JP2014098843A - 光スイッチおよび波長選択スイッチ - Google Patents

Abstract

【課題】容易に構成でき、光反射面の応答特性の低下による影響を低減しつつ、光反射面の共振振動を誘発するノイズ成分を電圧信号から除去することができる光スイッチおよび波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチは、ＭＥＭＳミラーの光反射面の角度を制御する制御部を備える。制御部は、光反射面の角度を制御するための電圧信号Ｖ１，Ｖ２をそれぞれ出力する電圧生成部２６，２７と、電圧生成部２６，２７から出力される電圧信号Ｖ１のいずれかを選択的に出力するスイッチ２８とを有する。電圧生成部２６とスイッチ２８との間にはローパスフィルタ回路２９が設けられており、電圧生成部２７とスイッチ２８との間にはローパスフィルタ回路が設けられていない。
【選択図】図４

Description

本発明は、光スイッチおよび波長選択スイッチに関するものである。

特許文献１には、光通信用光スイッチの制御装置に関する技術が開示されている。この文献に記載された装置は、複数の可動ミラーを用い、複数の入出力ポート間を接続する光パスの切り替えを行う光スイッチを制御する装置であって、制御量演算部、駆動回路、電圧信号モニタ部、差分検出部、及びノイズ補正部を備えている。制御量演算部は、光パスの設定に応じて各可動ミラーに対する制御量を演算する。駆動回路は、制御量演算部から伝えられる制御量を電圧に変換して可動ミラーの駆動信号を生成する。電圧信号モニタ部は、駆動回路で生成された駆動信号の電圧値をモニタする。差分検出部は、電圧信号モニタ部でモニタされた電圧値の制御量演算部で演算された制御量に対する差分を検出すると共に、電圧信号モニタ部でモニタされた電圧値の時間変化を基に当該駆動信号に含まれる周期的なノイズ成分を検出する。ノイズ補正部は、差分検出部で検出された差分およびノイズ成分に基づいて、制御量演算部から駆動回路に伝えられる制御量の補正を行う。

特許文献２には、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）ミラー制御装置に関する技術が開示されている。この文献に記載された装置は、反射ミラーを有する可動体が磁束の方向と直交する方向に配置されたトーションバーに支持され、可動体に設けられた駆動コイルに入力される電気信号レベルに応じて可動体が所定の振角で揺動するＭＥＭＳミラーを制御する装置である。この装置は、振動抑制制御部を備えている。振動抑制制御部は、駆動コイルに電気信号が印加されたとき、可動体やトーションバーの機械的要素に起因して当該可動体に発生する共振周波数の振動を検出し、その反転信号を駆動コイルと併設される振動抑制コイルに加えて振動を抑制する。

特許文献３には、ＭＥＭＳミラーの偏向角を制御するミラー制御回路に関する技術が開示されている。この文献に記載された回路は、制御回路および駆動回路を備えている。制御回路は、ＭＥＭＳミラーの偏向角を制御するための制御信号を生成する。駆動回路は、ＭＥＭＳミラーの共振振動をキャンセルするための補償信号を生成し、制御信号の変化点近傍位置に補償信号を付加した駆動信号をＭＥＭＳミラーに出力する。

特許文献４には、ＭＥＭＳミラーを用いた光スイッチの制御装置に関する技術が開示されている。この文献に記載された装置は、ＭＥＭＳへ提供される電圧信号の共振成分を除去するためのフィルタ回路を備えている。

特開２００７−１０１６７５号公報 特開２０１１−１８０５２８号公報 特開２００６−２７９８８８号公報 特開２００４−２１９４６９号公報

光スイッチの一つとして、電圧信号によって光反射面の角度を変更することが可能なＭＥＭＳミラーを利用したものがある。このような光スイッチは、一又は複数の入力ポートと一又は複数の出力ポートとの間の光路をＭＥＭＳミラーによって切り替えることにより、スイッチングを実現する。

このようなＭＥＭＳミラーでは、電圧信号に重畳される高周波ノイズによって、光反射面を支持する部材の共振振動が誘発され、光反射面に揺れが生じることがある。このような揺れを抑えるために、例えば特許文献１では、電圧信号に重畳するノイズ成分を検出し、ノイズ成分を抑えるように電圧信号を補正している。また、特許文献２では、光反射面の共振振動を検出し、光反射面の角度を制御するコイルとは別に設けられた振動抑制コイルを用いて該共振振動を抑制している。また、特許文献３では、ＭＥＭＳミラーの共振振動をキャンセルするための補償信号を生成し、この補償信号を付加した電圧信号をＭＥＭＳミラーに提供している。また、特許文献４では、電圧信号の共振成分を除去するためのフィルタ回路が設けられている。

しかしながら、光反射面の揺れや共振振動を検出するためには、その揺れや共振振動の周期よりも十分に短い周期で光反射面の角度を検出しなければならない。また、ノイズ成分や共振振動を抑えるように電圧信号を補正する場合、ノイズ成分や共振振動と補正電圧とを同期させなければならない。更に、この同期のためには、演算時間や回路の遅延時間を考慮しなければならない。したがって、制御装置の構成が極めて複雑になってしまうという問題がある。

また、光反射面の共振振動を誘発するノイズ成分を電圧信号から除去するためにフィルタ回路を設けると、電圧信号の変化に遅れが生じ、光反射面の応答特性が低下してしまうという問題がある。

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、容易に構成でき、光反射面の応答特性の低下による影響を低減しつつ、光反射面の共振振動を誘発するノイズ成分を電圧信号から除去することができる光スイッチおよび波長選択スイッチを提供することを目的とする。

上述した課題を解決するために、本発明による光スイッチは、Ｍ個の光入力ポート及びＮ個の光出力ポート（但し、Ｍ、ＮはＭ＋Ｎ≧３を満たす１以上の整数）を備え、Ｍ個の光入力ポートの何れかと、Ｎ個の光出力ポートの何れかとを選択的に光結合する光スイッチであって、光反射面の角度を変更可能に構成されており、Ｍ個の光入力ポートの何れかから入力された光をＮ個の出力ポートの何れかへ選択的に反射するＭＥＭＳミラーと、ＭＥＭＳミラーの光反射面の角度を制御する制御部とを備え、制御部が、光反射面の角度を制御するための電圧信号をそれぞれ出力する第１及び第２の電圧生成部と、第１及び第２の電圧生成部のそれぞれに接続された第１及び第２の入力端、およびＭＥＭＳミラーに接続された出力端を含んでおり第１及び第２の入力端を出力端に選択的に接続するスイッチとを有し、第１の電圧生成部とスイッチとの間には、第１の時定数を有するローパスフィルタ回路が設けられており、第２の電圧生成部とスイッチとの間には、第１の時定数よりも短い第２の時定数を有するローパスフィルタ回路が設けられているか、またはローパスフィルタ回路が設けられていないことを特徴とする。

