JP2014070945A - 湿度センサモジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】湿度センサがパッケージ内部に格納された湿度センサモジュールに関し、より簡単な方法により、透湿性を確保しつつ防塵性を発揮させる。
【解決手段】この湿度センサモジュール(10)は、一面(21a)側にセンシング部(22)が設けられた基板(21)を有する湿度センサ(20)と、湿度センサを内部に格納するパッケージ(30)と、を備える。
そして、このパッケージには、内外を連通する貫通孔(40)が形成され、貫通孔は非直線形状をなす。
【選択図】図2
【解決手段】この湿度センサモジュール(10)は、一面(21a)側にセンシング部(22)が設けられた基板(21)を有する湿度センサ(20)と、湿度センサを内部に格納するパッケージ(30)と、を備える。
そして、このパッケージには、内外を連通する貫通孔(40)が形成され、貫通孔は非直線形状をなす。
【選択図】図2
Description
本発明は、湿度センサがパッケージ内部に格納された湿度センサモジュールに関する。
パッケージ内部に湿度センサを格納してなる湿度センサモジュールがある。一般に、パッケージ内に湿度センサを配置する場合、箱型のパッケージの一面に形成された穴から、湿度センサおよびその他部品を入れ、その穴を、透湿フィルタを備えるメタルリッド等の蓋で閉じることにより湿度センサモジュールが構成される。その他、例えば、特許文献1には、内外が連通するように直線状の貫通孔がパッケージの蓋に形成された湿度センサモジュールが提案されている。
上記した透湿フィルタは、被測定対象である水分を含んだ空気を透過する。また、透湿フィルタは、砂塵等のダストがパッケージ内に侵入しないための防塵性を有する。しかしながら、メタルリッドに透湿フィルタを配置するための工程や、透湿フィルタ等、湿度センサ特有の材料を準備する必要がある。すなわち、湿度センサ特有のコストがかかっていた。また、特許文献1に記載された貫通孔は直線形状をなし、ケース内にダストが侵入しやすい構成であった。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、より簡単な方法により、透湿性を確保しつつ、防塵性を有する湿度センサモジュールを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、一面(21a)側にセンシング部(22)が設けられた基板(21)を有する湿度センサ(20)と、該湿度センサを内部に格納するパッケージ(30)と、を備える湿度センサモジュールであって、パッケージには、内外を連通する貫通孔(40)が形成され、該貫通孔は、非直線形状をなすことを特徴としている。
これによれば、貫通孔を通して、パッケージ外部の水分を含んだ空気を、パッケージ内に導入することができる。このため、透湿性を確保することができる。一方、この貫通孔は非直線形状にされている。すなわち、貫通孔の延設方向において、単なる直線の形状をとっていない。このため、外部に存在するダストが貫通孔内に侵入しても、貫通孔の内壁に阻まれてパッケージ内部に侵入しにくくなっている。したがって、防塵性を確保することができる。
また、本発明の更なる特徴は、貫通孔の内壁(44)が、貫通孔の両端の2つの開口面(43i,43o)のうち、一方の開口面内の任意の点と、他方の開口面内の任意の点を結ぶ全ての仮想直線(L1〜L4)と交わるように形成されることにある。
これによれば、貫通孔の一方の開口面から貫通孔内を覗いても、他方の開口面が目視できない状態になっている。したがって、パッケージ外部のダストが、直線的にパッケージの内部に侵入できないようにすることができる。換言すれば、ダストは貫通孔に万一侵入しても、貫通孔の内壁により進行方向を変えられる。これにより、貫通孔内部に侵入したダストが内壁に接触する確率を上げることができる。そして、ダストを内壁にトラップしたり、内壁への衝突により運動エネルギーを減少させたりすることができる。したがって、防塵性を向上させることができる。
また、本発明の更なる特徴は、パッケージがセラミックからなることにある。
セラミックは熱伝導率が高く、パッケージ内外における温度差を小さくすることができる。
また、本発明の更なる特徴は、パッケージが複数のセラミックシート(50,60,70)が積層された多層構造をなすことにある。
これによれば、所定のセラミックシートに切欠きを設けるだけで貫通孔を形成することができる。すなわち、簡単な方法で貫通孔を形成することができる。
また、本発明の更なる特徴は、パッケージが、一面が開口する箱型のケース(31)と、ケースの開口を蓋するカバー(32)と、を備え、湿度センサは、基板の一面と反対の裏面(21b)側がケースの底面(31a)に直接的または間接的に固定され、貫通孔は、ケースに形成されることにある。
