JP2014043790A

JP2014043790A - Ｅｇｒ装置およびｅｇｒ弁の特性検査装置

Info

Publication number: JP2014043790A
Application number: JP2012185551A
Authority: JP
Inventors: Hidetsugu Takemoto; 英嗣竹本; Yusuke Majima; 佑輔真島; Ichiji Sasaki; 一司佐々木
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2012-08-24
Filing date: 2012-08-24
Publication date: 2014-03-13
Anticipated expiration: 2032-08-24
Also published as: DE102013108797B4; JP5761138B2; DE102013108797A1

Abstract

【課題】ＥＧＲ弁の開口面積と開度の関係は個体間ばらつきが存在するが、そのばらつきに拘わらず、ＥＧＲ流量を精度よく制御可能にする。
【解決手段】ＥＧＲ弁４２の前後差圧、ＥＧＲガス温度、およびＥＧＲ流量に基づいて、開度指令値に対するＥＧＲ弁４２の実開口面積を算出する。また、開口面積−開度特性データを用い、実開口面積に基づいてＥＧＲ弁４２の実開度を求め、開度指令値と実開度との偏差に基づき、開口面積−開度特性データを補正する。これにより、補正後の開口面積−開度特性データは、ＥＧＲ弁４２の各個体に対応したものとなる。したがって、補正後の開口面積−開度特性データを用いてＥＧＲ弁４２の開度指令値を求めることにより、ＥＧＲ弁４２の個体間ばらつきに拘わらず、ＥＧＲ流量を精度よく制御することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、内燃機関の排気系から吸気系に循環される排気ガスの流量を制御するＥＧＲ装置、およびそれに用いられるＥＧＲ弁の特性検査装置に関するものである。

従来、排気系から吸気系に排気ガスを循環させるＥＧＲ（ＥｘｈａｕｓｔＧａｓＲｅｃｉｒｃｕｌａｔｉｏｎ）装置を備える内燃機関は公知である（例えば、特許文献１参照）。

この特許文献１に記載のＥＧＲ装置は、予め記憶されたエンジン回転数およびエンジン負荷と基準ＥＧＲ率との関係に基づいて基準ＥＧＲ率を算出し、吸気ガス流量と循環される排気ガスの流量（ＥＧＲ流量）に基づいて指標ＥＧＲ率を算出し、基準ＥＧＲ率および指標ＥＧＲ率に基づいて補正ＥＧＲ値を算出し、補正ＥＧＲ値に基づいてＥＧＲ弁の開度を補正した値である補正ＥＧＲ開度を算出する。そして、補正ＥＧＲ開度を示す信号をＥＧＲ開度としてＥＧＲ弁に送信して、ＥＧＲ弁をフィードバック制御することにより、ＥＧＲ流量を適正に制御するようにしている。

特開２０１０−８４５１９号公報

ここで、循環される排気ガスの流量を算出する際には、ＥＧＲ弁の開口面積の情報が必要であるが（特許文献１の明細書における式１−５参照）、内燃機関を運転した状態でＥＧＲ弁の実開口面積を求めることは困難である。そこで、ＥＧＲ弁の開口面積と開度の関係を示すデータを用いて、ＥＧＲ弁の開度から開口面積を求めている。

しかしながら、ＥＧＲ弁の開口面積と開度の関係は個体間ばらつきが存在するため、ＥＧＲ流量を精度よく算出することは困難であり、ひいては、ＥＧＲ流量を精度よく制御することが困難であった。