この光スイッチでは、ＭＥＭＳミラーの光反射面の角度を制御する制御部が、第１及び第２の電圧生成部を有する。これら第１及び第２の電圧生成部は、いずれも光反射面の角度を制御するための電圧信号を出力するものであって、スイッチによる切り替えに従っていずれか一方が選択的に用いられる。そして、第１の電圧生成部とスイッチとの間には、第１の時定数Ｔ１を有するローパスフィルタ回路が設けられており、このローパスフィルタ回路によって、光反射面の共振振動を誘発するノイズ成分を電圧信号から除去することができる。また、第２の電圧生成部とスイッチとの間には、第２の時定数Ｔ２（＜Ｔ１）を有するローパスフィルタ回路が設けられているか、またはローパスフィルタ回路が設けられていない。したがって、第２の電圧生成部から出力される電圧信号は、ローパスフィルタ回路による遅延がないので（若しくは第１の電圧生成部から出力される電圧信号と比較して遅延が抑えられるので）、光反射面の応答特性の低下を抑えることができる。制御部は、スイッチを切り替えることによって、これらの電圧信号の何れか一方を選択的にＭＥＭＳミラーに提供することができる。

このように、上記の光スイッチでは、フィルタ時定数が比較的長くノイズ成分が除去された電圧信号と、フィルタ時定数が比較的短いか若しくはフィルタ回路を経由しないことによって光反射面の応答特性が良好となる電圧信号とを選択的にＭＥＭＳミラーに提供することができる。したがって、必要に応じて光反射面の共振振動を抑え、また必要に応じて光反射面の応答特性を高めることができる。一例を挙げると、光反射面の角度を変更する間は、フィルタ時定数が比較的短いか若しくはフィルタ回路を経由しない電圧信号を選択して光反射面の応答特性を高め、また、光反射面の角度が一定である間は、フィルタ時定数が比較的長い電圧信号を選択して光反射面の共振振動を抑えるとよい。

以上に述べたように、上記の光スイッチによれば、光反射面の応答特性の低下による影響を低減しつつ、光反射面の共振振動を誘発するノイズ成分を電圧信号から除去することができる。また、上記の光スイッチは、電圧生成部、ローパスフィルタ回路、及びスイッチといった簡易な構成要素によって実現可能であるため、特許文献１〜４に記載された光スイッチと比較して容易に構成できる。

また、光スイッチは、制御部が、電圧信号の大きさを演算して該電圧信号の大きさを示す制御信号を第１及び第２の電圧生成部へ提供するとともにスイッチの動作を制御する駆動演算回路を更に有し、駆動演算回路が、電圧信号の大きさを変化させるタイミングを含む第１の期間では第２の入力端を出力端に接続させ、第１の期間を除く期間では第１の入力端を出力端に接続させることを特徴としてもよい。このように、電圧信号の大きさを変化させる第１の期間（すなわち光反射面の角度を変更する期間）では、第２の入力端を出力端に接続させることにより、フィルタ時定数が比較的短いか若しくはフィルタ回路を経由しない電圧信号を選択し、また、第１の期間を除く期間（すなわち光反射面の角度が一定である期間）では、第１の入力端を出力端に接続させ、フィルタ時定数が比較的長い電圧信号を選択することにより、光反射面の共振振動を抑えつつ、光反射面の応答特性を高めることができる。

また、光スイッチは、駆動演算回路が、第１の期間において、第１の電圧生成部から出力される電圧信号がオーバーシュート若しくはアンダーシュートを伴うような制御信号を第１の電圧生成部に提供することを特徴としてもよい。これにより、第１の電圧生成部から出力される電圧信号が選択されていない第１の期間において該電圧信号を目標電圧に素早く収束させ、第２の期間への切り替えを早めることができる。

また、光スイッチは、スイッチがショーティング型であることを特徴としてもよい。これにより、スイッチの切り替えの際に電圧信号がＭＥＭＳミラーに供給されない瞬間（電圧不定状態）が生じることを防ぐことができる。

また、光スイッチは、制御部が、光反射面の角度を制御するための電圧信号を出力する第３の電圧生成部を更に有しており、スイッチが、第３の電圧生成部に接続された第３の入力端を更に有し、第１〜第３の入力端を出力端に選択的に接続し、第３の電圧生成部とスイッチとの間には、第１の時定数よりも長い第３の時定数を有するローパスフィルタ回路が設けられていることを特徴としてもよい。これにより、除去すべきノイズの周波数や、複数の光反射面間での共振周波数の相違などに応じて、時定数が異なる３つの電圧信号から最適なものを選択してＭＥＭＳミラーに提供することができる。したがって、光反射面の共振振動をより効果的に抑えつつ、光反射面の応答特性を高めることができる。

また、本発明による波長選択スイッチは、光入力ポート、及び所定方向に並んだ複数の光出力ポートを備え、光入力ポートに入力された光を波長成分毎に分光して複数の光出力ポートのそれぞれから出力する波長選択スイッチであって、光入力ポートから入力された光を受けて、その光を各波長成分に分光して出力する分光素子と、複数の光反射面の角度を個別に変更可能に構成されており、分光素子から出力された複数の波長成分それぞれを複数の光反射面それぞれが受けて複数の出力ポートの何れかへ選択的に反射するＭＥＭＳミラーと、ＭＥＭＳミラーの複数の光反射面の角度を個別に制御する制御部とを備え、制御部は、複数の光反射面毎に設けられ、反射後の各波長成分の光路が所定方向に移動するように光反射面の角度を制御するための電圧信号をそれぞれ出力する複数の第１の電圧出力回路と、複数の光反射面毎に設けられ、反射後の各波長成分の光路が所定方向と交差する方向に移動するように光反射面の角度を制御するための電圧信号をそれぞれ出力する複数の第２の電圧出力回路とを有し、複数の第１の電圧出力回路それぞれは、電圧信号をそれぞれ出力する第１及び第２の電圧生成部と、第１及び第２の電圧生成部のそれぞれに接続された第１及び第２の入力端およびＭＥＭＳミラーに接続された出力端を有し、第１及び第２の入力端を出力端に選択的に接続するスイッチとを含み、第１の電圧生成部とスイッチとの間には、第１の時定数を有するローパスフィルタ回路が設けられており、第２の電圧生成部とスイッチとの間には、第１の時定数よりも短い第２の時定数を有するローパスフィルタ回路が設けられているか、またはローパスフィルタ回路が設けられていないことを特徴とする。