これによれば、貫通孔が、基板のうち、センシング部が形成された面と対向する面、すなわちカバーに貫通孔が形成されている構成に較べて、万一ダストが貫通孔から侵入した場合でもセンシング部に付着することを抑制することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の各図相互において、互いに同一もしくは均等である部分に、同一符号を付与する。
(第1実施形態)
最初に、図1〜図4を参照して、本実施形態に係る湿度センサモジュール10の概略構成について説明する。
最初に、図1〜図4を参照して、本実施形態に係る湿度センサモジュール10の概略構成について説明する。
図1および図2に示すように、この湿度センサモジュール10は、湿度センサ20と、湿度センサ20を格納するパッケージ30と、を有する。
図3に示すように、湿度センサ20は、基板21と、基板21の一面21a上に形成されたセンシング部22と、を備える。基板21は、図4に示すように、半導体基板としてのN型シリコン基板を採用することができる。センシング部22は、基板21の一面21a上に各種の膜、電極、素子等を形成することにより形成される。具体的には、一面21a上にシリコン酸化膜23が形成され、シリコン酸化膜23上に2つの電極24が形成される。また、シリコン酸化膜23上であって、電極24を覆うようにシリコン窒化膜25が形成される。そして、2つの電極24の間の領域を少なくとも覆うようにしてポリイミドからなる感湿膜26が形成される。この感湿膜26は湿度によって誘電率が変化する。すなわち、この湿度センサ20は、2つの電極24間の静電容量の変化に基づいて湿度を検出する容量式のものである。電極24の形状は特に限定されるものではないが、図3に示すように、本実施形態における電極24は櫛歯状をなし、互いの櫛歯部が噛みあって対向したものである。このような櫛歯状の電極24を用いることにより、電極24の配置面積を極力小さくしつつ、電極24間の対向面積を大きくすることができ、電極24間の容量を稼ぐことができる。
パッケージ30は、セラミックシートを複数枚積層して形成された多層構造のセラミックパッケージである。本実施形態におけるパッケージ30は方形の箱型であり、一面が開口したケース31とケース31の開口に蓋をするカバー32とを有する。そして、ケース31の内部に湿度センサ20が配置される。図示しないが、パッケージ30にはパッケージ30の内外を電気的に接続するリードが形成され、リードはボンディングワイヤ等を介して湿度センサ20と電気的に接続される。湿度センサ20は、基板21の一面21aと反対の裏面21bがケース31の底面31aに固定される。
本実施形態におけるケース31はその底面31aが方形である。そして、ケース31の4つの内側面のうち、側面31bと、側面31bに対向する側面31cに、ケース31(パッケージ30)の内外を連通する貫通孔40が形成される。なお、側面31bに開口して形成される貫通孔40を40bとし、側面31cに開口して形成される貫通孔40を40cとする。なお、本実施形態において、相対する側面31b,31cに形成された貫通孔40b,40cは、図1および図2に示すように、センシング部22を挟むような位置に配置されている。換言すれば、側面31bにおける貫通孔40bの開口面と、側面31cにおける貫通孔40cの開口面は、センシング部22に対して略点対称の位置に配置されている。すなわち、特許請求の範囲に記載のように、貫通孔40が複数(本実施形態では2つ)形成されるとともに、センシング部22を間に挟むように、相対する内壁面(本実施形態では側面31b,31c)に開口して形成される。また、本実施形態における貫通孔40は、図2に示すように、底面31aと略平行に設けられている。
貫通孔40は、本発明における特徴部分であるため、以下、図5および図6を参照して詳しく説明する。
本実施形態における貫通孔40(40b,40c)は、図5に示すように、直角に曲がった直交部41を2つ有する、いわゆるクランク形状をなしている。すなわち、貫通孔40はクランク部42を1つ有している。
また、本実施形態における貫通孔40は、貫通孔40の両端の2つの開口のうち、一方の開口面43i内の任意の点(例えばA,B)と、他方の開口面43o内の任意の点(例えばC,D)とを結ぶ全ての仮想直線が、貫通孔40の内壁44と交わるように形成されている。例えば、図6に示すように、開口面43i内の点のうちケース31との境界の点Aと、開口面43o内の点のうちケース31との境界の点Cと、を結ぶ仮想直線L1は、壁面44と必ず1点以上の箇所で交わる。同様に、図6に示す点A−D間の仮想直線L2、点B−C間の仮想直線L3、および、点B−D間の仮想直線L4も、内壁44と必ず1点以上の箇所で交わる。ここでは、仮想直線L1〜L4について説明したが、一方の開口面43i内の任意の点と、他方の開口面43o内の任意の点とを結ぶ全ての仮想直線に対して内壁44と交わるように貫通孔40が非直線形状に形成されている。換言すれば、一方の開口面43iから貫通孔40内を覗いても、他方の開口面43oが目視できない状態になっている。
