JP2014095863A5 - 光照射装置、顕微鏡装置及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Description
上述した課題を解決するために、本発明による光照射装置は、照射対象物に光を照射するための光照射装置であって、光を出力する光源と、二次元配列された複数の領域を含む位相変調面を有し、フレネル型キノフォームを位相変調面に表示することにより、複数の領域毎に光源から出力された光の位相を変調して、変調光を出射する空間光変調器と、空間光変調器の位相変調面と光学的に結合された第１のレンズ、及び第１のレンズと照射対象物との間に光学的に結合された第２のレンズを有し、位相変調面と照射対象物とを光学的に結合する両側テレセントリック光学系とを備え、位相変調面と第１のレンズとの光学距離が第１のレンズの焦点距離と等しいことを特徴とする。
また、光照射装置は、フレネル型キノフォームが、照射対象物における変調光の形状を、円形状、矩形状、又は直線状とするキノフォームであることを特徴としてもよい。
また、本発明による顕微鏡装置は、上記いずれかの光照射装置と、照射対象物に関する光像を撮像する画像取得用センサを有する観察光学系と、を備えることを特徴とする。
また、本発明によるレーザ加工装置は、上記いずれかの光照射装置を備え、光源はレーザ光を出力することを特徴とする。
また、本発明による顕微鏡装置は、上記いずれかの光照射装置と、照射対象物に関する光像を撮像する画像取得用センサを有する観察光学系と、を備えることを特徴とする。
また、本発明によるレーザ加工装置は、上記いずれかの光照射装置を備え、光源はレーザ光を出力することを特徴とする。
Claims (6)
- 照射対象物に光を照射するための光照射装置であって、
光を出力する光源と、
二次元配列された複数の領域を含む位相変調面を有し、フレネル型キノフォームを前記位相変調面に表示することにより、前記複数の領域毎に前記光源から出力された光の位相を変調して、変調光を出射する空間光変調器と、
前記空間光変調器の前記位相変調面と光学的に結合された第１のレンズ、及び前記第１のレンズと前記照射対象物との間に光学的に結合された第２のレンズを有し、前記位相変調面と前記照射対象物とを光学的に結合する両側テレセントリック光学系とを備え、
前記位相変調面と前記第１のレンズとの光学距離が前記第１のレンズの焦点距離と等しいことを特徴とする、光照射装置。 - 前記フレネル型キノフォームが、前記第１のレンズに向けて前記変調光を縮径させるキノフォームを含むことを特徴とする、請求項１に記載の光照射装置。
- 前記フレネル型キノフォームが、前記第１のレンズに向けて前記変調光を拡径させるキノフォームを含むことを特徴とする、請求項１に記載の光照射装置。
- 前記フレネル型キノフォームは、前記照射対象物における前記変調光の形状を、円形状、矩形状、又は直線状とするキノフォームであることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の光照射装置。
- 請求項１〜３のいずれか一項に記載の光照射装置と、
前記照射対象物に関する光像を撮像する画像取得用センサを有する観察光学系と、
を備えることを特徴とする、顕微鏡装置。 - 請求項１〜３のいずれか一項に記載の光照射装置を備え、
前記光源はレーザ光を出力することを特徴とする、レーザ加工装置。
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