本発明は上記点に鑑みて、ＥＧＲ弁の個体間ばらつきに拘わらず、ＥＧＲ流量を精度よく制御可能にすることを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、排気系から吸気系に排気ガスを循環させるＥＧＲ通路（４１）を備える内燃機関（１）に搭載され、ＥＧＲ通路を介して循環される排気ガスの流量を制御するＥＧＲ装置において、ＥＧＲ通路を開閉するＥＧＲ弁（４２）と、ＥＧＲ通路におけるＥＧＲ弁の前後の圧力差であるＥＧＲ弁前後差圧を検出する差圧センサ（４３）と、循環される排気ガスの温度であるＥＧＲガス温度を検出する温度センサ（４４）と、内燃機関の回転数および内燃機関のトルクに基づいて、循環される排気ガスの流量の目標値である目標ＥＧＲガス流量を算出する目標ＥＧＲガス流量算出手段（Ｓ１０１）と、ＥＧＲ弁前後差圧、ＥＧＲガス温度、および目標ＥＧＲガス流量に基づいて、ＥＧＲ弁の開口面積の目標値である目標開口面積を算出する目標開口面積算出手段（Ｓ１０２）と、予め記憶されたＥＧＲ弁の開口面積とＥＧＲ弁の開度との関係を表す開口面積−開度特性データを用い、目標開口面積に基づいてＥＧＲ弁に出力する開度指令値を求める開度指令値算出手段（Ｓ１０３）と、循環される排気ガスの流量であるＥＧＲ流量を特定するＥＧＲ流量特定手段（Ｓ１０５）と、ＥＧＲ弁前後差圧、ＥＧＲガス温度、およびＥＧＲ流量に基づいて、ＥＧＲ弁の実開口面積を算出する実開口面積算出手段（Ｓ１０６）と、開口面積−開度特性データを用い、実開口面積に基づいてＥＧＲ弁の実開度を求める実開度算出手段（Ｓ１０７）と、開度指令値と実開度との偏差を算出する偏差算出手段（Ｓ１０８）と、偏差に基づいて開口面積−開度特性データを補正するデータ補正手段（Ｓ１０９）とを備えることを特徴とする。

これによると、ＥＧＲ弁前後差圧、ＥＧＲガス温度、およびＥＧＲ流量に基づいて、ＥＧＲ弁の実開口面積を算出することにより、内燃機関を運転した状態でＥＧＲ弁の実開口面積を求めることができる。

そして、開口面積−開度特性データを用い、実開口面積に基づいてＥＧＲ弁の実開度を求め、開度指令値と実開度との偏差に基づき、開口面積−開度特性データを補正するようにしているため、補正後の開口面積−開度特性データは、ＥＧＲ弁の各個体に対応したものとなる。

したがって、補正後の開口面積−開度特性データを用いてＥＧＲ弁の開度指令値を求めることにより、ＥＧＲ弁の個体間ばらつきに拘わらず、ＥＧＲ流量を精度よく制御することができる。

また、ＥＧＲ弁へのデポジットの付着等により、ＥＧＲ弁の開口面積と開度との関係が変化しても、その都度開口面積−開度特性データが補正されるため、継続してＥＧＲ流量を精度よく制御することができる。

請求項６に記載の発明では、内燃機関の排気系から吸気系に排気ガスを循環させるＥＧＲ通路（４１）を開閉するとともに、データを記憶する第１記憶手段（４２２）を有するＥＧＲ弁（４２）の、特性検査に用いられる装置であって、空気流れを発生させる送風機（６０）と、送風機の送風空気が流通するとともに、ＥＧＲ弁により開閉される空気通路（６１）と、空気通路におけるＥＧＲ弁の前後の圧力差であるＥＧＲ弁前後差圧を検出する差圧センサ（６２）と、送風空気の温度である送風空気温度を検出する温度センサ（６３）と、送風空気の流量である送風量を検出する送風量センサ（６４）と、ＥＧＲ弁の開度と開口面積標準値との関係を表す標準特性データを記憶した第２記憶手段（６５０）と、ＥＧＲ弁の開度を検査用設定開度に設定する開度設定手段（Ｓ２０１）と、標準特性データを用い、検査用設定開度における開口面積標準値を求める開口面積標準値算出手段（Ｓ２０２）と、ＥＧＲ弁前後差圧、送風空気温度、および送風量に基づいて、ＥＧＲ弁の実開口面積を算出する実開口面積算出手段（Ｓ２０５）と、開口面積標準値と実開口面積との偏差を算出する偏差算出手段（Ｓ２０６）と、偏差を第１憶手段に記憶させる偏差記憶制御手段（Ｓ２０７）とを備えることを特徴とする。

