KR101493805B1 - 대구경망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치 - Google Patents

대구경망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치 Download PDF

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한국 천문 연구원
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Abstract

본 발명은 대구경망원경의 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대구경 망원경에서 팁틸트 구동신호를 측정하는 구성요소를 가진하여 외란을 발생시킴으로써 고속 스티어링 미러 유닛의 고정 구조물에 대한 영향을 제거할 수 있을 뿐만 아니라, 외란 발생 장치를 간단 단순화하여 저비용으로 안정적이고 정밀한 외란을 발생시킬 수 있는 대구경망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치 및 이를 구비한 대구경 망원경에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 광학 유닛 및 팁틸트 구동하는 고속 스티어링 미러 유닛을 포함하는 대구경 망원경의 외란 제거성능 측정장치로서, 상기 고속 스티어링 미러 유닛에 반사되는 레이저빔을 입사받도록 위치되어 레이저빔의 위치를 측정하도록 구성되는 팁틸트 구동신호 측정유닛; 및 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛을 종적 및 횡적으로 가진시켜 외란을 발생시키는 외란 발생 유닛을 포함하는 대구경 망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치가 제공된다.

Description

대구경망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치 {MEASUREMENT APPARATUS FOR DISTURBANCE REMOVE PERFORMANCE OF HIGH-SPEED STEERING MIRROR UNIT FOR LARGE TELESCOPIC SYSTEM}
본 발명은 대구경망원경의 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대구경 망원경에서 팁틸트 구동신호를 측정하는 구성요소를 가진하여 외란을 발생시킴으로써 고속 스티어링 미러 유닛의 고정 구조물에 대한 영향을 제거할 수 있을 뿐만 아니라, 외란 발생 장치를 간단 단순화하여 저비용으로 안정적이고 정밀한 외란을 발생시킬 수 있는 대구경망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치에 관한 것이다.
반사경을 갖는 대구경 망원경에서 고속 스티어링 미러 유닛은 외란에 의해 발생하는 측정 이미지의 흔들림을 팁틸트 구동을 통해 보정한다.
다시 말해서, 대구경 망원경의 고속 스티어링 미러 유닛에서 외란에 의해 발생하는 측정 이미지의 흔들림을 보정하기 위하여, 종래에는 대략 1m의 직경과 100kg의 질량을 가지는 부경을 소정 구동 주파수(예를 들면, 최대 30 Hz의 구동 주파수)로 팁틸트 구동을 시킨다.
이에 따라 팁틸트 구동을 위한 팁틸트 구동 시스템 및 이 시스템의 성능을 측정하기 위한 장치는 크기, 질량, 강성 등의 많은 제약 조건으로 인해 설계 및 제작하는데 어려움이 있는 문제점이 있다.
특히, 종래에는 외란 제거 성능을 측정하기 위하여 임의의 외란을 발생 시켜야 하는데 가진기를 이용하여 시스템 전체를 움직이는 기존의 방법은 시스템이 고정되는 구조물의 질량 및 강성의 영향을 받을 뿐만 아니라 시스템 전체를 가진 하기 위하여 고비용과 많은 시간이 필요한 문제점이 있다.
이러한 종래의 문제점들을 해결하기 위한 본 발명은, 대구경 망원경에서 이미지 흔들림을 보정하기 위한 팁틸트 구동을 측정하는 장치만을 가진하여 외란을 발생시킴으로써 고속 스티어링 미러 유닛의 고정 구조물에 대한 영향을 제거하며, 외란 발생 장치를 단순화하여 저비용으로 안정적이면서 정밀한 외란을 발생시킬 수 있는 대구경망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치를 제공하고자 하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 광학 유닛 및 팁틸트 구동하는 고속 스티어링 미러 유닛을 포함하는 대구경 망원경의 외란 제거성능 측정장치로서, 상기 고속 스티어링 미러 유닛에 반사되는 레이저빔을 입사받도록 위치되어 레이저빔의 위치를 측정하도록 구성되는 팁틸트 구동신호 측정유닛; 및 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛을 종적 및 횡적으로 가진시켜 외란을 발생시키는 외란 발생 유닛을 포함하는 대구경 망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치가 제공된다.
