JP2014051038A - スクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法 - Google Patents

Abstract

【課題】印刷ペーストへの加圧に起因した加圧ヘッドの浮き上がりを抑制して高品質の厚膜パターンを容易に印刷可能とする。
【解決手段】加圧カートリッジヘッド２の内部に貯留された印刷ペースト３を加圧しながら加圧カートリッジヘッド２をスクリーンマスク１上で摺動させることにより、印刷ペースト３をスクリーンマスク１に設けられたスリット状マスク開口部１ｃを介してスクリーンマスク１の他面側に配置された被印刷物６上に押し出して印刷するスクリーン印刷機であって、加圧カートリッジヘッド２は、印刷時のスクリーンマスク１の面方向における加圧カートリッジヘッド２の摺動方向と直交する方向において、スクリーンマスク１との対向面におけるスリット状マスク開口部１ｃに対応する部分に印刷ペースト３を吐出するスリット状吐出開口部５ａを有するとともにスリット状マスク開口部１ｃに対応しない部分の少なくとも一部には吐出開口部が形成されない。
【選択図】図１

Description

本発明は、印刷ペーストを印刷するスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法に関する。

基板に厚膜ペーストの印刷を行う場合、代表的な凹版印刷法であるスクリーン印刷法が用いられることが多い。スクリーン印刷法の原理は、スキージと呼ばれるヘラ状の部材を用いて、パターン部が開口したスクリーンマスクを通して印刷するものである。このため、実際の印刷においては印刷ペーストの粘弾性特性が印刷に及ぼす影響が大きく、理想どおりの厚膜印刷を実現することは困難である。

そこで、厚膜印刷を実現するために、印刷ペーストの粘弾性特性の影響をできるだけ小さくするために、印刷ペースト自体に圧力を印加し、強制的にスクリーンマスクの開口部内に印刷ペーストを圧入するスキージヘッドを用いた加圧印刷方法が提案されている（たとえば、特許文献１，２，３，４，５，６参照）。

特開２００６−２６４００７号公報 特開２００６−２６４００８号公報 特開２００６−２６４００９号公報 特開２００６−２７２５６６号公報 特開２００１−３４７６３３号公報 特開２００１−３４７６３６号公報

しかしながら、例えば、特許文献１〜６のいずれの文献に開示された方法においても、スキージヘッドの底面部（先端部）の全域から印刷ペーストが吐出される。これらの方法では、印刷ペーストには高充填圧が印加されるため、開口密度が低いスクリーンマスクを用いた場合には、スクリーンマスクの非印刷部（未開口部）が加圧され、その反力でスキージヘッドが浮き上がる現象が発生する。このため、効果的に印刷ペーストをスクリーンマスクの開口部に充填しつつスクリーンマスクに対してスキージヘッドを密着させるために必要な圧力が得られなくなり、本来の目的である厚膜印刷が困難になる。さらに、場合によっては印刷パターンのかすれや断線などのパターン異常が発生する、あるいはスクリーンマスクと被印刷物の被印刷部との間に間隙が発生することにより印刷パターンのにじみが発生する場合がある。

また、特許文献１〜６に開示された印刷装置の特徴として、スキージヘッド内に印刷ペーストの整流のための構造体が設けられている。しかしながら、これらのいずれもスキージヘッドからの印刷インクの吐出部であるスキージヘッドの底面部（先端部）は全域が開口しているため、高充填圧の印加時に上述したスキージヘッドの浮き上がりが発生する。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、印刷ペーストへの加圧に起因したヘッドの浮き上がりを抑制して高品質の厚膜パターンを容易に印刷可能なスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法を得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかるスクリーン印刷機は、ヘッドの内部に貯留された印刷ペーストを加圧しながら前記ヘッドをマスク上で摺動させることにより、前記印刷ペーストを前記マスクに設けられたマスク開口部を介して前記マスクの他面側に配置された被印刷物上に押し出して印刷するスクリーン印刷機であって、
前記ヘッドは、印刷時の前記マスクの面方向における前記ヘッドの摺動方向と直交する方向において、前記マスクとの対向面における前記マスク開口部に対応する部分に前記印刷ペーストを吐出する吐出開口部を有するとともに前記マスク開口部に対応しない部分の少なくとも一部には前記吐出開口部が形成されないこと、を特徴とする。