これによると、開口面積標準値と実開口面積との偏差をＥＧＲ弁の各個体毎に記憶させるようにしているため、このＥＧＲ弁を用いたＥＧＲ装置によれば、ＥＧＲ弁の個体間ばらつきに拘わらず、ＥＧＲ流量を精度よく制御することができる。

なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

本発明の第１実施形態に係るＥＧＲ装置を備える内燃機関の構成を示す図である。第１実施形態のＥＣＵ５０で実行されるＥＧＲ制御の処理を示す流れ図である。第１実施形態のＥＧＲ弁４２における開口面積と開度との関係を表す図である。第１実施形態のＥＧＲ弁４２における開口面積と開度との関係を表すデータの補正例を示す図である。本発明の第２実施形態に係る特性検査装置の構成を示す図である。第２実施形態の検査用ＥＣＵ６５で実行される特性検査の処理を示す流れ図である。第２実施形態のＥＧＲ弁４２における開度と開口面積標準値との関係を表す図である。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。

図１に示す内燃機関（より詳細には、圧縮着火式内燃機関）１の本体部１０には、インジェクタ１１が装着されている。このインジェクタ１１は、高圧燃料を蓄えるコモンレール（図示せず）に接続されており、コモンレールから供給される高圧燃料を燃焼室１２内に噴射するようになっている。また、本体部１０には、内燃機関１の回転数を検出する回転数センサ１３が配置されている。

内燃機関１の吸気管２０には、燃焼室１２に流入する新規空気の量に応じた電気信号を出力する空気量センサ２１、空気量センサ２１の下流側に配置され、吸気管２０内の通路を開閉するスロットル弁２２、スロットル弁２２の下流側に配置され、吸気管内圧力に応じた電気信号を出力する吸気圧センサ２３、および、スロットル弁２２の下流側に配置され、燃焼室１２に流入するガスの温度に応じた電気信号を出力する吸気温センサ２４が設けられている。なお、空気量センサ２１は、例えば熱線式のセンサを用いることができる。

内燃機関１の排気管３０には、触媒３１が設けられている。触媒３１は、排気ガス中のＨＣやＣＯの酸化反応を促進することにより排気ガスの浄化を行う酸化触媒であり、排気ガス中に含まれるカーボン等の微粒子を捕集する機能も備えている。

内燃機関１は、排気系から吸気系に循環される排気ガスであるＥＧＲガスの流量を制御するＥＧＲ装置４０を備えている。ＥＧＲ装置４０は、排気ガスを循環させるＥＧＲ通路４１を備え、このＥＧＲ通路４１は、排気管３０のうち触媒３１よりも排気ガス流れ上流側から分岐して、吸気管２０のうちスロットル弁２２よりも吸気流れ下流側に接続されている。

ＥＧＲ通路４１には、このＥＧＲ通路４１を開閉することにより、ＥＧＲガスの流量であるＥＧＲ流量を制御するＥＧＲ弁４２が設けられている。このＥＧＲ弁４２は、回転してＥＧＲ通路４１を開閉する例えばバタフライ形のＥＧＲ弁体４２０と、ＥＧＲ弁体４２０を回転駆動する電動機よりなるＥＧＲ弁駆動部４２１とを備えている。

また、ＥＧＲ通路４１には、ＥＧＲ通路４１におけるＥＧＲ弁４２の前後の圧力差であるＥＧＲ弁前後差圧に応じた電気信号を出力する差圧センサ４３、ＥＧＲガスの温度であるＥＧＲガス温度に応じた電気信号を出力する温度センサ４４、および、ＥＧＲ流量に応じた電気信号を出力するＥＧＲ流量センサ４５が設けられている。なお、ＥＧＲ流量センサ４５は、例えば熱線式のセンサを用いることができる。

上述した各種センサの出力は、ＥＣＵ５０に入力される。ＥＣＵ５０は、図示しないＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＥＥＰＲＯＭ等からなる周知のマイクロコンピュータを備え、各センサからの信号に基づいて所定の演算を行い、内燃機関１の各種機器の作動を制御する。具体的には、ＥＣＵ５０は、ＥＧＲ弁４２の作動を制御して後述するＥＧＲ制御を行うとともに、周知のようにインジェクタ１１の作動を制御して燃料の噴射量及び噴射時期の制御を行う。

