JP2014086509A - 太陽電池、電極付き基板、太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】太陽電池の裏面電極を区画する区画溝を光学レーザーを用いて高精度に形成することが可能な太陽電池、電極付き基板、および太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】入射したレーザー光線を、基板11の一面11aと第一電極層(裏面電極)13との間に介在させた光吸収層12に伝播させることによって、光吸収層が区画されるとともに、その上層に配された第一電極層(裏面電極)13も区画されるため、光吸収層12と第一電極層(裏面電極)13とからなる構造体に対して、第一区画溝(区画溝)14を、所定幅で高精度に形成することが可能になる。
【選択図】図3
【解決手段】入射したレーザー光線を、基板11の一面11aと第一電極層(裏面電極)13との間に介在させた光吸収層12に伝播させることによって、光吸収層が区画されるとともに、その上層に配された第一電極層(裏面電極)13も区画されるため、光吸収層12と第一電極層(裏面電極)13とからなる構造体に対して、第一区画溝(区画溝)14を、所定幅で高精度に形成することが可能になる。
【選択図】図3
Description
本発明は、太陽電池、電極付き基板、太陽電池の製造方法に関し、詳しくは、基板上に形成された電極を光学レーザーを用いて区画する技術に関する。
エネルギーの効率的な利用の観点から、近年、太陽電池はますます広く一般に利用されつつある。特に、シリコン単結晶を利用した太陽電池は単位面積当たりのエネルギー変換効率に優れている。しかし一方でシリコン単結晶を利用した太陽電池は、シリコン単結晶インゴットをスライスしたシリコンウエハを用いるため、インゴットの製造に大量のエネルギーが費やされ、製造コストが高い。特に屋外などに設置される大面積の太陽電池をシリコン単結晶を利用して実現しようとすると、相当にコストが掛かるのが現状である。そこで、より安価に製造可能なアモルファス(非晶質)シリコン薄膜を利用した太陽電池が、ローコストな太陽電池として普及している。
アモルファスシリコン太陽電池は、光を受けると電子とホールを発生するアモルファスシリコン膜(i型)を、p型およびn型のシリコン膜ではさんだpin接合と呼ばれる層構造の半導体膜を用いて、この半導体膜の両面にそれぞれ電極を形成したものである。太陽光によって発生した電子とホールは、p型・n型半導体の電位差によって活発に移動し、これが連続的に繰り返されることで両面の電極に電位差が生じる。
このようなアモルファスシリコン太陽電池の具体的な構成としては、例えば、ガラス基板にAgやAlなどの金属を下部電極として成膜し、この上にアモルファスシリコンからなる光電変換層と、太陽光の入射面となる光透過性の上部電極とを形成してなる(サブストレート型太陽電池)。このような上下電極と光電変換層を備えたアモルファスシリコン太陽電池は、基板上に広い面積で均一に各層を成膜しただけでは電位差が小さく、また抵抗値が高いという課題がある。
このため、アモルファスシリコン太陽電池の一例として、光電変換体を所定のサイズごとに電気的に区画した区画素子を形成し、互いに隣接する区画素子どうしを電気的に直列に接続することで、電位差を高めたものが知られている(例えば、特許文献1を参照)。
具体的には、基板上に広い面積で均一に形成した下部電極に対して、光学レーザーなどを用いて第一の区画溝を形成し、下部電極を多数の短冊形状に区画する。この区画された下部電極に重ねて光電変換層と上部電極とを形成する。そして、第一の区画溝に対して所定の間隔でずらした位置に上部電極から光電変換層に達する第二の区画溝を形成し、上部電極と光電変換層とを多数の短冊形状に区画する。これによって、互いに隣接する区画された光電変換層どうしは、下部電極を介して電気的に直列に接続される。
上述したような従来のアモルファスシリコン太陽電池を製造する際に、下部電極を多数の短冊形状に区画する工程は、機械的な切断加工や化学的なエッチングなど、高精度に区画溝を形成することが困難な方法によって行う必要があった。即ち、下部電極が金属など光反射性の高い材料で形成されているため、区画溝を高精度に形成可能な光学レーザーを用いた加工を行うと、下部電極の表面でレーザー光が反射されてしまうため、下部電極を区画する区画溝の形成が困難であるという課題があった。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、太陽電池の裏面電極を区画する区画溝を光学レーザーを用いて高精度に形成することが可能な太陽電池、電極付き基板、および太陽電池の製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は次のような太陽電池、電極付き基板、および太陽電池の製造方法を提供する。
即ち、本発明の太陽電池は、光透過性の基板と、該基板の一面に順に重ねて配された第一電極層、光電変換層、および光透過性の第二電極層とを少なくとも備えた太陽電池であって、
前記第一電極層は光反射性を有し、前記基板と前記第一電極層との間に光吸収層が配され、前記基板に前記光吸収層、前記第一電極層の順に積層された構造体に対して所定の間隔で縦断し、前記基板の一面を露出させる区画溝を有することを特徴とする。
即ち、本発明の太陽電池は、光透過性の基板と、該基板の一面に順に重ねて配された第一電極層、光電変換層、および光透過性の第二電極層とを少なくとも備えた太陽電池であって、
前記第一電極層は光反射性を有し、前記基板と前記第一電極層との間に光吸収層が配され、前記基板に前記光吸収層、前記第一電極層の順に積層された構造体に対して所定の間隔で縦断し、前記基板の一面を露出させる区画溝を有することを特徴とする。
前記光吸収層が前記第一電極層と重なる一面に凹凸形状を有することを特徴とする。
また、前記光吸収層はAZOからなることを特徴とする。
また、前記光吸収層はAZOからなることを特徴とする。
