JP2014089062A - 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】三次元形状の測定精度が低下する程度を低減することができる。
【解決手段】形状測定装置は、測定光を生成する測定光生成部と、生成された測定光を反射する反射部と、反射部を共振によって揺動させることにより、反射部が反射した測定光を測定対象の測定領域に照射させる揺動部と、測定光が照射された測定領域からの反射光を検出する検出部と、検出された反射光に基づいて、測定対象の三次元形状を測定する測定部と、揺動する反射部の揺動状態を監視する監視部と、監視された揺動状態に基づいて、測定光が測定領域において所定の状態となるように測定光生成部と揺動部との少なくとも一方を制御する制御部とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】形状測定装置は、測定光を生成する測定光生成部と、生成された測定光を反射する反射部と、反射部を共振によって揺動させることにより、反射部が反射した測定光を測定対象の測定領域に照射させる揺動部と、測定光が照射された測定領域からの反射光を検出する検出部と、検出された反射光に基づいて、測定対象の三次元形状を測定する測定部と、揺動する反射部の揺動状態を監視する監視部と、監視された揺動状態に基づいて、測定光が測定領域において所定の状態となるように測定光生成部と揺動部との少なくとも一方を制御する制御部とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラムに関する。
測定対象の面形状(三次元形状)を非接触で測定する手法として、例えば位相シフト法によるパターン投影型の形状測定装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。この形状測定装置では、正弦波状の強度分布によって生じる格子パターンを有する測定光を測定対象上に投影し、その格子パターンの位相を一定ピッチで変化させながら測定対象を繰り返し撮像する。これによって得られた複数の撮像画像(輝度変化データ)を所定の演算式に当てはめることで、測定対象の面形状に応じて変形した格子パターンの位相分布(位相画像)を求め、その位相画像をアンラップ(位相接続)してから、測定対象の高さ分布に換算する。このようにして、形状測定装置は、撮像した複数の撮像画像から測定対象の三次元形状データを生成する。ところで、上述のような形状測定装置には、光源からの光を所定の周期で揺動する反射鏡によって反射させて、反射させた光を測定光として測定対象上に投影する構成のものがある。このような構成の形状測定装置においては、所定の周波数による正弦波状の強度変化を有する光源と、この周波数に同期して揺動する反射鏡とを備えて、所定の周波数に応じた格子パターンを測定対象上に投影する構成のものがある。
しかしながら、上述のような構成の形状測定装置においては、温度や気圧の変化、経時的な部品の劣化などの原因により、光源の強度変化の周波数と、反射鏡の揺動の周波数とが同期しなくなることがある。また、上述のような構成の形状測定装置においては、反射鏡をLC共振回路の共振などによって揺動させることがあるが、揺動の固有振動数が変化すると反射鏡の振幅が変化してしまうことがある。このように、反射鏡の揺動の状態が変化してしまうと、測定光の格子パターンのピッチが変化してしまい、この場合には測定精度が低下してしまうという問題があった。つまり、上述のような構成の形状測定装置においては、温度や気圧の変化、経時的な部品の劣化などの原因により、測定精度が低下してしまうという問題があった。
本発明は、上記問題を解決すべくなされたもので、その目的は、三次元形状の測定精度が低下する程度を低減することができる形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラムを提供することにある。
本発明の一実施形態は、測定光を生成する測定光生成部と、生成された前記測定光を反射する反射部と、前記反射部を共振によって揺動させることにより、前記反射部が反射した前記測定光を測定対象の測定領域に照射させる揺動部と、前記測定光が照射された前記測定領域からの反射光を検出する検出部と、検出された前記反射光に基づいて、前記測定対象の三次元形状を測定する測定部と、揺動する前記反射部の揺動状態を監視する監視部と、監視された前記揺動状態に基づいて、前記測定光が前記測定領域において所定の状態となるように前記測定光生成部と前記揺動部との少なくとも一方を制御する制御部とを備える形状測定装置である。
また、本発明の一実施形態は、測定光を生成する測定光生成部と、生成された前記測定光を反射する反射部と、前記反射部を共振によって揺動させて、前記反射部が反射した前記測定光を測定対象の測定領域に照射する揺動部と、前記測定光が照射された前記測定領域からの反射光を検出する検出部と、前記揺動する前記反射部の揺動状態を監視する監視部と、前記検出部が検出した前記反射光と、前記監視部が監視した前記揺動状態とに基づいて、前記測定対象の三次元形状を測定する測定部とを備える形状測定装置である。
また、本発明の一実施形態は、構造物の形状に関する構造物設計情報を作製する設計装置と、前記構造物設計情報に基づいて前記構造物を作製する成形装置と、作成された前記構造物の形状を、撮像画像に基づいて測定する上述の形状測定装置と、前記測定によって得られた形状情報と、前記構造物設計情報とを比較する検査装置とを含む構造物製造システムである。
また、本発明の一実施形態は、反射部を共振によって揺動させて、前記反射部が反射した測定光を測定対象の測定領域に照射し、前記測定光が照射された前記測定領域からの反射光を検出し、検出された前記反射光に基づいて、前記測定対象の三次元形状を測定し、揺動する前記反射部の揺動状態を監視し、監視された前記揺動状態に基づいて、前記測定光が前記測定領域において所定の状態となるように前記共振状態を制御する形状測定方法である。
また、本発明の一実施形態は、反射部を共振によって揺動させて、該反射部で反射した測定光を測定対象の測定領域に照射し、前記揺動する前記反射部の揺動状態を監視し、前記測定光が照射された前記測定領域からの反射光を検出し、前記監視された揺動状態と前記検出された反射光に基づいて前記測定対象の三次元形状を測定する形状測定方法である。
また、本発明の一実施形態は、構造物の形状に関する構造物設計情報を作製する工程と、前記構造物設計情報に基づいて前記構造物を作製する工程と、作成された前記構造物の形状を、上述の形状測定方法を用いて生成した撮像画像に基づいて測定する工程と、前記測定によって得られた形状情報と、前記構造物設計情報とを比較する工程とを含む構造物製造方法である。
また、本発明の一実施形態は、測定光を生成する測定光生成部と、生成された前記測定光を反射する反射部とを備える形状測定装置が備えるコンピュータに、前記反射部を共振によって揺動させて、前記反射部が反射した前記測定光を測定対象の測定領域に照射し、前記測定光が照射された前記測定領域からの反射光を検出し、検出された前記反射光に基づいて、前記測定対象の三次元形状を測定し、揺動する前記反射部の振動状態を監視し、監視された前記振動状態に基づいて、前記測定光が前記測定領域において所定の状態となるように前記共振の状態を制御させるための形状測定プログラムである。
本発明によれば、形状測定装置は、三次元形状の測定精度が低下する程度を低減することができる。
[第1の実施形態]
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態による形状測定装置10の構成を示すブロック図である。形状測定装置10は、撮像部11と、照射部12と、受付部15と、出力部16と、照射制御部18と、測定制御部20と、記憶部26と、監視部27と、揺動部28とを備え、位相シフト法により測定対象Mの三次元形状を測定するコンピュータ端末である。本実施形態では、形状測定装置10は、Nバケット法に基づく初期位相の異なる複数の縞(格子)状の明暗パターンが測定対象Mに投影された像を撮像し、それぞれの像における同一画素の信号強度(例えば、輝度値やMAX(R,G,B)値などに代表される明度値など)に基づいて、測定対象Mの形状測定を行う。
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態による形状測定装置10の構成を示すブロック図である。形状測定装置10は、撮像部11と、照射部12と、受付部15と、出力部16と、照射制御部18と、測定制御部20と、記憶部26と、監視部27と、揺動部28とを備え、位相シフト法により測定対象Mの三次元形状を測定するコンピュータ端末である。本実施形態では、形状測定装置10は、Nバケット法に基づく初期位相の異なる複数の縞(格子)状の明暗パターンが測定対象Mに投影された像を撮像し、それぞれの像における同一画素の信号強度(例えば、輝度値やMAX(R,G,B)値などに代表される明度値など)に基づいて、測定対象Mの形状測定を行う。