次に、上記ＥＧＲ装置４０の作動を、図２に基づいて説明する。

ＥＣＵ５０は、内燃機関１の運転開始に伴って図２の処理を開始し、内燃機関１の運転終了に伴って処理を終了する。

図２において、目標ＥＧＲガス流量算出手段としてのＳ１０１では、回転数センサ１３にて検出した内燃機関１の回転数、および燃料噴射量から算出した内燃機関１のトルクに基づいて、ＥＧＲガスの流量の目標値である目標ＥＧＲガス流量Ｇｅを算出する。

続いて、目標開口面積算出手段としてのＳ１０２では、Ｓ１０１にて算出したＥＧＲガス流量Ｇｅ、差圧センサ４３にて検出したＥＧＲ弁前後差圧ｄｐ、温度センサ４４にて検出したＥＧＲガス温度Ｔ、および、ＥＧＲガスの状態に基づくガス定数Ｃを用いて、式１にてＥＧＲ弁４２の開口面積の目標値である目標開口面積Ａを算出する。

Ａ＝（Ｔ＋２７３．１５）^1/2×Ｇｅ／〔Ｃ×（ｄｐ）^1/2〕…式１
続いて、開度指令値算出手段としてのＳ１０３では、ＥＣＵ５０に予め記憶されたＥＧＲ弁４２の開口面積Ａと開度との関係を表す開口面積−開度特性データを用い（図３参照）、Ｓ１０２にて算出した目標開口面積Ａに基づいてＥＧＲ弁４２に対する開度指令値ＥＧＲｔｒｇを求めた後に、ＥＧＲ弁４２に対して開度指令値ＥＧＲｔｒｇを出力してＥＧＲ弁４２を目標開度に設定する。なお、図３に示す開口面積−開度特性データは、ＥＣＵ５０のＥＥＰＲＯＭにマップまたは関数データとして記憶されている。

続いて、Ｓ１０４では、内燃機関１が定常状態か否かを判定する。具体的には、例えばアイドリング時のように内燃機関１の回転数や負荷の変動量が小さければ定常状態と判定し（Ｓ１０４がＹＥＳ）、Ｓ１０４がＹＥＳの場合にはＳ１０５に進む。一方、Ｓ１０４がＮＯの場合には処理を終了する。

ＥＧＲ流量特定手段としてのＳ１０５では、実ＥＧＲ流量を算出する。具体的には、内燃機関１の回転数、吸気圧センサ２３にて検出した吸気管内圧力、および吸気温センサ２４にて検出した燃焼室１２に流入するガスの温度とに基づいて、燃焼室１２に流入するガスの量を算出する。また、空気量センサ２１の出力に基づいて、燃焼室１２に流入する新規空気の量を求める。そして、燃焼室１２に流入するガスの量から燃焼室１２に流入する新規空気の量を減算して、実ＥＧＲ流量を算出する。

続いて、実開口面積算出手段としてのＳ１０６では、ＥＧＲ弁前後差圧ｄｐ、ＥＧＲガス温度Ｔ、ガス定数Ｃ、およびＳ１０５にて算出したＥＧＲガス流量Ｇｅを用いて、式１にてＥＧＲ弁４２の実開口面積Ａを算出する。このようにしてＥＧＲ弁４２の実開口面積Ａを算出することにより、内燃機関１を運転した状態でＥＧＲ弁４２の実開口面積Ａを求めることができる。

続いて、実開度算出手段としてのＳ１０７では、ＥＣＵ５０に予め記憶された開口面積−開度特性データを用い、Ｓ１０６にて算出した実開口面積Ａに基づいてＥＧＲ弁４２の実開度計算値ＥＧＲｃａｌを求める。

続いて、偏差算出手段としてのＳ１０８では、Ｓ１０３で求めた開度指令値ＥＧＲｔｒｇとＳ１０７で求めた実開度計算値ＥＧＲｃａｌとの偏差であるＥＧＲ弁特性偏差Ｋｄｉｆｆを、式２にて算出する。

