JP2014083511A - シロキサン分解装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】触媒上での環状シロキサンと水蒸気との加水分解反応により、環状シロキサンを除去するシロキサン分解装置を提供する。
【解決手段】シロキサン分解装置1は、吸引ブロワ10により吸引することで、装置外部からガス取り口14を介してシロキサンを含有したガスをシロキサン分解触媒9へ導入する。外部から供給されたガスはガス予熱器12によりシロキサン分解触媒9の温度を加水分解反応が進行するのに必要な所定温度まで加熱される。通常触媒層温度は150〜300℃の範囲に設定し、加水分解反応では水蒸気が必要であるため、これは水供給装置11からシロキサン分解触媒9の上流位置に供給する。反応で消費できずに残存した水蒸気は冷却器13で凝縮させて回収する。
【選択図】図2
【解決手段】シロキサン分解装置1は、吸引ブロワ10により吸引することで、装置外部からガス取り口14を介してシロキサンを含有したガスをシロキサン分解触媒9へ導入する。外部から供給されたガスはガス予熱器12によりシロキサン分解触媒9の温度を加水分解反応が進行するのに必要な所定温度まで加熱される。通常触媒層温度は150〜300℃の範囲に設定し、加水分解反応では水蒸気が必要であるため、これは水供給装置11からシロキサン分解触媒9の上流位置に供給する。反応で消費できずに残存した水蒸気は冷却器13で凝縮させて回収する。
【選択図】図2
Description
本発明は、原子力発電システム等、消化ガス発電システム、埋立ガス発電システム等に係り、特に、原子力発電システム等で使用される水素検知装置の素子材料である白金(Pt)材料の劣化、及び原子力発電システムで使用される可燃性ガス制御装置での再結合触媒等の劣化を防止するために好適なシロキサン分解触媒と水供給装置を備えたシロキサン分解装置に関する。
CO2などによる地球温暖化が深刻になる状況化にあって、CO2を発生しない原子力発電プラントは、将来のエネルギー供給源として重要である。
原子力プラントには沸騰水型原子力プラント(BWRプラント)と加圧型原子力プラント(PWRプラント)がある。BWRプラントは、さらに原子炉圧力容器内の炉心への冷却水の供給を原子炉圧力容器に接続された再循環系配管に設けられた再循環系ポンプを駆動して行うタイプと、冷却水の供給を、原子炉圧力容器の底部に設けられてインペラが原子炉圧力容器内に配置されたインターナルポンプを用いて行うタイプの二種類がある。インターナルポンプを有するBWRプラントは、改良型原子力プラント(ABWRプラント)と呼ばれている。
BWRプラントでは、原子炉圧力容器内の炉心に装荷された複数の燃料集合体に含まれる核燃料物質の核分裂によって発生する熱により冷却水を加熱して蒸気を発生させ、原子炉圧力容器内で発生した蒸気がタービンに直接供給される。
BWRプラントの運転中、炉心内の冷却水は、核分裂によって発生する中性子及びγ線等の放射線の照射により、放射線分解され、水素及び酸素が発生する。この水素及び酸素が原子炉圧力容器内に蓄積した場合には、水素及び酸素が気相反応により再結合すると原子炉圧力容器内で燃焼する危険性がある。このため、BWRプラントでは、水素と酸素の再結合を促進させる燃焼触媒を充填した再結合器をオフガス系の配管に設け、放射線分解により発生した水素と酸素を再結合させている。水素と酸素の再結合は、式(1)に示す反応によって行われる。
2H2 + O2 → 2H2O ・・・(1)
オフガス系配管が、タービンから排出された蒸気を凝縮する復水器に接続されている。復水器の真空度を上げるために、オフガス系配管に設けられた空気抽出器により復水器内のガスが抽気される。冷却水の放射線分解で発生した水素及び酸素は、蒸気と共に原子炉圧力容器から主蒸気配管を通ってタービンに導かれ、復水器に排出される。復水器の水素及び酸素等のガスは、空気抽出器によってオフガス系配管に排出されて再結合器に導かれ、燃焼触媒により再結合されて水になる。