본 발명의 다른 관점에 따르면, 일면에 미러가 구비되고 팁틸트 구동장치에 의해 팁틸트 구동되도록 구성되는 고속 스티어링 미러 유닛; 레이저빔을 생성하여 상기 고속 스티어링 미러 유닛에 레이저빔을 입사시키고 고속 스티어링 미러 유닛으로부터 입사받도록 구성되는 상기 광학유닛; 상기 광학유닛에서 입사받은 레이저빔을 제공받아 레이저빔의 위치를 측정하도록 구성되는 팁틸트 구동신호 측정유닛; 및 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛을 종적 및 횡적으로 가진시켜 외란을 발생시키는 외란 발생 유닛을 포함하는 고속 스티어링 유닛의 외란 제거성능 측정장치가 제공된다.
상기 광학유닛은 레이저빔을 발생시키는 레이저빔 광원부와, 상기 레이저빔 광원부의 레이저빔을 2방향으로 분리 출사시키는 스플리터(splitter) 및 상기 스플리터에 의해 분리되어 나오는 레이저빔 일부를 상기 고속 스티어링 미러 유닛으로 입사시키는 폴딩 미러(folding mirror)를 포함하고, 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛은 레이저빔의 횡적 및 종적 방향의 위치 변화를 측정하도록 구성되는 것이 바람직하다.
상기 외란 발생 유닛은 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛을 횡적으로 외란시키는 횡적 외란 발생 모듈 및 상기 횡적 외란 발생 모듈과 연계되어 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛을 종적으로 외란시키는 종적 외란 발생 모듈을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 횡적 외란 발생 모듈은 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛을 수평 지지하는 횡적 스테이지와, 상기 횡적 스테이지의 일측에 구비되는 구동수단, 및 상기 구동수단의 구동 동작을 횡적 스테이지로 전달하는 연동 수단을 포함하고, 상기 종적 외란 발생 모듈은 상기 횡적 스테이지를 지지하는 종적 스테이지와, 상기 종적 스테이지의 일측에 구비되는 구동수단, 및 상기 구동수단의 구동 동작을 종적 스테이지로 전달하는 연동 수단을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 구동수단은 압전 액추에이터 및 상기 압전 액추에이터의 구동 거리를 확장시키도록 상기 압전 액추에이터의 양단 중 적어도 일단이 탄성 힌지 구조로 내부에 부착되도록 구성되고, 상기 연동 수단에 연결되는 구동거리 확장부재를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 횡적 외란 모듈의 연동 수단은 일단이 상기 구동거리 확장부재에 연결되고, 타단은 볼롤러로 이루어지는 연결 부재, 및 상기 볼롤러가 수용되는 V자홈으로 이루어져 상기 횡적 스테이지에 구비되는 수용 부재를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 종적 외란 모듈의 연동 수단은 일단이 상기 구동거리 확장부재에 연결되고, 중심부는 상기 종적 스테이지에 회동가능하게 구비되며, 타단은 종적 스테이지의 하면에 접촉하여 상기 구동수단의 병진 운동을 상기 종적 스테이지의 상하 운동으로 변환시키는 운동방향 전환 부재를 포함하는 것이 바람직하다.
이상과 같은 본 발명에 의하면, 시스템 전체를 가진시키는 기존의 방법과는 달리 팁틸트 구동 신호를 측정하는 측정유닛, 즉 레이저빔 위치측정 검출기만을 가진하여 외란을 발생시킴으로써 고속 스티어링 미러 유닛을 고정시키는 구조물의 영향을 제거하거나 최소화할 수 있어 측정 효율을 증대시킬 수 있는 대구경망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치가 제공된다.
또한, 본 발명에 따르면, 외란 발생을 위하여 작동하는 장치의 구조를 콤팩트화하여 비교적 적은 비용으로 안정적이면서도 정밀하게 외란을 발생시켜 측정할 수 있는 효과를 제공한다.
도 1은 본 발명에 따른 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치의 주요 구성부를 개략적으로 도시한 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치의 대상이 되는 대구경 망원경을 구성하는 팁틸트 구동 유닛을 개략적으로 도시한 구성도,
도 3은 본 발명에 따른 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치를 구성하는 광학 유닛을 개략적으로 도시한 구성도,
도 4는 본 발명에 따른 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치를 구성하는 팁틸트 구동신호 측정유닛 및 외란 발생 유닛을 개략적으로 도시한 구성도,
도 5는 본 발명에 따른 외란 발생 유닛을 구성하는 횡적(X축) 외란 발생 모듈을 개략적으로 도시한 평면도, 그리고
도 6는 본 발명에 따른 외란 발생 유닛을 구성하는 종적(Z축) 외란 발생 모듈을 개략적으로 도시한 측면도.