Ｋｄｉｆｆ＝ＥＧＲｔｒｇ／ＥＧＲｃａｌ…式２
続いて、データ補正手段としてのＳ１０９では、Ｓ１０８にて算出したＥＧＲ弁特性偏差Ｋｄｉｆｆに基づいて、開口面積−開度特性データを補正し、補正後の開口面積−開度特性データを記憶する。

具体的には、図４に示すように、Ｋｄｉｆｆ＞１の場合は、破線のように開口面積に対する開度が実線で示す旧データよりも小さくなるように補正し、Ｋｄｉｆｆ＜１の場合は、一点鎖線のように開口面積に対する開度が旧データよりも大きくなるように補正する。

このようにして開口面積−開度特性データを補正することにより、補正後の開口面積−開度特性データは、ＥＧＲ弁４２の各個体に対応したものとなる。

したがって、補正後の開口面積−開度特性データを用いてＥＧＲ弁４２の開度指令値を求めることにより、ＥＧＲ弁４２の個体間ばらつきに拘わらず、ＥＧＲ流量を精度よく制御することができる。

また、ＥＧＲ弁４２へのデポジットの付着等により、ＥＧＲ弁４２の開口面積と開度との関係が変化しても、その都度開口面積−開度特性データが補正されるため、継続してＥＧＲ流量を精度よく制御することができる。

なお、上記実施形態では、Ｓ１０５において、燃焼室１２に流入するガスの量から燃焼室１２に流入する新規空気の量を減算して実ＥＧＲ流量を算出したが、ＥＧＲ流量センサ４５の出力に基づいて実ＥＧＲ流量を求めてもよい。

また、上記実施形態では、偏差を開口面積−開度特性の特性ゲインとして扱ったが、偏差を開度毎の差分として記憶、補正しても良い。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、ＥＧＲ弁が内燃機関に搭載される前に、特性検査装置によりＥＧＲ弁の各個体毎の特性を検査するようにしたものである。

図５に示すように、本実施形態のＥＧＲ弁４２は、後述する偏差のデータを記憶する第１記憶手段としてのメモリー４２２を備えている。

特性検査装置は、電動機にて駆動されて空気流れを発生させる送風機６０、および、この送風機６０の送風空気が流通するとともにＥＧＲ弁４２により開閉される空気通路６１を備えている。

空気通路６１には、空気通路６１におけるＥＧＲ弁４２の前後の圧力差であるＥＧＲ弁前後差圧に応じた電気信号を出力する差圧センサ６２、送風空気の温度である送風空気温度に応じた電気信号を出力する温度センサ６３、および、送風空気の流量である送風量に応じた電気信号を出力する送風量センサ６４が設けられている。なお、送風量センサ６４は、例えば熱線式のセンサを用いることができる。

上述した各種センサの出力は、検査用ＥＣＵ６５に入力される。検査用ＥＣＵ６５は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＥＥＰＲＯＭ等からなる第２記憶手段としてのマイクロコンピュータ６５０を備え、送風機６０およびＥＧＲ弁４２の作動を制御するとともに、各センサからの信号に基づいて所定の演算を行い、ＥＧＲ弁４２の各個体毎の特性を検査する。

マイクロコンピュータ６５０には、図７に示すような、ＥＧＲ弁４２の開度と開口面積の標準値（すなわち、設計値）である開口面積標準値との関係を表す標準特性データが記憶されている。

次に、上記特性検査装置の作動を、図６に基づいて説明する。

図６において、開度設定手段としてのＳ２０１では、複数の検査用設定開度のなかから１つを選択し、その選択した検査用設定開度に対応した開度指令値をＥＧＲ弁４２に出力して、ＥＧＲ弁４２の開度をその選択した検査用設定開度に設定する。検査用設定開度は、予め複数（例えば１０段階）決められており、マイクロコンピュータ６５０に記憶されている。そして、例えば、最初の処理の時には、複数の検査用設定開度のうち最も小開度の検査用設定開度を選択し、処理が繰り返される度に、より大開度側の検査用設定開度を順次選択する。