次に、図7および図8を参照して、本実施形態に係る湿度センサモジュール10の製造方法について説明する。
湿度センサモジュール10は、湿度センサ20とパッケージ30とをそれぞれ別の工程で製造し、湿度センサ20をパッケージ30内に配置することにより製造することができる。したがって、湿度センサ20とパッケージ30の製造の順番は問わない。ただし、パッケージ30の製造について、湿度センサ20をケース31の内部に配置するための開口をカバー32(図1)で閉じる工程を要するため、該工程についてのみ、湿度センサ20の配置後に行わねばならない。以下、湿度センサモジュール10の製造方法について詳しく説明する。
まず、湿度センサ20の製造方法について簡単に説明する。本実施形態における湿度センサ20は、一般的な容量式の湿度センサであるため、詳細の記載は省略する。また、湿度センサ20は通常行われている半導体プロセスを用いて形成することができる。
まず、基板21として、例えばN導電型の半導体基板を用意する。そして、基板21の一面21a側表層に、センシング部22の周辺に形成される図示しない周辺回路を構成するため、拡散層および熱酸化膜等を形成する。そして、CVD法等にてPoly−Siからなる各種電極、ソース、ドレインの拡散層を通常のイオン注入や熱拡散の工程により形成する。なお、センシング部22の周辺に周辺回路を形成せず、別の周辺回路チップ33(図16)を用意することもできる。この場合、この工程を省略することができる。
続いて、センシング部22における一面21a上に、CVD法等にてシリコン酸化膜23を形成する。
続いて、シリコン酸化膜23上に、図示しない配線、および、湿度変化検出用の電極24を、アルミニウム等を用いてスパッタリング法や蒸着法等にて形成する。
続いて、シリコン酸化膜23および湿度変化検出用の電極24を覆うように、シリコン窒化膜25(保護膜)をプラズマCVD法等により形成する。
続いて、シリコン窒化膜25上であって、電極24の櫛歯部を少なくとも覆うように、感湿膜26を形成する。感湿膜26は、ポリイミドをスピンコート法にて塗布した後硬化させフォトエッチングする方法や、印刷法にて塗布した後硬化させる方法を用いて形成することができる。
このように、上記方法によれば、図3および図4に示す湿度センサ20(センシング部22)を適切に形成することができる。
次に、パッケージ30(ケース31)の製造方法について説明する。本実施形態におけるケース31は、セラミックシート50を複数枚積層してなる多層構造のセラミックパッケージであり、セラミックシート50の準備や積層後の焼成などの工程は一般的な製造方法に準ずる。このため、ケース31に形成されるリード等の形成工程は記載を省略する。以下では、本発明の特徴部分である、ケース31の側面31b,31cに開口して形成された貫通孔40の形成方法について詳しく説明する。
まず、図7に示すように、大きさのほぼ同じ複数のセラミックシート50を用意する。本実施形態では、7層のセラミックシート50により箱型のケース31を構成する。図7では、各セラミックシートには、底面31a側から順に異なる符号(51,52,53,54,55,56,57)を付す。
次に、各セラミックシート50を所望の形状に加工する。
本実施形態において、セラミックシート51,52は加工せず、シート状のものをそのまま用いる。
セラミックシート53については、湿度センサ20が格納可能な大きさに、セラミックシート53の略中央をシートの厚さ方向に貫通させる。すなわち、貫通部53cを形成する。
セラミックシート54については、セラミックシート53と同様にシートの略中央を厚さ方向に貫通させて貫通部54cを形成した後、貫通孔40の一部となる切欠き54a,54bを形成する。貫通部54cはセラミックシート53に形成した貫通部53cと同一の大きさ、同一の位置に形成する。また、切欠き54a,54bはセラミックシート54の外縁から中央の貫通部54cに向かって、シート面に沿って形成する。各切欠き54a,54bはクランク形状をなすように形成する。すなわち、それぞれの切欠き54a,54bには、直角に曲がった直交部が2つ設けられて、全体としてクランク部を1つ有している。なお、本実施形態における切欠き54a,54bは、セラミックシート44の中心点に対して点対称に形成する。
セラミックシート55については、セラミックシート54と略同一の形状に加工する。これにより、セラミックシート55にも、貫通部55c、および、切欠き55a,55bが形成される。すべてのセラミックシート50を積層した際、切欠き54aと55aとによって貫通孔40cが形成され、切欠き54bと55bとによって貫通孔40bが形成される。なお、各切欠きに設けられた直交部が貫通孔40における直交部41を構成し、全体としてクランク部42を構成する。