이하에서 설명되는 본 발명에 따른 대구경망원경뿐만 아니라, 외란에 의한 이미지 흔들림 보정 및/또는 외란 제거 성능 측정을 위하여 임의의 외란 발생이 요구되는 어떠한 형태의 망원경이나 광학계에 적용될 수 있다.
본 발명에 따른 대구경망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치는 시스템 전체를 가진시키는 기존의 방법과는 달리 팁틸트 구동 신호를 측정하는 측정유닛만을 가진하여 외란을 발생시킴으로써 고속 스티어링 미러 유닛을 고정시키는 구조물의 영향을 제거하거나 최소화할 수 있어 측정 효율을 증대시킬 수 있고, 외란 발생을 위하여 작동하는 장치의 구성을 콤팩트하게 하고 안정적이면서도 정밀하게 외란을 발생시켜 측정할 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 대구경 망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치는, 광학 유닛에 의해 발생하는 레이저빔을 반사시키며, 팁틸트 구동하는 고속 스티어링 미러 유닛을 포함하는 대구경 망원경의 외란 제거성능 측정장치로서, 상기 광학 유닛에서 발생하여 고속 스티어링 미러 유닛의 미러(반사경)에 반사되는 레이저빔을 입사받게 위치되어 레이저빔의 위치를 측정하도록 구성되는 팁틸트 구동신호 측정유닛; 및 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛을 종적 및 횡적으로 가진시켜 외란을 발생시키는 외란 발생 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기한 팁틸트 구동신호 측정유닛과 외란 발생 유닛에 대해서는 이들 구성요소와 다른 구성요소들을 포함하는 이하의 대구경 망원경의 설명에서 상세히 설명한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치에 대하여 첨부 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치의 주요 구성부를 개략적으로 도시한 구성도이며, 도 2는 본 발명에 따른 고속 스티어링 미러의 외란 제거성능 측정장치의 대상이 되는 대구경 망원경을 구성하는 팁틸트 구동 유닛을 개략적으로 도시한 구성도이다.
본 발명에 따른 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 횡 프레임(11)을 일정 높이로 지지하기 위한 종 프레임(12)으로 이루어지는 프레임 구조물(10); 상기 횡 프레임(11)에 고정되며, 일면에 미러(반사경)(110)가 구비되고 팁틸트 구동장치(120)에 의해 팁틸트 구동되도록 구성되는 고속 스티어링 미러 유닛(100); 레이저빔을 생성하여 고속 스티어링 미러 유닛(100)의 미러(110)로 입사시키고, 미러(110)에서 반사되어 나온 레이저빔을 입사받도록 구성되는 광학유닛(200); 상기 광학유닛(200)에서 입사받은 레이저빔을 입사받아 레이저빔의 위치를 측정하도록 구성되는 팁틸트 구동신호 측정유닛(300); 및 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)을 종적 및 횡적으로 가진시켜 외란을 발생시키는 외란 발생 유닛(400)을 포함한다.
상기 고속 스티어링 미러 유닛(100)은 하면, 즉 광학 유닛(200)의 대향면에 미러(반사경)(110)가 구비되고, 이 고속 스티어링 미러 유닛(100)을 팁틸트 구동시키는 팁틸트 구동장치(120)는 공지의 다양한 방식 및 구성을 적용하여 구현될 수 있으므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
다음으로, 상기 광학유닛(200)에 대하여 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은 본 발명에 따른 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치를 구성하는 광학 유닛을 개략적으로 도시한 구성도이다.
본 발명의 대구경 망원경에 포함되는 광학유닛(200)은 도 3에 도시된 바와 같이, 레이저빔을 발생시키는 레이저빔 광원부(210); 상기 레이저빔 광원부(210)로부터의 레이저빔을 입사받아 2방향으로 분리 출사시키는 스플리터(splitter)(220); 및 상기 스플리터(220)에 의해 분리되어 나오는 레이저빔 일부를 상기 고속 스티어링 미러 유닛(100)의 미러(110)로 입사시키는 폴딩 미러(folding mirror)(230)를 포함한다. 미설명부호 240은 상기 각 구성요소, 레이저빔 광원부(210), 스플리터(220) 그리고 폴딩 미러(230)를 일정 높이에 지지 위치시키는 지지체이다.