オフガス系配管が、タービンから排出された蒸気を凝縮する復水器に接続されている。復水器の真空度を上げるために、オフガス系配管に設けられた空気抽出器により復水器内のガスが抽気される。冷却水の放射線分解で発生した水素及び酸素は、蒸気と共に原子炉圧力容器から主蒸気配管を通ってタービンに導かれ、復水器に排出される。復水器の水素及び酸素等のガスは、空気抽出器によってオフガス系配管に排出されて再結合器に導かれ、燃焼触媒により再結合されて水になる。
復水器に接続されたオフガス系配管に再結合器を設けて水素と酸素の再結合を行うことは、特許文献1、特許文献2に記載されている。
一方、近年、BWRプラントの起動時に、オフガス系の配管に設けられた再結合器から排出されるガス中の水素濃度が増大し、BWRプラントの運転を停止しなければならないという事象が発生した。オフガス系配管が接続された復水器に設置されている低圧タービンでは、パッキング部のシール剤として亜麻仁油を使用していた。ここで、気密性の低い亜麻仁油の使用によるタービン効率の低下を改善するために、シール剤を高い気密性が得られる液状パッキングに変更した。上記の再結合器から排出されたガスの水素濃度の上昇事象の発生時期は、シール剤を変更した時期とほぼ一致しており、また、再結合器から回収された触媒からSiO2が検出された。
特許文献3ではシール材から発生する環状シロキサン(以下、D類シロキサンと略す)量の測定方法と評価装置を提案しているが、このシール材からは特に高温度下で多量のD類シロキサンが発生し、これを含有するガスをPt触媒へ通気すると、式(1)における触媒活性が低下することが判明した。
他のセンサー分野では、非特許文献1のKarl Arnbyら 、非特許文献2のMasahiko Matsumiya ら、及び非特許文献3のJean-Jacques Ehrhardt らは、室温でも液状パッキングから微量のヘキサメチレンジシロキサン(HMDS)が発生し、このHMDSが可燃式水素センサーの電極に付着して可燃式水素検知装置の性能を低下させることを報告している。
一方、国内での原子力発電設備での事故を受け、水素漏洩に伴うシビアアクシデントを防止する目的で、可燃性ガス制御装置(FCS:Flammability Control System)または水素検知装置の設置が強化されているが、触媒式FCSに充填された燃焼触媒も再結合器に充填された触媒と同様にD類シロキサンで被毒され、性能が低下することが懸念される。また触媒燃焼方式の水素検知装置では、水素を検知する素子はPt材料であり、これも同様にD類シロキサンで被毒されことが懸念される。更に消化ガス燃焼エンジンシステムではシロキサン由来SiO2が付着し バーナ失火、エンジン損事故が問題となっている。
Karl Arnby et al. Applied Catalysis B, Characterization of Pt/Fe-Al2O3 catalysts deactivated by hexamethyldisiloxane, pp.1-7(2004)
Masahiko Matsumiya et al. Sensors and Actuators B, Poisoning of platinum thin film catalyst by hexamethyldisiloxane(HMDS) for thermoelectric hydrogen gas sensor, pp516-522(2003)
Jean-Jacques Ehrhardt et al. Sensors and Actuators B, Poisoning of platinum surfaces by hexamethyldisiloxane(HMDS): Application to catalytic methane sensors B, pp117-124(1997)
オフガス系配管に設けられた再結合器から排出されたガスに含まれた水素の濃度上昇に関する検討が行われた結果、低圧タービンのシール剤に用いた液状パッキングから発生したD類シロキサンが、オフガス系の再結合器に充填された燃焼触媒の触媒毒になり、燃焼触媒の触媒作用が低下することを見出した。このため、D類シロキサンがオフガス系に流入したときにおける再結合器での触媒性能の向上が求められる。
本発明の目的は、システム内に含まれるD類シロキサンを分解するシロキサン分解触媒と水供給装置を備えたシロキサン分解装置を提供することにある。