[形状測定装置10の構成]
以下、この形状測定装置10が備える各部の構成について説明する。
受付部15は、ユーザから入力される操作を受け付け、受け付けた操作に基づいて、操作を示す情報(操作指示情報)を出力する。例えば、受付部15は、主電源のオンとオフとを切替えるための電源釦、及び撮像処理開始の指示を受け付けるレリーズ釦等の操作部材を備えている。または、受付部15はタッチパネルにより、これらの指示等を受け付けることもできる。具体的には、受付部15は、レリーズ釦が全押し状態にされることよって、全押し状態に対応する操作を受け付ける。同様に、受付部15は、レリーズ釦が半押し状態にされることよって、半押し状態に対応する操作を受け付ける。ここで、レリーズ釦の全押し状態とは、レリーズ釦が所定の位置まで押し込まれた状態であり、レリーズ釦の半押し状態とは、非操作状態の位置とレリーズ釦が全押し状態の位置の中間に設定された位置まで押し込まれた状態である。受付部15は、レリーズ釦が半押し状態にされる操作を受け付けると、受け付けた操作に基づいて、レリーズ釦の半押し状態を示す情報を操作指示情報として出力する。同様に、受付部15は、レリーズ釦が全押し状態にされる操作を受け付けると、受け付けた操作に基づいて、レリーズ釦の全押し状態を示す情報を操作指示情報として測定制御部20へ出力する。
以下、この形状測定装置10が備える各部の構成について説明する。
受付部15は、ユーザから入力される操作を受け付け、受け付けた操作に基づいて、操作を示す情報(操作指示情報)を出力する。例えば、受付部15は、主電源のオンとオフとを切替えるための電源釦、及び撮像処理開始の指示を受け付けるレリーズ釦等の操作部材を備えている。または、受付部15はタッチパネルにより、これらの指示等を受け付けることもできる。具体的には、受付部15は、レリーズ釦が全押し状態にされることよって、全押し状態に対応する操作を受け付ける。同様に、受付部15は、レリーズ釦が半押し状態にされることよって、半押し状態に対応する操作を受け付ける。ここで、レリーズ釦の全押し状態とは、レリーズ釦が所定の位置まで押し込まれた状態であり、レリーズ釦の半押し状態とは、非操作状態の位置とレリーズ釦が全押し状態の位置の中間に設定された位置まで押し込まれた状態である。受付部15は、レリーズ釦が半押し状態にされる操作を受け付けると、受け付けた操作に基づいて、レリーズ釦の半押し状態を示す情報を操作指示情報として出力する。同様に、受付部15は、レリーズ釦が全押し状態にされる操作を受け付けると、受け付けた操作に基づいて、レリーズ釦の全押し状態を示す情報を操作指示情報として測定制御部20へ出力する。
照射部12は、後述する照射制御部18が出力する照射制御信号に応じて、明暗パターンに対応する強度分布を有する照明光を測定対象に照射する。この照射部12は、照射する照明光の光軸AX1と撮像部11の撮像軸AX2とが、測定対象Mの位置において所定の角度θをなすようにして、照明光を照射する。つまり、照射部12は、撮像部11が撮像している方向と異なる方向から、明暗パターンに対応する強度分布を有する照明光を測定対象に照射する。この照射部12の詳細な構成について、図2を参照して説明する。
図2は、本実施形態における照射部12の概略構成を示す構成図である。照射部12は、光源22と、コリーメートレンズ23と、シリンドリカルレンズ24と、投影レンズ24−1と、走査ミラー25と、揺動部28とを備えている。
光源22は、レーザ光源を備えており、後述する照射制御部18が出力する照射制御信号に応じた強度の光を発する。すなわち光源22は、測定光を発生する。
光源22は、レーザ光源を備えており、後述する照射制御部18が出力する照射制御信号に応じた強度の光を発する。すなわち光源22は、測定光を発生する。
コリーメートレンズ23、シリンドリカルレンズ24、及び投影レンズ24−1は、光源22が発する光(測定光)を、光の照射方向(図2の方向D1)に対して直交する方向(図2の方向D2)に長手方向を有するライン状の測定光に変換する。
揺動部28は、走査ミラー25を共振によって揺動させて、走査ミラー25が反射した測定光を測定対象M(測定対象)の三次元形状の測定領域に照射する。
走査ミラー25は、生成された測定光を反射する。この走査ミラー25とは、例えば、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ミラーである。走査ミラー25は、揺動部28からの信号によって揺動することにより、ライン状となった測定光を、光束の長手方向に対して垂直方向(図2の方向D3)に走査する。
具体的には、光源22は、後述する照射制御部18が出力する照射制御信号に応じて、レーザ光の強度を変調し、変調した強度の光を図2に示す方向D1に発する。同時に、揺動部28は、走査ミラー25を揺動させて、照射制御部18が出力する照射制御信号に応じて、逐次偏向方向を変える。これにより、測定対象Mの表面上には、格子状の明暗パターン(格子パターン)が投影される。すなわち、照射部12は、光源22から照射されるレーザ光を光軸方向と垂直方向のある一方向(図2の方向D4)に延びるライン状の測定光に整形する。また、照射部12は、光軸方向及びライン状の光強度分布の長手方向の両方に垂直な方向(図2の方向D3)に、ライン状の測定光を、強度変化をさせながら走査する。ここでは、照射部12は、走査方向に正弦波状の輝度変化をもつ縞模様(正弦格子)のパターン光を形成する。このようにして、照射部12は、測定対象Mに格子パターンの照射光を投影する。なお、ここではレーザ光源が発する光をMEMS技術を用いて照明光として投影する例を示したが、照射部12は、液晶プロジェクタにより照明光を投影することもできる。次に、照射部12が照射する照明光の初期位相について、図3を参照して説明する。
図3は、本実施形態における照射部12が初期位相を90度ずつシフトさせて照射光を投影した測定対象Mの一例を示す模式図である。図3(a)は、初期位相が0度である照射光により測定対象Mの表面上に投影される明暗パターンAを示している。同様に、図3(b)〜(d)は、それぞれ、初期位相が90度である明暗パターンB、初期位相が180度である明暗パターンC、初期位相が270度である明暗パターンDを示している。一例として、Nバケット法においてN=5の場合、つまり5バケット法の場合には、撮像部11は、明暗パターンAから明暗パターンDまで及び、再び明暗パターンAが順次投影されている測定対象Mを、順次撮像して5枚の撮像画像を生成する。同様に、Nバケット法においてN=7の場合、つまり7バケット法の場合には、撮像部11は、明暗パターンAから明暗パターンDまで及び明暗パターンAから明暗パターンCまでが順次投影されている測定対象Mを、順次撮像して7枚の撮像画像を生成する。ここで、撮像の順序は、必ずしも明暗パターンA、明暗パターンB、明暗パターンC、明暗パターンD、明暗パターンAの順序でなくてもよい。例えば、撮像の順序は、明暗パターンA、明暗パターンD、明暗パターンC、明暗パターンB、明暗パターンAの順序にすることもできる。
再び、図1に戻って、形状測定装置10の構成について説明する。
記憶部26には、照射部12が照射する光の明暗パターンを示す情報と、初期位相を示す情報とが関連付けられて予め記憶されている。具体的には、記憶部26には、光源22のレーザ光の変調強度と変調周波数、及び走査ミラー25の偏向方向の変化の周波数を設定する情報が、明暗パターンAを示す情報として、明暗パターンAの初期位相(0度)に関連付けられて予め記憶されている。同様に、記憶部26には、明暗パターンBを示す情報が、明暗パターンBの初期位相(90度)に、明暗パターンCを示す情報が、明暗パターンCの初期位相(180度)に関連付けられて、明暗パターンDを示す情報が、明暗パターンDの初期位相(270度)に関連付けられて、それぞれが予め記憶されている。また、記憶部26には、撮像部11により生成された撮像画像データや、後述する生成部14が生成した測定対象の三次元形状を示すデータが記憶される。
記憶部26には、照射部12が照射する光の明暗パターンを示す情報と、初期位相を示す情報とが関連付けられて予め記憶されている。具体的には、記憶部26には、光源22のレーザ光の変調強度と変調周波数、及び走査ミラー25の偏向方向の変化の周波数を設定する情報が、明暗パターンAを示す情報として、明暗パターンAの初期位相(0度)に関連付けられて予め記憶されている。同様に、記憶部26には、明暗パターンBを示す情報が、明暗パターンBの初期位相(90度)に、明暗パターンCを示す情報が、明暗パターンCの初期位相(180度)に関連付けられて、明暗パターンDを示す情報が、明暗パターンDの初期位相(270度)に関連付けられて、それぞれが予め記憶されている。また、記憶部26には、撮像部11により生成された撮像画像データや、後述する生成部14が生成した測定対象の三次元形状を示すデータが記憶される。
