JP2014095800A - 光基板、光基板の製造方法、及び光モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の主面2a及び第2の主面2bを有する板状の樹脂からなり、光ファイバ9を収容する光ファイバ収容部100が形成された基材2と、第1の主面2aに形成された第1の金属層10と、第2の主面2bに形成された第2の金属層20とを備え、光ファイバ収容部100は、第1の主面2a及び第2の主面2bの間を基材2の厚さ方向に貫通し、第1の主面2a側及び第2の主面2b側からの光ファイバ9の抜け出しが阻止された空洞構造である。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る光基板、及びその光基板を備えた光モジュールの一構成例を示し、(a)は平面図、(b)は側面図である。
図3(a)〜(f)は、光基板1の光ファイバ収容部100及びその周辺部における形成過程を示す断面図である。図4(a)〜(e)は、光基板1を第1の主面2a側から見た光ファイバ収容部100及びその周辺部における形成過程を示す平面図である。
以上説明した実施の形態によれば、以下に示す作用及び効果が得られる。
次に、本発明の第2の実施の形態について、図5乃至図9を参照して説明する。本実施の形態に係る光基板1は、第2工程以降の製造工程が、第1の実施の形態に係る光基板1の第2工程以降の製造工程とは異なる。図5乃至図9において、光基板1について説明したものと同一の機能を有する部位については共通する符号を付し、その重複した説明を省略する。
以上説明した第2の実施の形態では、第1の実施の形態の(1)乃至(3)の作用及び効果の他に、以下の作用及び効果がある。
また、第2の実施の形態に係る光基板1は、例えば以下のように変形して実施することも可能である。
次に、以上説明した実施の形態から把握される技術思想について、実施の形態における符号等を援用して記載する。ただし、以下の記載における各符号等は、特許請求の範囲における構成要素を実施の形態に具体的に示した部材等に限定するものではない。
Claims (10)
- 第1及び第2の主面を有する板状の樹脂からなり、光ファイバを収容する光ファイバ収容部が形成された基材と、
前記第1の主面に形成された第1の金属層と、
前記第2の主面に形成された第2の金属層とを備え、
前記光ファイバ収容部は、前記第1及び第2の主面の間を前記基材の厚さ方向に貫通し、前記第1及び第2の主面側からの前記光ファイバの抜け出しが阻止された空洞構造である、
光基板。 - 前記光ファイバ収容部は、前記第2の主面側の少なくとも一部が前記第2の金属層によって覆われている、
請求項1に記載の光基板。 - 前記光ファイバ収容部は、前記第1の主面側が前記第1の金属層を覆うように形成されたフィルム状の絶縁膜によって覆われている、
請求項1又は2に記載の光基板。 - 前記光ファイバ収容部は、前記第1の主面側が前記光ファイバ収容部の収容空間を外部に臨ませる複数の開口が形成された前記第1の金属層によって覆われている、
請求項1又は2に記載の光基板。 - 前記光ファイバ収容部は、前記第2の主面側が前記光ファイバ収容部の収容空間を外部に臨ませる複数の開口が形成された前記第2の金属層によって覆われている、
請求項4に記載の光基板。 - 前記光ファイバ収容部における前記基材の表面には、第3の金属層が形成されている、
請求項4又は5に記載の光基板。 - 前記光ファイバは、ハンダによって前記光ファイバ収容部内に固定されている、
請求項4乃至6の何れか1項に記載の光基板。 - 前記基材には、前記光ファイバを伝搬する光を反射する反射面が前記第1の主面に対して傾斜して前記光ファイバ収容部の終端に形成された、
請求項1乃至7の何れか1項に記載の光基板。 - 請求項5に記載の光基板の製造方法であって、
前記第1の金属層側及び前記第2の金属層側からレーザ光を照射し、前記第1の金属層及び前記第2の金属層の前記開口を通過したレーザ光によって前記基材に前記光ファイバ収容部を形成する工程を含む、
光基板の製造方法。 - 請求項1乃至8の何れか1項に記載の光基板と、
前記光ファイバを伝送媒体とする光信号と電気信号とを交換する光電変換素子とを備えた、
光モジュール。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012247199A JP5929716B2 (ja) | 2012-11-09 | 2012-11-09 | 光基板、光基板の製造方法、及び光モジュール |
US14/054,629 US9052479B2 (en) | 2012-11-09 | 2013-10-15 | Optical board, method for manufacturing the same, and optical module |
CN201310491785.2A CN103809253B (zh) | 2012-11-09 | 2013-10-18 | 光基板、光基板的制造方法以及光模块 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012247199A JP5929716B2 (ja) | 2012-11-09 | 2012-11-09 | 光基板、光基板の製造方法、及び光モジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014095800A true JP2014095800A (ja) | 2014-05-22 |
JP5929716B2 JP5929716B2 (ja) | 2016-06-08 |
Family
ID=50681771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012247199A Expired - Fee Related JP5929716B2 (ja) | 2012-11-09 | 2012-11-09 | 光基板、光基板の製造方法、及び光モジュール |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9052479B2 (ja) |
JP (1) | JP5929716B2 (ja) |
CN (1) | CN103809253B (ja) |
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2012
- 2012-11-09 JP JP2012247199A patent/JP5929716B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-10-15 US US14/054,629 patent/US9052479B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2013-10-18 CN CN201310491785.2A patent/CN103809253B/zh not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103809253B (zh) | 2016-06-15 |
US20140133799A1 (en) | 2014-05-15 |
CN103809253A (zh) | 2014-05-21 |
JP5929716B2 (ja) | 2016-06-08 |
US9052479B2 (en) | 2015-06-09 |
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A621 | Written request for application examination |
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