JP2014051017A - ラミネート装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】太陽電池モジュールのラミネート工程において、搬送ベルト及び剥離シート上の付着物を除去するブラシにより除去された付着物が静電気により再付着するのを防止するラミネート装置を供給する。
【解決方法】上容器と、上容器の下方に配置された下容器と、上容器内に設置されたダイアフラムと、下容器内に設置された発熱板とからなるラミネート部と、前記ダイアフラムと発熱板との間に配置され、被加工物を搬送する搬送ベルトとを具備するラミネート装置であって、搬送ベルトに付着した付着物をラミネート部の外部で除去する第1の付着物除去手段と、第1の付着物除去手段と搬送ベルトとの接触による帯電を除去する第1の除電手段とを有するラミネート装置。
【選択図】図2
【解決方法】上容器と、上容器の下方に配置された下容器と、上容器内に設置されたダイアフラムと、下容器内に設置された発熱板とからなるラミネート部と、前記ダイアフラムと発熱板との間に配置され、被加工物を搬送する搬送ベルトとを具備するラミネート装置であって、搬送ベルトに付着した付着物をラミネート部の外部で除去する第1の付着物除去手段と、第1の付着物除去手段と搬送ベルトとの接触による帯電を除去する第1の除電手段とを有するラミネート装置。
【選択図】図2
Description
本発明は、ラミネート装置、特に太陽電池モジュール等のラミネート体を製造するためのラミネート装置に関するものである。
太陽光などの光を受光して発電する素子である太陽電池セルを複数個並べて構成される太陽電池モジュールは、太陽電池セルを保護する目的のため、太陽電池セルを樹脂などの充填材で封止する構造が採用されている。
そして、太陽電池セルを充填材で封止した太陽電池モジュールを製造する方法として、ラミネート装置を使用して製造する方法が用いられている。
従来の太陽電池モジュールを製造するためのラミネート装置としては、例えば、特許文献1に記載された公知例がある。
図5及び図6は、特許文献1に記載されたラミネート装置における搬送装置であり、図5(a)はラミネート装置200、図5(b)はラミネート装置200によりラミネート加工される被加工物Aの断面図を示している。また、図6は被加工物Aを搬送する搬送装置を示している。図5(a)に示す、特許文献1に記載のラミネート装置200において、207は真空容器、208はその蓋、209は蓋208に取付けたダイアフラム、210は蓋208とダイアフラム209により形成された上チャンバ、211は真空容器207に取付けた発熱板、212は真空容器207とダイアフラム209により形成された下チャンバで、真空容器207と蓋208はシール材213により密封されるようになっている。また、207aは真空容器207の配管接続口、208aは蓋208の配管接続口であって、両接続口207a,208aは、真空引きと大気導入の両動作のためのものである。また、214は被加工物Aを搬送する下側ベルト、215は被加工物Aの上に被せた被覆用の上側ベルトである。また、図5(b)に示す被加工物Aは、最下層のガラス板201の上に、シート状の充填材202、太陽電池セル203、シート状の充填材205を順次積層し、最上位に裏面材206を配して構成される。なお、204は太陽電池セル203を連結するリボン状の電極である。
そして、ラミネート装置200による被加工物Aのラミネート加工は、発熱板211の上に被加工物Aを載置して、真空容器207に蓋208を施し、発熱板211により被加工物Aを加熱すると共に真空容器207を真空引きして、ダイアフラム209を被加工物Aの上面から発熱板211に押し付けるようにすることにより、発熱板211の加熱により被加工物Aの充填材202が溶融すると共に被加工物Aが脱泡され、ラミネート体が形成された後、蓋208を取り外して、被加工物Aを取り出す。
このような太陽電池モジュールの製造工程において、充填材が太陽電池モジュールからはみ出してしまうことがあるため、はみ出した充填材が太陽電池モジュールの表面に回りこんで付着したり、発熱板211及びダイアフラム209に付着したりする。特許文献1のラミネート装置200においては、ラミネート加工に際し、被加工物Aを上側ベルト215と下側ベルト214とに挟まれた状態で加工することによって、溶融して被加工物Aからはみ出た充填材202及び205を上側ベルト215及び下側ベルト214に付着するようにして、充填材202及び205が発熱板211及びダイアフラム209に付着して不具合が生じるのを防いでいる。
