JP2014091673A - 窒化物系セラミックス回路基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】窒化物系セラミックス基板とCu部材とをろう材を介して接合した接合体において,ろう材中の含有量が、Cu25質量%以下、Sn8〜40質量%、Ti、Zrから選ばれた少なくとも1種類の活性金属成分2〜6質量%、残部がAgであり、窒化物系セラミックス基板側の接合界面には活性金属窒化物層が形成されていることを特徴とするセラミックス回路基板。接合は窒化物系セラミックス基板とCu部材とをろう材を介して積層し、1.0×10−3Pa以下の真空中にて、650℃〜780℃の温度で接合され、窒化物系セラミックスが窒化アルミニウムからなることを特徴とするセラミックス回路基板。
【選択図】なし
Description
材中の含有量が、Cu25質量%以下、Sn8〜40質量%、Ti、Zrから選ばれた少なくとも1種類の活性金属成分2〜6質量%、残部としてAgであり、窒化物系セラミックス基板側の接合界面には活性金属窒化物層が形成されていることを特徴とするものである。
〔実施例1〜7および比較例1〜4〕
セラミックス基板として、50mm×50mm×0.635mmの窒化アルミニウム基板(熱伝導率180W/mK、3点曲げ強度500MPa)を用いた。
Claims (3)
- 窒化物系セラミックス基板とCu部材とをろう材を介して接合した接合体において,ろう
材中の含有量が、Cu25質量%以下、Sn8〜40質量%、Ti、Zrから選ばれた少なくとも1種類の活性金属成分2〜6質量%、残部としてAgであり、窒化物系セラミックス基板側の接合界面には活性金属窒化物層が形成されていることを特徴とするセラミックス回路基板。 - 窒化物系セラミックス基板が窒化アルミニウムからなることを特徴とする請求項1記載のセラミックス回路基板。
- 窒化物系セラミックス基板とCu板を積層し、1.0×10−3Pa以下の真空中にて、650℃〜780℃の温度で接合することを特徴とする請求項1または2記載のセラミックス回路基板の製造方法。
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