JP2014085234A - 圧力センサー素子、電子機器および移動体 - Google Patents
圧力センサー素子、電子機器および移動体 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】圧力センサー素子100は、基台3と、基台3との間に内部空間sを形成し、圧力を感知する受圧面15に第1金属配線4を有しているダイヤフラム1と、2つの支持部212に挟まれている振動腕211を含み、支持部212が内部空間sの側でダイヤフラム1に接続されていて、振動腕211に配置されている励振電極213が支持部212へ延出している第2金属配線5を有している感圧素子21と、を備え、ダイヤフラム1の第1金属配線4と第2金属配線5とが容量結合している、ことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
(実施形態1)
(実施形態2)
(実施形態3)
(実施形態4)
(電子機器)
(移動体)
Claims (8)
- 基台と、
前記基台との間に内部空間を形成し、受圧面側に第1金属配線を有しているダイヤフラムと、
2つの支持部に挟まれている振動腕を含み、前記支持部が前記内部空間側で前記ダイヤフラムに接続されていて、前記振動腕に配置されている励振電極が前記支持部へ延出している第2金属配線を有している感圧素子と、を備え、
前記第1金属配線と前記第2金属配線とが容量結合している、ことを特徴とする圧力センサー素子。 - 前記ダイヤフラムは、厚肉部と前記厚肉部よりも板厚の小さい薄肉部とを有し、前記内部空間側へ突出している前記厚肉部に前記支持部が接続されている、ことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサー素子。
- 前記第1金属配線と前記第2金属配線と、および前記厚肉部とが平面視で重なっている、ことを特徴とする請求項2に記載の圧力センサー素子。
- 前記第1金属配線と前記第2金属配線と、および前記薄肉部とが平面視で重なっている、ことを特徴とする請求項2に記載の圧力センサー素子。
- 前記第1金属配線と前記第2金属配線とが、前記厚肉部および前記薄肉部と平面視で重なっている、ことを特徴とする請求項2に記載の圧力センサー素子。
- 前記第2金属配線は、前記厚肉部と前記薄肉部とが同時に形成された、ことを特徴とする請求項4または5に記載の圧力センサー素子。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の圧力センサー素子を搭載していることを特徴とする電子機器。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の圧力センサー素子を搭載していることを特徴とする移動体。
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JP2012234485A JP2014085234A (ja) | 2012-10-24 | 2012-10-24 | 圧力センサー素子、電子機器および移動体 |
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-
2012
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