この波長選択スイッチの複数の第１の電圧出力回路は、上述した光スイッチと同様に、第１及び第２の電圧生成部を有する。したがって、フィルタ時定数が比較的長くノイズ成分が除去された電圧信号と、フィルタ時定数が比較的短いか若しくはフィルタ回路を経由しない電圧信号とを選択的にＭＥＭＳミラーに提供することができる。これにより、必要に応じてノイズ成分を除去し、また必要に応じて光反射面の応答特性を高めることができるので、光反射面の応答特性の低下による影響を低減しつつ、光反射面の共振振動を誘発するノイズ成分を電圧信号から除去することができる。

また、この波長選択スイッチの制御部は、第１及び第２の電圧出力回路を複数の光反射面毎に有している。第１の電圧出力回路は、反射後の各波長成分の光路が所定方向（すなわち複数の光出力ポートの並び方向）に移動するように光反射面の角度を制御する。また、第２の電圧出力回路は、反射後の各波長成分の光路が前記所定方向と交差する方向に移動するように光反射面の角度を制御する。そして、上述した第１及び第２の電圧生成部は、第１の電圧出力回路に設けられている。

波長選択スイッチの動作において、或る波長成分の出力先を一の光出力ポートから別の光出力ポートへ移動する際、一の光出力ポートと別の光出力ポートとの間に他の光出力ポートが存在することがある。このような場合、光出力ポートの並び方向と交差する方向への当該波長成分の光路の移動と、光出力ポートの並び方向への当該波長成分の光路の移動とを組み合わせることにより、他の光出力ポートへの当該波長成分の入射を避けることが好ましい。このような場合、光出力ポートの並び方向の移動距離は、光出力ポートの並び方向と交差する方向の移動距離よりも長くなる傾向がある。したがって、光出力ポートの並び方向での光路の移動に際して、第１の電圧出力回路が第１及び第２の電圧生成部からの電圧信号を選択的に出力することにより、移動距離が長い方向での光路の移動を、光反射面の共振振動を抑えつつ素早く行うことができる。

また、波長選択スイッチでは、光入力ポートおよび光出力ポートとＭＥＭＳミラーとの間にビーム拡大光学系が設けられることがある。ビーム拡大光学系は、光入力ポートから入力された光を、光出力ポートの並び方向と交差する面内にて拡大する。また、ビーム拡大光学系は、ＭＥＭＳミラーの光反射面において反射された光を、上記面内において縮小する。このようなビーム拡大光学系が設けられる場合、光出力ポートの並び方向と交差する方向における光反射面の振動は、光出力ポートの並び方向における光反射面の振動と比較して、光出力ポートから出力される光の強度変動への影響が小さい。したがって、上述した波長選択スイッチのように、第１及び第２の電圧生成部、スイッチ並びにローパスフィルタ回路を含む構成が、第１及び第２の電圧出力回路のうち第１の電圧出力回路に設けられることによって、出力光への影響が比較的大きい光出力ポートの並び方向における光反射面の振動を効果的に抑制しつつ、第２の電圧出力回路の回路構成を簡素化して制御部の回路規模を小さくすることができる。

本発明による光スイッチおよび波長選択スイッチによれば、容易に構成でき、光反射面の応答特性の低下による影響を低減しつつ、光反射面の共振振動を誘発するノイズ成分を電圧信号から除去することができる。

図１は、本発明の一実施形態として、光スイッチの一種である波長選択スイッチの構成を概略的に示す平面図である。 図２は、図１に示された波長選択スイッチのII−II線に沿った側断面図である。 図３は、制御部の内部構成を示すブロック図である。 図４は、電圧出力回路の内部構成を示す図である。 図５は、電圧出力回路の内部構成を示す図である。 図６は、ローパスフィルタ回路を経由した電圧信号と、ローパスフィルタ回路を経由しない電圧信号とを使い分ける制御の一例を示す図である。 図７は、波長成分の光軸方向から見た複数の光出力ポートを示す図である。 図８は、波長成分の光軸方向から見た複数の光出力ポートを示す図である。 図９（ａ）及び図９（ｂ）は、波長選択スイッチの動作の変形例を示す図である。 図１０は、第２変形例として、電圧出力回路の内部構成を示す図である。 図１１は、第３変形例として、電圧出力回路の内部構成を示す図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明による光スイッチおよび波長選択スイッチの実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

図１は、本発明の一実施形態として、光スイッチの一種である波長選択スイッチ１Ａの構成を概略的に示す平面図である。また、図２は、図１に示された波長選択スイッチ１ＡのII−II線に沿った側断面図である。なお、理解の容易のため、図１及び図２にはＸＹＺ直交座標系が示されている。波長選択スイッチ１Ａは、ＹＺ平面に沿った上面及び底面と、Ｘ軸方向に沿った４つの側面とを有する略直方体状を呈している。

図１及び図２に示されるように、この波長選択スイッチ１Ａは、光入力ポート１１と、複数の光出力ポートとを備えている。光入力ポート１１には、複数の波長成分を含む光（例えば波長多重光通信における信号光）Ｌ１が波長選択スイッチ１Ａの外部から入力される。波長選択スイッチ１Ａは、光入力ポート１１に入力された光Ｌ１を波長成分毎に分光して、各波長成分を、複数の光出力ポート１２のそれぞれから出力する。なお、図１では一例として３つの波長成分Ｌ２１、Ｌ２２及びＬ２３と４つの光出力ポート１２とが図示されており、３つの波長成分Ｌ２１、Ｌ２２及びＬ２３それぞれが、４つの光出力ポート１２のうち３つの光出力ポート１２それぞれから出力される。