続いて、開口面積標準値算出手段としてのＳ２０２では、検査用ＥＣＵ６５に記憶された標準特性データを用い（図７参照）、Ｓ２０１にて選択した検査用設定開度における開口面積標準値Ａｓｔｄを求める。

続いて、Ｓ２０３では、送風量センサ６４で送風量を検出しつつ、送風機６０の能力を調整して、Ｓ２０１にて選択した検査用設定開度に対応した送風量Ｑａｉｒに設定する。なお、送風量は、検査用設定開度毎に予め決められており、マイクロコンピュータ６５０に記憶されている。

続いて、Ｓ２０４では、Ｓ２０１で設定された開度とＳ２０３で設定された送風量でのＥＧＲ弁前後差圧ｄｐを、差圧センサ６２の出力に基づいて求める。また、Ｓ２０４では、送風空気温度Ｔａｉｒを温度センサ６３の出力に基づいて求める。

続いて、実開口面積算出手段としてのＳ２０５では、Ｓ２０３で設定された送風量Ｑａｉｒ、Ｓ２０４で求めたＥＧＲ弁前後差圧ｄｐおよび送風空気温度Ｔａｉｒ、さらには、送風空気の状態に基づくガス定数Ｃａｉｒを用いて、式３にてＥＧＲ弁４２の実開口面積Ａを算出する。

Ａ＝（Ｔａｉｒ＋２７３．１５）^1/2×Ｑａｉｒ／〔Ｃａｉｒ×（ｄｐ）^1/2〕…式３
続いて、偏差算出手段としてのＳ２０６では、Ｓ２０２で算出した開口面積標準値ＡｓｔｄとＳ２０５で算出した実開口面積Ａとの偏差である開口面積特性偏差Ａｄｉｆｆを、式４にて算出する。

Ａｄｉｆｆ＝Ａ／Ａｓｔｄ…式４
続いて、偏差記憶制御手段としてのＳ２０７では、Ｓ２０６で算出した開口面積特性偏差Ａｄｉｆｆをメモリー４２２に記憶させる。

そして、上記Ｓ２０１〜Ｓ２０７を各検査用設定開度毎に繰り返すことにより、ＥＧＲ弁４２の開度範囲全域にわたっての開口面積特性偏差Ａｄｉｆｆを算出し、ＥＧＲ弁４２の各個体特有の開口面積特性偏差Ａｄｉｆｆとしてメモリー４２２に記憶させる。

このようにして開口面積特性偏差Ａｄｉｆｆがメモリー４２２に記憶されたＥＧＲ弁４２は、内燃機関１に搭載されてＥＧＲ装置４０のＥＣＵ５０（図１参照）に接続され、開口面積特性偏差ＡｄｉｆｆのデータがＥＣＵ５０に出力される。

また、ＥＣＵ５０は、開口面積特性偏差Ａｄｉｆｆに基づいて、開口面積−開度特性データを補正し、補正後の開口面積−開度特性データを記憶し、補正後の開口面積−開度特性データを用いてＥＧＲ弁４２の開度指令値を求める。したがって、ＥＧＲ弁４２の個体間ばらつきに拘わらず、ＥＧＲ流量を精度よく制御することができる。