セラミックシート56,57については、セラミックシート53と略同一の形状に加工する。すなわち、湿度センサ20が格納可能な大きさに、セラミックシート56,57の略中央をシートの厚さ方向に貫通させる。これにより、セラミックシート56には貫通部56cが形成され、セラミックシート57には貫通部57cが形成される。
これら7層のセラミックシート51〜57を、セラミックシート51が最下層になるようにこの順番で積層し、焼成することにより、ケース31を形成することができる。また、セラミックシート53〜56の4層により貫通孔40が形成される。なお、本実施形態では、セラミックシート52の、セラミックシート53と接合される面のうち、セラミックシート53の貫通部53cにより外部に露出する面が、ケース31における底面31aに相当する。
なお、本実施形態では、貫通孔40を形成するためのセラミックシート50として、セラミックシート53〜56の4層を用いる例を示したが、層数は限定されない。貫通孔40の開口面積や開口形状などにより任意に変更することができる。例えば、貫通孔40は、切欠きが形成されたセラミックシート1層と、これを挟む2層の計3層で形成されてもよいし、3層以上用いてもよい。
次に、パッケージ30(ケース31)の内部に湿度センサ20を取り付ける。図8に示すように、裏面21bとケース31の底面31aが対向するように、湿度センサ20を配置する。この際、ケース31に形成された図示しないリード等と電気的に接続することにより、パッケージ30外部と電気的に接続可能にする。その後、パッケージ30の内部が、貫通孔40c,40bを除いて外部との間で通気できないようにセラミック製のカバー32を接着等の方法により閉じる。
以上の方法により、パッケージ30に、内外を連通する貫通孔40が形成され、貫通孔40が、非直線形状(本実施形態ではクランク形状)をなす湿度センサモジュール10を製造することができる。
次に、本実施形態における湿度センサモジュール10の作用効果について説明する。
本実施形態の湿度センサモジュール10は、透湿フィルタの代わりに、パッケージ30の内外を連通する貫通孔40を有する。このため、透湿フィルタの配置など湿度センサ特有のコストを要することなく、パッケージ30内部に水分を含んだ外気を送り込むことができる。すなわち、透湿性を確保することができる。
さらに、この貫通孔40は、非直線形状をなす。具体的には、貫通孔40がクランク部42を有する。このため、特許文献1のように、貫通孔40が直線形状である場合に較べて、外部の砂塵等のダストがパッケージ30の内部に侵入する侵入経路を長くすることができ、ダストの侵入を抑制することができる。また、貫通孔40が曲げられているため、内壁44にダストがトラップされやすい。すなわち、防塵性を確保することができる。貫通孔40が非直線形状をなしていれば、透湿性ならびに防塵性を発揮することができるが、本実施形態では特に、貫通孔40の一方の開口面43iから貫通孔40内を覗いても、他方の開口面43oが目視できない状態になっている。これによれば、パッケージ30外部のダストが、直線的にパッケージ30の内部に侵入できないようにすることができる。換言すれば、ダストは貫通孔40に万一侵入しても、貫通孔40の内壁44により進行方向を変えられる。これにより、貫通孔40内部に侵入したダストが内壁44に接触する確率を上げることができる。そして、ダストを内壁44にトラップしたり、内壁44への衝突により運動エネルギーを減少させたりすることができる。上記したように、一方の開口面43iから内部を覗いても、他方の開口面43oが目視できないように貫通孔40を設けることにより、より防塵性を向上させることができる。
ところで、従来、湿度センサ20の周辺温度を把握するために、パッケージ30内部に、湿度センサ20とともに温度センサも実装する構成が用いられていた。これに対して、本実施形態におけるパッケージ30を用いれば、パッケージ30内に温度センサを実装しなくとも精度よくパッケージ30内部の温度を把握することができる。これは、本実施形態におけるパッケージ30がセラミックにより構成されているためである。セラミックのパッケージは、樹脂製のものと較べて熱伝導率が高く、パッケージ30の内部と外部との温度差を小さくすることができる。したがって、パッケージ30の内部に温度センサを別途配置せず、外部に温度センサを設けても、精度良く温度を把握することができる。これにより、湿度センサモジュール10の体格を小さくすることができるとともに、パッケージ30に形成するリード等の回路構成を簡素にすることができる。
また、本実施形態におけるパッケージ30は、複数のセラミックシート50を積層した多層構造のパッケージである。多層構造とすることにより、セラミックシート50に切欠き54a,54b,55a,55bを設けるだけで貫通孔40を形成することができる。すなわち、簡単な方法で貫通孔40を形成することができる。