照射制御部18は、予め定められている照射部12の明暗パターンに基づいて、照射部12の光源22及び走査ミラー25を制御する。具体的には、受付部15がレリーズ釦の半押し状態を示す情報を出力すると、照射制御部18は、記憶部26に記憶されている撮像条件(シャッター速度など)を決めるための一定強度(無変調)に対応した情報を取得する。次に照射制御部18は、取得した撮像条件を決めるための情報に基づいて、光源22のレーザ光の強度及び走査ミラー25の偏向方向の変化の周波数を制御して、撮像条件を決めるための照射を行う。次に、受付部15がレリーズ釦の全押し状態を示す情報を取得すると、照射制御部18は、記憶部26に記憶されている照射部12の明暗パターンのうちから、明暗パターンAの初期位相(0度)に関連付けられている明暗パターンを示す情報を、明暗パターンAを示す情報としてバス21を介して読み出す。次に、照射制御部18は、読み出した照射部12の明暗パターンAを示す情報に基づいて、光源22のレーザ光の変調強度と変調周波数及び走査ミラー25の偏向方向の変化の周波数を制御して、明暗パターンを設定し、明暗パターンAの照明光を測定対象Mに照射する。同様にして、照射制御部18は、記憶部26に記憶されている照射部12の明暗パターンのうちから、明暗パターンB〜Dを示す情報としてバス21を介して順次読み出す。次に、読み出した照射部12の明暗パターンB〜Dを示す情報に基づいて、光源22のレーザ光の変調強度と変調周波数及び走査ミラー25の偏向方向の変化の周波数をそれぞれ設定し、それぞれの明暗パターンの照明光を測定対象Mに照射する。このようにして、照射制御部18は、順次読み出した明暗パターンA〜Dに対応する強度分布を有する照明光を設定することにより、測定対象Mに照射される照明光の明暗パターンを制御する。
撮像部11は、後述する撮像制御部19が出力する撮像制御信号に応じて、測定対象Mの像を撮像するとともに、撮像したデータをRAWデータである撮像画像データとして出力する。また、撮像部11は、照射部12と連動して動作し、照射部12によって測定対象Mに照明光が投影されるタイミングに合わせて撮像処理を行う。具体的には、撮像部11は、照射部12によってNバケット法に基づく初期位相の異なる複数の縞(格子)状の明暗パターンが測定対象Mに投影された像を、後述する明暗パターンの初期位相毎に撮像した複数の撮像画像データを生成する。すなわち、撮像部11は、測定光が照射された測定領域からの反射光を検出する。
測定制御部20は、生成部14と、撮像制御部19とを備えており、撮像部11によって検出された反射光に基づいて、測定対象M(測定対象)の三次元形状を測定する。以下、これら各部の構成について説明する。
撮像制御部19は、予め定められている撮像タイミングに基づいて、撮像部11の撮像タイミングを制御する。具体的には、受付部15がレリーズ釦の半押し状態を示す情報を出力すると、撮像制御部19は、受付部15からバス21を介して半押し状態を示す情報を取得する。次に、撮像制御部19は、半押し状態を示す情報を取得すると、撮像条件(シャッター速度など)を決める動作を行う。次に受付部15がレリーズ釦の全押し状態を示す情報を取得すると、撮像制御部19は、バス21を介して照射制御部18が設定した明暗パターン(初期位相)を読み出すとともに、読み出した明暗パターンが変化する毎に、撮像制御信号を撮像部11に出力する。このとき、撮像部11は、照射制御部18が設定する明暗パターン毎に、測定対象を撮像した撮像画像データを生成する。つまり、撮像部11は、入力される撮像操作に応じて、測定対象Mを撮像した撮像画像データを生成する。
生成部14は、撮像部11が生成した撮像画像データに基づいて、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。具体的には、測定対象Mの各位置の座標値を算出する。すなわち、生成部14は、撮像部11により初期位相が異なる複数の格子パターンが投影された測定対象Mが撮像された複数の撮像画像データに基づいて、測定対象Mの各位置の座標値を算出する。つまり、既知の位相シフト法によって測定対象Mの三次元形状を示すデータ(点群データ)を生成する。
このようにして、生成部14は、撮像部11が明暗パターンの種類(つまり、明暗パターンA〜D)毎に測定対象Mを撮像して生成する複数の撮像画像データに基づいて、測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。
出力部16は、情報を画像として表示するディスプレイや、情報を音として出力するスピーカを備えており、三次元形状の測定結果を出力する。
監視部27は、揺動する走査ミラー25の共振状態を監視する。また、このとき、照射制御部18は、監視部27によって監視された共振状態に基づいて、測定光が測定領域において所定の状態となるように共振状態を制御する。ここで、所定の状態とは、測定光の明暗パターンのピッチが一定になっている状態を含む。この監視部27および照射制御部18の構成の詳細については後述する。なお、明暗パターンのピッチとは明暗パターンの空間周波数の逆数の関係となる。
[測定対象Mの三次元形状を測定する構成]
次に、図4から図6を参照して、形状測定装置10が、測定対象Mの三次元形状を測定する構成の一例を説明する。
図4は、測定対象Mの形状の一例を示す図である。測定対象Mは、図4(a)に示す側面形状及び正面形状を有している。また、この測定対象Mは、図4(b)に示す形状を有している。以下、形状測定装置10が、この図4に示す形状を有する測定対象Mの三次元形状を測定する構成について説明する。
次に、図4から図6を参照して、形状測定装置10が、測定対象Mの三次元形状を測定する構成の一例を説明する。
図4は、測定対象Mの形状の一例を示す図である。測定対象Mは、図4(a)に示す側面形状及び正面形状を有している。また、この測定対象Mは、図4(b)に示す形状を有している。以下、形状測定装置10が、この図4に示す形状を有する測定対象Mの三次元形状を測定する構成について説明する。
図5は、本実施形態の照射部12が図4に示す測定対象Mに対して、図3に示す照射光を照射した場合に、測定対象Mの表面に現れる明暗パターンを示している。ここで、図5(a)は、初期位相(0度)の照明光が測定対象Mに照射されて、測定対象Mの表面に明暗パターンAが現れた状態を示している。同様に、図5(b)〜(d)は、それぞれ初期位相(90度)、初期位相(180度)及び初期位相(270度)の照明光が測定対象Mに照射されて、測定対象Mの表面に明暗パターンB〜Dが現れた状態を示している。このように、照射部12は、撮像部11によって撮像される撮像画像データが、測定対象Mに明暗パターンが投影された画像として撮像されるように、明暗パターンA〜Dに対応する強度分布を有する照明光を測定対象Mに照射する。
次に、図6を参照して、生成部14が生成する測定対象Mの三次元形状を示すデータの一例を説明する。
図6は、本実施形態の生成部14が生成する測定対象Mの三次元形状を示すデータの一例を示す図である。生成部14は、図5(a)〜(d)に示す各照射光が照射された測定対象Mを撮像部11が生成した撮像画像データに基づいて、位相シフト法によって測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。次に、図7及び図8を参照して、測定対象Mの三次元形状データを生成する構成の詳細について説明する。
図6は、本実施形態の生成部14が生成する測定対象Mの三次元形状を示すデータの一例を示す図である。生成部14は、図5(a)〜(d)に示す各照射光が照射された測定対象Mを撮像部11が生成した撮像画像データに基づいて、位相シフト法によって測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する。次に、図7及び図8を参照して、測定対象Mの三次元形状データを生成する構成の詳細について説明する。
図7は、本実施形態の光学系の構成の一例を示す模式図である。
照射部12は、上述したように、光源22と、コリーメートレンズ23、シリンドリカルレンズ24、投影レンズ24−1、及び走査ミラー25により構成されている。なお、以下、光源22が備える半導体レーザーLDの発光部中心を原点とし、光の伝播方向をZ軸、Z軸に垂直で半導体レーザーLDの発光部長手方向(活性層に平行な方向)をX軸、Z軸に垂直で半導体レーザーLDの発光部短手方向(活性層に垂直な方向)をY軸であるとして説明する。ここで、半導体レーザーLDは発光部長手方向をX軸方向、短手方向をY軸方向に取っているため、半導体レーザーLDから放出されるビームの拡がり角は、Y方向に広い拡がり角θy、X方向に狭い拡がり角θxとなる縦長の楕円状に拡がる。このビームの広がり角の詳細ついては後述する。