本発明によれば、印刷ペーストへの加圧に起因したヘッドの浮き上がりを抑制して高品質の印刷ペーストパターンを容易に印刷可能である、という効果を奏する。

図１は、本発明の実施の形態１にかかるスクリーン印刷機の概略構成を示す模式図である。 図２は、従来のスクリーン印刷機の概略構成を示す模式図である。 図３は、従来のスクリーン印刷機における印刷原理を示す模式図である。 図４は、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機における整流板の変形例を示す模式平面図である。 図５は、加圧カートリッジヘッドの底面にスリット状吐出開口部を用いた場合の残留ペーストの発生原理を示す模式図である。 図６は、加圧カートリッジヘッドの底面に穴状の吐出開口部を用いた場合の残留ペーストの低減原理を示す模式図である。 図７は、マスク開口部と整流板との組み合わせの変形例を示す模式平面図である。 図８は、マスク開口部と整流板との組み合わせの他の変形例を示す模式平面図である。

以下に、本発明にかかるスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる場合がある。各図面間においても同様である。また、平面図であっても、図面を見易くするためにハッチングを付す場合がある。

実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１にかかるスクリーン印刷機の概略構成を示す模式図である。図１（ａ）は、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機の概略断面構成を示す。図１（ｂ）は、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機の加圧カートリッジヘッド２の底面をスクリーンマスク１との接触面側から見た平面構造を示す。図１（ｃ）は、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機のスクリーンマスク１を加圧カートリッジヘッド２との接触面側から見た平面図である。

スクリーンマスク１は、版枠１ａにマスクプレート１ｂが装着されて構成されている。マスクプレート１ｂには、印刷時にスクリーンマスク１の他面側（下面側）に近接配置される被印刷物６に対する印刷パターンに対応した複数のスリット状マスク開口部１ｃが設けられている。実施の形態１では、印刷時における加圧カートリッジヘッド２の移動方向（摺動方向）Ａに沿った方向に延在する細長形状の複数のスリット状マスク開口部１ｃが設けられたスクリーンマスク１を示す。本実施の形態では、スリット状マスク開口部１ｃの開口幅、開口長さは全て同じである。なお、図１（ａ）〜図１（ｃ）においては、マスクプレート１ｂの幅方向（印刷時のスクリーンマスク１の面方向において加圧カートリッジヘッド２の移動方向Ａと略直交する方向）におけるスリット状マスク開口部１ｃの中心位置およびこれに対応する位置を破線で示している。

加圧カートリッジヘッド２は、細長形状に構成されて上面が開口された略ブロック状形状を呈する。印刷時には、細長形状の長手方向がマスクプレート１ｂの幅方向に対応する。加圧カートリッジヘッド２の長手方向の寸法は、例えば図１（ａ）に示されるように、少なくともマスクプレート１ｂの幅方向において全てのスリット状マスク開口部１ｃをカバーするように設定される。加圧カートリッジヘッド２の内部は、被印刷物６に印刷する印刷用ペースト３（以下、ペースト３と呼ぶ）が貯留されるペースト貯留部とされている。

加圧カートリッジヘッド２の上面の開口には、加圧カートリッジヘッド２の開口寸法と略同一の外形寸法を有して加圧カートリッジヘッド２の内部のペースト３を加圧するための加圧蓋４がはめ込まれている。加圧蓋４は、図示しない昇降機構と結合されており、該昇降機構を駆動することにより、加圧カートリッジヘッド２内において上下動可能とされている。この昇降機構は、例えばエア源等の圧力付加部を備えており、所定の圧力設定指示に従って加圧蓋４を加圧カートリッジヘッド２内において下降させることにより加圧カートリッジヘッド２内のペースト３を所定の圧力で加圧して押し下げるようになっている。すなわち、昇降機構および加圧蓋４により、加圧カートリッジヘッド２内のペースト３を加圧するペースト加圧手段が構成されている。