また、図6に示すように、特許文献1のラミネート装置における搬送装置は、下側ベルト214は複数個所において接続されて環状駆動するようになっている。また、上側ベルト215は、搬入側と搬出側にそれぞれベルトを巻きつけるベルトロール216及び217を設け、一方から繰り出し、他方で巻き取るようにしてある。さらに、上側ベルト215には上側ベルト用ブラシ218が、下側ベルト214には下側ベルト用ブラシ219が当てられ、それぞれのベルトに付着した充填材202及び205を除去することが示されている。
しかしながら、特許文献1に記載のラミネート装置においては、上側ベルト用ブラシ218及び下側ベルト用ブラシ219がそれぞれ上側ベルト215及び下側ベルト214に接触して回転するため、上側ベルト用ブラシ218、下側ベルト用ブラシ219、上側ベルト215及び下側ベルト214のそれぞれに静電気が発生する。そのため、上側ベルト用ブラシ218及び下側ベルト用ブラシ219により一旦掻き取られた充填材が静電気により上側ベルト215及び下側ベルト214に再付着するという問題があった。
本発明の目的は、太陽電池モジュールのラミネート工程において、搬送ベルト及び剥離シート上の付着物を除去するブラシにより除去された付着物が静電気により再付着するのを防止するラミネート装置を供給することにある。
本発明に係るラミネート装置は、上容器と、上容器の下方に配置された下容器と、上容器内に設置されたダイアフラムと、下容器内に設置された発熱板とからなるラミネート部と、ダイアフラムと発熱板との間に配置され、被加工物を搬送する搬送ベルトとを具備するラミネート装置であって、搬送ベルトに付着した付着物をラミネート部の外部で除去する第1の付着物除去手段と、第1の付着物除去手段と搬送ベルトとの接触による帯電を除去する第1の除電手段とを有する。
ここで、本発明に係るラミネート装置は、ダイアフラムと搬送ベルトとの間に設置された剥離シートと、剥離シートに付着した付着物をラミネート部の外部で除去する第2の付着物除去手段と、第2の付着物除去手段と剥離シートとの接触による帯電を除去する第2の除電手段とを有することが好ましい。
本発明に係るラミネート装置の第1及び第2の付着物除去手段は、ブラシであることが好ましい。
本発明に係るラミネート装置の第1及び第2の付着物除去手段は、ブラシであることが好ましい。
また、本発明に係るラミネート装置の第1及び第2の除電手段は、イオン生成機であることが好ましい。
本発明により、太陽電池モジュールのラミネート工程において、搬送ベルト及び剥離シート上の付着物を除去するブラシにより除去された付着物が静電気により再付着するのを防止するラミネート装置を供給することが可能となる。
以下、本発明の実施形態を、図面を用いて説明する。
(実施例1)
図1は、本発明の実施例1に係る太陽電池モジュールPのラミネート加工前の構造を示す断面図である。ラミネート加工前の太陽電池モジュールPは、ガラスなどの透明絶縁基板1、透明電極層2、光電変換層3、裏面電極層4からなる薄膜太陽電池セルCを複数並べた薄膜太陽電池ユニットQの上に、シート状の充填材6と裏面シート7を順に重ねたものである。なお、薄膜太陽電池ユニットQの両端には電流取り出し用電極5が形成されている。
図1は、本発明の実施例1に係る太陽電池モジュールPのラミネート加工前の構造を示す断面図である。ラミネート加工前の太陽電池モジュールPは、ガラスなどの透明絶縁基板1、透明電極層2、光電変換層3、裏面電極層4からなる薄膜太陽電池セルCを複数並べた薄膜太陽電池ユニットQの上に、シート状の充填材6と裏面シート7を順に重ねたものである。なお、薄膜太陽電池ユニットQの両端には電流取り出し用電極5が形成されている。
なお、充填材6は、たとえば、EVA(エチレン‐酢酸ビニル共重合体)など熱硬化性樹脂をシート状にしたものが用いられる。なお、実施例1においては、太陽電池モジュールPの大きさが縦1.2m、横0.6mのものを用いたが、前記大きさに限るものではない。また、実施例1においては、太陽電池モジュールPは透明絶縁基板1上に形成された複数の薄膜太陽電池セルCからなる薄膜太陽電池ユニットQを用いているが、結晶シリコン太陽電池セル等、他の種類の太陽電池セルを用いた太陽電池モジュールであってもよい。
図2及び図3は、本発明の実施例1に係るラミネート装置の断面図であり、図2はラミネート加工時以外の状態を示し、図3はラミネート加工時の状態を示している。
本発明の実施例1に係るラミネート装置10は、太陽電池モジュールPをラミネート加工するラミネート部20と、太陽電池モジュールPのラミネート部2への搬入及び搬出を行う搬送部30と、ラミネート加工前の太陽電池モジュールPを搬送部30に送り込む搬入コンベア50と、ラミネート加工後の太陽電池モジュールPを搬送部30から受け取る搬出コンベア60とで構成されている。