さらに、本発明の目的は、復水器から排出されたガスがD類シロキサンを含んでいる場合でも、オフガス系に設けられた再結合装置内の触媒性能を向上させることができる沸騰水型原子力プラントの運転方法及び沸騰水型原子力プラントを提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するため、下記のシロキサン分解触媒と水供給装置を備えたシロキサン分解装置を提供する。
(1)システム内にシロキサン分解触媒を設置し、該シロキサン分解触媒への水供給装置を設置し、システム外部からガス供給する装置を備えたシロキサン分解装置。
(2)触媒燃焼方式の可燃性ガス検知装置の上流位置にシロキサン分解触媒と水供給装置を有するシロキサン分解装置を備えた可燃性ガス検知装置。
(3)可燃性ガスが水素、一酸化炭素、メタン、炭化水素類であるシロキサン分解装置を備えた可燃性ガス検知装置。
(4)原子力発電システム内に、可燃性ガス制御装置および水素検知装置のうち少なくとも一つと、シロキサン分解触媒と水供給装置を備えたシロキサン分解装置を設置した原子力発電システム。
(5)原子力発電システムの原子炉格納容器内に、原子炉格納容器内で発生した水素を空気中の酸素と反応させて水に変換する燃焼触媒を充填した可燃性ガス制御装置を設置し、可燃性ガス制御装置内部に燃焼触媒の上流にシロキサン分解装置備えた原子力発電システム用の可燃性ガス制御装置。
(6)汚泥から発生する消化ガスを燃料としたガス発電システムにおいて、消化ガス中に含有するシロキサンを加水分解する触媒と反応に必要な水蒸気を供給する装置を備えた消化ガスエンジン発電システム。
(7)汚泥から発生する消化ガスを燃料とした燃料電池発電システムにおいて、消化ガス中に含有するD類シロキサンを加水分解する触媒と反応に必要な水蒸気を供給する装置を備えた燃料電池発電システム。
(8)ごみ埋め立地から発生する可燃性ガスを燃料とする発電システムにおいて、可燃性ガス中に含有するシロキサンを加水分解する触媒と反応に必要な水蒸気を供給する装置を備えた発電システム。
(9)シロキサン分解触媒と水供給装置を備えたシロキサン分解装置を半導体製造設備に設置した半導体製造設備。
(10)シロキサン分解触媒と水供給装置を備えたシロキサン分解装置において、触媒層温度、ガス線速度、触媒層でのガス滞留時間からシロキサン除去率をあらかじめ作成した予測式から算出し、除去率が目標値より低下すると予測された時に、触媒層温度または触媒に流入するガス量を変化するシロキサン除去制御方法。
(1)システム内にシロキサン分解触媒を設置し、該シロキサン分解触媒への水供給装置を設置し、システム外部からガス供給する装置を備えたシロキサン分解装置。
(2)触媒燃焼方式の可燃性ガス検知装置の上流位置にシロキサン分解触媒と水供給装置を有するシロキサン分解装置を備えた可燃性ガス検知装置。
(3)可燃性ガスが水素、一酸化炭素、メタン、炭化水素類であるシロキサン分解装置を備えた可燃性ガス検知装置。
(4)原子力発電システム内に、可燃性ガス制御装置および水素検知装置のうち少なくとも一つと、シロキサン分解触媒と水供給装置を備えたシロキサン分解装置を設置した原子力発電システム。
(5)原子力発電システムの原子炉格納容器内に、原子炉格納容器内で発生した水素を空気中の酸素と反応させて水に変換する燃焼触媒を充填した可燃性ガス制御装置を設置し、可燃性ガス制御装置内部に燃焼触媒の上流にシロキサン分解装置備えた原子力発電システム用の可燃性ガス制御装置。
(6)汚泥から発生する消化ガスを燃料としたガス発電システムにおいて、消化ガス中に含有するシロキサンを加水分解する触媒と反応に必要な水蒸気を供給する装置を備えた消化ガスエンジン発電システム。
(7)汚泥から発生する消化ガスを燃料とした燃料電池発電システムにおいて、消化ガス中に含有するD類シロキサンを加水分解する触媒と反応に必要な水蒸気を供給する装置を備えた燃料電池発電システム。
(8)ごみ埋め立地から発生する可燃性ガスを燃料とする発電システムにおいて、可燃性ガス中に含有するシロキサンを加水分解する触媒と反応に必要な水蒸気を供給する装置を備えた発電システム。
(9)シロキサン分解触媒と水供給装置を備えたシロキサン分解装置を半導体製造設備に設置した半導体製造設備。