加圧カートリッジヘッド２の底面（先端部）は、加圧カートリッジヘッド２内に貯留されたペースト３が押し出されるペースト押し出し面であり、印刷時にはマスクプレート１ｂの表面に当接される。加圧カートリッジヘッド２の底面は、マスクプレート１ｂの幅方向おいて、マスクプレート１ｂに設けられた複数のスリット状マスク開口部１ｃに対応する位置に、該スリット状マスク開口部１ｃに対応するパターンの複数のスリット状吐出開口部５ａを有し、印刷時のペースト３の流れを所定の流れに整流して制限する整流板５とされている。すなわち、スリット状吐出開口部５ａは、加圧カートリッジヘッド２の底面においてスリット状マスク開口部１ｃと略同等の間隔で設けられている。また、個々のスリット状吐出開口部５ａの幅は、スリット状マスク開口部１ｃの幅に対して若干太く設けられている。

このような構成の加圧カートリッジヘッド２において、加圧蓋４を昇降機構により下方に押圧することにより、加圧カートリッジヘッド２内のペースト３が加圧され、スリット状吐出開口部５ａを介して下方に押し出される。

また、印刷時には、図示しない水平移動手段が、加圧カートリッジヘッド２を所定の移動方向（移動方向Ａ）、すなわちスリット状マスク開口部１ｃの長手方向に沿って、スリット状マスク開口部１ｃの長手方向における一端部上から他端部上まで摺動させる。

次に、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機による印刷方法について説明する。まず、被印刷物６が図示しない保持部に載置されて、スクリーンマスク１に対する適切な位置に配置される。このとき、被印刷物６は、被印刷面がスクリーンマスク１の下面とわずかに離間した状態とされる。

次に、ペースト３が内部に貯留された加圧カートリッジヘッド２が、スクリーンマスク１上の所定の位置に配置される。すなわち、マスクプレート１ｂの幅方向において、加圧カートリッジヘッド２における複数のスリット状吐出開口部５ａのそれぞれがスクリーンマスク１の複数のスリット状マスク開口部１ｃ上に重なるように、加圧カートリッジヘッド２の底面（整流板５）をマスクプレート１ｂに当接させた状態でマスクプレート１ｂのスリット状吐出開口部５ａの長手方向における一端部上に配置される。

この状態で、加圧カートリッジヘッド２に対して図示しない加圧手段により所定のヘッド圧１１をスクリーンマスク１側に加圧しつつ、加圧カートリッジヘッド２からペースト３を押し出してスリット状マスク開口部１ｃ内に充填するための充填圧１２を加圧蓋４に対してペースト加圧手段により印加することにより、加圧カートリッジヘッド２内のペースト３を上方から加圧して押し下げる。

これにより、加圧カートリッジヘッド２の底面自体がマスクプレート１ｂに密着して、さらにマスクプレート１ｂが被印刷物６の被印刷面に密着する。また、加圧カートリッジヘッド２内のペースト３が加圧され、ペースト３がスリット状吐出開口部５ａを介して下方に押し出されてマスクプレート１ｂのスリット状マスク開口部１ｃに充填される。このとき、スリット状マスク開口部１ｃ内に充填されたペースト３が被印刷物６の表面に接触する圧力で、ペースト３が加圧される。

そして、図示しない水平移動手段により加圧カートリッジヘッド２を所定の移動方向（移動方向Ａ）、すなわちスリット状マスク開口部１ｃの長手方向に沿って、スリット状マスク開口部１ｃの長手方向における他端部上まで摺動させる。これにより、加圧カートリッジヘッド２を摺動させる間に、加圧カートリッジヘッド２内の加圧されたペースト３がスリット状吐出開口部５ａを介して下方に押し出されてマスクプレート１ｂのスリット状マスク開口部１ｃに充填される。すなわち、加圧カートリッジヘッド２内の加圧されたペースト３は、スリット状吐出開口部５ａから選択的に吐出されてスリット状マスク開口部１ｃに充填される。全てのスリット状マスク開口部１ｃ内にペースト３が充填された後、保持部を下降させて被印刷物６をマスクプレート１ｂから離間させる版離れが行われる。これにより、スリット状マスク開口部１ｃ内のペースト３は被印刷物６とともに下降してスリット状マスク開口部１ｃから分離され、被印刷物６へのペースト３のスクリーン印刷が終了する。