本発明の電極付き基板は、光透過性の基板と、該基板の一面に順に重ねて配された第一電極層、光電変換層、および光透過性の第二電極層とを少なくとも備えた太陽電池用の電極付き基板であって、
光反射性の前記第一電極層と、前記基板との間に配された光吸収層と、
前記基板に前記光吸収層、前記第一電極層の順に積層された構造体に対して所定の間隔で縦断し、前記基板の一面を露出させる区画溝と、を有することを特徴とする。
光反射性の前記第一電極層と、前記基板との間に配された光吸収層と、
前記基板に前記光吸収層、前記第一電極層の順に積層された構造体に対して所定の間隔で縦断し、前記基板の一面を露出させる区画溝と、を有することを特徴とする。
本発明の太陽電池の製造方法は、光透過性の基板と、該基板の一面に順に重ねて配された第一電極層、光電変換層、および光透過性の第二電極層とを少なくとも備え、前記第一電極層は光反射性を有し、前記基板と前記第一電極層との間に光吸収層が配され、前記基板に前記光吸収層、前記第一電極層の順に積層された構造体に対して所定の間隔で縦断し、前記基板の一面を露出させる区画溝を有する太陽電池の製造方法であって、
前記基板の一面に前記光吸収層を形成する工程と、前記光吸収層に重ねて前記第一電極層を形成する工程と、前記基板から前記光吸収層を介して前記第一電極層に向けてレーザー光を照射し、前記区画溝を形成する工程と、を少なくとも備えたことを特徴とする。
前記基板の一面に前記光吸収層を形成する工程と、前記光吸収層に重ねて前記第一電極層を形成する工程と、前記基板から前記光吸収層を介して前記第一電極層に向けてレーザー光を照射し、前記区画溝を形成する工程と、を少なくとも備えたことを特徴とする。
前記レーザー光は前記光吸収層が吸収する波長域のレーザー光であることを特徴とする。
本発明の太陽電池、電極付き基板、および太陽電池の製造方法によれば、入射したレーザー光線を、基板の一面と第一電極層(裏面電極)との間に介在させた光吸収層に伝播させることにより、光吸収層が区画されるとともに、その上層に配された第一電極層も区画される。したがって、光吸収層と第一電極層(裏面電極)とからなる構造体に対して、第一区画溝(区画溝)を、所定幅で高精度に形成することが可能になる。
以下、本発明に係る太陽電池、電極付き基板およびその製造方法について、図面に基づき説明する。なお、本実施形態は発明の趣旨をより良く理解させるために、一例を挙げて説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
(太陽電池、電極付き基板:第一実施形態)
図1は、本発明の太陽電池の製造方法により製造されるアモルファスシリコン型の太陽電池の一例を示す要部拡大斜視図である。また、図2は図1の太陽電池の層構成の詳細を示す断面図である。
太陽電池10は、透明な絶縁性の基板11の一面11aに順に積層された光吸収層12および第一電極層(裏面電極)13と、この光吸収層12および第一電極層13を所定の間隔で区画する第一区画溝(区画溝)14とからなる電極付き基板15を備えてなる。
図1は、本発明の太陽電池の製造方法により製造されるアモルファスシリコン型の太陽電池の一例を示す要部拡大斜視図である。また、図2は図1の太陽電池の層構成の詳細を示す断面図である。
太陽電池10は、透明な絶縁性の基板11の一面11aに順に積層された光吸収層12および第一電極層(裏面電極)13と、この光吸収層12および第一電極層13を所定の間隔で区画する第一区画溝(区画溝)14とからなる電極付き基板15を備えてなる。
太陽電池10は、電極付き基板15の第一電極層(裏面電極)13に重ねて、更に光電変換層16および第二電極層(表面電極)17と、この光電変換層16および第二電極層17を第一区画溝(区画溝)14とは異なる位置で区画する第二区画溝18を備えている。
太陽電池10は、第一区画溝14および第二区画溝18によって、電気的に区画された複数の区画素子からなる。そして、互いに隣接する区画素子のうち、一方の第一電極層13と他方の第二電極層17とが連結されるように第三区画溝19が形成されている。
太陽電池10は、第一区画溝14および第二区画溝18によって、電気的に区画された複数の区画素子からなる。そして、互いに隣接する区画素子のうち、一方の第一電極層13と他方の第二電極層17とが連結されるように第三区画溝19が形成されている。
図2(b)に示すように、第一電極層13と第二電極層17との間に形成される光電変換層16は、第一光電変換ユニット(光電変換層)21および第二光電変換ユニット(光電変換層)22とを備えてなる。
第一光電変換ユニット(光電変換層)21は、光が入射する側から順に、p型半導体層(p層)21p、実質的に真性なi型半導体層(i層)21i、n型半導体層(n層)21nを備えたpin構造を有している。すなわち、n層21n、実質的に真性なi層21i、p層21pを、この順に積層することにより第一光電変換ユニット21を構成している。
また、第二光電変換ユニット(光電変換層)22も、光が入射する側から順に、p型半導体層(p層)22p、実質的に真性なi型半導体層(i層)22i、n型半導体層(n層)22nを備えたpin構造を有している。すなわち、n層22n、実質的に真性なi層22i、p層22pを、この順に積層することにより第二光電変換ユニット22を構成している。
基板11は、光透過性の材料、例えば、ガラス、透明樹脂などの透明で、かつ、絶縁性の材料から構成されている。また、基板11の一面11aに重ねて更に透明な絶縁層などを積層する構成であってもよい。
光吸収層12は、後述する太陽電池の製造方法において、第一区画溝(区画溝)14を形成する際に用いる光学レーザーの波長域の光を吸収可能な材料から構成される。例えば、光吸収層12として赤外線吸収体から構成することができる。具体的には、光吸収層12としてAZO(AlドープZnO)を好ましく用いることができる。なお、このような光吸収層12の作用は、後ほど太陽電池の製造方法において詳述する。
また、基板11の一面11aと第一電極層(裏面電極)13との間に光吸収層12を介在させることによって、区画された光電変換層16どうしの間で電気的なリークの発生を確実に防止することができる。
