- 前記電気部品は電気回路である、請求項30に記載の電気部品。
- 前記電気部品は、プリント基板又はフラットスクリーンディスプレイ内に含まれる、請求項30に記載の電気部品。
- 前記電気部品は、誘電体上の誘電体イメージである、請求項30に記載の電気部品。
- 請求項1乃至29の何れかに記載の方法によって生成された細線、正方形、螺旋、円、又は他の幾何学的及び非幾何学的図形を含む光化学機械加工産業(PCMI)において使用される特徴。
- 基板をフォトイメージングするための装置であって、
被覆材を有する基板の少なくとも片側上の液体フォトポリマ上に位置決めされることができる少なくとも一つのフォトツールと、
約178μm(0.007インチ)未満の厚みを有するフォトポリマのフィルムを形成するために、前記被覆材を有する前記基板上の前記液体フォトポリマに圧縮力を付与することができるローラと、
前記液体フォトポリマを硬化させることができる放射源と、
を備える基板をフォトイメージングするための装置。 - 前記被覆材は、金属又は非金属である、請求項35に記載の基板をフォトイメージングするための装置。
- 前記装置は、約200μm、約150μm、約140μm、約130μm、約120μm、約110μm、約100μm、約90μm、約80μm、約70μm、約60μm、約50μm、約40μm、約30μm、約20μm、約10μm、又は約5μm未満の、例えば、線、正方形、螺旋、円、又は他の幾何学的及び非幾何学的図形等のPCMIにおいて使用される細線及び/又は特徴を形成するために使用される、請求項35に記載の基板をフォトイメージングするための装置。
- 前記装置は、前記基板の少なくとも片側又は両側上に前記少なくとも一つ又は両方のフォトツールを位置付けするための位置決め手段を備える、請求項35乃至37の何れかに記載の基板をフォトイメージングするための装置。
- 基板上にトラック及び/又は電気回路を生成するための方法であって、
基板を提供することと、
前記基板の少なくとも片側上にインクジェット被覆を提供することと、該インクジェット被覆は、伝導性粒子を備え、
前記インクジェット被覆を備える前記基板の少なくとも片側上に液体フォトポリマを堆積させることと、
前記基板の少なくとも片側上の前記液体フォトポリマ上にフォトツールを位置決めすることと、
約178μm(0.07インチ)未満の厚みを有するフォトポリマのフィルムを形成するために、前記堆積された液体フォトポリマに圧縮力を付与することと、
前記液体フォトポリマに照射を適用して、前記フォトツールを介して照射領域内の前記フォトポリマを硬化させることと、
を備える基板上にトラック及び/又は電気回路を生成するための方法。 - 前記インクジェット被覆は、前記基板上に幅のある所要のトラック及び/又は電気回路を形成する、請求項39に記載の基板上にトラック及び/又は電気回路を生成するための方法。
- 前記伝導性粒子は、以下の、銀、金、及び/又は銅、又はパラジウムとスズとの混合物等の、銅又はニッケルの無電解めっきを開始するためのシーディング材料の何れか一つ又は組み合わせを含む、請求項39及び40の何れかに記載の基板上にトラック及び/又は電気回路を生成するための方法。
- 前記インクジェット被覆は、約50μm〜500μmの幅を有する、請求項39乃至41の何れかに記載の基板上にトラック及び/又は電気回路を生成するための方法。
- 前記基板はプラスチックシートから製造される、請求項39乃至42の何れかに記載の基板上にトラック及び/又は電気回路を生成するための方法。
- 前記フォトイメージングが生じた後、エッチング工程が、電気回路を生成するために実行される、請求項39乃至43の何れかに記載の基板上にトラック及び/又は電気回路を生成するための方法。
- 少なくとも一つ又は複数のトラックは、前記インクジェット被覆内部に形成される、請求項39乃至44の何れかに記載の基板上にトラック及び/又は電気回路を生成するための方法。
- 照射される前に、フォトポリマの前記ウェットフィルムの予備乾燥工程を有しない、請求項39乃至44の何れかに記載の基板上にトラック及び/又は電気回路を生成するための方法。
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