상기 광학유닛(200)에서 입사받은 레이저빔을 입사받아 레이저빔의 위치를 측정하도록 구성되는 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)에는 상기 스플리터(220)를 통과하여 직진 방향으로 분리된 레이저빔의 일부가 도달하게 된다.
이러한 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)은 레이저빔의 횡적/종적 방향(수평/수직 방향)의 위치 변화로 측정되며, 이 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)에서 측정된 레이저빔의 위치 변화, 즉 횡적/종적 방향의 움직임(운동)을 통해 외란이 발생하게 된다.
레이저빔의 위치 변화를 측정하는 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)은 공지의 다양한 것을 채용할 수 있으며, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
계속해서, 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)을 종적 및 횡적으로 가진시켜 외란을 발생시키는 외란 발생 유닛(400)을 도 4 내지 도 6을 참조하여 상세히 설명한다. 도 4는 본 발명에 따른 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치를 구성하는 팁틸트 구동신호 측정유닛 및 외란 발생 유닛을 개략적으로 도시한 구성도이고, 도 5는 본 발명에 따른 외란 발생 유닛을 구성하는 횡적(X축) 외란 발생 모듈을 개략적으로 도시한 평면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 외란 발생 유닛을 구성하는 종적(Z축) 외란 발생 모듈을 개략적으로 도시한 측면도이다.
상기 외란 발생 유닛(400)은 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)을 지지 유지하며 횡적(X축)으로 외란을 발생시키는 횡적 외란 발생 모듈(410) 및 상기 횡적 외란 발생 모듈과 연계되며, 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)을 종적(Z축)으로 외란을 발생시키는 종적 외란 발생 모듈(420)을 포함한다.
상기 횡적 외란 발생 모듈(410)은 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)을 수평 지지하는 횡적 스테이지(411)와, 상기 횡적 스테이지(411)의 일측에 구비되는 구동수단(412), 및 상기 구동수단(412)의 구동 동작을 횡적 스테이지(411)에 전달하는 연동 수단(413)을 포함한다.
상기 구동수단(412)은 압전 액추에이터(414) 및 상기 압전 액추에이터(414)의 구동 거리를 확장시키도록 상기 압전 액추에이터(414)의 양단 중 적어도 일단이 탄성 힌지 구조로 내부에 부착되도록 구성되고, 상기 연동 수단(413)에 연결되는 구동거리 확장부재(415)를 포함한다.
상기 연동 수단(413)은 일단은 구동거리 확장부재(415)에 연결되고, 타단은 볼롤러(416)로 이루어지는 연결 부재, 및 상기 횡적 스테이지(411)에 구비되고 상기 볼롤러(416)가 수용되는 V자홈으로 이루어진 수용 부재(417)를 포함한다.
이에 따라 후술할 종적 외란 발생 모듈(420)에 의해 횡적 스테이지의 연동 수단(413)은 V자홈을 통해 종적 방향의 자유도를 얻게 되고, 이에 따라 횡적 스테이지와 종적 스테이지 간의 간섭을 제거하게 된다.
상기 종적 외란 발생 모듈(420)은 상기 횡적 스테이지를 지지하는 종적 스테이지(421)와, 상기 종적 스테이지(421)의 일측에 구비되는 구동수단(422), 및 상기 구동수단(422)의 구동 동작을 종적 스테이지(421)에 전달하는 연동 수단(423)을 포함한다.
상기 구동수단(422)은 횡적 외란 발생 모듈의 구동수단과 마찬가지로 압전 액추에이터(424) 및 상기 압전 액추에이터(424)의 구동 거리를 확장시키도록 상기 압전 액추에이터(424)의 양단 중 적어도 일단이 탄성 힌지 구조로 내부에 부착되도록 구성되고, 상기 연동 수단(423)에 연결되는 구동거리 확장부재(425)를 포함한다.
상기 연동 수단(423)은 일단은 구동거리 확장부재(425)에 연결되고, 중심부는 종적 스테이지에 회동가능하게 구비되며, 타단은 종적 스테이지의 하면에 접촉하여 구동수단(422)의 병진 운동을 종적 스테이지의 상하 이동으로 변환시키는 대략 마름모 형태의 운동방향 전환 부재를 포함한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 대구경 망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치의 동작을 설명한다.