例えば、従来のように、基板11の一面11aに接して直接、第一電極層(裏面電極)を形成した場合、抵抗値が100kΩ以下と低く、隣接する区画された光電変換層どうしの間でリーク発生の懸念があった。一方、例えばAZOからなる光吸収層12を基板11の一面11aと第一電極層(裏面電極)13との間に介在させた場合、抵抗値が1MΩ以上と高く、隣接する区画された光電変換層16どうしの間でリーク発生を確実に防止することができる。
第一電極層(裏面電極)13は、光電変換層16を挟んだ一方の電極であると共に、第二電極層(表面電極)17から入射し、光電変換層16を透過した太陽光を反射させる反射層の役割も果たす。このため、第一電極層(裏面電極)13は、導電性でかつ光反射性の金属、例えば、AlやAlを含む合金、AgやAgを含む合金など、光反射性が高く、かつ導電性の高い金属を用いることが好ましい。
第一電極層(表面電極)13における第一光電変換ユニット(光電変換層)21と接する第一面F1には、所定のプロファイル、例えば所定の面粗さを持つ微細なテクスチャ(凹凸形状)T1が形成されている。
第一光電変換ユニット(光電変換層)21を構成するp層21p、i層21i、及びn層21nは、それぞれ微結晶シリコン(μc−Si)からなる。
また、第二光電変換ユニット(光電変換層)22を構成するp層22p、i層22i、及びn層22nは、それぞれアモルファスシリコン(a−Si)からなる。
また、第二光電変換ユニット(光電変換層)22を構成するp層22p、i層22i、及びn層22nは、それぞれアモルファスシリコン(a−Si)からなる。
第一光電変換ユニット21と第二光電変換ユニット21とを重ねて配し、光電変換層16を構成することによって、太陽電池10は、a−Si/μc−Siタンデム型太陽電池となっている。
このようなタンデム構造の太陽電池10では、例えば長波長域の太陽光を第一光電変換ユニット21で、また短波長域の太陽光を第二光電変換ユニット22でそれぞれ吸収して光電変換することによって、発電効率の向上を図ることができる。
このようなタンデム構造の太陽電池10では、例えば長波長域の太陽光を第一光電変換ユニット21で、また短波長域の太陽光を第二光電変換ユニット22でそれぞれ吸収して光電変換することによって、発電効率の向上を図ることができる。
第二電極層(表面電極)17は太陽光の入射面を成し、透明導電性材料、例えば、酸素欠陥を制御した酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム等の電気伝導性酸化物の他、酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜であるAZO(AlドープZnO)、BZO(BドープZnO)、FZO(FドープZnO)、GZO(GaドープZnO)等、酸化スズを主成分とする透明導電膜であるATO(SbドープSnO2)、FTO(FドープSnO2)等、酸化インジウムを主成分とする透明導電膜であるITO(SbドープIn2O3)、IFO(FドープIn2O3)等を用いることができる。また、高移動度が得られるIGZO(InGaZnO)をはじめとする、いわゆるTAOS(透明アモルファス酸化物半導体)を用いてもよい。
なお、これら第一光電変換ユニット21と第二光電変換ユニット22を構成する各層、および第二電極層(表面電極)17には、第一電極層(裏面電極)13の第一面F1に形成されたテクスチャ(凹凸形状)T1を反映したテクスチャが成膜時に転写されている。
光吸収層12および第一電極層13は第一区画溝(区画溝)14で例えば外形が短冊状に分割され、光電変換層16および第二電極層17は第一区画溝14とは異なる位置で第二区画溝18によって例えば外形が短冊状に分割されている。
第三区画溝19の内部には、第二電極層17と同じ材料によって構成される導電体が配されており、互いに隣接する区画素子のうち、一方の第一電極層13と他方の第二電極層17とを電気的に接続している。これによって、全ての区画素子が電気的に直列に繋がれた形態となり、高い電位差の電流を取り出すことができる。
以上のような構成の太陽電池は、光透過性の第二電極層(表面電極)17から太陽光が入射し、太陽光に含まれる光子というエネルギー粒子が第二光電変換ユニット22のi層22i、および第一光電変換ユニット21のi層21iに達すると、光起電力効果により電子と正孔(hole)が発生する。発生した電子はn層22n,21n、正孔はp層22p,21pに向かってそれぞれ移動する。この光起電力効果により発生した電子を第二電極層(表面電極)17と第一電極層(裏面電極)13との間で取り出して、太陽光(光エネルギー)を電気エネルギーに変換する(光電変換)。
また、第二電極層(表面電極)17から入射した太陽光は、各層を通過して第一電極層(裏面電極)13で反射される。太陽電池10は光エネルギーの変換効率を向上させるために、第一電極層(裏面電極)13に形成されたテクスチャT1によって、第一電極層(裏面電極)13と第二電極層(表面電極)17との間で入射した太陽光を繰り返し反射させて太陽光の光路長を伸ばすプリズム効果と、太陽光の閉じ込め効果とを得ることができる。
(太陽電池の製造方法)
以上のような構成の太陽電池を製造するための製造方法を説明する。
図3、図4は、本発明の太陽電池の製造方法を段階的に示した模式断面図である。
本発明の太陽電池を製造する際には、まず、ガラス基板や透明な樹脂基板など、光透過性の基板11を用意する(図3(a)参照)。そして、この基板11の一面11aに、例えばAZOからなる光吸収層12を成膜する(図3(b)参照)。
以上のような構成の太陽電池を製造するための製造方法を説明する。
図3、図4は、本発明の太陽電池の製造方法を段階的に示した模式断面図である。
本発明の太陽電池を製造する際には、まず、ガラス基板や透明な樹脂基板など、光透過性の基板11を用意する(図3(a)参照)。そして、この基板11の一面11aに、例えばAZOからなる光吸収層12を成膜する(図3(b)参照)。