１内燃機関
４１ＥＧＲ通路
４２ＥＧＲ弁
４３差圧センサ
４４温度センサ

Claims

排気系から吸気系に排気ガスを循環させるＥＧＲ通路（４１）を備える内燃機関（１）に搭載され、前記ＥＧＲ通路を介して循環される排気ガスの流量を制御するＥＧＲ装置において、
前記ＥＧＲ通路を開閉するＥＧＲ弁（４２）と、
前記ＥＧＲ通路における前記ＥＧＲ弁の前後の圧力差であるＥＧＲ弁前後差圧を検出する差圧センサ（４３）と、
循環される排気ガスの温度であるＥＧＲガス温度を検出する温度センサ（４４）と、
前記内燃機関の回転数および前記内燃機関のトルクに基づいて、循環される排気ガスの流量の目標値である目標ＥＧＲガス流量を算出する目標ＥＧＲガス流量算出手段（Ｓ１０１）と、
前記ＥＧＲ弁前後差圧、前記ＥＧＲガス温度、および前記目標ＥＧＲガス流量に基づいて、前記ＥＧＲ弁の開口面積の目標値である目標開口面積を算出する目標開口面積算出手段（Ｓ１０２）と、
予め記憶された前記ＥＧＲ弁の開口面積と開度との関係を表す開口面積−開度特性データを用い、前記目標開口面積に基づいて前記ＥＧＲ弁に出力する開度指令値を求める開度指令値算出手段（Ｓ１０３）と、
循環される排気ガスの流量であるＥＧＲ流量を特定するＥＧＲ流量特定手段（Ｓ１０５）と、
前記ＥＧＲ弁前後差圧、前記ＥＧＲガス温度、および前記ＥＧＲ流量に基づいて、前記ＥＧＲ弁の実開口面積を算出する実開口面積算出手段（Ｓ１０６）と、
前記開口面積−開度特性データを用い、前記実開口面積に基づいて前記ＥＧＲ弁の実開度を求める実開度算出手段（Ｓ１０７）と、
前記開度指令値と前記実開度との偏差を算出する偏差算出手段（Ｓ１０８）と、
前記偏差に基づいて前記開口面積−開度特性データを補正するデータ補正手段（Ｓ１０９）とを備えることを特徴とするＥＧＲ装置。
前記ＥＧＲ流量特定手段は、前記内燃機関の燃焼室（１２）に流入するガスの量から前記内燃機関の燃焼室に流入する新規空気の量を減算して前記ＥＧＲ流量を特定することを特徴とする請求項１に記載のＥＧＲ装置。
前記ＥＧＲ流量特定手段は、前記内燃機関の吸気管内圧力と、前記内燃機関の回転数と、前記内燃機関の燃焼室に流入するガスの温度とに基づいて、前記内燃機関の燃焼室に流入するガスの量を算出することを特徴とする請求項２に記載のＥＧＲ装置。
前記ＥＧＲ流量特定手段は、前記内燃機関の燃焼室に流入する新規空気の量を検出する空気量センサ（２１）を備え、前記空気量センサの出力に基づいて前記新規空気の量を特定することを特徴とする請求項２または３に記載のＥＧＲ装置。
前記ＥＧＲ流量特定手段は、前記ＥＧＲ流量を検出するＥＧＲ流量センサ（４４）を備え、前記ＥＧＲ流量センサの出力に基づいて前記ＥＧＲ流量を特定することを特徴とする請求項１に記載のＥＧＲ装置。
内燃機関の排気系から吸気系に排気ガスを循環させるＥＧＲ通路（４１）を開閉するとともに、データを記憶する第１記憶手段（４２２）を有するＥＧＲ弁（４２）の、特性検査に用いられる装置であって、
空気流れを発生させる送風機（６０）と、
前記送風機の送風空気が流通するとともに、前記ＥＧＲ弁により開閉される空気通路（６１）と、
前記空気通路における前記ＥＧＲ弁の前後の圧力差であるＥＧＲ弁前後差圧を検出する差圧センサ（６２）と、
送風空気の温度である送風空気温度を検出する温度センサ（６３）と、
送風空気の流量である送風量を検出する送風量センサ（６４）と、
前記ＥＧＲ弁の開度と開口面積標準値との関係を表す標準特性データを記憶した第２記憶手段（６５０）と、
前記ＥＧＲ弁の開度を検査用設定開度に設定する開度設定手段（Ｓ２０１）と、
前記標準特性データを用い、前記検査用設定開度における前記開口面積標準値を求める開口面積標準値算出手段（Ｓ２０２）と、
前記ＥＧＲ弁前後差圧、前記送風空気温度、および前記送風量に基づいて、前記ＥＧＲ弁の実開口面積を算出する実開口面積算出手段（Ｓ２０５）と、
前記開口面積標準値と前記実開口面積との偏差を算出する偏差算出手段（Ｓ２０６）と、
前記偏差を前記第１憶手段に記憶させる偏差記憶制御手段（Ｓ２０７）とを備えることを特徴とするＥＧＲ弁の特性検査装置。