照射部12は、上述したように、光源22と、コリーメートレンズ23、シリンドリカルレンズ24、投影レンズ24−1、及び走査ミラー25により構成されている。なお、以下、光源22が備える半導体レーザーLDの発光部中心を原点とし、光の伝播方向をZ軸、Z軸に垂直で半導体レーザーLDの発光部長手方向(活性層に平行な方向)をX軸、Z軸に垂直で半導体レーザーLDの発光部短手方向(活性層に垂直な方向)をY軸であるとして説明する。ここで、半導体レーザーLDは発光部長手方向をX軸方向、短手方向をY軸方向に取っているため、半導体レーザーLDから放出されるビームの拡がり角は、Y方向に広い拡がり角θy、X方向に狭い拡がり角θxとなる縦長の楕円状に拡がる。このビームの広がり角の詳細ついては後述する。
コリーメートレンズ23は前側焦点位置に半導体レーザーLDが配置されており、半導体レーザーLDから放射された光束はコリーメートレンズ23により断面が楕円形状を成す略平行光に変換される。コリーメートレンズ23により断面が楕円形状を成す略平行光に変換された光束はシリンドリカルレンズ24によりシリンドリカルレンズ24の後側焦点位置にライン光1次像Pを形成する。このとき、シリンドリカルレンズ24の母線方向はY方向、即ち半導体レーザーLDの発光部長手方向と直交する方向に配置することが望ましい。このように構成することで、光束の楕円形状を成す断面の長手方向(Y方向)をライン光1次像Pのラインの方向と一致させることができるため、充分なラインの長さを得ることが可能になる。また光束の楕円形状を成す断面の短手方向(X方向)をシリンドリカルレンズ24の屈折力を有する方向としているためシリンドリカルレンズ24の球面収差の影響を受けにくい構成とすることが可能となる。
ライン光1次像Pは投影レンズ24−1により不図示の測定対象上に拡大投影され、Y方向に伸びるライン光2次像Sを形成する。ここで投影レンズ24−1は測定対象上にライン光2次像Sを明瞭に結像されるためのピント調節機構として、投影レンズ24−1はZ方向(光軸方向)にのみ摺動するよう構成されている。
また、投影レンズ24−1の後側焦点位置近傍ではY方向に光束が集光しており、ここに走査ミラー25が配置されている。ここで、走査ミラー25は回転軸をY方向となるよう配置されており、ライン光2次像Sをラインの方向と直交する方向に走査することが可能に構成されている。
半導体レーザーLDの発光強度は、不図示の照射制御部18により制御されている。このように半導体レーザーLDからの光を走査ミラー25により測定対象Mに対して走査させるとともに、強度を制御、変調することにより明暗パターン(縞パターン)を測定対象Mに対して投影する。投影された明暗パターンは撮影レンズとCCDなどのイメージセンサから構成される不図示の撮像部11によりライン走査光学系による投影方向とは異なる方向から撮像する。撮像部11によって撮像された画像データに基づき測定対象Mの三次元形状の測定値(点群データ)を算出する。
すなわち、明暗パターンの位相を順次シフトさせて撮像した画像データからその初期位相分布φ(x,y)を求め、求めた位相分布に対して位相接続処理(アンラッピング処理)を行い、連続した初期位相分布を求める。このようにして求めた位相分布より、三角測量の原理を用いて基準面からの高さへの変換を行い、測定対象Mの高さ分布を求める。そして撮像された画像の各画素について、基準面からの高さを求め、測定対象Mの三次元形状を測定する。
図8は、本実施形態の光学系が備えるレンズの配置の一例を示す模式図である。
図8の光学配置に示すとおり、本実施の形態においてはXZ平面においては、ライン光1次像Pはコリーメートレンズ23およびシリンドリカルレンズ24を介して半導体レーザーLDと共役に配置されている。そのため、ライン光1次像Pのx方向のPxは半導体レーザーLDの発光部寸法dxに比例する。さらに、ライン光2次像Sは投影レンズ24−1により拡大投影されたライン光1次像Pの像であるから、ライン光2次像SもXZ平面において半導体レーザーLDと共役に配置されている。そのため、ライン光2次像Sのx方向の幅Sxも半導体レーザーLDの発光部寸法dxに比例する。前述のとおり、半導体レーザーLDの発光部長手方向(活性層に平行な方向)をX方向に取っているが、一般に半導体レーザーの発光部長手方向は20μ乃至100μ程度の大きさである。この光源の大きさによって測定対象Mに投影されるライン光の幅が太くなってしまい、結果として投影される明暗パターンの明瞭さが低下する。
図8の光学配置に示すとおり、本実施の形態においてはXZ平面においては、ライン光1次像Pはコリーメートレンズ23およびシリンドリカルレンズ24を介して半導体レーザーLDと共役に配置されている。そのため、ライン光1次像Pのx方向のPxは半導体レーザーLDの発光部寸法dxに比例する。さらに、ライン光2次像Sは投影レンズ24−1により拡大投影されたライン光1次像Pの像であるから、ライン光2次像SもXZ平面において半導体レーザーLDと共役に配置されている。そのため、ライン光2次像Sのx方向の幅Sxも半導体レーザーLDの発光部寸法dxに比例する。前述のとおり、半導体レーザーLDの発光部長手方向(活性層に平行な方向)をX方向に取っているが、一般に半導体レーザーの発光部長手方向は20μ乃至100μ程度の大きさである。この光源の大きさによって測定対象Mに投影されるライン光の幅が太くなってしまい、結果として投影される明暗パターンの明瞭さが低下する。
以上を考慮して、半導体レーザーLDからの光束を計測に適した細さのライン光に効率的に変換する条件として以下の(式1)を満足するのが望ましい。ここでNyは撮像素子上のy軸方向の有効画素数、f1はコリーメートレンズ23の焦点距離、f2はシリンドリカルレンズ24の焦点距離、dxは半導体レーザーLDのx方向の発光部寸法、θyは半導体レーザーLDのyz平面内でのビームの拡がり角[rad](全角)である。
あるいは、半導体レーザーLDからの光束を計測に適した細さのライン光に効率的に変換する条件として、以下の(式2)を満足することが望ましい。ここでdyは半導体レーザーLDのy方向の発光部寸法、λは半導体レーザーLDのレーザー発振波長である。
あるいは、半導体レーザーLDからの光束を計測に適した細さのライン光に効率的に変換する条件として、以下の(式3)を満足することが望ましい。ここでθxは半導体レーザーLDのxz平面内でのビームの拡がり角[rad](全角)である。
また、MEMSミラー上で半導体レーザーLDからの光束がケラレなく効率的に反射し、走査されるために条件として(式4)を満足することが望ましい。ここでMxはMEMSミラーのx方向の寸法、φはMEMSミラーの法線とZ軸との成す角の最大値[rad]である。
[構成例]
以下に撮像部11が備えるCCD撮像素子、走査ミラー25(MEMSミラー、反射部)、および光源22が備える半導体レーザーLDの特性を示す。
・CCD撮像素子
y軸方向の有効画素数Ny:1088画素
・MEMSミラー
x方向の寸法:5.5mm
MEMSミラーの法線とZ軸との成す角の最大値:60°(1.05rad)
・半導体レーザー
発振波長:690nm
ビームの拡がり角[rad](全角)
x方向:θx=4°(0.07rad)
y方向:θy=38°(0.66rad)
以下に撮像部11が備えるCCD撮像素子、走査ミラー25(MEMSミラー、反射部)、および光源22が備える半導体レーザーLDの特性を示す。
・CCD撮像素子
y軸方向の有効画素数Ny:1088画素
・MEMSミラー
x方向の寸法:5.5mm
MEMSミラーの法線とZ軸との成す角の最大値:60°(1.05rad)
・半導体レーザー
発振波長:690nm
ビームの拡がり角[rad](全角)
x方向:θx=4°(0.07rad)
y方向:θy=38°(0.66rad)
このとき、半導体レーザーLDからの光束を計測に適した細さのライン光に効率的に変換する条件として(式3)からコリーメートレンズ23の焦点距離f1、シリンドリカルレンズの焦点距離f2を以下の(式5)を満足するよう構成すればよい。
また、MEMSミラー上で半導体レーザーLDからの光束がケラレなく効率的に反射し、走査されるために条件として(式4)からコリーメートレンズ23の焦点距離f1、シリンドリカルレンズの焦点距離f2、投影レンズの焦点距離f3を以下の(式6)を満足するよう構成すればよい。
例えば、コリーメートレンズ23の焦点距離f1、シリンドリカルレンズの焦点距離f2、投影レンズの焦点距離f3を以下のように構成すればよい。