図5は、本発明の太陽電池10の製造方法に用いられるスパッタ装置(成膜装置)の一例を示す概略構成図、図6は同スパッタ装置の成膜室の主要部を示す断面図である。スパッタ装置40は、インターバック式のスパッタ装置であり、例えば、ガラス基板(図示せず)等の基板を搬入/搬出する仕込み/取出し室42と、基板11の一面11aにAZOなどの光吸収層12を成膜する成膜室(真空容器)43とを備えている。
仕込み/取出し室42には、この室内を粗真空引きするロータリーポンプ等の粗引き排気手段44が設けられ、この室内には、基板を保持・搬送するための基板トレイ45が移動可能に配置されている。
一方、成膜室43の一方の側面43aには、基板11を加熱するヒータ51が縦型に設けられ、他方の側面43bには、酸化亜鉛系材料のターゲット47を保持し所望のスパッタ電圧を印加するスパッタカソード機構(ターゲット保持手段)52が縦型に設けられ、さらに、この室内を高真空引きするターボ分子ポンプ等の高真空排気手段53、ターゲット57にスパッタ電圧を印加する電源54、この室内にガスを導入するガス導入手段55が設けられている。
スパッタカソード機構52は、板状の金属プレートからなるもので、ターゲット47を口ウ材等でボンディング(固定)により固定するためのものである。
電源54は、ターゲット47に直流電圧に高周波電圧が重畳されたスパッタ電圧を印加するためのもので、直流電源と高周波電源(図示略)とを備えている。
電源54は、ターゲット47に直流電圧に高周波電圧が重畳されたスパッタ電圧を印加するためのもので、直流電源と高周波電源(図示略)とを備えている。
ガス導入手段55は、Ar等のスパッタガスを導入するスパッタガス導入手段55aと、水素ガスを導入する水素ガス導入手段55bと、酸素ガスを導入する酸素ガス導入手段55cと、水蒸気を導入する水蒸気導入手段55dとを備えている。
なお、このガス導入手段55では、水素ガス導入手段55b〜水蒸気導入手段55dについては、必要に応じて選択使用すればよく、例えば、水素ガス導入手段55bと酸素ガス導入手段55c、水素ガス導入手段55bと水蒸気導入手段55d、のように2つの手段により構成してもよい。
図7は、本発明の太陽電池の製造方法に用いられる別なスパッタ装置の一例、即ちインターバック式のマグネトロンスパッタ装置の成膜室の主要部を示す断面図である。図7に示すマグネトロンスパッタ装置60が、図5、6に示すスパッタ装置40と異なる点は、成膜室43の―方の側面43aに酸化亜鉛系材料のターゲット47を保持し所望の磁界を発生するスパッタカソード機構(ターゲット保持手段)62を縦型に設けた点てある。
スパッタカソード機構62は、ターゲット47をロウ材等でボンディング(固定)した背面プレート63と、背面プレート63の裏面に沿って配置された磁気回路64とを備えている。
この磁気回路64は、ターゲット47の表面に水平磁界を発生させるもので、複数の磁気回路ユニット(図4では2つ)64a、64bがブラケット65により連結されて一体化され、磁気回路ユニット64a、64bそれぞれは、背面プレート63側の表面の極性が相互に異なる第1磁石66および第2磁石67とこれらを装着するヨーク68とを備えている。
この磁気回路64では、背面プレート63側の極性が異なる第1磁石66および第2磁石67により、磁力線69で表される磁界が発生する。これにより、第1磁石66と第2磁石67との間におけるターゲット47の表面においては、垂直磁界が0(水平磁界が最大)となる位置70が発生する。この位置70に高密度プラズマが生成することで、成膜速度を向上しうるようになっている。
図5、6に示すスパッタ装置40を用いて、基板11の一面11aにAZOなどの光吸収層12を成膜する場合、まず、ターゲット47をスパッタカソード機構52にロウ材等でボンディングして固定する。ここで、ターゲット材として、光吸収層12の構成材料、例えば、アルミニウム添加酸化亜鉛(AZO)を用いる。
次いで、例えばガラスからなる基板11を仕込み/取出し室42の基板トレイ45に収納した状態で、仕込み/取出し室42及び成膜室43を粗引き排気手段54で粗真空引きし、仕込み/取出し室42及び成膜室43が所定の真空度、例えば0.27Pa(2.0mTorr)となった後に、基板11を仕込み/取出し室42から成膜室43に搬入し、この基板11を、設定がオフになった状態のヒータ51の前に配置し、この基板11をターゲット47に対向させ、この基板11をヒータ51により加熱して、100℃〜600℃の温度範囲内とする。
次いで、成膜室43を高真空排気手段53で高真空引きし、成膜室43が所定の高真空度、例えば2.7×10−4Pa(2.0×10−3mTorr)となった後に、成膜室43に、スパッタガス導入手段55によりAr等のスパッタガスを導入し、成膜室43内を所定の圧力(スパッタ圧力)とする。
次いで、電源54によりターゲット47にスパッタ電圧、例えば、直流電圧に高周波電圧を重畳したスパッタ電圧を印加する。スパッタ電圧印加により、基板11上にプラズマが発生し、このプラズマにより励起されたAr等のスパッタガスのイオンがターゲット47に衝突し、このターゲット47からアルミニウム添加酸化亜鉛(AZO)を構成する原子を飛び出させ、基板11上にAZOからなる光吸収層12を、例えば0.1〜5μmの厚みで積層する。
スパッタ時における成膜圧力と成膜速度との関係については、ターゲット材料やプロセスガスの種類にも依存するが、マグネトロンスパッタ法で成膜を行う場合、一般的に2mTorrから10mTorrの間の成膜圧力が選択される。成膜圧力が低い場合、プラズマのインピーダンスが高く放電できなかったり、放電できてもプラズマが不安定になる。
逆に成膜圧力が高い場合は、プロセスガスとスパッタされたターゲット材料がスキャッタリングすることにより、基板への付着効率(成膜速度)が低下したり、カソード周辺部品にスパッタされたターゲット材料が着膜することで、カソードとアースが短絡したりと生産性が低下する。
以上のようにして基板11の一面11aにAZOからなる光吸収層12を成膜した後、この基板11を成膜室43から仕込み/取出し室44に搬送し、この仕込み/取出し室44の真空を破り、光吸収層12が形成された基板11を取り出す。