(10)シロキサン分解触媒と水供給装置を備えたシロキサン分解装置において、触媒層温度、ガス線速度、触媒層でのガス滞留時間からシロキサン除去率をあらかじめ作成した予測式から算出し、除去率が目標値より低下すると予測された時に、触媒層温度または触媒に流入するガス量を変化するシロキサン除去制御方法。
上記した目的は、ナノメータオーダの直径を持つチューブ状多孔質材料内にZrまたはTi等の成分を分散した触媒上で式(2)に示すようなD類シロキサンと水蒸気の反応を促進することで、シロキサンをSiO2とメタンに分解する。
生成したSiO2は細かい粒子となり大部分は触媒上に付着せずに触媒層後流に流出するため触媒性能に悪影響はない。本発明では触媒はハニカム構造を持ち、粒状触媒に比べるとSiO2粒子は触媒上に堆積し難い構造となっている。
Si5O5(CH3)10 + 5H2O → 5SiO2 + 10CH4 ・・・(2)
Si5O5(CH3)10 + 5H2O → 5SiO2 + 10CH4 ・・・(2)
本発明によれば、シロキサン分解触媒と、シロキサン分解触媒への水供給装置と、D類シロキサンを含有するガスをシロキサン分解触媒へ供給するガス供給装置とを備えたシロキサン分解装置により、システム内にD類シロキサンを含んでいるときにおいても、触媒性能の低下を抑制することができる。
以下、本発明を実施例と図面によって具体的に説明する。
本発明の好適な実施例である実施例1の沸騰水型原子力プラント(BWRプラント)を、図1を用いて説明する。実施例1のBWRプラントは主に原子炉圧力容器4を有する原子炉建屋8、及び低圧タービン34、発電機35、復水器36から構成される。高圧タービン(図示せず)及び低圧タービン34が主蒸気配管39によって原子炉圧力容器4に接続される。低圧タービン34は、高圧タービンの下流に配置されて復水器36に設置される。原子炉は、原子炉圧力容器4及び原子炉圧力容器4内に配置した炉心7を有する。核燃料物質を含む複数の燃料集合体5が炉心7に装荷されている。原子炉には複数の制御棒6が設けられ、これらの制御棒6が炉心に出し入れされることによって原子炉出力が制御される。
BWRプラントの運転中、原子炉圧力容器4内の冷却水が、図示されていない再循環ポンプ(またはインターナルポンプ)で昇圧されて炉心7に供給される。この冷却水は、燃料集合体5内の核燃料物質の核分裂で発生する熱によって加熱され、一部が蒸気になる。この蒸気は、主蒸気配管を通って高圧タービン及び低圧タービン34に順次供給され、高圧タービン及び低圧タービン34を回転させる。これらのタービンに連結された発電機35も回転し、電力を発生する。低圧タービン20から排気された蒸気は復水器34で凝縮されて水になり、復水器36の底部に溜まる。この水は給水として給水ポンプ38により昇圧され、給水配管37を通って原子炉圧力容器4に供給される。
原子炉建屋8の作業フロアに設けられた触媒式水素再結合装置(PAR:Passive Autocatalytic Recombiner)2内部には燃焼触媒が充填されており、装置下部から水素および酸素を含んだガスが流入すると、自動的(受動的)に燃焼触媒上で水素と酸素は(1)式に示す反応により水へ再結合される。再結合反応により生成した水蒸気および未反応の水素、酸素はPAR2上部から放出される。上記のような燃焼反応が燃焼触媒上でおこることにより、PAR2のガス入口から出口への方向にガス対流が発生し、装置には特別にブロワのような強制的なガス流通機器を設置しなくても、PAR2内部の触媒へは装置外部から水素を含有したガスが流通されることになる。このようにPAR2には特別の補機設置と運転員による装置運転操作を必要としないので、機器コストは低く、運用は容易となる。
1は同じく原子炉建屋8の作業フロアに設けられたD類シロキサン分解装置1である。原子炉格納容器8内の空気中に含有されたD類シロキサンはD類シロキサン分解装置1に吸引されることで分解され、D類シロキサンが水素検知装置3やPAR2内部に充填されたPt触媒表面に付着してその性能が低下しないようにする。