複数の光出力ポート１２は、所定方向（例えばＸ軸方向）に並んで配置されており、本実施形態では光入力ポート１１と複数の光出力ポート１２とがＸ軸方向に一列に並んで配置されている。光入力ポート１１及び複数の光出力ポート１２は、例えば光ファイバといった光導波部材によって好適に構成される。

波長選択スイッチ１Ａは、更に、コリメータレンズ１３と、ビーム拡大光学系１４と、分光素子１５と、集光レンズ１６と、ＭＥＭＳミラー１７と、制御部２０とを備えている。

コリメータレンズ１３は、光入力ポート１１と光学的に結合されており、光入力ポート１１から入力された光Ｌ１を平行化（コリメート）する。また、コリメータレンズ１３は、複数の光出力ポート１２と光学的に結合されており、分光後の各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３を、各々に対応する光出力ポート１２に向けて集光する。

ビーム拡大光学系１４は、コリメータレンズ１３を介して光Ｌ１を受け、光Ｌ１の光軸と直交する一方向（本実施形態ではＹ軸方向）に光Ｌ１の幅を拡大する。このとき、光Ｌ１の幅はＸ軸方向には拡大されないので、光軸に対して垂直な光Ｌ１の断面は、Ｙ軸方向に延びる偏平形状となる。また、ビーム拡大光学系１４は、コリメータレンズ１３を介して複数の光出力ポート１２と光学的に結合されており、分光後の各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３の幅を、各々に対応する光出力ポート１２に向けて縮小する。ビーム拡大光学系１４は、例えばプリズムペア１４ａ，１４ｂによって好適に構成される。また、ビーム拡大光学系１４を、Ｙ軸方向にのみ光パワーを有する光学部品（例えばシリンドリカルレンズ）によって構成することもできる。

分光素子１５は、光入力ポート１１から入力された光Ｌ１を受けて、その光Ｌ１を各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３に分光する。本実施形態の分光素子１５は、コリメータレンズ１３及びビーム拡大光学系１４を介して光Ｌ１を受ける。分光素子１５は、例えば表面に回折格子が形成された板状部材によって好適に構成される。分光素子１５によって分光された光Ｌ１の各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３は、それぞれ異なる光軸方向に進む。本実施形態では、各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３は、複数の光出力ポート１２の並び方向と交差する方向（例えばＹ軸方向）に分光される。

集光レンズ１６は、分光素子１５とＭＥＭＳミラー１７とを光学的に結合しており、分光素子１５から出力された各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３を、ＭＥＭＳミラー１７に向けて集光する。上述したように、各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３はＹ軸方向に拡大された偏平形状を有するが、集光レンズ１６は、ＹＺ平面内での焦点距離とＸＺ平面内での焦点距離とが等しくなるように構成されている。

ＭＥＭＳミラー１７は、ＭＥＭＳ技術によって形成された複数の微小な光反射面１７ａを有する。これら複数の光反射面１７ａは、例えば可撓性の支持部材によって支持され、各々に設けられたアクチュエータに印加される電圧の大きさに応じて、その角度を個別に変更可能なように構成されている。複数の光反射面１７ａは、各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３の分光方向（本実施形態ではＹ軸方向）に並んで配置されている。各光反射面１７ａは、分光素子１５から出力された各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３を受けて、複数の出力ポート１２の何れかへ選択的に反射する。例えば、或る光反射面１７ａは波長成分Ｌ２１を受け、該波長成分Ｌ２１を第１番目の出力ポート１２へ向けて反射する。また、別の光反射面１７ａは波長成分Ｌ２２を受け、該波長成分Ｌ２２を第２番目の出力ポート１２へ向けて反射する。また、更に別の光反射面１７ａは波長成分Ｌ２３を受け、該波長成分Ｌ２３を第３番目の出力ポート１２へ向けて反射する。こうしてＭＥＭＳミラー１７により反射された各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３は、集光レンズ１６によって平行化されたのち、ビーム拡大光学系１４及びコリメータレンズ１３を経て、それぞれ対応する出力ポート１２に到達する。

制御部２０は、ＭＥＭＳミラー１７の複数の光反射面１７ａの角度を個別に制御する。図３は、制御部２０の内部構成を示すブロック図である。図３に示されるように、本実施形態の制御部２０は、複数の光反射面制御回路２１と、駆動演算回路２２と、メモリ２３とを有する。光反射面制御回路２１は複数の光反射面１７ａ毎に設けられ、各々に対応する光反射面１７ａの角度を制御するための電圧信号Ｖ１，Ｖ２を生成する。

電圧信号Ｖ１は、光出力ポート１２の並び方向（Ｘ軸方向）に光反射面１７ａを傾けるための電圧であって、光反射面１７ａのＹ軸周りの角度を規定する。この電圧信号Ｖ１により、反射後の各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３の光路が光出力ポート１２の並び方向（Ｘ軸方向）に移動するように、光反射面１７ａの角度が制御される。

また、電圧信号Ｖ２は、波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３の分光方向（Ｙ軸方向）に光反射面１７ａを傾けるための電圧であって、光反射面１７ａのＸ軸周りの角度を規定する。この電圧信号Ｖ２により、反射後の各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３の光路が分光方向（Ｙ軸方向）に移動するように、光反射面１７ａの角度が制御される。

駆動演算回路２２は、電圧信号Ｖ１，Ｖ２の基となるディジタル信号である制御信号Ｓ１，Ｓ２を、各光反射面制御回路２１に提供する。駆動演算回路２２は、例えば中央演算処理装置（ＣＰＵ；Central Processing Unit）によって構成されてもよく、或いはプログラマブルロジックデバイス（ＰＬＤ；Programmable Logic Device）、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）、デジタルシグナルプロセッサ（ＤＳＰ；Digital Signal Processor）等の書き換え可能なハードウェアによって構成されてもよい。駆動演算回路２２は、複数の光反射面１７ａの制御に必要な情報をメモリ２３から読み出し、制御信号Ｓ１，Ｓ２を演算して出力する。

ここで、光反射面制御回路２１の内部構成について更に詳細に説明する。図３に示されるように、本実施形態の光反射面制御回路２１は、制御信号Ｓ１に基づいて電圧信号Ｖ１を生成するための電圧出力回路２４ａ（第１の電圧出力回路）、高電圧増幅部２４ｂ、及び駆動部２４ｃを含む。また、光反射面制御回路２１は、制御信号Ｓ２に基づいて電圧信号Ｖ２を生成するための電圧出力回路２５ａ（第２の電圧出力回路）、高電圧増幅部２５ｂ、及び駆動部２５ｃを含む。