ラミネート部20は、上容器21と、下容器22と、上容器21内に設置されたダイアフラム23と、下容器22内に設置された発熱板24と、上容器21とダイアフラム23とに囲まれた空間である上チャンバ25内の空気を出し入れするための上チャンバ用吸排気口26と、下容器24とダイアフラム23とに囲まれた空間である下チャンバ27内の空気を出し入れするための下チャンバ用吸排気口28と、ラミネート加工時に上容器21と下容器22とを重ね合わせて密閉状態を保つためのパッキン29とで構成される。なお、実施例1においては、ラミネート部20の大きさは、搬送部30の搬送方向と平行な方向が約8mで、搬送方向と垂直な方向が約2mである。また、ラミネート部20は、前記の太陽電池モジュールPの大きさであれば、3枚同時に加工することが可能である。
搬送部30は、搬送ベルト31と、搬送ベルト側ブラシ32と、搬送ベルト側ブラシカバー33と、搬送ベルト側イオン生成機34とで構成される。
ラミネート装置10は、以下に示す一連の動作により太陽電池モジュールPをラミネート加工する。
まず、搬入コンベア50から送られてきたラミネート加工前の太陽電池モジュールPを搬送部30の搬送ベルト31で受け取り、続いてラミネート部20の発熱板24上に搬送する。
次に、太陽電池モジュールPの上に、たとえば、フッ素樹脂を含浸させたガラスクロスシートなどからなる剥離シート40を被せる。これは、ラミネート加工時に太陽電池モジュールPからはみ出た充填材6がダイアフラム23に付着するのを防ぐためである。
次に、ラミネート部20の上容器21を下ろして下容器22と重ね合わせ、上チャンバ25及び下チャンバ27を密閉状態とする。
次に、上チャンバ用吸排気口26及び下チャンバ用吸排気口28から空気を抜き取り、上チャンバ25及び下チャンバ27内を減圧する。
次に、発熱板24を発熱させ、太陽電池モジュールPを加熱する。これにより、太陽電池モジュールPのシート状の充填材6が溶融する。このとき、溶融した充填材6中の気泡は下チャンバ内の減圧により外部に放出される。
次に、上チャンバ用吸排気口26から空気を入れ、ダイアフラム23を膨張させる。これにより、太陽電池モジュールPはダイアフラム23と発熱板24とにより加圧される。この時の加圧により、溶融した充填剤6の一部が太陽電池モジュールPの端面からはみ出して搬送ベルトに付着する。
次に、太陽電池モジュールP内の充填材6の加圧処理が完了すると、下チャンバ用吸排気口28から空気を取り込んで下チャンバ27内を常圧に戻した後、上容器21を上げて下チャンバ27を開いた状態とする。
最後に、搬送ベルト31を動かして太陽電池モジュールPを搬出コンベア60に送り出すことにより、ラミネート加工が完了する。この時、加圧時に太陽電池モジュールPからはみ出して搬送ベルト31に付着した充填材が搬送ベルト31に付着した状態で太陽電池モジュールPから剥離し、付着物Xとなる。
次に、搬送部30の各部について説明する。
搬送ベルト31は、たとえば、フッ素樹脂を含浸させたガラスクロスシートからなる帯状のシートの両端同士が繋がれた構造となっており、環状動作が可能となっている。
搬送ベルト側ブラシ32は、搬送ベルト31の太陽電池モジュールPを搬送する面上の付着物を除去する第1の付着物除去手段であり、搬送ベルト31の太陽電池モジュールPを搬送する面と接触するよう設置されている。また、搬送ベルト側ブラシ32の材料は、たとえば、ナイロンなどが用いられる。そして、搬送ベルト側ブラシ32は、搬送ベルト31が太陽電池モジュールPの搬送の為に移動するのに合わせて回転する。これにより、ラミネート部20でのラミネート加工時に太陽電池モジュールPから充填材6の一部がはみ出して搬送ベルト31上に付着した付着物Xを搬送ベルト側ブラシ32により除去することが可能となる。
搬送ベルト側ブラシカバー33は、搬送ベルト側ブラシ32を覆うように取り付けられている。これにより、搬送ベルト側ブラシ32により除去された付着物Xが飛散するのを防止するとともに、搬送ベルト側ブラシ32が周囲の物を巻き込むのを防止している。