また、本実施形態における貫通孔40は、ケース31の内側面のうち、側面31b,31cに開口して形成されている。これによれば、貫通孔40が、基板21の一面21a(センシング部22が形成された面)と対向する面、すなわちカバー32に貫通孔40が形成されている構成に較べて、万一ダストが貫通孔40から侵入した場合でもセンシング部22に付着することを抑制することができる。これは、図9に示すように、カバー32の貫通孔40dが形成される場合と、本実施形態のように、ケース31の側面31b,31cに貫通孔40b,40cが形成される場合とで、センシング部22の正射影の面積を比較することで説明することができる。
カバー32に貫通孔40dが形成されている場合について、貫通孔40dの中心とセンシング部22の中心とを結ぶ直線L5が、センシング部22の表面に法線Nと角度θを成すと仮定する。このとき、表面の面積がSとされたセンシング部22は、貫通孔40dから見れば、面積S1=Scosθとして視認できる。
一方、ケース31の側面31b,31cに貫通孔40b,40cが形成される場合について、貫通孔40c(または40b)の中心とセンシング部22の中心とを結ぶ直線L6が、センシング部22の表面に法線Nと角度φを成すと仮定する。このとき、センシング部22は、貫通孔40cから見れば、面積S2=Scosφとして視認できる。
貫通孔40c(または40b)は、側面31c(または31b)に形成されているため、常にφ>θであるから、S2<S1である。このため、貫通孔40から侵入したダストがセンシング部22に到達する確率は、貫通孔40がカバー32に形成されている構成に較べて、側面31c(または31b)に形成されている構成のほうが小さくなる。したがって、本実施形態に係る構成とすることにより、万一ダストが貫通孔40から侵入した場合でもセンシング部22に付着することを抑制することができる。
ところで、貫通孔40がカバー32に形成される構成の場合は、カバー32をケース31に固定する際に、エアチャック(真空吸着)が困難になることが懸念される。しかしながら、本実施形態のように、カバー32を除く部分に貫通孔40が形成されている構成であれば、カバー32のエアチャックによるケース31への取り付けが容易となる。
また、本実施形態における貫通孔40は、2つの貫通孔40b,40cが、センシング部22を挟むように、相対する内側面(側面30b,30c)に開口して形成されている。これによれば、一方の貫通孔(たとえば40b)から侵入した外気が、パッケージ30の内部で滞ることなく、他方の貫通孔(40c)から排出される。すなわち、センシング部22近傍における通気性を向上させることができる。したがって、外部の湿度変化に応じて素早く内部の湿度を応答させることができる。すなわち、外部の湿度変化に対する応答性を向上させることができる。
(第2実施形態)
第1実施形態では、パッケージ30に形成される貫通孔40が、底面30aに略平行に形成され、クランク形状をなす例を示した。これに対して、本実施形態では、図10に示すように、貫通孔40(45b,45c)が底面31aに垂直な面と略平行にクランク形状をなす例を示す。なお、貫通孔40を除く部分の構成は第1実施形態と同様であるため、詳細の説明を省略する。
第1実施形態では、パッケージ30に形成される貫通孔40が、底面30aに略平行に形成され、クランク形状をなす例を示した。これに対して、本実施形態では、図10に示すように、貫通孔40(45b,45c)が底面31aに垂直な面と略平行にクランク形状をなす例を示す。なお、貫通孔40を除く部分の構成は第1実施形態と同様であるため、詳細の説明を省略する。
本実施形態における貫通孔45b,45cは、図10に示すように、パッケージ30(ケース31)の内側面のうち側面31b,31cから底面31aに沿って形成された孔65a,65bを有する。また、パッケージ30の外部に面した外側面のうち、側面31b,31cと反対の、側面31d,31eから底面31aに沿って形成された孔63a,孔63bを有する。そして、パッケージ30の壁の内部において、孔63aと孔65aとを連結する連結路64aと、孔63bと孔65bとを連結する連結路64bとを有する。孔63a,連結路64a,孔65aにより貫通孔45bが構成されている。また、孔63b,連結路64b,孔65bにより貫通孔45cが構成されている。
本実施形態におけるパッケージ30も、図11に示すように、セラミックシート60(底面31a側から順に、61,62,63,64,65,66)を積層することにより形成することができる。
セラミックシート61は加工せず、シート状のものをそのまま用いる。
セラミックシート62については、湿度センサ20が格納可能な大きさに、セラミックシート62の略中央をシートの厚さ方向に貫通させ、貫通部62cを形成する。