電圧出力回路２４ａは、制御信号Ｓ１のディジタル／アナログ変換を行うことによって、電圧信号Ｖ１を出力する。電圧信号Ｖ１は、反射後の各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３の光路が光出力ポート１２の並び方向（Ｘ軸方向）に移動するように光反射面１７ａの角度を制御するための電圧信号である。また、電圧出力回路２５ａは、制御信号Ｓ２のディジタル／アナログ変換を行うことによって、電圧信号Ｖ２を出力する。電圧信号Ｖ２は、反射後の各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３の光路が分光素子１５の分光方向（Ｙ軸方向）に移動するように光反射面１７ａの角度を制御するための電圧信号である。

高電圧増幅部２４ｂは、電圧出力回路２４ａから出力された電圧信号Ｖ１を増幅し、その増幅後の電圧信号Ｖ１を駆動部２４ｃへ出力する。駆動部２４ｃは、増幅後の電圧信号Ｖ１を、当該光反射面制御回路２１に対応する光反射面１７ａを駆動するアクチュエータへ供給する。これと同様に、高電圧増幅部２５ｂは、電圧出力回路２５ａから出力された電圧信号Ｖ２を増幅し、その増幅後の電圧信号Ｖ２を駆動部２５ｃへ出力する。駆動部２５ｃは、増幅後の電圧信号Ｖ２を、当該光反射面制御回路２１に対応する光反射面１７ａを駆動するアクチュエータへ供給する。

図４及び図５は、電圧出力回路２４ａの内部構成を示す図である。本実施形態の電圧出力回路２４ａは、電圧生成部２６（第１の電圧生成部）と、電圧生成部２７（第２の電圧生成部）と、スイッチ２８と、ローパスフィルタ回路２９とを含む。なお、図４はスイッチ２８が一方の入力端２８ｂに切り替えられた状態を示しており、図５はスイッチ２８が他方の入力端２８ａに切り替えられた状態を示している。

電圧生成部２６及び２７は、駆動演算回路２２と電気的に接続されており、駆動演算回路２２から提供される制御信号Ｓ１のディジタル／アナログ変換をそれぞれ行い、電圧信号Ｖ１をそれぞれ出力する。このとき必要な電圧信号Ｖ１の大きさは駆動演算回路２２によって演算され、その電圧信号Ｖ１の大きさを示す制御信号Ｓ１が駆動演算回路２２から電圧生成部２６及び２７へ提供される。

ローパスフィルタ回路２９は、第１の時定数Ｔ１を有しており、電圧生成部２６とスイッチ２８との間に設けられている。電圧生成部２６から出力された電圧信号Ｖ１は、ローパスフィルタ回路２９を経てスイッチ２８の一方の入力端２８ａ（第１の入力端）に提供される。これに対し、電圧生成部２７とスイッチ２８との間にはローパスフィルタ回路が設けられておらず、電圧生成部２７から出力された電圧信号Ｖ２は、ローパスフィルタ回路を経ずにスイッチ２８の他方の入力端２８ｂ（第２の入力端）に提供される。なお、図４及び図５には、ローパスフィルタ回路２９として、電圧生成部２６とスイッチ２８との間に接続された抵抗素子２９ａ、及び該抵抗素子２９ａの一端と接地電位線５０との間に接続された容量素子２９ｂを含むＲＣフィルタ回路が例示されているが、ローパスフィルタ回路２９の構成はこれに限られるものではない。

スイッチ２８は、電圧生成部２６及び２７のそれぞれに電気的に接続された入力端２８ａ及び２８ｂ、並びにＭＥＭＳミラー１７（図３を参照）に電気的に接続された出力端２８ｄを有する。なお、本実施形態では、スイッチ２８の出力端２８ｄは高電圧増幅部２４ｂおよび駆動部２４ｃを介してＭＥＭＳミラー１７に接続されている。スイッチ２８は、入力端２８ａ，２８ｂを出力端２８ｄに選択的に接続する。本実施形態のスイッチ２８としては、ショーティング型のものが好適に用いられる。なお、ショーティング型のスイッチとは、切り替えの際、入力端同士が短絡する瞬間を設けることにより、入力端と出力端との導通が全て遮断される瞬間を無くした構成のものをいう。このスイッチ２８は、駆動演算回路２２から提供されるスイッチ制御信号Ｓ３に応じて切り替え動作を行う。

以上の構成を備える本実施形態の波長選択スイッチ１Ａでは、光反射面１７ａの角度を制御する制御部２０が、２つの電圧生成部２６，２７を有する。これら電圧生成部２６，２７は、いずれも光反射面１７ａの角度を制御するための電圧信号Ｖ１を出力するものであって、スイッチ２８による切り替えに従っていずれか一方が選択的に用いられる。そして、電圧生成部２６とスイッチ２８との間には、第１の時定数Ｔ１を有するローパスフィルタ回路２９が設けられており、このローパスフィルタ回路２９によって、光反射面１７ａの共振振動を誘発するノイズ成分を電圧信号Ｖ１から除去することができる。また、電圧生成部２７とスイッチ２８との間にはローパスフィルタ回路が設けられていない。したがって、電圧生成部２７から出力される電圧信号Ｖ１には、ローパスフィルタ回路による遅延がないので、光反射面１７ａの応答特性の低下を抑えることができる。制御部２０は、スイッチ２８を切り替えることによって、これらの電圧信号Ｖ１の何れか一方を選択的にＭＥＭＳミラー１７に提供することができる。

このように、本実施形態の波長選択スイッチ１Ａでは、フィルタ時定数が比較的長くノイズ成分が除去された電圧信号Ｖ１と、フィルタ回路を経由しないことによって光反射面１７ａの応答特性が良好となる電圧信号Ｖ１とを選択的にＭＥＭＳミラー１７に提供することができる。したがって、必要に応じて光反射面１７ａの共振振動を抑え、また必要に応じて光反射面１７ａの応答特性を高めることができる。