次に、シロキサン分解装置1の具体的構造を、図2を用いて説明する。シロキサン分解装置1へは吸引ブロワ10により吸引することで、ガスが装置外部からガス取り口14を介してシロキサン分解触媒9へ供給される。外部から供給されたガスはガス予熱器12でシロキサン分解触媒9の加水分解反応が進行するのに必要な所定温度まで加熱される。通常、触媒層温度は150〜300℃の範囲である。
式(1)に環状シロキサンの一種である、デカメチルシクロペンタシロキサン(以下、D5と略す)の加水分解反応を示したが、この反応には水蒸気が必要であるため水供給装置11から供給する。水供給装置11はシロキサン分解触媒9の上流位置に設ける。水供給装置11から供給する水の量は、シロキサン分解触媒9上で水分が露結し触媒活性点であるPtの表面積を減少させないよう、触媒層温度での飽和水蒸気濃度以下になるように供給する加水分解反応で消費できずに残存した水蒸気は冷却器13で凝縮させて回収する。
本発明の実施例2において、触媒燃焼方式の可燃性ガス検知装置への適用例を図3を用いて説明する。図3は、本発明の実施例2の可燃性ガス検知装置を示す構成図である。
本発明を原子力発電に適用する場合は可燃性ガス検知装置の対象となる可燃性ガスは水素であるが、他分野に適用する場合は、可燃ガスは一酸化炭素、メタン、炭化水素等を含む。
可燃性ガス検知装置15は可燃性ガスのセンサー素子である白金線16、水素濃度変換装置17、可燃性ガス検知装置15に吸引ブロワ10によりガス取り口14を介して流入するD類シロキサンを加水分解するためのシロキサン分解触媒9と水供給装置11から構成される。
実施例2と同様に、水供給装置11から供給する水分の量はセンサー素子である白金線16上で水分が露結して触媒活性点であるPtの表面積を減少させないように、センサー素子である白金線16が設置された雰囲気温度での飽和水蒸気濃度以下になるように、水供給装置11から供給する水分量を設定する。(2)式の反応で使用されなかった水は、図示しない冷却器で凝縮させて回収する。実施例2は、BWR、ABWR、PWRの原子力発電システムに適用可能である。
本発明の実施例3の触媒燃焼方式の可燃性ガス検知装置への適用例を図4を用いて説明する。図4は、本発明の実施例3の可燃性ガス検知装置を示す構成図である。
可燃性ガス検知装置15はセンサー素子である白金線16、水素濃度変換装置17、可燃性ガス検知装置15に吸引ブロワ10によりガス取り口14を介して流入するD類シロキサンを加水分解するためのシロキサン分解触媒9から構成される。
可燃性ガス検知装置15はセンサー素子である白金線16、水素濃度変換装置17、可燃性ガス検知装置15に吸引ブロワ10によりガス取り口14を介して流入するD類シロキサンを加水分解するためのシロキサン分解触媒9から構成される。
加水分解反応に必要な水蒸気はガスがバブリング装置18を通過する際のガス温度の飽和水蒸気濃度に相当する水分が飽和水蒸気濃度は温度が上昇する程、その値は増加するので、反応に必要な水蒸気濃度に相当するようにバブリング槽B外側に設置した加熱装置20の出力を調整する。バブリング槽Bを通過したガスが冷却することでガス中水蒸気が凝縮しないように、その後流にはガス温度を飽和温度以上に維持するためのガス加熱装置12が設置してある。また(2)式の反応で消費されずに残存した水は、図示しない冷却器で凝縮させて回収する。
実施例4は、本発明のBWRプラントの可燃性ガス制御装置(FCS: Flammability Control System)への適用例を示す。図5は実施例4のBWRプラントの可燃性ガス制御装置を示す構成図である。
FCSは、システムで発生した水素、酸素が原子炉格納容器内に貯留し、反応して燃焼することを防止するため、水素、酸素濃度を制限値以下に制御処理する装置である。FCSはシロキサン分解装置1へ可燃性ガスを吸引ブロワ10により吸引することで、装置外部からガス取り口14を介してシロキサン分解触媒9へ供給される。加水分解反応に必要な水分は水供給装置11から供給するが、実施例2、3と同様に、ここから供給する水分の量はシロキサン分解触媒9上で水分が露結して触媒活性点であるPt上に吸着してPtの表面積を減少させないように、触媒層温度での飽和水蒸気濃度以下になるように、水供給装置11から供給する水分量を設定する。
外部から供給されたガスはガス予熱器12でシロキサン分解触媒9の温度を加水分解反応が進行するのに必要な所定温度まで加熱される。
