JP2014082513A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6420604B2 (ja) 2014-09-22 2018-11-07 株式会社Screenホールディングス 塗布装置
JP6987649B2 (ja) * 2018-01-12 2022-01-05 株式会社Screenホールディングス 処理液供給装置及びその脱気方法
JP7190291B2 (ja) * 2018-09-04 2022-12-15 東京エレクトロン株式会社 フィルタユニット、液処理システム及び液処理方法
KR102622445B1 (ko) * 2020-04-24 2024-01-09 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 액 공급 방법

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05267149A (ja) * 1992-03-19 1993-10-15 Fujitsu Ltd レジスト送液装置
JP3461725B2 (ja) * 1998-06-26 2003-10-27 東京エレクトロン株式会社 処理液供給装置及び処理液供給方法
JP2000068197A (ja) * 1998-08-20 2000-03-03 Ishikawa Seisakusho Ltd 気泡発生防止兼用気泡除去装置
JP4011210B2 (ja) * 1998-10-13 2007-11-21 株式会社コガネイ 薬液供給方法および薬液供給装置
JP3686822B2 (ja) * 2000-05-19 2005-08-24 東京エレクトロン株式会社 現像処理装置および現像処理方法
JP3947398B2 (ja) * 2001-12-28 2007-07-18 株式会社コガネイ 薬液供給装置および薬液供給方法
JP4879253B2 (ja) * 2008-12-04 2012-02-22 東京エレクトロン株式会社 処理液供給装置
JP5439579B2 (ja) * 2012-02-27 2014-03-12 東京エレクトロン株式会社 液処理装置及び液処理方法

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