図６は、ローパスフィルタ回路２９を経由した電圧信号Ｖ１と、ローパスフィルタ回路を経由しない電圧信号Ｖ１とを使い分ける制御の一例を示す図である。図６の横軸は経過時間を表しており、縦軸は電圧信号Ｖ１の大きさを表している。なお、グラフＧ１１は電圧生成部２６から出力される（ローパスフィルタ回路２９を経由した）電圧信号Ｖ１の変化を示しており、グラフＧ１２は電圧生成部２７から出力される（ローパスフィルタ回路を経由しない）電圧信号Ｖ１の変化を示している。

同図に示されるように、例えば、電圧信号Ｖ１の大きさが変化して光反射面１７ａの角度が変更される第１の期間Ｐ１では、図４に示されるように、入力端２８ｂを出力端２８ｄに接続させることにより、フィルタ回路を経由しない電圧信号Ｖ１を選択して、光反射面１７ａの応答特性を高めるとよい。また、第１の期間Ｐ１を除く期間、すなわち光反射面１７ａの角度が一定である期間Ｐ２では、図５に示されるように、入力端２８ａを出力端２８ｄに接続させ、ローパスフィルタ回路２９を経由することによりフィルタ時定数が比較的長い電圧信号Ｖ１を選択して、光反射面１７ａの共振振動を抑えるとよい。これにより、光反射面１７ａの共振振動を抑えつつ、光反射面１７ａの応答特性を高めることができる。

以上に述べたように、本実施形態の波長選択スイッチ１Ａによれば、光反射面１７ａの応答特性の低下による影響を低減しつつ、光反射面１７ａの共振振動を誘発するノイズ成分を電圧信号Ｖ１から除去することができる。また、本実施形態の波長選択スイッチ１Ａは、電圧生成部２６及び２７、スイッチ２８、及びローパスフィルタ回路２９といった簡易な構成要素によって実現可能であるため、特許文献１〜４に記載された光スイッチと比較して容易に構成され得る。

なお、一実施例として、時定数が０．０１秒であるローパスフィルタ回路を電圧生成部としてのＤＡコンバータの後段に接続してその出力電圧を計測したところ、応答時間は５０μｓ（ローパスフィルタ回路無し）が１５０ｍｓ（ローパスフィルタ回路有り）となったが、共振周波数１ｋＨｚであるＭＥＭＳミラーの共振現象は、このローパスフィルタ回路によって完全に抑制された。

また、上述した波長選択スイッチ１Ａの制御部２０は、２つの電圧出力回路２４ａ，２５ａを複数の光反射面１７ａ毎に有している。一方の電圧出力回路２４ａは、反射後の波長成分の光路が光出力ポート１２の並び方向に移動するように、光反射面１７ａの角度を制御する。また、他方の電圧出力回路２５ａは、反射後の波長成分の光路が分光素子１５の分光方向（すなわち光出力ポート１２の並び方向と交差する方向）に移動するように、光反射面１７ａの角度を制御する。そして、本実施形態では、上述した電圧生成部２６，２７が、一方の電圧出力回路２４ａに設けられている。

ここで、図７は、波長成分の光軸方向から見た複数の光出力ポート１２ａ〜１２ｄを示す図である。同図に示されるように、波長選択スイッチ１Ａの動作において、或る波長成分の出力先を一の光出力ポート１２ｂから別の光出力ポート１２ｄへ移動する際、一の光出力ポート１２ｂと別の光出力ポート１２ｄとの間に他の光出力ポート１２ｃが存在することがある。このような場合、光出力ポート１２ａ〜１２ｄの並び方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（例えばＹ軸方向）への当該波長成分の光路の移動（図中の移動経路Ａ１）と、光出力ポート１２ａ〜１２ｄの並び方向（Ｘ軸方向）への当該波長成分の光路の移動（図中の移動経路Ａ２）とを組み合わせることにより、他の光出力ポート１２ｃへの当該波長成分の入射を避けることが好ましい（ヒットレス動作）。

このような場合、移動経路Ａ２における移動距離は、移動経路Ａ１における移動距離よりも長くなる傾向がある。したがって、本実施形態のように、光出力ポート１２の並び方向（Ｘ軸方向）での光路の移動を制御する電圧出力回路２４ａが、電圧生成部２６又は２７からの電圧信号Ｖ１を選択的に出力することにより、移動距離が長い方向での光路の移動を、光反射面１７ａの共振振動を抑えつつ素早く行うことができる。なお、光出力ポート１２ａ〜１２ｄの並び方向（Ｘ軸方向）における光路の移動を必ずしも一度に行う必要はなく、図８に示されるように、該方向の移動を複数回に分けて行ってもよい。

また、本実施形態に示されたように、波長選択スイッチ１Ａでは、光入力ポート１１および光出力ポート１２とＭＥＭＳミラー１７との間にビーム拡大光学系１４が設けられることがある。上述したように、ビーム拡大光学系１４は、光入力ポート１１から出力された光の幅を、主に光出力ポート１２の並び方向と交差する面内（本実施形態ではＹＺ平面内）にて拡大する。また、ビーム拡大光学系１４は、光反射面１７ａにおいて反射された各波長成分Ｌ２１〜Ｌ２３の光の幅を、上記面内において縮小する。このようなビーム拡大光学系１４が設けられる場合、光出力ポート１２の並び方向と交差する方向（Ｙ軸方向）における光反射面１７ａの振動は、光出力ポート１２の並び方向（Ｘ軸方向）における光反射面１７ａの振動と比較して、光出力ポート１２から出力される光の強度変動への影響が小さい。したがって、本実施形態のように、電圧生成部２６及び２７、スイッチ２８並びにローパスフィルタ回路２９を含む構成は、２つの電圧出力回路２４ａ，２５ａのうち電圧出力回路２４ａにのみ設けられるとよい。これにより、出力光への影響が比較的大きい光出力ポート１２の並び方向（Ｘ軸方向）における光反射面１７ａの振動を効果的に抑制しつつ、電圧出力回路２５ａの回路構成を簡素化して制御部２０の回路規模を小さくすることができる。

但し、電圧生成部２６及び２７、スイッチ２８並びにローパスフィルタ回路２９を含む構成は、必要に応じて電圧出力回路２５ａにも設けられることができる。

また、本実施形態のように、スイッチ２８はショーティング型であることが好ましい。これにより、スイッチ２８の切り替えの際に電圧信号Ｖ１が出力されない（すなわち電圧信号Ｖ１がＭＥＭＳミラー１７に供給されない）電圧不定状態が生じることを防ぐことができる。