・コリーメートレンズ23の焦点距離f1=30mm
・シリンドリカルレンズの焦点距離f2=40mm
・投影レンズの焦点距離f3=20mm
・コリーメートレンズ23の焦点距離f1=30mm
・シリンドリカルレンズの焦点距離f2=40mm
・投影レンズの焦点距離f3=20mm
[ビーム拡がり角の説明]
半導体レーザーLDのビームの拡がり角(全角)θ[rad]は、発光する発光部の形状と光の回折によって決まり、発振波長(λ)/ビーム口径(d)に比例し(式7)で与えられることが知られている。
半導体レーザーLDのビームの拡がり角(全角)θ[rad]は、発光する発光部の形状と光の回折によって決まり、発振波長(λ)/ビーム口径(d)に比例し(式7)で与えられることが知られている。
半導体製造工程では、活性層の厚みはnmオーダーで作られるが電極はμmオーダーである。そのため光が誘導放射される領域は活性層に平行な方向に長く、垂直な方向(活性層の厚み方向)に短い矩形になっている。一方、ビームの広がりは(式7)により垂直方向に広く平行方向に狭い縦長の楕円状に拡がる。
いま、半導体レーザーLDの発光部がx軸方向にdx、y軸方向にdyの矩形形状であるとすると、(式7)よりxz平面内でのビームの拡がり角θx、yz平面内でのビームの拡がり角θyはそれぞれ(式8)、(式9)で与えられる。
いま、半導体レーザーLDの発光部がx軸方向にdx、y軸方向にdyの矩形形状であるとすると、(式7)よりxz平面内でのビームの拡がり角θx、yz平面内でのビームの拡がり角θyはそれぞれ(式8)、(式9)で与えられる。
いま、照射面におけるライン光の走査領域(すなわち被測定領域)をx軸方向にRx、y軸方向にRyとするとアスペクト比Aは(式10)で与えられる。
ここで、撮像するカメラの撮像素子のx、y方向それぞれの画素ピッチが等しい場合、撮像素子上の有効画素数をx軸方向Nx、y軸方向Nyとすると、(式11)が成立する。
また、Ryは投影されるライン光2次像Sのy方向の長さSyにほかならないので、(式12)が成立する。
また、ライン光2次像Sはライン光一次像Pを投影レンズにより拡大投影したものであることから、ライン光2次像Sとライン光一次像Pは概ね相似形状をなしており、(式13)が成立する。
このとき、試料に投影されるライン光2次像Sの幅Sxは形状測定のために充分に必要充分に細く集光されていなければならない。すなわち、ライン光2次像Sの幅Sxは(式14)で表されるとおり、撮像系により撮像素子上に結像する際に画素サイズ程度となるように集光されるよう構成するのが望ましい。
以上、(式11)、(式12)、(式14)より以下の通り(式15)が導かれる。
(式15)、(式11)を(式13)に代入して、次の(式16)が導かれる
一方で、ライン光一次像Pの形状を半導体レーザーLDの発光部の形状、ビームの拡がり角、および各レンズの構成から考える。図8に示すとおり、XZ平面内においては半導体レーザーLDとライン光一次像Pはコリーメートレンズ23およびシリンドリカルレンズを介して共役であり、半導体レーザーLDの発光部は倍率βで結像している。したがって、(式17)が成立する。
すなわち、半導体レーザーLDの発光部のx軸方向の寸法dxとライン光1次像Pのx方向の幅さPxには以下の(式18)の関係が成り立つ。
また、YZ平面内においては半導体レーザーLDから拡がり角θyで放射された光はコリーメートレンズ23によりライン光1次像Pのy方向の長さPyの幅の略平行光に変換される。このとき拡がり角θyとライン光1次像Pのy方向の長さPyには、周知の正弦条件の式より以下に示す(式19)の関係が成り立つ。
(式16)に(式18)、(式19)を代入すると
ここで(式20)は投影されるライン光2次像Sの幅Sxが撮像素子上に結像する際に1画素程度に集光する条件を示している。実際の三次元形状測定装置においては画像処理を行うためにはラインの太さは撮像素子上で5画素以下が望ましい。一方で撮像素子上1画素の半分以下に細く集光したとしても、計測精度の向上は望めない。即ち、半導体レーザーLDからの光束を計測に適した細さのライン光に効率的に変換する条件として(式1)を満足するのが望ましい。
なお、(式1)は(式8)、(式9)の関係式から、(式2)に書き換えることもできる。
xz平面内でのビームの拡がり角θx、yz平面内でのビームの拡がり角θy、発光部寸法dx、dy、ならびに発振波長λは、半導体レーザーLDの仕様として、撮像素子y方向の有効画素数Nyは撮像素子の仕様としてそれぞれ確認することができる。コリーメートレンズ23およびシリンドリカルレンズの焦点距離f1、f2を適切に選択することで(式1)(もしくは(式2)、(式3))を満足するよう構成することが望ましい。
前述のとおり、XZ平面内においては半導体レーザーLDとライン光一次像Pはコリーメートレンズ23およびシリンドリカルレンズを介して共役であり、半導体レーザーLDの発光部は(式17)で表される倍率βで結像している。ここで、半導体レーザーLD発光点におけるxz平面内でのビームの拡がり角θxおよびライン光一次像Pにおけるxz平面内でのビームの拡がり角θx′の間には(式21)の関係が成り立つ。
したがって、次の(式22)が成り立つ。
ここで、MEMSミラー上で半導体レーザーLDからの光束にケラレなく効率的に反射し、走査するために、MEMSミラー上でのレーザー光束の広がりは、MEMSミラーの形状のXY平面への射影よりも小さくなければならない。xz平面内において、ライン光一次像Pにおけるxz平面内でのビームの拡がり角θx′、投影レンズの焦点距離f3、MEMSミラーのx方向の寸法Mx、MEMSミラーの法線とZ軸との成す角の最大値をφとすると、(式23)であらわされる条件を満足する必要がある。(ライン光2次像Sから投影レンズ24−1までの距離は、ライン光1次像Pから投影レンズ24−1までの距離に比べ十分に長いため、ライン光1次像から投影レンズ24−1までの距離は投影レンズ24−1の焦点距離とほぼ等しくなっている。)
(式23)に(式22)を代入して整理すると
一方yz平面内においては、図8に示すとおりMEMSミラーは半導体レーザーLDと共役に配置されている。そのためyz平面でのMEMSミラー上でのレーザー光束の広がりはコリーメートレンズ23の焦点距離f1、投影レンズの焦点距離f3、半導体レーザーLD発光面のy軸方向の寸法dy、MEMSミラーのy方向の寸法Myとすると(式25)で表される条件を満足することが望ましい。
さらに、半導体レーザーLD発光点におけるyz平面内でのビームの拡がり角θyおよびMEMS上におけるyz平面内でのビームの拡がり角(すなわちライン光の投影角)θy′の間には(式26)の関係が成り立つ。
ここで(式26)の右辺は1を超えることはないので、半導体レーザーLDからの光束を有効にライン光に変換し投影するためには(式27)の条件を満足することが望ましい。
(式23)、(式27)よりコリーメートレンズ23の焦点距離f1、投影レンズの焦点距離f3、MEMSミラーのx方向の寸法Mx、MEMSミラーの法線とZ軸との成す角φとすると、(式4)であらわされる条件を満足することが望ましい。
[走査ミラー25の揺動状態を制御する構成]
次に、図9〜図10を参照して、形状測定装置10が、走査ミラー25の揺動状態を制御する構成について説明する。まず、形状測定装置10の揺動部28が、走査ミラー25を揺動させる構成について説明する。
次に、図9〜図10を参照して、形状測定装置10が、走査ミラー25の揺動状態を制御する構成について説明する。まず、形状測定装置10の揺動部28が、走査ミラー25を揺動させる構成について説明する。
図9は、本実施形態の形状測定装置10が走査ミラー25の揺動状態を制御する構成の一例を示す構成図である。照射制御部18は、発振部18−1と、ADコンバータ(ADC)18−2と、ゼロクロス検出部18−3と、電流制御部18−4と、DAコンバータ(DAC)18−5とを備えている。また、走査ミラー25は、上述したようにMEMSによって構成されている。このため、走査ミラー25の等価回路は、内部抵抗RMとインダクタンスLMとの直列回路によって示される。同図に示すように、照射制御部18、揺動部28、走査ミラー25、および監視部27は、電気回路を構成する。照射制御部18が揺動部28を介して走査ミラー25にパルス状の駆動電流ibを供給すると、インダクタンスLMによって逆起電圧Vcが生じる。監視部27は、この逆起電圧Vcの位相と、駆動電流ibの位相との差に基づいて、走査ミラー25の共振状態(揺動状態)を監視する。照射制御部18は、監視部27が監視した走査ミラー25の振動状態(共振状態)に基づいて、駆動電流ibの周波数を制御する。走査ミラー25の共振周波数に近い交番電流である駆動電流ibを供給すると、走査ミラー25は共振周波数で揺動する。しかし、走査ミラー25の共振周波数は環境温度等で変動を起こす。駆動電流ibの周波数と走査ミラー25の共振周波数との差が大きくなると、揺動が不安定になる。そのため、照射制御部18は、走査ミラー25が揺動する周波数(揺動周波数)と、パルス状の駆動電流ibの周波数とが一致する(共振状態となる)ように、駆動電流ibの周波数を制御する。この照射制御部18、揺動部28、走査ミラー25、および監視部27によって構成される電気回路の各部の詳細な振る舞いについて、図10を参照しつつ説明する。