次に、この光吸収層12に重ねて第一電極層(裏面電極)13を成膜する(図3(c)参照)。この第一電極層(裏面電極)13も、図5、図6に示したスパッタ装置(成膜装置)40を用いて、光吸収層12と同様の手順で成膜することができる。この時、ターゲットは第一電極層(裏面電極)13を構成する金属材料、例えば、Ag,Alを用いればよい。これによって、導電性で、かつ光反射性の金属からなる第一電極層(裏面電極)13が光吸収層12に重ねて形成される。
次に、第一電極層(裏面電極)13および光吸収層12に対して所定の間隔ごとに第一区画溝(区画溝)14を形成し、第一電極層(裏面電極)13と光吸収層12とを複数に区画する(図3(d)参照)。
第一区画溝(区画溝)14を形成するにあたっては、光学レーザー装置75を用いて、レーザー光線Lを光透過性の基板11の他面11bから入射させる。光学レーザー装置75は、赤外線レーザー光、可視光線レーザー光、紫外線レーザー光などを照射可能なものを用いることができる。
第一区画溝(区画溝)14を形成するにあたっては、光学レーザー装置75を用いて、レーザー光線Lを光透過性の基板11の他面11bから入射させる。光学レーザー装置75は、赤外線レーザー光、可視光線レーザー光、紫外線レーザー光などを照射可能なものを用いることができる。
光学レーザー装置75の具体例を挙げると、固体レーザー装置としては、ルビーレーザーや、YAG結晶中のイットリウムを他の希土類元素で置換した種々のYAGレーザーが挙げられる。また、ネオジム添加YAGを用いたNd−YAGレーザーは波長が1064nmの赤外線レーザー光を発する。更に、非線形光学結晶を用いて高調波を発生させることによって、波長532nmの緑色光レーザー光や355nmの紫外線レーザー光なども出力することができる。
液体レーザー装置としては、色素分子を有機溶媒(アルコールなど)に溶かした有機色素を媒質とした色素レーザー装置が一般的である。色素レーザー装置の利点は使用する色素や共振器の調節によって発振波長を自由に、かつ連続的に選択できることである。
ガスレーザー装置としては、炭酸ガスレーザー装置(赤外光レーザー光)やヘリウムネオンレーザー装置(赤色光レーザー光)、アルゴンイオンレーザー(青色または緑色レーザー光)、エキシマレーザー装置(主に紫外線レーザー光)などが挙げられる。
このような光学レーザー装置75を用いて、レーザー光線Lを光透過性の基板11の他面11bから入射させると、レーザー光線Lは基板11を透過して光吸収層12に伝播する。光吸収層12は、レーザー光線Lの波長域の光を吸収可能な材料、例えばAZOから形成されているため、入射したレーザー光線Lのエネルギーは光吸収層12に伝播する。これにより、光吸収層12が区画されるとともに、その上層に配された第一電極層(裏面電極)13も区画される。その結果、基板11に積層された光吸収層12と第一電極層(裏面電極)13とからなる構造体に対して、所定の間隔で縦断し、基板11の一面11aを露出させる第一区画溝(区画溝)14を、高精度に形成することができる。
従来、このような裏面電極を区画する区画溝は、機械的な切断加工や化学的なエッチングなど、高精度に区画溝を形成することが困難な方法によって行う必要があった。つまり、基板の一面に接して直接、金属など光反射性の高い材料からなる裏面電極が形成されていたため、加工精度に優れる光学レーザー装置を用いても、基板から入射したレーザー光が裏面電極で反射、ないし拡散されてしまい、裏面電極を区画する区画溝を所定の幅を保って高精度に形成することが困難であった。
一方、本発明の太陽電池の製造方法では、入射したレーザー光線を、基板11の一面11aと第一電極層(裏面電極)13との間に介在させた光吸収層12に伝播させることによって、光吸収層12を区画するとともに、その上層に配された第一電極層(裏面電極)13も区画する。したがって、光吸収層12と第一電極層(裏面電極)13とからなる構造体に対して、第一区画溝(区画溝)14を、所定幅で高精度に形成することが可能になる。
この後、第一電極層(裏面電極)13に重ねて光電変換層16を構成する各層を順次成膜する(図4(a)参照)。この時、第一区画溝(区画溝)14も光電変換層16によって埋められる。なお、光電変換層16を構成する各層は、CVDやスパッタによって形成することができる。光電変換層16をスパッタによって形成する場合には、例えば、図5、図6に示したスパッタ装置(成膜装置)40を用いることができる。
次に、光電変換層16の第一区画溝14と異なる位置において、所定の間隔ごとに第三区画溝19を形成する(図4(b)参照)。そして、光電変換層16に重ねて第二電極層(表面電極)17を成膜する(図4(c)参照)。この時、第三区画溝19も第二電極層17によって埋められる。第二電極層17は、透明導電性材料、例えば、酸素欠陥を制御した酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム等の電気伝導性酸化物の他、酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜であるAZO(AlドープZnO)、BZO(BドープZnO)、FZO(FドープZnO)、GZO(GaドープZnO)等、酸化スズを主成分とする透明導電膜であるATO(SbドープSnO2)、FTO(FドープSnO2)等、酸化インジウムを主成分とする透明導電膜であるITO(SbドープIn2O3)、IFO(FドープIn2O3)等を用いることができる。また、高移動度が得られるIGZO(InGaZnO)をはじめとする、いわゆるTAOS(透明アモルファス酸化物半導体)を用いてもよい。
なお、第二電極層(表面電極)17も、図5、図6に示したスパッタ装置(成膜装置)40によって形成することができる。
なお、第二電極層(表面電極)17も、図5、図6に示したスパッタ装置(成膜装置)40によって形成することができる。
次に、第二電極層(表面電極)17および光電変換層16に対して、所定の間隔ごとに第二区画溝(区画溝)18を形成し、第二電極層(表面電極)17と光電変換層16とを複数に区画する(図4(d)参照)。