（第１の変形例）
図９（ａ）及び図９（ｂ）は、上記実施形態に係る波長選択スイッチ１Ａの動作の変形例を示す図である。これらの図において、横軸は経過時間を表しており、縦軸は電圧信号Ｖ１の大きさを表している。また、グラフＧ２１は電圧生成部２６から出力される（ローパスフィルタ回路２９を経由した）電圧信号Ｖ１の変化を示しており、グラフＧ２２は電圧生成部２７から出力される（ローパスフィルタ回路を経由しない）電圧信号Ｖ１の変化を示している。

上記実施形態において説明したように、波長選択スイッチ１Ａの動作の一例では、光反射面１７ａの角度が変更される期間Ｐ１において、フィルタ回路を経由しない電圧信号Ｖ１（グラフＧ２２）が選択的に出力される。また、光反射面１７ａの角度が一定である期間Ｐ２では、ローパスフィルタ回路２９を経由する電圧信号Ｖ１（グラフＧ２１）が選択的に出力される。

しかし、期間Ｐ１において、ローパスフィルタ回路２９を経由する電圧信号Ｖ１の目標電圧への収束に長時間を要すると、期間Ｐ１から期間Ｐ２への切り替えに時間が掛かってしまう。そのような場合には、図９（ａ）に示されるように、期間Ｐ１において、電圧生成部２６から出力される電圧信号Ｖ１がオーバーシュート若しくはアンダーシュートを伴うような制御信号Ｓ１が、駆動演算回路２２から電圧生成部２６に提供されるとよい。これにより、電圧生成部２６から出力される電圧信号Ｖ１が選択されていない期間Ｐ１において該電圧信号Ｖ１を目標電圧に素早く収束させ、期間Ｐ２への切り替えを早めることができる。

或いは、図９（ｂ）に示されるように、フィルタ回路を経由する電圧信号Ｖ１（グラフＧ２１）の変化開始タイミングと、フィルタ回路を経由しない電圧信号Ｖ１（グラフＧ２２）の変化開始タイミングとに差を設け、フィルタ回路を経由する電圧信号Ｖ１の変化を時間Δｔだけ先に開始させてもよい。このような方法によって、上記の方法と同様に、電圧生成部２６から出力される電圧信号Ｖ１を期間Ｐ１において目標電圧に素早く収束させ、期間Ｐ２への切り替えを早めることができる。

（第２の変形例）
図１０は、上記実施形態の第２変形例として、電圧出力回路２４ｄの内部構成を示す図である。上記実施形態の波長選択スイッチ１Ａは、電圧出力回路２４ａに代えて、本変形例の電圧出力回路２４ｄを備えても良い。本変形例の電圧出力回路２４ｄが上記実施形態の電圧出力回路２４ａと相違する点は、ローパスフィルタ回路３１が設けられている点である。

本変形例では、電圧生成部２７とスイッチ２８との間にローパスフィルタ回路３１が設けられている。このローパスフィルタ回路３１の時定数Ｔ２（第２の時定数）は、ローパスフィルタ回路２９の時定数Ｔ１よりも短い。電圧生成部２７から出力された電圧信号Ｖ１は、ローパスフィルタ回路３１を経てスイッチ２８の入力端２８ｂに提供される。なお、図１０には、ローパスフィルタ回路３１として、電圧生成部２７とスイッチ２８との間に接続された抵抗素子３１ａ、及び該抵抗素子３１ａの一端と接地電位線５０との間に接続された容量素子３１ｂを含むＲＣフィルタ回路が例示されているが、ローパスフィルタ回路３１の構成はこれに限られるものではない。

本変形例のように、電圧生成部２７とスイッチ２８との間には、ローパスフィルタ回路２９よりも時定数が短いローパスフィルタ回路３１が設けられてもよい。このような構成であっても、電圧生成部２７から出力される電圧信号Ｖ１では、電圧生成部２６から出力される電圧信号Ｖ１と比較して遅延が抑えられるので、光反射面１７ａの応答特性の低下を抑えることができる。

（第３の変形例）
図１１は、上記実施形態の第３変形例として、電圧出力回路２４ｅの内部構成を示す図である。上記実施形態の波長選択スイッチ１Ａは、電圧出力回路２４ａに代えて、本変形例の電圧出力回路２４ｅを備えても良い。本変形例の電圧出力回路２４ｅが上記実施形態の電圧出力回路２４ａと相違する点は、電圧生成部３２（第３の電圧生成部）と、ローパスフィルタ回路３３とを更に含む点である。また、本変形例のスイッチ２８は、電圧生成部３２に接続された第３の入力端２８ｃを更に有し、入力端２８ａ〜２８ｃを出力端２８ｄに選択的に接続する。

電圧生成部３２は、駆動演算回路２２と電気的に接続されており、駆動演算回路２２から提供される制御信号Ｓ１のディジタル／アナログ変換を行い、電圧信号Ｖ１を出力する。このとき必要な電圧信号Ｖ１の大きさは駆動演算回路２２によって演算され、その電圧信号Ｖ１の大きさを示す制御信号Ｓ１が駆動演算回路２２から電圧生成部３２へ提供される。

ローパスフィルタ回路３３は、第３の時定数Ｔ３を有しており、電圧生成部３２とスイッチ２８との間に設けられている。電圧生成部３２から出力された電圧信号Ｖ１は、ローパスフィルタ回路３３を経てスイッチ２８の入力端２８ｃに提供される。なお、図１１には、ローパスフィルタ回路３３として、電圧生成部３２とスイッチ２８との間に接続された抵抗素子３３ａ、及び該抵抗素子３３ａの一端と接地電位線５０との間に接続された容量素子３３ｂを含むＲＣフィルタ回路が例示されているが、ローパスフィルタ回路３３の構成はこれに限られるものではない。

本変形例の構成によれば、除去すべきノイズの周波数や、複数の光反射面１７ａの間での共振周波数の相違などに応じて、時定数が異なる３つの電圧信号Ｖ１から最適なものを選択してＭＥＭＳミラー１７に提供することができる。したがって、光反射面１７ａの共振振動をより効果的に抑えつつ、光反射面１７ａの応答特性を高めることができる。

