JP2014075378A - 固体撮像装置、および撮像システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 信号電荷の蓄積が可能な第1半導体領域を含む光電変換部と、第1半導体領域と同一導電型の第2半導体領域と、第1半導体領域と第2半導体領域との間に設けられたゲート電極と、第1半導体領域と、第2半導体領域と、ゲート電極の上に設けられた絶縁膜と、を含む固体撮像装置において、第1半導体領域と第2半導体領域との間の絶縁膜の開口または溝に設けられた金属からなる部分を含む第1遮光部と、第2半導体領域の上の絶縁膜の上に設けられた金属からなる部分を含む第2遮光部と、を有する。
【選択図】 図1
Description
よって、本発明は、高い遮光性能を有する固体撮像装置を提供することを目的とする。
第1実施形態の固体撮像装置を、図1乃至3を用いて説明する。
本実施形態の固体撮像装置を、図4(A)、図4(B)、および図4(C)を用いて説明する。図4(A)は図1(A)と、図4(B)および図4(C)は、図2(B)および図2(C)とそれぞれ対応する図面であり、同一の機能を有する構成には同一の符号や名称を付し、説明を省略する。本実施形態は、第1遮光部の形状の点で第1実施形態と相違する。具体的には、本実施形態の第1遮光部412は、図4(A)、図4(B)に示すように半導体領域103と半導体領域104との間にのみ配置されている。このような構成によっても、光電変換部への入射する光が電荷保持部へ入射することを低減することが可能である。
本実施形態の固体撮像装置を、図5(A)、図5(B)、および図5(C)を用いて説明する。図5(A)、図5(B)、および図5(C)は、図4(A)、図4(B)、および図4(C)とそれぞれ対応する図面であり、同一の機能を有する構成には同一の符号や名称を付し、説明を省略する。本実施形態は、第2遮光部の形状と配置の点で第2実施形態と相違する。具体的には、本実施形態の第2遮光部513は、第1遮光部412と接しておらず、隙間500が設けられている。しかし、半導体領域103と半導体領域104との間に第1遮光部412が設けられており、電荷保持部の上に第2遮光部513が設けられているため、遮光性能は向上する。
本実施形態の固体撮像装置を、図6(A)、図6(B)、および図6(C)を用いて説明する。図6(A)、図6(B)、および図6(C)は、図4(A)、図4(B)、および図4(C)とそれぞれ対応する図面であり、同一の機能を有する構成には同一の符号や名称を付し、説明を省略する。
本実施形態の固体撮像装置は、像面位相差AF(Auto Focus)が可能な固体撮像装置である。本実施形態の固体撮像装置は、それぞれマイクロレンズが配置された撮像用画素と焦点検出用画素とを有する。焦点検出用画素は、少なくとも2種類の画素(第1画素と第2画素)を有し、本実施形態の固体撮像装置は、複数の第1の画素によって得られる第1像と、複数の第2の画素によって得られる第2像とを比較することによって、合焦状況を判断することが出来る。ここで、撮像用画素と焦点検出用画素のそれぞれに設けられるマイクロレンズは、カメラ等の撮像システムにおける撮影レンズの射出瞳を出た光束を集光することにより、射出瞳の実像を形成する。射出瞳の半分からマイクロレンズに入射する光束は、実像の片側へ集められ、射出瞳のもう半分からマイクロレンズに入射する光束は実像のもう片側へ集められる。この時、焦点検出用画素には、例えば光電変換部の半分に対応した光開口を有する遮光部が設けられているため、この射出瞳のある半分から入射する光束は遮光され、別の半分から入射する光束が光電変換部に入射することになる。例えば、本実施形態の第1画素においては、射出瞳の右側から入射する光束が入射する。以下、このような焦点検出が可能な固体撮像装置における1つの焦点検出用画素(第1画素)の構造を、図7(A)、図7(B)、および図7(C)を用いて説明する。
104 半導体領域
105 半導体領域
108 ゲート電極
109 ゲート電極
112 第1遮光部
113 第2遮光部
Claims (13)
- 信号電荷の蓄積が可能な第1半導体領域を含む光電変換部と、
前記第1半導体領域と同一導電型の第2半導体領域と、
前記第1半導体領域と前記第2半導体領域との間に設けられたゲート電極と、
前記第1半導体領域と、前記第2半導体領域と、前記ゲート電極の上に設けられた絶縁膜と、
を含む固体撮像装置において、
前記第1半導体領域と前記第2半導体領域との間の前記絶縁膜の開口または溝に設けられた金属からなる部分を含む第1遮光部と、
前記第2半導体領域の上の前記絶縁膜の上に設けられた金属からなる部分を含む第2遮光部と、を有する
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 更に、第3半導体領域と、前記第2半導体領域と前記第3半導体領域との間に設けられた、前記ゲート電極とは別のゲート電極と、を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記第1遮光部は、前記第2半導体領域と前記第3半導体領域との間の前記絶縁膜の開口または溝に設けられた金属からなる部分を含む
ことを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記第1遮光部は、前記第2半導体領域を囲むように前記絶縁膜の開口または溝に設けられた金属からなる部分を含み、
前記第1遮光部の前記光電変換部の受光面を含む面への正射影は、前記第2半導体領域を囲む枠状である
ことを特徴とする請求項2または3に記載の固体撮像装置。 - 前記絶縁膜の開口に設けられ前記第3半導体領域に接続するプラグを有し、
前記第1遮光部の上面と前記プラグの上面とは同一面内にある
ことを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記絶縁膜の上に別の絶縁膜が設けられており、
前記別の絶縁膜の開口に、前記プラグに接続する別のプラグが設けられている
ことを特徴とする請求項5に記載の固体撮像装置。 - 前記第1遮光部は、前記光電変換部の上にも延在している
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記絶縁膜の開口には、前記ゲート電極と接続するプラグが設けられており、
前記第1遮光部は、前記プラグと前記第2半導体領域との間の前記絶縁膜の開口または溝に設けられた金属からなる部分を含む
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記絶縁膜は酸化シリコンからなる
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記第1遮光部はタングステンからなり、
前記第2遮光部はアルミニウムからなる
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記第2遮光部は、電気的にフローティングである
ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 焦点検出用の光電変換部と、
前記光電変換部からの電荷が転送されるフローティングディフュージョン部と、
前記光電変換部と前記フローティングディフュージョン部との間に設けられたゲート電極と、
前記光電変換部と、前記フローティングディフュージョン部と、前記ゲート電極の上に設けられた絶縁膜と、
前記光電変換部の上の前記絶縁膜の溝または開口に設けられた金属からなる部分を含む第1遮光部と、
前記絶縁膜の上に設けられ、前記光電変換部の上に設けられた金属からなる部分を含み、前記焦点検出用の開口を形成する第2遮光部と、
を有することを特徴とする固体撮像装置。 - 請求項1乃至12のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置からの信号を処理する処理部と、を有する撮像システム。
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