第二区画溝(区画溝)18を形成するにあたっては、例えば光学レーザー装置76を用いて、レーザー光線Lを第二電極層(表面電極)17から入射させ、第二電極層(表面電極)17から光電変換層16まで、または第二電極層(表面電極)17のみを縦断するように所定幅で切断する。光学レーザー装置76は、赤外線レーザー光、可視光線レーザー光、紫外線レーザー光などを照射可能なものを用いることができる。
以上のような工程を経て、本発明の太陽電池10を製造することができる。
以上のような工程を経て、本発明の太陽電池10を製造することができる。
(太陽電池、電極付き基板:第二実施形態)
図8は、本発明の太陽電池の第二実施形態を示す断面図である。
太陽電池80は、透明な絶縁性の基板81の一面81aに順に積層された光吸収層82および第一電極層(裏面電極)83と、この光吸収層82および第一電極層83を所定の間隔で区画する第一区画溝(区画溝)84とからなる電極付き基板85を備えてなる。
図8は、本発明の太陽電池の第二実施形態を示す断面図である。
太陽電池80は、透明な絶縁性の基板81の一面81aに順に積層された光吸収層82および第一電極層(裏面電極)83と、この光吸収層82および第一電極層83を所定の間隔で区画する第一区画溝(区画溝)84とからなる電極付き基板85を備えてなる。
太陽電池80は、電極付き基板85の第一電極層(裏面電極)83に重ねて、更に光電変換層86および第二電極層(表面電極)87と、この光電変換層86および第二電極層87を第一区画溝(区画溝)84とは異なる位置で区画する第二区画溝88を備えている。
太陽電池80は、第一区画溝84および第二区画溝88によって、電気的に区画された複数の区画素子からなる。そして、互いに隣接する区画素子のうち、一方の第一電極層83と他方の第二電極層87とが連結されるように第三区画溝89が形成されている。第三区画溝89の内部には、第二電極層87と同じ材料によって構成される導電体が配されている。
太陽電池80は、第一区画溝84および第二区画溝88によって、電気的に区画された複数の区画素子からなる。そして、互いに隣接する区画素子のうち、一方の第一電極層83と他方の第二電極層87とが連結されるように第三区画溝89が形成されている。第三区画溝89の内部には、第二電極層87と同じ材料によって構成される導電体が配されている。
図8(b)に示すように、この実施形態においては、光吸収層82の一面82aに、凹凸形状であるテクスチャT2が形成されている。そして、光吸収層82上に、第一電極層(裏面電極)83、第一光電変換ユニット(光電変換層)91、第二光電変換ユニット(光電変換層)92、第二電極層(表面電極)87が順に形成されている。
第一光電変換ユニット91は、基板81側から、n型半導体層(n層)91n、実質的に真性なi型半導体層(i層)91i、p型半導体層(p層)91pが順に積層されてなる。
第二光電変換ユニット92は、基板81側から、n型半導体層(n層)92n、実質的に真性なi型半導体層(i層)92i、p型半導体層(p層)92pが順に積層されてなる。
第二電極層(表面電極)87には、光吸収層82に形成されたテクスチャT2を反映した(転写された)テクスチャがそれぞれ形成されている。
第一光電変換ユニット91は、基板81側から、n型半導体層(n層)91n、実質的に真性なi型半導体層(i層)91i、p型半導体層(p層)91pが順に積層されてなる。
第二光電変換ユニット92は、基板81側から、n型半導体層(n層)92n、実質的に真性なi型半導体層(i層)92i、p型半導体層(p層)92pが順に積層されてなる。
第二電極層(表面電極)87には、光吸収層82に形成されたテクスチャT2を反映した(転写された)テクスチャがそれぞれ形成されている。
光吸収層82の一面82aに、凹凸形状であるテクスチャT2を形成する方法としては、光吸収層82の形成後にエッチング、例えばウエットエッチングを行い、光吸収層82の一面82aに所定のプロファイルを持ったテクスチャT2を形成することができる。
以下、ウエットエッチングによって光吸収層82の表面にテクスチャT2を形成する場合の具体的な条件を挙げる。
1: 20重量%の酢酸アンモニウム水溶液を用いて、35℃で90秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
2: 0.5重量%の塩酸水溶液を用いて、25℃で30秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
3: 1.0重量%の硝酸水溶液を用いて、25℃で25秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
4: 5.0重量%の酢酸水溶液を用いて、35℃で80秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
5: 4.3重量%のマロン酸水溶液を用いて、35℃で95秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
6: 5.3重量%のクエン酸水溶液を用いて、35℃で250秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
7: 6.3重量%のグリコール酸水溶液を用いて、35℃で220秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
8: 10重量%の酢酸アンモニウム水溶液を用いて、35℃で240秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
9: 10重量%のギ酸アンモニウム水溶液を用いて、35℃で50秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
10: 10重量%のコハク酸アンモニウム水溶液を用いて、40℃で240秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