搬送ベルト側イオン生成機34は、針状の放電電極に外部から圧縮空気を供給した状態のもとで、放電電極と対向電極との間に交流高電圧を印加し、放電電極の尖端部にコロナ放電を発生させることによってイオンを含む空気を生成する手段と、静電気に帯電した物にイオンを含む空気を噴射する手段とにより帯電を除去する第1の除電手段である。本発明のラミネート装置10における搬送ベルト側イオン生成機34は、吹き出し口35から噴射したイオンを含む空気が搬送ベルト31と搬送ベルト側ブラシカバー33との隙間を通って搬送ベルト31と搬送ベルト側ブラシ32との接触部に当たるよう設置されている。また、吹き出し口35は、搬送ベルト側ブラシ32と平行な方向に複数個並べて設けられている。なお、実施例1においては、搬送ベルト31と搬送ベルト側ブラシ32との接触部からの距離は5cm、吹き出し口35の数は15個、吹き出し口35の間隔は15cmとした。上記構成により、搬送ベルト側イオン発生器34は、搬送ベルト31と搬送ベルト側ブラシ32との接触により発生した静電気を除去することを可能としている。これにより、搬送ベルト側ブラシ32により除去された付着物Xが静電気により搬送ベルト31に再付着するのを防ぐことが出来る。
(実施例2)
図4は、本発明の実施例2に係るラミネート装置のラミネート加工時以外の状態を示す断面図である。なお、図4において、図2と同一部材、同一部位は同一符号を用いている。
図4は、本発明の実施例2に係るラミネート装置のラミネート加工時以外の状態を示す断面図である。なお、図4において、図2と同一部材、同一部位は同一符号を用いている。
実施例2に係るラミネート装置100は、実施例1のラミネート装置10にシート被覆部140を新たに設けることにより、実施例1のラミネート装置では手作業で行う必要があった剥離シートを被せる作業を不要としたものである。
シート被覆部140は、剥離シート141と、剥離シート巻き取り用ローラ142a及び142bと、剥離シート側ブラシ143a及び143bと、剥離シート側ブラシカバー144a及び144bと、剥離シート側イオン生成機145a及び145bから構成されている。
剥離シート141は、たとえば、フッ素樹脂を含浸させたガラスクロスシートなどの剥離性の優れた材料が用いられた帯状のシートであり、ダイアフラム23と搬送ベルト31との間に設置されている。これにより、太陽電池モジュールPはラミネート加工時に剥離シート141と搬送ベルト31とに挟まれた状態で加工され、太陽電池モジュールPからはみ出した充填材がダイアフラム23に付着するのを防ぐことが出来る。
剥離シート巻き取り用ローラ142a及び142bは、帯状の剥離シート141を巻き取るためのローラである。そして、剥離シート巻き取り用ローラ143aはラミネート部20を間に挟んだ両側に設置されている。剥離シート141に帯状の物を用い、その両端を剥離シート巻き取り用ローラ142a及び142bにつないでラミネート加工終了毎にラミネート部20の搬送方向の大きさ以上の長さで剥離シート141を巻き取ることにより、ラミネート加工時に太陽電池モジュールPから充填材6の一部がはみ出して剥離シート141に付着した付着物が、次にラミネート加工を行う太陽電池モジュールに付着するのを防ぐことが出来る。
剥離シート側ブラシ143a及び143bは、第1の付着物除去手段である搬送用ベルト用ブラシ32とは別の第2の付着物除去手段であり、ラミネート加工時に剥離シート141に付着した付着物を除去するためのブラシである。そして、剥離シート側ブラシ143aは剥離シート巻き取り用ローラ142aのある側に、剥離シート側ブラシ143bは剥離シート巻き取り用ローラ142bのある側に設置されている。剥離シート側ブラシ143a及び143bの材料は、たとえば、ナイロンなどが用いられる。そして、剥離シート側ブラシ143a及び143bは、上述したラミネート加工終了毎の剥離シート141の巻き取りと連動して回転する。これにより、ラミネート加工時に剥離シート141に付着した付着物が除去される。そして、剥離シート側ブラシ143a及び143bは、ラミネート部20を間に挟んだ両側に設置されているため、剥離シート141の両方向の巻き取りに対応している。これにより、剥離シート141の巻き取りを往復させて繰り返し使用することが可能となる。
剥離シート側ブラシカバー144a及び144bは、剥離シート側ブラシ143a及び143bをそれぞれ覆うように取り付けられている。これにより、剥離シート側ブラシ143a及び143bが除去した付着物が周囲に飛散するのを防止するとともに、剥離シート側ブラシ143a及び143bが周囲の物を巻き込むのを防止している。