미러(반사경)(110)와 팁틸트 구동장치(120)로 구성된 고속 스티어링 미러 유닛(100)을 프레임 구조물(10)에 고정된 상태에서, 광학유닛(200)에서 발생되어 미러에 반사되는 레이저 빔의 위치를 측정하는 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)을 외란 발생 유닛(400)으로 가진시켜 외란을 발생시키며, 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)에서는 고속 스티어링 미러유닛(100)의 팁틸트 구동을 측정할 수 있다.
구체적으로, 도 3의 레이저빔 광원부(210)에서 발생된 레이저 빔은 스플리터(220)를 통하여 직진 방향과 폴딩 미러(230) 방향으로 분리되며, 폴딩 미러 방향의 레이저 빔은 도 2와 같이 고속 스티어링 미러 유닛(100)의 미러면 중앙에 위치한 미러(반사경)(110)에 반사되어 다시 스플리터(220)를 통과하게 된다.
이와 같이 스플리터(220)를 통과한 레이저 빔의 일부는 직진 방향으로 분리되어 도 4와 같이 외란 발생 유닛(400)에 구비된 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)에 도달된다.
이를 통하여 고속 스티어링 미러 유닛(100)의 팁틸트 구동은 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)에 도달한 레이저 빔의 횡적/종적(수평/수직) 방향의 위치 변화로 측정되며, 이와 같은 측정장치에서 팁틸트 구동신호 측정유닛의 수평/수직 방향의 움직임은 고속 스티어링 미러 유닛의 팁틸트 구동에 대한 외란으로 나타난다.
따라서 본 발명에서는 도 4와 같이 압전 액추에이터(414, 424)와 구동거리를 확대 시켜주는 구동거리 확장부재(415, 425)로 구성된 2개의 구동장치를 이용하여 팁틸트 구동신호 측정유닛(300)이 구비된 횡적 스테이지(411)와 종적 스테이지(421)를 구동시켜 외란을 발생시킨다.
이때, 도 6에 나타난 것과 같이 종적 스테이지(421)는 구동 수단(422)의 수평 운동이 운동방향 전환부재(423)를 통하여 수직 운동으로 변환되어 위 아래로 운동하게 되고, 수직운동을 하는 종적 스테이지 위에 고정된 횡적 스테이지는 도 5에서 나타난 것과 같이 구동 수단(412)와 횡적 스테이지(411) 사이에 연결된 볼롤러(416)와 V자홈의 수용 부재(417)를 통하여 얻은 수직 방향의 자유도를 통하여 스테이지 간의 간섭이 제거될 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 대구경망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치에 따르면, 시스템 전체를 가진시키는 기존의 방법과는 달리 팁틸트 구동 신호를 측정하는 측정유닛, 즉 레이저빔 위치측정 검출기만을 가진하여 외란을 발생시킴으로써 고속 스티어링 미러 유닛을 고정시키는 구조물의 영향을 제거하거나 최소화할 수 있어 측정 효율을 증대시킬 수 있으며, 외란 발생을 위하여 작동하는 장치의 구조를 콤팩트화하여 비교적 적은 비용으로 안정적이면서도 정밀하게 외란을 발생시켜 측정할 수 있는 이점이 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 대구경망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치 및 이를 구비한 대구경 망원경은, 예시된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 이상에서 설명된 실시 예와 도면에 의해 한정되지 않으며, 특허청구범위 내에서 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자들에 의해 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다.
10: 프레임 구조물 100: 고속 스티어링 미러 유닛
110: 미러(반사경) 120: 팁틸트 구동장치
200: 광학유닛 210: 레이저빔 광원부
220: 스플리터 230: 폴딩 미러
300: 구동신호 측정유닛 400: 외란 발생 유닛
410: 횡적 외란 발생 모듈 411: 횡적 스테이지
412, 422: 구동수단 413: 연동 수단
414: 압전 액추에이터 415, 425: 구동거리 확장부재
420: 종적 외란 발생 모듈 423: 연동 수단

Claims (8)

  1. 광학 유닛 및 팁틸트 구동하는 고속 스티어링 미러 유닛을 포함하는 대구경 망원경의 외란 제거성능 측정장치로서,
    상기 고속 스티어링 미러 유닛에 반사되는 레이저빔을 입사받도록 위치되어 레이저빔의 위치를 측정하도록 구성되는 팁틸트 구동신호 측정유닛; 및
    상기 팁틸트 구동신호 측정유닛을 종적 및 횡적으로 가진시켜 외란을 발생시키는 외란 발생 유닛을 포함하는
    대구경 망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치.