セラミックシート63については、セラミックシート62と同様にシートの略中央を厚さ方向に貫通させる。すなわち貫通部63cを形成する。貫通部63cはセラミックシート62に形成した貫通部62cと同一の大きさ、同一の位置に形成する。また、貫通孔40の一部となる切欠き63a,63bも形成する。切欠き63a,63bはセラミックシート63の外縁からシート面に沿って、貫通部63cに到達しない位置まで直線状に形成する。
セラミックシート64については、セラミックシート62および63と同様にシートの略中央を厚さ方向に貫通させ、貫通部64cを形成する。加えて、連結路64a,64bを形成する。連結路64a,64bは、シート面内において、セラミックシート63に形成された切欠き63a,63bのうち、貫通部63c側の端部とオーバーラップする位置に形成する。換言すれば、セラミックシート64をセラミックシート63に積層した際に、パッケージ30の外部と連結路64a,64bとが連通されるような位置に形成する。
セラミックシート65については、セラミックシート62,63,64と同様にシートの略中央を厚さ方向に貫通させ、貫通部65cを形成する。貫通部65cはセラミックシート62に形成したものと同一の大きさ、同一の位置に形成する。また、貫通孔40の一部となる切欠き65a,65bも形成する。切欠き65a,65bは、貫通部65cの縁からシート面に沿って、セラミックシート65の外縁に到達しない位置まで直線状に形成する。切欠き65a,65bは、セラミックシート63の切欠き63a,63bと平行に形成するようにし、シート外縁側の端部がセラミックシート64の連結部64a,64bとオーバーラップするように形成する。
セラミックシート66については、セラミックシート62と略同一の形状に加工する。すなわち、湿度センサ20が格納可能な大きさに、セラミックシート66の略中央をシートの厚さ方向に貫通させ、貫通部66cを形成する。
これら6層のセラミックシート61〜66を、セラミックシート61が最下層になるようにこの順番で積層し、焼成することにより、図10に示すパッケージ30のうち、ケース31を形成することができる。
本実施形態に係る湿度センサモジュール10も、パッケージ30(ケース31)の側面31c,31bにクランク形状の貫通孔40が形成されるものであり、第1実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
(第3実施形態)
第1実施形態および第2実施形態では、貫通孔40がパッケージ30(ケース31)の側面31b,31cに開口して形成された例を示した。これに対して、本実施形態では、貫通孔40が底面31aに開口して形成された例を示す。なお、貫通孔40を除く部分の構成は第1実施形態と同様であるため、詳細の説明を省略する。
第1実施形態および第2実施形態では、貫通孔40がパッケージ30(ケース31)の側面31b,31cに開口して形成された例を示した。これに対して、本実施形態では、貫通孔40が底面31aに開口して形成された例を示す。なお、貫通孔40を除く部分の構成は第1実施形態と同様であるため、詳細の説明を省略する。
本実施形態に係る湿度センサモジュール10は、図12に示すように、貫通孔40(46a,46b)が底面31aに開口して形成されている。この貫通孔46a,46bは、底面31aから、ケース31の外部側の面であって、底面31aと反対の外底面31fに亘って、クランク状に形成され、パッケージ30の内外を連通している。具体的には、底面31aから底面31aに垂直な方向に孔73a,73bが形成されている。また、外底面31fの面内であって、孔73a,73bとオーバーラップしない位置において、外底面30fから外底面30fに垂直な方向に孔71a,71bが形成されている。そして、パッケージ30の壁の内部において、孔71aと73aとを連結する連結路72aと、孔71bと73bとを連結する連結路72bとを有する。なお、孔71a,連結路72a,孔73aにより貫通孔46aが構成され、クランク形状となっている。また、孔71a,連結路72a,孔73aにより貫通孔46bが構成され、クランク形状となっている。
本実施形態におけるパッケージ30のうち、貫通孔40を構成する部分は、図13に示すように、セラミックシート70(底面31a側から順に、71,72,73)を積層することにより形成することができる。なお、図13では、パッケージ30のうち、貫通孔40が形成される層を除く層については、その図示を省略する。具体的には、加工を行わない層や、湿度センサ20を格納するためのスペースを確保するための貫通部が形成される層の製造方法は、第1実施形態および第2実施形態と同様であるため、その記載および図示を省略する。
セラミックシート71については、シートの厚さ方向に貫通する孔71a,71bを形成する。本実施形態では、シート面内において、湿度センサ20が配置される位置を挟んで対称の位置になるように、孔71a,71bを形成する。