図10は、本実施形態の形状測定装置10が走査ミラー25を揺動させた場合の振る舞いの一例を示す波形図である。電流制御部18−4は、DAC18−5を介して揺動部28に電流を供給する。この揺動部28は、発振部18−1が出力する発振信号Soに基づいてスイッチング動作をおこない、走査ミラー25に対して、図10(b)の波形Wibによって示されるパルス状の駆動電流ibを供給する。これにより走査ミラー25は、図10(a)の波形Wθによって示される振れ角(走査ミラーに駆動信号を与えない基準状態に対する傾斜角度)によって揺動する。走査ミラー25が揺動することにより、インダクタンスLMの両端には、図10(c)の波形WVcによって示される正弦波状の逆起電圧Vcが生じる。監視部27は、この逆起電圧Vcに駆動電流ibによる電圧が重畳された、図10(d)の波形WVdによって示される逆起電圧Vdを取得する。照射制御部18のADC18−2は、監視部27が取得した逆起電圧Vdをデジタル値に変換し、ゼロクロス検出部18−3に供給する。
ゼロクロス検出部18−3は、逆起電圧Vdのデジタル値がゼロクロスする時刻tz1、および時刻tz2を検出する。次に、ゼロクロス検出部18−3は、検出した時刻tz1に対応する時刻ts1において立ち上がり、時刻tz2に対応する時刻ts2において立下がる同期信号Se(図10(e)の波形WSe)を生成する。
次に、照射制御部18の電流制御部18−4は、同期信号Seの位相と、発振部18−1の発振信号Soの位相とに基づいて、発振部18−1の発振周波数を設定することにより、走査ミラー25の共振状態を制御する。具体的には、図10(c)に示すように、電流制御部18−4は、同期信号Seが立ち上がる時刻ts1と駆動電流ibが立ち上がる時刻t2との差(時間tUP)を算出する。また、電流制御部18−4は、駆動電流ibが立ち下がる時刻t3と同期信号Seが立ち下がる時刻ts2との差(時間tDOWN)を算出する。
ここで、駆動電流ibの周波数と、走査ミラー25の揺動周波数とが一致している場合には、時間tUPと時間tDOWNとが一致する。すなわち、時間tUPと時間tDOWNとが一致していることは、走査ミラー25が駆動電流ibの周波数で共振していることを示している。よって、電流制御部18−4は、時間tUPと時間tDOWNとが一致しているか否かによって、走査ミラー25が共振しているか否かを判定することができる。また、電流制御部18−4は、時間tUPと時間tDOWNとが一致していない場合には、時間tUPと時間tDOWNとが一致するように駆動電流ibの周波数を制御することにより、走査ミラー25を駆動電流ibの周波数に共振させることができる。このようにして、照射制御部18は、走査ミラー25の共振周波数で走査ミラー25を揺動させる。
以上説明したように、形状測定装置10は、光源22と、走査ミラー25と、揺動部28と、撮像部11と、測定制御部20と、監視部27と、照射制御部18とを備えている。このうち揺動部28は、走査ミラー25を共振によって揺動させて、走査ミラー25が反射した測定光を測定対象Mの三次元形状の測定領域に照射する。このとき監視部27は、揺動する走査ミラー25の共振状態を監視する。また、照射制御部18は、監視された共振状態に基づいて、測定光が測定領域において所定の状態となるように共振状態を制御する。
形状測定装置10は、走査ミラー25の共振周波数により走査ミラー25を揺動させることにより、走査ミラー25を一定の周波数によって安定的に揺動させる。走査ミラー25を一定の周波数によって揺動すれば、測定光の明暗パターン(縞パターン)のピッチが一定になる。なお、走査ミラー25の振れ角は図10(a)に示すように正弦波状に揺動する。正弦波状の振れ角の角速度がほぼ一定な領域を測定領域に対応させれば、光源22が生成する測定光の強度を正弦波状に変化させることで測定光の明暗パターン(縞パターン)のピッチが一定にすることができる。測定光の明暗パターン(縞パターン)のピッチが一定になれば、測定対象Mの三次元形状の測定結果のばらつきが低減する。このようにして形状測定装置10は、測定対象Mの三次元形状の測定精度が低下しないようにしている。ところが、温度、湿度の変化や部品の劣化などにより、走査ミラー25の共振周波数が変化することがある。このように走査ミラー25の共振周波数が変化すると、測定光の明暗パターンのピッチが一定にならないことがあり、この場合には測定対象Mの三次元形状の測定精度が低下してしまう。
そこで、形状測定装置10においては、次のようにして測定光の明暗パターンのピッチを一定に保つ。すなわち、上述したように走査ミラー25の共振周波数が変化すると、監視部27が監視する逆起電圧Vdの位相と、発振部18−1の発振信号Soの位相とに差が生じる。照射制御部18は、この位相差に基づいて走査ミラー25の揺動状態を検出する。これにより、照射制御部18は、走査ミラー25の共振周波数の変化に応じて、走査ミラー25の駆動電流ibの周波数を制御することができる。このため形状測定装置10は、温度、湿度の変化や走査ミラー25を揺動させる部品の劣化などが発生しても、走査ミラーの共振を保つことができ、測定光の明暗パターンのピッチを一定に保つことができる。これにより、形状測定装置10は、三次元形状の測定精度が低下する程度を低減することができる。
[変形例]
なお、上述において、監視部27は走査ミラー25を駆動する際に生じる逆起電圧Vdを監視する構成について説明したが、これに限られない。例えば、図11に示すように、監視部27aは、測定光の振れ角を監視する構成であってもよい。この監視部27aは、上述した監視部27に相当する。
なお、上述において、監視部27は走査ミラー25を駆動する際に生じる逆起電圧Vdを監視する構成について説明したが、これに限られない。例えば、図11に示すように、監視部27aは、測定光の振れ角を監視する構成であってもよい。この監視部27aは、上述した監視部27に相当する。
図11は、本実施形態の変形例による形状測定装置10aの構成の一例を示す模式図である。この構成においては、監視部27aは、センサ27a−1と、センサ27a−2とを備えている。このセンサ27a−1とは、例えば、測定領域の一端となる位置または測定光の振れ角が最大になる位置(この大きさの振れ角であれば、測定範囲での走査ミラー25の揺動の角速度が一定と見なせる振れ角の一端)に配置されるフォトセンサである。また、センサ27a−2とは、例えば、測定光の振れ角の中心の位置に配置されるフォトセンサである。ここで走査ミラー25の共振周波数が変化すると、走査ミラー25の共振周波数と駆動電流ibの周波数とに差が生じる。この場合には、照射制御部18は、走査ミラー25を共振によって揺動させることができなくなるため、走査ミラー25の振れ角が小さくなる。この監視部27aは、走査ミラー25の振れ角が小さくなった状態を検出することにより、走査ミラー25の共振周波数が変化したことを検出する。このように構成しても、照射制御部18は、走査ミラー25の共振周波数の変化に応じて、走査ミラー25の駆動電流ibの周波数を制御することができる。例えば、照射制御部18は、走査ミラー25の振れ角が減少した場合には、駆動電流ibの周波数を変化させることにより、走査ミラー25の振れ角を共振状態の振れ角に戻すことができる。よって、形状測定装置10aは、三次元形状の測定精度が低下する程度を低減することができる。また、形状測定装置10aは、揺動部28の故障により走査ミラー25が揺動しなくなったことを、センサ27a−1、センサ27a−2により検出する構成にすることができる。この場合には、形状測定装置10aは、揺動部28の故障検出と、走査ミラー25の共振周波数の変化とを同じセンサ27a−1、センサ27a−2によって検出することができる。すなわち、形状測定装置10aは、センサを複数の用途に共用することができるため、装置を小型化および低価格化することができる。