実施例4のBWRプラントでは主に原子炉建屋8内に原子炉圧力容器4が設置され、この原子炉圧力容器4内部には炉心7が設置され、ここには核燃料物質を含む複数の燃料集合体5と複数の制御棒6が装荷されている。これらの制御棒6が炉心に出し入れされることによって原子炉出力が制御される。
万一、原子炉圧力容器4が破損して原子炉建屋8内へ水素が漏れた時は、FCSの吸引ブロワ10を起動し、原子炉建屋8内に拡散した水素を吸引して再結合触媒40へ流通させることで、式(1)に示す反応により水素を水へ変換する。水素を含む大気中には再結合触媒40の性能を低下させるD類シロキサンを含有することが想定されるので、D類シロキサンをシロキサン分解触媒9の作用により、式(2)に示すように加水分解されSiO2へ変換する。反応後の生成した水と気体は気水分離装置で分離され、水は捕集され、水素およびD類シロキサンが除去され精製されたガスは再び原子炉建屋8内部へ放出される。実施例4はBWR、ABWR、PWRの全ての原子力発電システムに適用可能である。
実施例5に、本発明の消化ガス発電システムへの適用例を図6を用いて説明する。図6は、実施例5の第1の消化ガス発電システムを示す構成図である。
下水処理設備26から発生する汚泥は汚泥濃縮装置27で濃縮し、消化槽21ではメタン(CH4)と一酸化炭素(CO)を主成分とし、微量ガスとしてD類シロキサンの他に硫化水素(H2S)等を含む消化ガスを発生させる。一般的にはガス組成はCH4 60%、CO2 40%である。
次にH2Sは有害で腐食性が高いため、これを次の脱硫装置22で活性炭等に吸着することで、脱硫装置22の出口ガス中のH2S濃度が10ppm以下程度になる迄除去する。H2Sを除去したガスはガスホルダー30に一次貯留する。
溜めた消化ガスはガス加熱器29で所定温度まで加熱し、このガスを水供給配管28を有する水洗浄塔24を通気することにより、ガス中の水蒸気濃度は水洗浄塔24の出口ガス温度での飽和水蒸気濃度となり、水蒸気を含有したガスとしてシロキサン除去装置23へ通気する。
シロキサン除去装置23にはシロキサン分解触媒が充填されており、式(2)に示したD類シロキサンと水蒸気との反応により、触媒への被毒程度が小さなSiO2へ転換する。SiO2の一部は、この水洗浄塔24内部でも除去される。
システムの最後流位置にはガスエンジン25が設置しているが、ここへSiO2粒子が流入して各箇所に付着すると何らかの悪影響を及ぼしかねないので、ガスエンジン25の上流に微粒子除去装置31を設置し、ここでSiO2を除去する。微粒子除去装置31としてはサイクロン装置等が挙げられる。ガスエンジン25では主成分であるCH4を燃料として燃焼し発生する高温ガスでエンジンを駆動して発電する。
消化ガスを燃料として発電する装置が、ガスエンジン25に替えて燃料電池を備えた発電システムを用いる場合にも実施例5は有効に用いられる。
実施例6に、本発明の第2の消化ガス発電システムへの適用例を図7を用いて説明する。図7は、実施例6の第2の消化ガス発電システムを示す構成図である。
システム構成の大部分は実施例6と同じであるが、シロキサン除去装置23での加水分解反応に必要な水分は、水供給装置11から補給される。消化ガスを燃料として発電する装置を、ガスエンジン25の替わりに燃料電池を備えた発電システムとすることもできる。
本発明の実施例7の消化ガス発電システムへの適用例を図8を用いて説明する。図8は、実施例7の第3の消化ガス発電システムを示す構成図である。
システム構成の大部分は実施例6、実施例7と同じであるが、ここではシロキサン分解触媒32が水洗浄塔24の頂部に内蔵され、水洗浄塔24とシロキサン分解装置が一体化されており、装置がコンパクト化されている。
消化ガスを燃料として発電する装置を、ガスエンジン25の替わりに燃料電池を備えた発電システムとすることもできる。
実施例8に、本発明の埋立ガス発電システムへの適用例を図9を用いて説明する。図9は、実施例8の埋立ガス発電システムを示す構成図である。
埋立地からは廃棄された有機物のごみが分解してCH4を多く発生し、これを燃料とした発電が実用化されている。実施例8はこの埋立ガス発電システムに本発明のシロキサン除去装置23と水供給装置として水洗浄塔24を設置し、D類シロキサンをガスエンジンへ流入する前に分解除去する方式を有する。
