JP2014080659A - 蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成膜材料をそれぞれ収容した複数の材料収容部18と、各材料収容部18から蒸発又は昇華した成膜材料を混合する混合室26と、各材料収容部18と混合室26とをそれぞれ連通する流路28が形成され各成膜材料を混合室に収集する流路集積部25と、混合室26から混合した成膜材料を成膜対象の基板に対して吐出する吐出口とを備えた。
【選択図】図4
Description
請求項2に記載の発明によれば、吐出口は、基板の幅以上の長さを有する長尺状の開口を備えるため、混合室の過度な圧力上昇を抑制することができる。このため混合室から材料収容部への混合ガスの逆流を防ぐことができる。従って、材料収容部に異なる成膜材料が混入することを防ぐことができる。
請求項4に記載の発明によれば、流路側加熱部により流路集積部が加熱されるので、流路の内側面に成膜材料が堆積することを抑制することができる。また、各流路を個別に加熱する必要がないため、熱の利用効率を向上することができる。
請求項5に記載の発明によれば、混合室内は加熱室によって温度調整されるので、混合室の内側面に堆積する成膜材料の堆積量を減少させることができる。
以下、本発明を具体化した蒸着装置の一実施形態を図1〜図5にしたがって説明する。蒸着装置は、複数の成膜材料を同時に蒸着する多元式の装置である。本実施形態では、蒸着装置を、有機EL素子を製造するための装置に具体化して説明する。
次に、発光層L2を形成する蒸着装置について説明する。この蒸着装置は、陽極C及び正孔輸送層L1が形成された基板Sを成膜対象とし、この基板Sに所定の開口パターンを有するマスクを密着させて正孔輸送層L1上に発光層L2を形成する。図2に示すように、蒸着装置10は、蒸着機構11と、基板Sを搬送する図示しない搬送機構と、内側に基板Sの搬送路を有し蒸着機構11を収容する真空槽、及び真空槽内を減圧する排気系(いずれも図示略)を備える。
上述した混合室26は、流路集積部25に形成された各流路28を介して筐体15の開口と連通している。各流路28は、屈曲した形状をなし、まず筐体15の開口から流路集積部25の厚み方向に延びた後、混合室26側へ向かって90度屈曲する。さらに流路28は、その屈曲部から混合室26の下方まで延びた後、混合室26の底面で開口する。
(1)第1実施形態では、複数の材料収容部18から蒸発又は昇華した成膜材料が、各流路28を介して混合室26にそれぞれ収集されるため、混合室26内で、異なる成膜材料を均一に混合することができる。そしてその混合ガスを吐出口12から搬送される基板Sに対して吐出するので、面内の濃度分布を均一化するだけでなく基板Sの厚み方向においても、各ホスト材料及び各ゲスト材料の濃度分布の均一化を図ることができる。また、流路集積部25には、材料収容部18から成膜材料を収集する流路28が形成されているので、筐体15と混合室26とをパイプで個別に接続する場合に比べ、流路28のレイアウトの自由度が向上されるため、各流路28の出口のピッチを狭くしやすい。出口のピッチが狭くなると、成膜材料を接触させつつ混合室26内に導入できるとともに、混合室26の容積も小さくできることから、混合効率が高められ、混合室26で成膜材料を速やかに混合することができる。このため、吐出口12から濃度分布が均一な混合ガスを吐出できる。
次に、本発明を具体化した蒸着装置の第2実施形態を図6にしたがって説明する。なお、第2実施形態は、第1実施形態の混合室と蒸着機構の配置を変更したのみの構成であるため、同様の部分についてはその詳細な説明を省略する。
(6)第2実施形態では、混合室41に、成膜材料の吐出方向に対してその表面が垂直に設けられた拡散板46を備えた。このため、混合室41に吐出された成膜材料の殆どが拡散板46に反射して混合室41内に拡散するため、成膜材料を速やかに混合することができる。
・上記各実施形態では、有機EL素子Dを、基板S、陽極C、正孔輸送層L1、発光層L2、電子輸送層L3及び陰極ANから構成したが、該構成に限定されない。例えば陽極Cと正孔輸送層L1との間に正孔注入層を設けるようにしてもよい。また、電子輸送層L3と陰極ANとの間に電子注入層を設けるようにしてもよい。
・流路集積部25に備えられたヒーター29は、流路集積部25に内蔵するようにしてもよい。
・上記各実施形態の筐体15には、不活性ガスからなるキャリアガスを供給するようにしてもよい。
Claims (6)
- 成膜材料をそれぞれ収容した複数の材料収容部と、
前記各材料収容部から蒸発又は昇華した前記各成膜材料を混合する混合室と、
前記各材料収容部と前記混合室とをそれぞれ連通する流路が形成され前記各成膜材料を混合室に収集する流路集積部と、
混合した前記成膜材料を成膜対象の基板に対して吐出する吐出口とを備えたことを特徴とする蒸着装置。 - 前記吐出口は、前記基板の幅以上の長さを有する長尺状の開口を備えた請求項1に記載の蒸着装置。
- 前記混合室には、前記各成膜材料を混合室内に拡散させる拡散板が備えられ、該拡散板の表面は前記成膜材料の吐出方向に対して垂直に配置された請求項1又は2に記載の蒸着装置。
- 前記流路集積部を加熱する流路側加熱部をさらに備えた請求項1〜3のいずれか1項に記載の蒸着装置。
- 前記混合室の温度を調節する混合室側加熱部をさらに備えた請求項1〜4のいずれか1項に記載の蒸着装置。
- 前記材料収容部と前記混合室とを連通する前記流路は、前記材料収容部から前記混合室に向かうにつれ、流路断面積が小さくなる請求項1〜5のいずれか1項に記載の蒸着装置。
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