ここで、比較のため、従来のスクリーン印刷機について説明する。図２は、従来のスクリーン印刷機の概略構成を示す模式図である。図２（ａ）は、従来のスクリーン印刷機の概略断面構成を示す。図２（ｂ）は、従来のスクリーン印刷機の加圧カートリッジヘッド１０２の底面部のペースト押し出し面をスクリーンマスクとの接触面側から見た平面構造を示す。図２（ｃ）は、従来のスクリーン印刷機のスクリーンマスク１を加圧カートリッジヘッド１０２との接触面側から見た平面図である。なお、従来のスクリーン印刷機において、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機と同じ部材については同じ符号を付すことで詳細な説明は省略する。

従来のスクリーン印刷機は、スクリーンマスク１と加圧カートリッジヘッド１０２とを備えている。加圧カートリッジヘッド１０２には、実施の形態１にかかる加圧カートリッジヘッド２における整流板５が設けられておらず、加圧カートリッジヘッド１０２の底面部の全体が吐出開口部１０２ａとされている。したがって、従来のスクリーン印刷機では、加圧カートリッジヘッド１０２に所定のヘッド圧１１を印加しつつペースト３に対して充填圧１２を印加することにより、加圧カートリッジヘッド１０２の底面部の全ての箇所（吐出開口部１０２ａ）からペースト３が吐出される。

このように従来のスクリーン印刷機では、加圧カートリッジヘッド１０２の底面部の全体（吐出開口部１０２ａ）からペースト３が吐出され、スリット状マスク開口部１ｃへはペースト３による加圧力（マスク開口部押圧力１３）として加圧カートリッジヘッド１０２内におけるペースト３の充填圧（内圧）が印加される。また、マスクプレート１ｂにおいてスリット状マスク開口部１ｃが設けられていない非開口部にも、ペースト３による加圧力（マスク非開口部押圧力１４）として加圧カートリッジヘッド１０２内におけるペースト３の内圧が印加されることにより、図３に示されるように加圧カートリッジヘッド１０２全体を持ち上げる反力１５が発生する。図３は、従来のスクリーン印刷機における印刷原理を示す模式図である。

このような反力１５が発生した場合には、加圧カートリッジヘッド１０２を押圧する圧力が所定のヘッド圧１１よりも低下して（ヘッド圧１６）、加圧カートリッジヘッド１０２とスクリーンマスク１との密着性が低下して加圧カートリッジヘッド１０２が浮き上がる現象が発生する。加圧カートリッジヘッド１０２の浮き上がりが発生した場合には、スリット状マスク開口部１ｃの形状に沿ったペースト３の充填ができず、ペースト３の印刷パターンのかすれ、断線、膜厚のムラなどの印刷パターンの異常が発生する場合がある。また、被印刷物６の被印刷面とスクリーンマスク１との間の間隙に起因した印刷パターンのにじみが発生する場合がある。したがって、反力１５による加圧カートリッジヘッド１０２の浮き上がりが発生した場合には、精度の良い高品質な印刷が困難になる場合がある。このような現象は、開口密度が低いスクリーンマスク１を用いる場合に特に顕著に発生する。

これに対して、上述した実施の形態１にかかるスクリーン印刷機においては、加圧カートリッジヘッド２の底面部は、スリット状マスク開口部１ｃに対応する位置にスリット状吐出開口部５ａを有する整流板５とされている。また、スリット状マスク開口部１ｃに対応しない部分の少なくとも一部にはスリット状吐出開口部５ａは形成されない。これにより、マスクプレート１ｂにおけるスリット状マスク開口部１ｃが設けられていない非開口部にはペースト３が吐出されることが無く、該非開口部へのペースト３の吐出に起因した反力１５の発生を抑制することができる。この結果、所望のヘッド圧１１を有効に印加して加圧カートリッジヘッド２の底面部をマスクプレート１ｂに密着させることができ、反力１５による加圧カートリッジヘッド２の浮き上がりを抑制することが可能となる。これにより、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機においては、高精度な印刷体の形成を実現することができ、特に、厚膜の高精度な印刷体の形成を容易に実現することができる。