埋立ガス回収システム33で回収したCH4等の可燃性ガスは、実施例5〜7で説明した消化ガス発電システムと同様に、一旦、ガスホルダー30に捕集した後、ガス加熱器29で所定温度まで昇温し、水洗浄塔24とシロキサン除去装置23へ導き、D類シロキサンを分解除去した後にガスエンジン25で燃焼して発電に供する。
消化ガスを燃料として発電する装置がガスエンジン25の替わりに燃料電池を備えた発電システムの場合もある。
実施例9に、本発明の半導体製造プラントへの適用例を図10を用いて説明する。図10は、実施例9の半導体製造プラントを示す構成図である。
半導体製造プラント内部は複数のクリーンルーム42から構成され、クリーンルーム内部でD類シロキサンが発生しているが、各クリーンルーム42に図に示した設備を設置し、これによりクリーンルーム42内のD類シロキサンを含んだガスを吸引ブロー10によりシロキサン分解触媒9へ供給し、かつ水供給装置11から供給した水分と反応させることで除去し、このD類シロキサンを含まない清浄なガスを再度、クリーンルーム42内へ戻すことで、部屋内の半導体部品にD類シロキサンが吸着して悪影響を及ぼさないようにする。
D類シロキサン除去装置を設置したシステムの運用では、D類シロキサン分析装置を設置すればリアルタイムで発生するD類シロキサン濃度を検知可能でき、各システムでの目標とするD類シロキサン濃度以下に制御することが可能となる。
しかし、現時点で市販されている簡易式の連続分析計ではD類シロキサン濃度が数十ppmオーダの濃度を測定可能であるが、D類シロキサン濃度がppmの1/1000オーダのppbの濃度範囲について測定可能な連続分析計はまだ市販されていない。よって分析計による分析測定以外の方法により、システムから発生するD類シロキサン濃度を予測する手法を確立できれば、システムを健全に運用する観点で有益である。
ZrO2、TiO2の少なくとも一つを含む触媒での式(2)に示す加水分解反応は、流通式の基礎評価装置での結果から、下記の式(3)、(4)に示すような一次反応であることが判明した。式(3)でのXはD類シロキサン除去率であるが、これは触媒層でのガス滞留時間(t)、触媒層温度(T)、ガス線速度(v)に大きく依存することが基礎評価結果から明らかになった。
そこで予め、使用する触媒の、式(3)、(4)に相当するD類シロキサン濃度の予測式を作成しておけば、システムで触媒層温度と触媒層へ流入するガス流量をリアルタイムで測定すれば、その値を予測式に代入することにより、瞬時にその時のD5除去率を算出することができる。万が一この値が目標値を下回る状況を示した時は、触媒層温度を現状より上昇したり、または触媒層へ流入するガス量を低下して滞留時間を小さくすることにより、D5除去率を目標値以上に増加することが可能となる。
−(1−X)=k・t ・・・(3)
ln k= a + b・v −E/R/T ・・・(4)
X:D5除去率[-]、k:速度定数[1/s]、t:ガス滞留時間[s]、
T:触媒層温度[K]、E:活性化エネルギー[J/mol]、v:線速度[m/s]、
aおよびb:定数、気体定数:8.314[J/mol]
−(1−X)=k・t ・・・(3)
ln k= a + b・v −E/R/T ・・・(4)
X:D5除去率[-]、k:速度定数[1/s]、t:ガス滞留時間[s]、
T:触媒層温度[K]、E:活性化エネルギー[J/mol]、v:線速度[m/s]、
aおよびb:定数、気体定数:8.314[J/mol]
1…シロキサン分解装置、2…PAR、3…水素検知装置、4…原子炉圧力容器、5…燃料集合体、6…制御棒、7…炉心、8…原子炉建屋、9…シロキサン分解触媒、10…吸引ブロア、11…水供給装置、12…ガス予熱器、13…冷却器、14…ガス取り口、15…可燃性ガス検知装置、16…白金線、17…水素濃度変換装置、18…バブリング装置、19…水、20…バブリング槽加熱装置、21…消化槽、22…脱硫装置、23…シロキサン除去装置、24…水洗浄塔、25…ガスエンジン、26…下水処理設備、27…汚泥濃縮装置、28…水供給配管、29…ガス加熱器、30…ガスホルダー、31…微粒子除去装置、32…シロキサン分解触媒、33…埋立ガス回収システム、34…蒸気タービン、35…発電機、36…復水器、37…給水配管、38…給水ポンプ、39…主蒸気配管、40…再結合触媒、41…気水分離装置、42…クリーンルーム、B…バブリング槽、FCS…可燃性ガス制御装置