セラミックシート72についても、シートの厚さ方向に貫通する孔72a,72bを形成する。孔72aは、その端部において孔71aの全体がオーバーラップするように形成しつつ、湿度センサ20が配置される位置に向かって延びて形成する。また、孔72bは、その端部において孔71bの全体がオーバーラップするように形成しつつ、湿度センサ20が配置される位置に向かって延びて形成する。
セラミックシート73についても、シートの厚さ方向に貫通する孔73a,73bを形成する。シート面内において、孔72aのうち孔71aとオーバーラップしていない端部とオーバーラップするように孔73aを形成する。また、孔72bのうち孔71bとオーバーラップしていない端部とオーバーラップするように孔73bを形成する。
これら少なくとも3層のセラミックシート71〜73を、セラミックシート71が最下層になるようにこの順番で積層し、焼成することにより、図11に示すパッケージ30の、貫通孔40を構成する部分を形成することができる。なお、パッケージ30全体としては、図示しない他の層も合わせて積層し、焼成することにより形成することができる。
本実施形態に係る湿度センサモジュール10では、貫通孔40が底面31aに開口して形成されている。すなわち、貫通孔40の開口した面とセンシング部22の表面とが同一の方向を向いている。したがって、貫通孔40がクランク形状であるためにダストがパッケージ30内部に侵入しにくいことに加え、万一、パッケージ30外部のダストが貫通孔40を通過しても、湿度センサ20のセンシング部22に載りにくくすることができる。
(その他実施形態)
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。また、各実施形態の様態を組み合わせて実施することが可能である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。また、各実施形態の様態を組み合わせて実施することが可能である。
上記した各実施形態では、カバー32を除く部分に貫通孔40が形成される例を示した。しかしながら、貫通孔40はカバー32に形成されてもよい。その場合も、第3実施形態に記載の方法によりカバー32を形成すればよい。ただし、カバー32に貫通孔40を設けた場合、ダストが侵入した際に、貫通孔40が底面31aに開口して形成される場合に較べてダストがセンシング部22に載りやすい。また、カバー32をケース31に固定する際に、エアチャックが困難になることが懸念される。これらの理由から、貫通孔40は、カバー32に設けられるよりも底面31a、または側面31b,31cに開口して設けられることが好ましい。
また、上記した各実施形態では、貫通孔40の内壁44の構成については言及していないが、より好ましくは、内壁44が粗化されているとよい。すなわち、内壁44に微細な凹凸を設けるなどするとよい。これによれば、貫通孔40内に侵入したダストをトラップしやすくすることができ、パッケージ30内へのダストの侵入を抑制することができる。
また、上記した各実施形態では、パッケージ30に2つの貫通孔40が形成される例を示したが、貫通孔40の数は限定されない。1つでも良いし、3つ以上形成されても良い。なお、貫通孔40の数は、多いほうが透湿性、通気性の観点で有利である。
また、上記した各実施形態では、貫通孔40がクランク形状をなす例を示したが、非直線形状であればよい。例えば、図14に示すように、貫通孔40が直角に曲がった直交部41を1つ有する構成としてもよい。図14に示す湿度センサモジュール10では、貫通孔40が、パッケージ30のうちケース31の底面31aに開口して形成され、途中で垂直に折れ、ケース31の外側面31d(または31e)に延びて形成されている。
また、図15のように、貫通孔40がカーブ形状とされた湾曲部47を有する構成としてもよい。湾曲部47を有する構成とすることにより、貫通孔40に侵入したダストが、自身の運動による遠心力によって、貫通孔40の内壁44に衝突・付着されやすくすることができる。これにより、ダストの運動エネルギーを減少させ、ダストをパッケージ30の内部に侵入しにくくさせることができる。なお、図14に示す貫通孔40は、直角に曲がった直交部41も有している。
また、上記した各実施形態では、パッケージ30の構成材料として、セラミックを用いる例を示したが、上記例に限定されるものではない。すなわち、パッケージ30の構成材料としては、エポキシ樹脂等の樹脂材料を利用することもできる。また、パッケージ30の製造方法として、シート材料を積層する例を示したが、これに限定されるものではない。とくに、貫通孔40の形成方法としては、積層による方法に限定されず、エッチング等の化学的な方法を利用することもできる。具体的には、被エッチング材料を、形成する貫通孔40と略同一形状に加工して、ケース31の材料としての樹脂材料内に埋め込む。そして、この樹脂材料にて箱型のケース31とした後、エッチングして貫通孔を形成することもできる。ただし、上記した各実施形態に示したような、セラミックシートの加工と積層によれば、より簡単に非直線形状の貫通孔40を形成することができる。