また、上述において、照射制御部18は、走査ミラー25の共振周波数の変化に対応するため、走査ミラー25の駆動電流ibの周波数を制御していたが、これに限られない。例えば、照射制御部18は、走査ミラー25の駆動電流ibの電流値(波高値)を制御してもよい。ここで、走査ミラー25の共振周波数が変化すると、走査ミラー25の振れ角(振幅)が減少する。そこで、照射制御部18は、走査ミラー25の共振周波数が変化した場合に、駆動電流ibを制御(例えば、増加)させることにより、走査ミラー25の振れ角を一定に保つことができる。なお、走査ミラー25の共振周波数の変化に応じて光源22のレーザ光の変調周波数の再設定を行う。このように構成しても、形状測定装置10(または形状測定装置10a。以下の説明において同じ。)は、三次元形状の測定精度が低下する程度を低減することができる。
また、上述において、照射制御部18は、走査ミラー25の振れ角(振幅)が一定になるように制御していたが、これに限られない。例えば、照射制御部18は、振れ角に基づいて、測定光の明暗パターン(縞パターン)のピッチが一定になるように、光源22が生成する測定光の強度を制御してもよい。上述したように、照射制御部18は、走査ミラー25が揺動する周波数を検出することができる。したがって、照射制御部18は、走査ミラー25が揺動する周波数にあわせて、光源22が生成する測定光の強度変化の周波数を制御することにより、走査ミラー25が揺動する周波数の変化によらず測定光の明暗パターンのピッチを一定に制御することができる。このように、測定光の明暗パターンのピッチが一定であれば、三次元形状の測定精度が低下しない。よって、このように構成しても、形状測定装置10は、三次元形状の測定精度が低下する程度を低減することができる。また、上述において走査ミラーの正弦波状の振れ角の角速度がほぼ一定な領域を測定領域に対応させた。しかし、より広い範囲を測定するために走査ミラーの振れ角の角速度が変化する領域を用いて測定を行うこともできる、その場合、走査ミラーの振れ角の角速度の変化に応じて、光源22が生成する測定光の強度を走査ミラーの振れ角の角速度の変化に応じて制御する。
また、上述において、形状測定装置10は、走査ミラー25の振れ角や光源22が生成する測定光変化する周波数を制御して、測定光の明暗パターンのピッチが一定になるようにしていたが、これに限られない。例えば、形状測定装置10は、走査ミラー25の揺動状態(例えば、共振周波数)に基づいて、上述した位相シフト法において、測定制御部20が測定対象Mの三次元形状を示すデータを生成する際に用いるパラメータを変更してもよい。この位相シフト法においては、測定光の明暗パターンのピッチと、その明暗パターンを撮像して得られる三次元形状を示すデータとの関係を示すパラメータが、予め設定されている。そこで、形状測定装置10は、測定光の明暗パターンのピッチと、その明暗パターンを撮像して得られる三次元形状を示すデータとの関係を示すパラメータを、明暗パターンのピッチごとに、予め記憶部26に記憶させておく。そして、形状測定装置10は、走査ミラー25の揺動状態が変化して測定光の明暗パターンのピッチが変化した場合には、変化したピッチに対応するパラメータを記憶部26から読み出し、この読み出したパラメータを用いて、三次元形状を示すデータを生成する。また、位相シフト法と空間コード法を組み合わせて三次元形状を求める場合は、空間コード法のパラメータも揺動状態の変化に合わせることとなる。このように構成しても、形状測定装置10は、三次元形状の測定精度が低下する程度を低減することができる。さらに、このように構成することにより、形状測定装置10は、駆動電流ibを制御する回路を簡素化することができる。
[第2の実施形態]
次に、図12を参照して、本発明の第2の実施形態を説明する。なお、第1の実施形態及び第2の実施形態において説明した構成と同一の構成は、同一の符号を付して説明を省略する。図12は、本発明の第2の実施形態に係る一例としての構造物製造システム100の構成を示す図である。
次に、図12を参照して、本発明の第2の実施形態を説明する。なお、第1の実施形態及び第2の実施形態において説明した構成と同一の構成は、同一の符号を付して説明を省略する。図12は、本発明の第2の実施形態に係る一例としての構造物製造システム100の構成を示す図である。
構造物製造システム100は、上記の実施形態において説明したような形状測定装置10と、設計装置60と、成形装置30と、検査装置40と、リペア装置50とを備える。検査装置40は、座標記憶部41及び検査部42を備える。
設計装置60は、構造物の形状に関する設計情報を作製し、作製した設計情報を成形装置30に送信する。また、設計装置60は、作製した設計情報を検査装置40の座標記憶部41に記憶させる。設計情報は、構造物の各位置の座標を示す情報を含む。
成形装置30は、設計装置60から入力された設計情報に基づいて、上記の構造物を作製する。成形装置30の成形は、例えば鋳造、鍛造、切削等が含まれる。形状測定装置10は、作製された構造物(測定対象M)の座標を測定し、測定した座標を示す情報(形状情報)を検査装置40へ送信する。なお、ここでいう構造物とは、形状測定装置10の測定対象Mである。
検査装置40の座標記憶部41は、設計情報を記憶する。検査装置40の検査部42は、座標記憶部41から設計情報を読み出す。検査部42は、形状測定装置10から受信した座標を示す情報(形状情報)と、座標記憶部41から読み出した設計情報とを比較する。検査部42は、比較結果に基づき、構造物が設計情報通りに成形されたか否かを判定する。換言すれば、検査部42は、作製された構造物が良品であるか否かを判定する。検査部42は、構造物が設計情報通りに成形されていない場合に、構造物が修復可能であるか否か判定する。検査部42は、構造物が修復できる場合、比較結果に基づいて不良部位と修復量を算出し、リペア装置50に不良部位を示す情報と修復量を示す情報とを送信する。
リペア装置50は、検査装置40から受信した不良部位を示す情報と修復量を示す情報とに基づき、構造物の不良部位を加工する。
図13は、本実施形態の構造物製造方法を示すフローチャートである。本実施形態において、図13に示す構造物製造方法の各処理は、構造物製造システム100の各部によって実行される。
構造物製造システム100は、まず、設計装置60が構造物の形状に関する設計情報を作製する(ステップS31)。次に、成形装置30は、設計情報に基づいて上記構造物を作製する(ステップS32)。次に、形状測定装置10は、作製された上記構造物の形状を測定する(ステップS33)。次に、検査装置40の検査部42は、形状測定装置10で得られた形状情報と上記の設計情報とを比較することにより、構造物が設計情報通りに作製されたか否か検査する(ステップS34)。
構造物製造システム100は、まず、設計装置60が構造物の形状に関する設計情報を作製する(ステップS31)。次に、成形装置30は、設計情報に基づいて上記構造物を作製する(ステップS32)。次に、形状測定装置10は、作製された上記構造物の形状を測定する(ステップS33)。次に、検査装置40の検査部42は、形状測定装置10で得られた形状情報と上記の設計情報とを比較することにより、構造物が設計情報通りに作製されたか否か検査する(ステップS34)。
次に、検査装置40の検査部42は、作製された構造物が良品であるか否かを判定する(ステップS35)。構造物製造システム100は、作製された構造物が良品であると検査部42が判定した場合(ステップS35:YES)、その処理を終了する。また、検査部42は、作製された構造物が良品でないと判定した場合(ステップS35:NO)、作製された構造物が修復できるか否か判定する(ステップS36)。
構造物製造システム100は、作製された構造物が修復できると検査部42が判定した場合(ステップS36:YES)、リペア装置50が構造物の再加工を実施し(ステップS37)、ステップS33の処理に戻る。構造物製造システム100は、作製された構造物が修復できないと検査部42が判定した場合(ステップS36:NO)、その処理を終了する。
以上説明したように、構造物製造システム100は、上記の実施形態における形状測定装置10が構造物の座標を正確に測定することができるので、作製された構造物が良品であるか否か判定することができる。また、構造物製造システム100は、構造物が良品でない場合、構造物の再加工を実施し、修復することができる。
なお、本実施形態におけるリペア装置50が実行するリペア工程は、成形装置30が成形工程を再実行する工程に置き換えられてもよい。その際には、検査装置40の検査部42が修復できると判定した場合、成形装置30は、成形工程(鍛造、切削等)を再実行する。具体的には、例えば、成形装置30は、構造物において本来切削されるべき箇所であって切削されていない箇所を切削する。これにより、構造物製造システム100は、構造物を正確に作製することができる。
なお、構造物製造システム100は、形状測定装置10を備える例について説明したが、これに限られない。構造物製造システム100は、形状測定装置10aを備えていても、形状測定装置10を備える場合と同様の効果を奏することができる。