Claims (13)
- シロキサン分解触媒と、該シロキサン分解触媒への水供給装置と、D類シロキサンを含有するガスを前記シロキサン分解触媒へ供給するガス供給装置とを備えたことを特徴とするシロキサン分解装置。
- 請求項1に記載されたシロキサン分解装置において、前記ガス供給装置は吸引ブロアであることを特徴とするシロキサン分解装置。
- 請求項1に記載されたシロキサン分解装置において、前記ガスを前記シロキサン分解触媒の加水分解反応温度まで加熱するガス予熱器を有することを特徴とするシロキサン分解装置。
- 請求項1に記載されたシロキサン分解装置において、前記シロキサン分解装置で処理後のガスを冷却して水分を回収する冷却器を設けたことを特徴とするシロキサン分解装置。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載されたシロキサン分解装置を、触媒燃焼方式のセンサー素子を有する可燃性ガス検知装置の、ガス流路における上流位置に設けたことを特徴とする可燃性ガス検知装置。
- 請求項5に記載された可燃性ガス検知装置において、前記可燃性ガスが水素、一酸化炭素、メタン、炭化水素類の少なくとも1つからなることを特徴とする可燃性ガス検知装置。
- システム内に可燃性ガス制御装置(FCS)、又は水素検知装置、又は触媒式水素再結合装置(PAR)のうち少なくとも一つを有する原子力発電システムにおいて、請求項1乃至4のいずれかに記載されたシロキサン分解装置を設置したことを特徴とする原子力発電システム。
- 原子力発電システムの原子炉格納容器内に可燃性ガス制御装置(FCS)を設置し、該可燃性ガス制御装置内部に前記原子炉格納容器内で発生した水素を空気中の酸素と反応させて水に変換する再結合触媒を有し、該再結合触媒のガス流路における上流位置に、請求項1乃至4のいずれかに記載されたシロキサン分解装置を設置したことを特徴とする原子力発電システム用の可燃性ガス制御装置。
- 汚泥から発生する消化ガスを燃料としたガス発電システムにおいて、該ガス発電システムに、請求項1乃至4のいずれかに記載されたシロキサン分解装置を設置し、前記消化ガス中に含有するシロキサンを分解することを特徴とする消化ガスエンジン発電システム。
- 汚泥から発生する消化ガスを燃料とした燃料電池発電システムにおいて、該燃料電池発電システムに、請求項1乃至4のいずれかに記載されたシロキサン分解装置を設置し、前記消化ガス中に含有するシロキサンを分解することを特徴とする燃料電池発電システム。
- ごみ埋め立地から発生する可燃性ガスを燃料とする埋立ガス発電システムにおいて、該発電システムに、請求項1乃至4のいずれかに記載されたシロキサン分解装置を設置し、前記可燃性ガス中に含有するシロキサンを分解することを特徴とする埋立ガス発電システム。
- 半導体製造製造プラントのクリーンルームに、請求項1乃至4のいずれかに記載されたシロキサン分解装置を設置し、該シロキサン分解装置に前記クリーンルーム内部のガスを通気することを特徴とする半導体製造製造プラント。
- シロキサン分解触媒と、該シロキサン分解触媒への水供給装置と、D類シロキサンを含有するガスを前記シロキサン分解触媒へ供給するガス供給装置とを備えたシロキサン分解装置の運転方法において、触媒層温度、ガス線速度、触媒層でのガス滞留時間からシロキサン除去率をあらかじめ作成した以下の予測式から算出し、該シロキサンの除去率が目標値より低下すると予測された時に、触媒層温度または触媒に流入するガス量を変化させるシロキサン分解装置の運転方法。
−(1−X)=k・t
ln k= a + b・v −E/R/T
X:D5除去率[-]、k:速度定数[1/s]、t:ガス滞留時間[s]、
T:触媒層温度[K]、E:活性化エネルギー[J/mol]、v:線速度[m/s]、
aおよびb:定数、気体定数:8.314[J/mol]
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