また、上記した各実施形態では、湿度センサ20のセンシング部22における感湿膜26の構成材料としてポリイミドを用いる例を示したが、これに限定されるものではなく、酪酸酢酸セルロースなどの吸湿性高分子材料を用いることもできる。
また、上記した各実施形態では、湿度センサ20のセンシング部22において、保護膜としてのシリコン窒化膜25が形成された例を示したが、電極24が耐食性を有する材料により構成されていればシリコン窒化膜25を形成する必要はない。また、基板21も半導体基板に限定されるものではなく、ガラス等の絶縁体を用いることもできる。この場合は、電極24と基板21の間にシリコン酸化膜23は不要である。
また、上記した各実施形態では、センシング部22における電極24が櫛歯状をなす例を示したが、必ずしも櫛歯状でなくてもよい。電極24は一対の対向電極を含めばよい。
また、湿度センサ20として、湿度の変化を、電極24間の静電容量の変化として検出する容量式センサの例を示したが、検出原理はこれに限定されない。例えば、湿度センサ20は、一対の電極24を備え、感湿膜26が水分の吸着によりインピーダンスが変化するものであり、湿度変化を電極24間のインピーダンスの変化として検出する抵抗式センサであってもよい。
また、上記した各実施形態では、基板21にセンシング部22と周辺回路が形成された湿度センサ20が直接的に底面31aに固定された例を示した。しかしながら、基板21に周辺回路を設けず、図16に示すように、周辺回路チップ33を別途設け、湿度センサ20と底面31aとを、周辺回路チップ33を介して間接的に固定してもよい。
10・・・湿度センサモジュール
20・・・湿度センサ
21・・・基板
22・・・センシング部
30・・・パッケージ
40・・・貫通孔
20・・・湿度センサ
21・・・基板
22・・・センシング部
30・・・パッケージ
40・・・貫通孔
Claims (11)
- 基板(21)の一面(21a)側にセンシング部(22)が設けられた湿度センサ(20)と、
該湿度センサを内部に格納するパッケージ(30)と、を備える湿度センサモジュールであって、
前記パッケージには、内外を連通する貫通孔(40)が形成され、
該貫通孔は、非直線形状をなすことを特徴とする湿度センサモジュール。 - 前記貫通孔は、その内壁(44)が、前記貫通孔の両端の2つの開口面(43i,43o)のうち、一方の開口面内の任意の点と、他方の開口面内の任意の点を結ぶ全ての仮想直線(L1〜L4)と交わるように形成されることを特徴とする請求項1に記載の湿度センサモジュール。
- 前記貫通孔は、直角に曲がった直交部(41)を少なくとも1つ有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の湿度センサモジュール。
- 前記貫通孔は、クランク部(42)を少なくとも1つ有することを特徴とする請求項3に記載の湿度センサモジュール。
- 前記パッケージはセラミックからなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の湿度センサモジュール。
- 前記パッケージは複数のセラミックシート(50,60,70)が積層された多層構造をなすことを特徴とする請求項5に記載の湿度センサモジュール。
- 前記パッケージは、一面が開口する箱型のケース(31)と、該ケースの開口を蓋するカバー(32)と、を備え、
前記湿度センサは、前記基板の一面と反対の裏面(21b)側が前記ケースの底面(31a)に直接的または間接的に固定され、
前記貫通孔は、前記ケースに形成されることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の湿度センサモジュール。 - 前記貫通孔は、前記ケースの底面に開口して形成されることを特徴とする請求項7に記載の湿度センサモジュール。
- 前記貫通孔は、前記内壁が粗化されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の湿度センサモジュール。
- 前記貫通孔は複数形成されるとともに、前記センシング部を間に挟むように、相対する内壁面に開口して形成されることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の湿度センサモジュール。
- 前記貫通孔は、カーブ形状とされる湾曲部(37)を少なくとも一つ有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の湿度センサモジュール。
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