本発明による光スイッチおよび波長選択スイッチは、上述した実施形態に限られるものではなく、他に様々な変形が可能である。例えば、上述した波長選択スイッチ（光スイッチ）は、一つの光入力ポートと複数の光出力ポートとを備えているが、光入力ポートは複数設けられてもよく、また光出力ポートは一つのみ設けられてもよい。すなわち、本発明は、Ｍ個の光入力ポート及びＮ個の光出力ポート（但し、Ｍ、ＮはＭ＋Ｎ≧３を満たす１以上の整数）を備え、Ｍ個の光入力ポートの何れかと、Ｎ個の光出力ポートの何れかとを選択的に光結合する光スイッチに適用可能である。その場合、ＭＥＭＳミラーは、Ｍ個の光入力ポートの何れかから入力された光を、Ｎ個の出力ポートの何れかへ選択的に反射するとよい。

１Ａ…波長選択スイッチ、１１…光入力ポート、１２，１２ａ〜１２ｄ…光出力ポート、１３…コリメータレンズ、１４…ビーム拡大光学系、１４ａ，１４ｂ…プリズムペア、１５…分光素子、１６…集光レンズ、１７…ＭＥＭＳミラー、１７ａ…光反射面、２０…制御部、２１…光反射面制御回路、２２…駆動演算回路、２３…メモリ、２４ａ，２４ｄ，２４ｅ，２５ａ…電圧出力回路、２４ｂ，２５ｂ…高電圧増幅部、２４ｃ，２５ｃ…駆動部、２６，２７，３２…電圧生成部、２８…スイッチ、２９，３１，３３…ローパスフィルタ回路、５０…接地電位線、Ａ１，Ａ２…移動経路、Ｌ１…光、Ｌ２１〜Ｌ２３…波長成分、Ｓ１，Ｓ２…制御信号、Ｓ３…スイッチ制御信号、Ｖ１，Ｖ２…電圧信号。

Claims (6)

1. Ｍ個の光入力ポート及びＮ個の光出力ポート（但し、Ｍ、ＮはＭ＋Ｎ≧３を満たす１以上の整数）を備え、前記Ｍ個の光入力ポートの何れかと、前記Ｎ個の光出力ポートの何れかとを選択的に光結合する光スイッチであって、
   光反射面の角度を変更可能に構成されており、前記Ｍ個の光入力ポートの何れかから入力された光を前記Ｎ個の出力ポートの何れかへ選択的に反射するＭＥＭＳミラーと、
   前記ＭＥＭＳミラーの前記光反射面の角度を制御する制御部と
   を備え、
   前記制御部は、
   前記光反射面の角度を制御するための電圧信号をそれぞれ出力する第１及び第２の電圧生成部と、
   前記第１及び第２の電圧生成部のそれぞれに接続された第１及び第２の入力端、および前記ＭＥＭＳミラーに接続された出力端を含んでおり前記第１及び第２の入力端を前記出力端に選択的に接続するスイッチと
   を有し、
   前記第１の電圧生成部と前記スイッチとの間には、第１の時定数を有するローパスフィルタ回路が設けられており、
   前記第２の電圧生成部と前記スイッチとの間には、前記第１の時定数よりも短い第２の時定数を有するローパスフィルタ回路が設けられているか、またはローパスフィルタ回路が設けられていないことを特徴とする、光スイッチ。
2. 前記制御部は、前記電圧信号の大きさを演算して該電圧信号の大きさを示す制御信号を前記第１及び第２の電圧生成部へ提供するとともに前記スイッチの動作を制御する駆動演算回路を更に有し、
   前記駆動演算回路は、前記電圧信号の大きさを変化させるタイミングを含む第１の期間では前記第２の入力端を前記出力端に接続させ、前記第１の期間を除く期間では前記第１の入力端を前記出力端に接続させることを特徴とする、請求項１に記載の光スイッチ。
3. 前記駆動演算回路は、前記第１の期間において、前記第１の電圧生成部から出力される前記電圧信号がオーバーシュート若しくはアンダーシュートを伴うような前記制御信号を前記第１の電圧生成部に提供することを特徴とする、請求項２に記載の光スイッチ。
4. 前記スイッチがショーティング型であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の光スイッチ。
5. 前記制御部が、前記光反射面の角度を制御するための電圧信号を出力する第３の電圧生成部を更に有しており、
   前記スイッチが、前記第３の電圧生成部に接続された第３の入力端を更に有し、前記第１〜第３の入力端を前記出力端に選択的に接続し、
   前記第３の電圧生成部と前記スイッチとの間には、前記第１の時定数よりも長い第３の時定数を有するローパスフィルタ回路が設けられていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の光スイッチ。
6. 光入力ポート、及び所定方向に並んだ複数の光出力ポートを備え、前記光入力ポートに入力された光を波長成分毎に分光して前記複数の光出力ポートのそれぞれから出力する波長選択スイッチであって、
   前記光入力ポートから入力された光を受けて、その光を各波長成分に分光して出力する分光素子と、
   複数の光反射面の角度を個別に変更可能に構成されており、前記分光素子から出力された前記複数の波長成分それぞれを前記複数の光反射面それぞれが受けて前記複数の出力ポートの何れかへ選択的に反射するＭＥＭＳミラーと、
   前記ＭＥＭＳミラーの前記複数の光反射面の角度を個別に制御する制御部と
   を備え、
   前記制御部は、
   前記複数の光反射面毎に設けられ、反射後の各波長成分の光路が前記所定方向に移動するように前記光反射面の角度を制御するための電圧信号をそれぞれ出力する複数の第１の電圧出力回路と、
   前記複数の光反射面毎に設けられ、反射後の各波長成分の光路が前記所定方向と交差する方向に移動するように前記光反射面の角度を制御するための電圧信号をそれぞれ出力する複数の第２の電圧出力回路と
   を有し、
   前記複数の第１の電圧出力回路それぞれは、
   前記電圧信号をそれぞれ出力する第１及び第２の電圧生成部と、
   前記第１及び第２の電圧生成部のそれぞれに接続された第１及び第２の入力端および前記ＭＥＭＳミラーに接続された出力端を有し、前記第１及び第２の入力端を前記出力端に選択的に接続するスイッチと
   を含み、
   前記第１の電圧生成部と前記スイッチとの間には、第１の時定数を有するローパスフィルタ回路が設けられており、
   前記第２の電圧生成部と前記スイッチとの間には、前記第１の時定数よりも短い第２の時定数を有するローパスフィルタ回路が設けられているか、またはローパスフィルタ回路が設けられていないことを特徴とする、波長選択スイッチ。

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