（実施例）
つぎに、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機の効果について、具体的な実施例に基づいて説明する。上述した実施の形態１にかかるスクリーン印刷機を使用し、被印刷物６として１００ｍｍ□のシリコンウェハを用いて、ヘッド圧１１を１０×１０^−２［Ｎ／ｍｍ］、充填圧１２を８０×１０^−２［Ｎ／ｍｍ］、加圧カートリッジヘッド２の移動速度を５０［ｍｍ／ｓ］とした。また、スリット状マスク開口部１ｃの開口幅は３０〜２００［μｍ］の範囲とし、スリット状吐出開口部５ａの個々の開口幅は３０〜１００［μｍ］の範囲として、銀（Ａｇ）ペーストの印刷を行った。

また、比較のため、上述した従来のスクリーン印刷機を用いて銀（Ａｇ）ペーストの印刷を行った。印刷条件は、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機の場合と同じである。

印刷された銀ペーストのパターンを観察した結果、従来のスクリーン印刷機を用いて印刷された銀ペーストのパターンでは、断線箇所が５０箇所以上認められた。一方、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機を用いて印刷された銀ペーストのパターンでは、断線が認められず、スリット状マスク開口部１ｃへの銀ペーストの効果的な充填が実現されていることが確認された。

なお、スリット状吐出開口部５ａのスリット幅Ｗは対応するスリット状マスク開口部１ｃの開口幅に対して、１００μｍ以上太くすることが好ましい。これにより、反力１５の発生を抑制しつつ、スクリーンマスク１と加圧カートリッジヘッド２との位置ずれ、すなわちスリット状吐出開口部５ａとスリット状マスク開口部１ｃとの位置ずれをカバーしてスリット状マスク開口部１ｃへのペースト３の効果的な充填を実現できる。なお、スリット状吐出開口部５ａの開口幅をスリット状マスク開口部１ｃの開口幅よりも太幅とする際の上限は、ペースト３の粘弾性特性の影響を大きく受けるため画一的な定義はできないが、ペースト３の内圧により加圧カートリッジヘッド２が浮き上がらない範囲内で決定するとよい。

上述したように、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機は、ペースト３が吐出される加圧カートリッジヘッド２の底面部におけるスリット状マスク開口部１ｃに対応する位置に、該スリット状マスク開口部１ｃに対応する複数のスリット状吐出開口部５ａが設けられ、加圧カートリッジヘッド２の底面部でのマスクプレート１ｂの幅方向におけるペースト３の吐出領域が制限されている。これにより、加圧カートリッジヘッド２内におけるペースト３の内圧に起因した反力１５の発生を抑制して加圧カートリッジヘッド２の浮き上がりを抑制し、高精度な印刷体の形成を実現することができ、厚膜パターンを容易に印刷可能である。

実施の形態２．
図４は、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機における整流板５の変形例を示す模式平面図である。図４（ａ）は、整流板５の第１の変形例である整流板５１をスクリーンマスク１との接触面側から見た模式平面図である。図４（ｂ）は、整流板５の第２の変形例である整流板５２をスクリーンマスク１との接触面側から見た模式平面図である。

図４（ａ）に示す整流板５１は、四角形状の複数の穴状吐出開口部５ｂを有する。図４（ｂ）に示す整流板５２は、円形状の複数の穴状吐出開口部５ｃを有する。すなわち、整流板５１および整流板５２は、整流板５のように印刷時における加圧カートリッジヘッド２の移動方向Ａの全幅に延伸したスリット状ではなく、加圧カートリッジヘッド２の移動方向Ａの一部に形成された穴状の吐出開口部を有する。

加圧カートリッジヘッド２の底面に、整流板５のように印刷時における加圧カートリッジヘッド２の移動方向Ａの全幅に延伸したスリット状吐出開口部５ａを有することにより、実施の形態１において説明したように反力１５による加圧カートリッジヘッド１０２の浮き上がりを抑制でき、高精度な印刷体の形成を実現することができる。一方で、スリット状吐出開口部５ａを用いた場合には、図５に示すようにペースト印刷の終端部、すなわちスリット状マスク開口部１ｃの端部２１を超えた延長領域のスクリーンマスク１上に、加圧カートリッジヘッド２から吐出されてスリット状マスク開口部１ｃに充填されなかったペースト３が残留する場合がある（残留ペースト２２）。残留ペースト２２の発生量が多い場合には、ペースト３の使用量およびスクリーンマスク１のクリーニングの負荷が大きくなる。図５は、加圧カートリッジヘッド２の底面にスリット状吐出開口部５ａを用いた場合の残留ペーストの発生原理を示す模式図である。