以上、本発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
なお、上述において、走査ミラー25は、インダクタンスLMを有する誘導型のMEMSミラーであることを一例にして説明したが、これに限られない。例えば、走査ミラー25は、キャパシタンス成分を有する容量型のMEMSミラーであってもよい。
また、上記の各実施形態における形状測定装置10、検査装置40、成形装置30、リペア装置50又は設計装置60(以下、これらを総称して制御装置と記載する)、又はこの制御装置が備える各部は、専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、メモリおよびマイクロプロセッサにより実現させるものであってもよい。
また、この制御装置又はこの制御装置が備える各部は、専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、この制御装置又はこの制御装置が備える各部はメモリおよびCPU(中央演算装置)により構成され、制御装置、又はこの制御装置が備える各部の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現させるものであってもよい。
また、制御装置、又はこの制御装置が備える各部の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより、制御装置、又はこの制御装置が備える各部による処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、OSや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。
また、「コンピュータシステム」は、WWWシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境(あるいは表示環境)も含むものとする。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、CD−ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよく、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、CD−ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよく、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。
10、10a…形状測定装置、11…撮像部、12…照射部、14…生成部、15…受付部、16…出力部、18…照射制御部、19…撮像制御部、20…測定制御部、22…光源、25…走査ミラー、27、27a…監視部、28…揺動部、30…成形装置、40…検査装置、50…リペア装置、60…設計装置、100…構造物製造システム
Claims (14)
- 測定光を生成する測定光生成部と、
生成された前記測定光を反射する反射部と、
前記反射部を共振によって揺動させることにより、前記反射部が反射した前記測定光を測定対象の測定領域に照射させる揺動部と、
前記測定光が照射された前記測定領域からの反射光を検出する検出部と、
検出された前記反射光に基づいて、前記測定対象の三次元形状を測定する測定部と、
揺動する前記反射部の揺動状態を監視する監視部と、
監視された前記揺動状態に基づいて、前記測定光が前記測定領域において所定の状態となるように前記測定光生成部と前記揺動部との少なくとも一方を制御する制御部と、
を備える形状測定装置。 - 前記揺動部は、前記反射部を該反射部の共振周波数によって揺動させ、
前記監視部は、前記揺動部が前記反射部を揺動させる駆動周波数と前記反射部の揺動の周波数のずれを監視し、
前記制御部は、前記ずれに基づいて、前記駆動周波数を設定することにより、前記駆動周波数を制御する
請求項1に記載の形状測定装置。 - 前記監視部は、揺動する前記反射部の振れ角を監視し、
前記制御部は、前記監視部が監視した前記振れ角に基づいて、前記揺動部が揺動させる前記反射部の前記振れ角を制御する
請求項1または請求項2に記載の形状測定装置。 - 前記監視部は、揺動する前記反射部の振れ角を監視し、
前記制御部は、前記監視部が監視した前記振れ角に基づいて、前記揺動部に入力される電流値を制御することにより、前記反射部の前記振れ角を制御する
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 前記測定光は、所定の変動周波数により明暗の強度が変動する光であり、
前記測定光生成部は、前記変動周波数により明暗の強度が変動する前記測定光を生成し、
前記制御部は、前記測定光が前記測定領域において強度変化の空間周波数が一定になるように前記測定光生成部と前記揺動部との少なくとも一方を制御する
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 前記制御部は、揺動する前記反射部の振れ角に基づいて、前記測定光が前記測定領域において強度変化の空間周波数が一定になるように前記測定光生成部が生成する前記測定光の強度を制御する
請求項5に記載の形状測定装置。 - 前記制御部は、前記反射部が揺動する周波数に基づいて、前記測定光が前記測定領域において強度変化の空間周波数が一定になるように前記測定光生成部が生成する前記測定光の強度を制御する
請求項5または請求項6に記載の形状測定装置。 - 前記制御部は、前記測定光が前記測定領域において強度変化の空間周波数が一定になるように前記揺動部が揺動させる前記反射部の振れ角を制御する
請求項5から請求項7のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 測定光を生成する測定光生成部と、
生成された前記測定光を反射する反射部と、
前記反射部を共振によって揺動させて、前記反射部が反射した前記測定光を測定対象の測定領域に照射する揺動部と、
前記測定光が照射された前記測定領域からの反射光を検出する検出部と、
前記揺動する前記反射部の揺動状態を監視する監視部と、
前記検出部が検出した前記反射光と、前記監視部が監視した前記揺動状態とに基づいて、前記測定対象の三次元形状を測定する測定部と、
を備える形状測定装置。 - 構造物の形状に関する構造物設計情報を作製する設計装置と、
前記構造物設計情報に基づいて前記構造物を作製する成形装置と、
作成された前記構造物の形状を、撮像画像に基づいて測定する請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の形状測定装置と、
前記測定によって得られた形状情報と、前記構造物設計情報とを比較する検査装置と
を含む構造物製造システム。 - 反射部を共振によって揺動させて、前記反射部が反射した測定光を測定対象の測定領域に照射し、
前記測定光が照射された前記測定領域からの反射光を検出し、
検出された前記反射光に基づいて、前記測定対象の三次元形状を測定し、
揺動する前記反射部の揺動状態を監視し、
監視された前記揺動状態に基づいて、前記測定光が前記測定領域において所定の状態となるように前記共振の状態を制御する
形状測定方法。 - 反射部を共振によって揺動させて、該反射部で反射した測定光を測定対象の測定領域に照射し、
前記揺動する前記反射部の揺動状態を監視し、
前記測定光が照射された前記測定領域からの反射光を検出し、
前記監視された揺動状態と前記検出された反射光に基づいて前記測定対象の三次元形状を測定する形状測定方法。 - 構造物の形状に関する構造物設計情報を作製する工程と、
前記構造物設計情報に基づいて前記構造物を作製する工程と、
作成された前記構造物の形状を、請求項11または請求項12に記載の形状測定方法を用いて生成した撮像画像に基づいて測定する工程と、
前記測定によって得られた形状情報と、前記構造物設計情報とを比較する工程と
を含む構造物製造方法。 - 測定光を生成する測定光生成部と、生成された前記測定光を反射する反射部とを備える形状測定装置が備えるコンピュータに、
前記反射部を共振によって揺動させて、前記反射部が反射した前記測定光を測定対象の測定領域に照射し、
前記測定光が照射された前記測定領域からの反射光を検出し、
検出された前記反射光に基づいて、前記測定対象の三次元形状を測定し、
揺動する前記反射部の振動状態を監視し、
監視された前記振動状態に基づいて、前記測定光が前記測定領域において所定の状態となるように前記共振の状態を制御
させるための形状測定プログラム。
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