剥離シート側イオン生成機145a及び145bは、第1の除電手段である搬送用ベルト用イオン生成機34とは別の第2の除電手段であり、上述した搬送ベルト側イオン生成機34と同様の構造を有するイオン生成機である。そして、剥離シート側イオン生成機145aは、吹き出し口146aから噴射したイオンを含む空気を、剥離シート141と剥離シート側ブラシカバー144aとの隙間を通して、剥離シート141と剥離シート側ブラシ143aとの接触部に噴射している。同様に、剥離シート側イオン生成機145bは、吹き出し口146bから噴射したイオンを含む空気を、剥離シート141と剥離シート側ブラシカバー144bとの隙間を通して、剥離シート141と剥離シート側ブラシ143bとの接触部に噴射している。これにより、剥離シート141と剥離シート側ブラシ146a及び146bとの接触部に発生した静電気が除去され、剥離シート側ブラシ143a及び143bにより除去された付着物が静電気によって剥離シート141に再付着するのを防ぐことが出来る。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で上記実施形態に多くの修正及び変更を加え得ることはもちろんである。
搬送ベルト側ブラシ及び搬送ベルト側イオン生成機の設置場所は図2及び図4に示した場所に限るものではなく、搬送ベルトが太陽電池モジュールPと接触する場所以外であればどこでも良く、複数個を設置してもよい。
また、本発明のラミネート装置200においては、シート被膜部140の剥離シート141が帯状のシートの両端同士が繋がれた構造となっており、環状動作が可能な構造であっても良い。
P:太陽電池モジュール、C:薄膜太陽電池セル、Q:薄膜太陽電池ユニット、1:透明絶縁基板、2:透明電極層、3:光電変換層、4:裏面電極層、5:電流取り出し用電極、6:充填材、7:裏面シート、10,100:ラミネート装置、20:ラミネート部、21:上容器、22:下容器、23:ダイアフラム、24,124:発熱板、25:上チャンバ、26:上チャンバ用吸排気口、27:下チャンバ、28:下チャンバ用吸排気口、29:パッキン、30:搬送部、31:搬送ベルト、32:搬送ベルト側ブラシ、33:搬送ベルト側ブラシカバー、34:搬送ベルト側イオン生成機、35,146a,146b:吹き出し口、40,141:剥離シート、50:搬入コンベア、60:搬出コンベア、140:シート被覆部、142a,142b:剥離シート巻き取り用ローラ、143a,143b:剥離シート側ブラシ、144a,144b:剥離シート側ブラシカバー、145a,145b:剥離シート側イオン生成機、X:付着物
Claims (4)
- 上容器と、前記上容器の下方に配置された下容器と、前記上容器内に設置されたダイアフラムと、前記下容器内に設置された発熱板とからなるラミネート部と、前記ダイアフラムと前記発熱板との間に配置され、被加工物を搬送する搬送ベルトとを具備するラミネート装置であって、
前記搬送ベルトに付着した付着物を前記ラミネート部の外部で除去する第1の付着物除去手段と、前記第1の付着物除去手段と前記搬送ベルトとの接触による帯電を除去する第1の除電手段とを有するラミネート装置。 - 前記ラミネート装置は、前記ダイアフラムと前記搬送ベルトとの間に設置された剥離シートと、前記剥離シートに付着した付着物を前記ラミネート部の外部で除去する第2の付着物除去手段と、前記第2の付着物除去手段と前記剥離シートとの接触による帯電を除去する第2の除電手段とを有する請求項1に記載のラミネート装置。
- 前記第1及び第2の付着物除去手段は、ブラシである請求項1または2に記載のラミネート装置。
- 前記第1及び第2の除電手段は、イオン生成機である請求項1〜3のいずれか1つに記載のラミネート装置。
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Cited By (2)
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CN106370698A (zh) * | 2016-08-25 | 2017-02-01 | 安庆市芊芊纸业有限公司 | 一种检查淋膜纸防漏的装置 |
KR20190018294A (ko) * | 2017-08-14 | 2019-02-22 | 삼성전자주식회사 | 라미네이팅 장치 및 그를 이용하는 반도체 패키지 제조 방법 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106370698A (zh) * | 2016-08-25 | 2017-02-01 | 安庆市芊芊纸业有限公司 | 一种检查淋膜纸防漏的装置 |
KR20190018294A (ko) * | 2017-08-14 | 2019-02-22 | 삼성전자주식회사 | 라미네이팅 장치 및 그를 이용하는 반도체 패키지 제조 방법 |
KR102448726B1 (ko) | 2017-08-14 | 2022-09-28 | 삼성전자주식회사 | 라미네이팅 장치 및 그를 이용하는 반도체 패키지 제조 방법 |
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