そこで、図６に示すように加圧カートリッジヘッド２の底面に穴状吐出開口部５ｂや穴状吐出開口部５ｃ等の穴状の吐出開口部を設け、これらの開口部がスリット状マスク開口部１ｃの端部２１上に位置する時点で加圧カートリッジヘッド２の摺動を停止することにより、残留ペースト２２の発生を大幅に低減することができる。これにより、ペースト３の使用量およびスクリーンマスク１のクリーニングの負荷を低減することができる。図６は、加圧カートリッジヘッド２の底面に穴状の吐出開口部を用いた場合の残留ペーストの低減原理を示す模式図である。

また、穴状吐出開口部５ｂや穴状吐出開口部５ｃ等の穴状の吐出開口部の穴径は、スリット状マスク開口部１ｃの開口幅に対して、１００μｍ以上大きくすることが好ましい。これにより、残留ペースト２２の発生を低減しつつ、スクリーンマスク１と加圧カートリッジヘッド２との位置ずれ、すなわちスリット状マスク開口部１ｃと穴状の吐出開口部との位置ずれをカバーしてスリット状マスク開口部１ｃへのペースト３の効果的な充填を実現できる。なお、穴状の吐出開口部の穴径をスリット状マスク開口部１ｃの開口幅よりも太幅とする際の上限は、ペースト３の粘弾性特性の影響を大きく受けるため画一的な定義はできないが、ペースト３の内圧により加圧カートリッジヘッド２が浮き上がらない範囲内で決定するとよい。

実施の形態３．
上述した実施の形態１および実施の形態２では、被印刷物６に対する印刷パターンに対応したマスク開口部として、加圧カートリッジヘッド２の移動方向Ａにおいて連続した開口パターンを例示したが、マスク開口部のパターン（印刷パターン）は、これに限定されない。実施の形態３では、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機におけるマスク開口部と整流板との組み合わせの変形例について説明する。

図７は、マスク開口部と整流板との組み合わせの変形例を示す模式平面図である。図７に示すように、加圧カートリッジヘッド２の移動方向Ａにおいて不連続な分離パターンとされた複数の分離マスク開口部３１をスクリーンマスク１に設けた場合には、例えば上述した整流板５２を用いることが好ましい。この場合も、実施の形態１および実施の形態２の場合と同様に加圧カートリッジヘッド２の浮き上がりを抑制しつつ、高品質なペースト３の印刷が実現可能である。

また、この場合も整流板に設ける穴状吐出開口部５ｂの穴径は、対応する分離マスク開口部３１の開口幅に対して１００μｍ以上大きくすることが好ましい。これにより、残留ペースト２２の発生を低減しつつ、スクリーンマスク１と加圧カートリッジヘッド２との位置ずれ、すなわち分離マスク開口部３１と穴状吐出開口部５ｂとの位置ずれをカバーして分離マスク開口部３１へのペースト３の効果的な充填を実現できる。

実施の形態４．
上述した実施の形態１〜実施の形態３では、被印刷物６に対する印刷パターンに対応したマスク開口部として、マスクプレート１ｂの幅方向において開口幅が同じパターンが複数設けられているため、整流板におけるスリット状吐出開口部５ａ、穴状吐出開口部５ｂ、穴状吐出開口部５ｃのマスクプレート１ｂの幅方向における複数の開口部の開口幅が一定である。しかし、整流板における吐出開口部の開口幅はこれに限定されない。実施の形態４では、実施の形態１にかかるスクリーン印刷機におけるマスク開口部と整流板との組み合わせの他の変形例について説明する。