11: 5.0重量%のジエチレントリアミン水溶液を用いて、35℃で40秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
12: 5.0重量%のトリエチレンテトラミン水溶液を用いて、35℃で300秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
13: 10重量%のテトラエチレンペンタミン水溶液を用いて、35℃で40秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
14: 5.0重量%の酢酸水溶液を用いて、35℃で120秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で60秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
15: 5.0重量%の酢酸水溶液を用いて、35℃で90秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で180秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
16: 5.0重量%の酒石酸水溶液を用いて、35℃で60秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で60秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
17: 5.0重量%のリンゴ酸水溶液を用いて、35℃で90秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で60秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
18: 5.0重量%の乳酸水溶液を用いて、35℃で90秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で60秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
19: 5.0重量%のクエン酸水溶液を用いて、35℃で60秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で60秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
20: 5.0重量%の酢酸水溶液を用いて、35℃で30秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で240秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
1: 20重量%の酢酸アンモニウム水溶液を用いて、35℃で90秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
2: 0.5重量%の塩酸水溶液を用いて、25℃で30秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
3: 1.0重量%の硝酸水溶液を用いて、25℃で25秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
4: 5.0重量%の酢酸水溶液を用いて、35℃で80秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
5: 4.3重量%のマロン酸水溶液を用いて、35℃で95秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
6: 5.3重量%のクエン酸水溶液を用いて、35℃で250秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
7: 6.3重量%のグリコール酸水溶液を用いて、35℃で220秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
8: 10重量%の酢酸アンモニウム水溶液を用いて、35℃で240秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
9: 10重量%のギ酸アンモニウム水溶液を用いて、35℃で50秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
10: 10重量%のコハク酸アンモニウム水溶液を用いて、40℃で240秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
11: 5.0重量%のジエチレントリアミン水溶液を用いて、35℃で40秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
12: 5.0重量%のトリエチレンテトラミン水溶液を用いて、35℃で300秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
13: 10重量%のテトラエチレンペンタミン水溶液を用いて、35℃で40秒間のエッチングを行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
14: 5.0重量%の酢酸水溶液を用いて、35℃で120秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で60秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
15: 5.0重量%の酢酸水溶液を用いて、35℃で90秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で180秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