  2. 일면에 미러가 구비되고 팁틸트 구동장치에 의해 팁틸트 구동되도록 구성되는 고속 스티어링 미러 유닛;
    레이저빔을 생성하여 상기 고속 스티어링 미러 유닛에 레이저빔을 입사시키고 상기 고속 스티어링 미러 유닛으로부터 입사받도록 구성되는 광학유닛;
    상기 광학유닛에서 입사받은 레이저빔을 제공받아 레이저빔의 위치를 측정하도록 구성되는 팁틸트 구동신호 측정유닛; 및
    상기 팁틸트 구동신호 측정유닛을 종적 및 횡적으로 가진시켜 외란을 발생시키는 외란 발생 유닛을 포함하는
    대구경 망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 광학유닛은 레이저빔을 발생시키는 레이저빔 광원부와, 상기 레이저빔 광원부의 레이저빔을 2방향으로 분리 출사시키는 스플리터(splitter) 및 상기 스플리터에 의해 분리되어 나오는 레이저빔 일부를 상기 고속 스티어링 미러 유닛으로 입사시키는 폴딩 미러(folding mirror)를 포함하고,
    상기 팁틸트 구동신호 측정유닛은 레이저빔의 횡적 및 종적 방향의 위치 변화를 측정하도록 구성되는
    대구경 망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 외란 발생 유닛은
    상기 팁틸트 구동신호 측정유닛을 횡적으로 외란시키는 횡적 외란 발생 모듈 및 상기 횡적 외란 발생 모듈과 연계되어 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛을 종적으로 외란시키는 종적 외란 발생 모듈을 포함하는
    대구경 망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 횡적 외란 발생 모듈은 상기 팁틸트 구동신호 측정유닛을 수평 지지하는 횡적 스테이지와, 상기 횡적 스테이지의 일측에 구비되는 횡적 구동수단, 및 상기 횡적 구동수단의 구동 동작을 상기 횡적 스테이지로 전달하는 횡적 연동수단을 포함하고,
    상기 종적 외란 발생 모듈은 상기 횡적 스테이지를 지지하는 종적 스테이지와, 상기 종적 스테이지의 일측에 구비되는 종적 구동수단, 및 상기 종적 구동수단의 구동 동작을 상기 종적 스테이지로 전달하는 종적 연동수단을 포함하는
    대구경 망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 횡적 구동수단은
    횡적 압전 액추에이터 및
    상기 횡적 압전 액추에이터의 구동 거리를 확장시키도록 상기 횡적 압전 액추에이터의 양단 중 적어도 일단이 탄성 힌지 구조로 내부에 부착되도록 구성되고, 상기 횡적 연동 수단에 연결되는 횡적 구동거리 확장부재를 포함하며,
    상기 종적 구동수단은
    종적 압전 액추에이터 및
    상기 종적 압전 액추에이터의 구동 거리를 확장시키도록 상기 종적 압전 액추에이터의 양단 중 적어도 일단이 탄성 힌지 구조로 내부에 부착되도록 구성되고, 상기 종적 연동수단에 연결되는 종적 구동거리 확장부재를 포함하는
    대구경 망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 횡적 연동수단은
    일단이 상기 횡적 구동거리 확장부재에 연결되고, 타단은 볼롤러로 이루어지는 연결 부재, 및 상기 볼롤러가 수용되는 V자홈으로 이루어져 상기 횡적 스테이지에 구비되는 수용 부재를 포함하는
    대구경 망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 종적 연동수단은
    일단이 상기 종적 구동거리 확장부재에 연결되고, 중심부는 상기 종적 스테이지에 회동가능하게 구비되며, 타단은 상기 종적 스테이지의 하면에 접촉하여 상기 종적 구동수단의 병진 운동을 상기 종적 스테이지의 상하 운동으로 변환시키는 운동방향 전환 부재를 포함하는
    대구경 망원경용 고속 스티어링 미러 유닛의 외란 제거성능 측정장치.
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