図８は、マスク開口部と整流板との組み合わせの他の変形例を示す模式平面図である。図８に示すように、加圧カートリッジヘッド２の移動方向Ａにおいて不連続に分離し、且つ異なる幅を有する複数の異形分離マスク開口部３２をスクリーンマスク１に設けた場合には、幅方向において異形分離マスク開口部３２の幅に対応した異なる幅を有する複数の異形吐出開口部５ｄを備えた整流板５３を用いることができる。この場合も、実施の形態１〜実施の形態３の場合と同様に加圧カートリッジヘッド２の浮き上がりを抑制しつつ、高品質なペースト３の印刷が実現可能である。

また、この場合も整流板に設ける異形吐出開口部５ｄの穴径は、対応する異形分離マスク開口部３２の開口幅に対して１００μｍ以上大きくすることが好ましい。これにより、残留ペースト２２の発生を低減しつつ、スクリーンマスク１と加圧カートリッジヘッド２との位置ずれ、すなわち異形分離マスク開口部３２と異形吐出開口部５ｄとの位置ずれをカバーして分離マスク開口部３１へのペースト３の効果的な充填を実現できる。

以上のように、本発明にかかるスクリーン印刷機は、印刷ペーストを加圧しながら印刷するヘッド機構を有するスクリーン印刷機に有用であり、特に、プリント配線版、セラミックグリーンシートおよびウェハ等へのスクリーン印刷によるパターンの形成に適している。

１ スクリーンマスク、１ａ 版枠、１ｂ マスクプレート、１ｃ スリット状マスク開口部、２ 加圧カートリッジヘッド、３ 印刷用ペースト（ペースト）、４ 加圧蓋、５ 整流板、５ａ スリット状吐出開口部、５ｂ，５ｃ 穴状吐出開口部、５ｄ 異形吐出開口部、６ 被印刷物、１１ ヘッド圧、１２ 充填圧、１３ マスク開口部押圧力、１４ マスク非開口部押圧力、１５ 反力、１６ ヘッド圧、２１ スリット状マスク開口部の端部、２２ 残留ペースト、３１ 分離マスク開口部、３２ 異形マスク開口部、５１，５２，５３ 整流板、１０２ 加圧カートリッジヘッド、１０２ａ 吐出開口部、Ａ 印刷時における加圧カートリッジヘッドの移動方向。

Claims (7)

1. ヘッドの内部に貯留された印刷ペーストを加圧しながら前記ヘッドをマスク上で摺動させることにより、前記印刷ペーストを前記マスクに設けられたマスク開口部を介して前記マスクの他面側に配置された被印刷物上に押し出して印刷するスクリーン印刷機であって、
   前記ヘッドは、印刷時の前記マスクの面方向における前記ヘッドの摺動方向と直交する方向において、前記マスクとの対向面における前記マスク開口部に対応する部分に前記印刷ペーストを吐出する吐出開口部を有するとともに前記マスク開口部に対応しない部分の少なくとも一部には前記吐出開口部が形成されないこと、
   を特徴とするスクリーン印刷機。
2. 前記吐出開口部の形状が、前記マスクとの対向面において前記ヘッドの摺動方向の全幅に延伸したスリット状であること、
   を特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
3. 前記吐出開口部の形状が、前記マスクとの対向面において前記ヘッドの摺動方向の一部に形成された穴形状であること、
   を特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
4. 前記マスク開口部が、前記ヘッドの摺動方向において不連続な分離パターンを有すること、
   を特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のスクリーン印刷機。
5. 前記マスク開口部が、前記ヘッドの摺動方向と直交する方向において幅の異なる複数のパターンを有すること、
   を特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のスクリーン印刷機。
6. 前記吐出開口部は、前記ヘッドの摺動方向と直交する方向において印刷時に対応する前記マスク開口部よりも１００μｍ以上幅広とされること、
   を特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のスクリーン印刷機。
7. ヘッドの内部に貯留された印刷ペーストを加圧しながら前記ヘッドをマスク上で摺動させることにより、前記印刷ペーストを前記マスクに設けられたマスク開口部を介して前記マスクの他面側に配置された被印刷物上に押し出して印刷するスクリーン印刷方法であって、
   印刷時の前記マスクの面方向における前記ヘッドの摺動方向と直交する方向において、前記マスクとの対向面における前記マスク開口部に対応する部分から前記印刷ペーストを選択的に吐出すること、
   を特徴とするスクリーン印刷方法。

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