16: 5.0重量%の酒石酸水溶液を用いて、35℃で60秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で60秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
17: 5.0重量%のリンゴ酸水溶液を用いて、35℃で90秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で60秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
18: 5.0重量%の乳酸水溶液を用いて、35℃で90秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で60秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
19: 5.0重量%のクエン酸水溶液を用いて、35℃で60秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で60秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
20: 5.0重量%の酢酸水溶液を用いて、35℃で30秒間のエッチングを行った後、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて、25℃で240秒間の処理を行い、光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
また、光吸収層82に対して、例えばドライエッチングを行い、光吸収層82の一面82aに所定のプロファイルを持ったテクスチャT2を形成することもできる。
以下、ドライエッチングによって光吸収層82の一面82aにテクスチャT2を形成する場合の具体的な条件を挙げる。
光吸収層82がAZOの場合、スパッタリング装置を用いて、スパッタリングターゲットとしてZnO−Al2O3を用いる。成膜温度250℃、成膜圧力2.0Pa、膜厚8000オングストロームに設定して光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
光吸収層82がAZOの場合、スパッタリング装置を用いて、スパッタリングターゲットとしてZnO−Al2O3を用いる。成膜温度250℃、成膜圧力2.0Pa、膜厚8000オングストロームに設定して光吸収層の表面にテクスチャT2を形成する。
このように光吸収層82の一面82aに、凹凸形状であるテクスチャT2を形成することによって、光吸収層82に重ねて成膜される第一電極層(裏面電極)83、光電変換層86および第二電極層(表面電極)87にもテクスチャT2と同等の凹凸形状が反映される。これによって、第一電極層(裏面電極)83と第二電極層(表面電極)87との間で、入射した太陽光を繰り返し反射させて太陽光の光路長を伸ばすプリズム効果と、太陽光の閉じ込め効果とを得ることができる。
10 太陽電池、11 基板、12 光吸収層、13 第一電極層(裏面電極)、14 第一区画溝(区画溝)、15 電極付き基板、16 光電変換層、17 第二電極層(表面電極)。
Claims (6)
- 光透過性の基板と、該基板の一面に順に重ねて配された第一電極層、光電変換層、および光透過性の第二電極層とを少なくとも備えた太陽電池であって、
前記第一電極層は光反射性を有し、
前記基板と前記第一電極層との間に光吸収層が配され、
前記基板に前記光吸収層、前記第一電極層の順に積層された構造体に対して所定の間隔で縦断し、前記基板の一面を露出させる区画溝を有することを特徴とする太陽電池。 - 前記光吸収層が前記第一電極層と重なる一面に凹凸形状を有することを特徴とする請求項1に記載の太陽電池。
- 前記光吸収層はAZOからなることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池。
- 光透過性の基板と、該基板の一面に順に重ねて配された第一電極層、光電変換層、および光透過性の第二電極層とを少なくとも備えた太陽電池用の電極付き基板であって、
光反射性の前記第一電極層と、
前記基板と前記第一電極層との間に配された光吸収層と、
前記基板に前記光吸収層、前記第一電極層の順に積層された構造体に対して所定の間隔で縦断し、前記基板の一面を露出させる区画溝と、
を有することを特徴とする電極付き基板。 - 光透過性の基板と、該基板の一面に順に重ねて配された第一電極層、光電変換層、および光透過性の第二電極層とを少なくとも備え、前記第一電極層は光反射性を有し、前記基板と前記第一電極層との間に光吸収層が配され、前記基板に前記光吸収層、前記第一電極層の順に積層された構造体に対して所定の間隔で縦断し、前記基板の一面を露出させる区画溝を有する太陽電池の製造方法であって、
前記基板の一面に前記光吸収層を形成する工程と、
前記光吸収層に重ねて前記第一電極層を形成する工程と、
前記基板から前記光吸収層を介して前記第一電極層に向けてレーザー光を照射し、前記区画溝を形成する工程と、
を少なくとも備えたことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 前記レーザー光は前記光吸収層が吸収する波長域のレーザー光であることを特徴とする請求項5に記載の太陽電池の製造方法。
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CN114695667A (zh) * | 2022-03-22 | 2022-07-01 | 电子科技大学 | 一种埋底界面处理制备高效柔性钙钛矿太阳电池的方法 |
CN114695667B (zh) * | 2022-03-22 | 2023-04-07 | 电子科技大学 | 一种埋底界面处理制备高效柔性钙钛矿太阳电池的方法 |
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