JP2014043372A - グラフェンの成長方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単結晶シリコン上に、金属膜を形成し、単結晶シリコンと金属膜の一部とを反応させて単結晶シリコン上に金属シリサイド膜をエピタキシャル成長し、金属シリサイド膜上に残存する金属膜を結晶化して金属シリサイド膜の面方位を反映した単結晶金属膜を形成し、単結晶金属膜上にグラフェンをエピタキシャル成長する。
【選択図】図5
Description
第1実施形態によるグラフェンの成長方法について図1及び図2を用いて説明する。
第2実施形態によるグラフェンの成長方法について図3を用いて説明する。図1及び図2に示す第1実施形態によるグラフェンの成長方法と同様の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し或いは簡潔にする。
第3実施形態によるグラフェンの成長方法について図4を用いて説明する。図1乃至図3に示す第1及び第2実施形態によるグラフェンの成長方法と同様の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し或いは簡潔にする。
第4実施形態によるグラフェンの成長方法について図5を用いて説明する。図1乃至図4に示す第1乃至第3実施形態によるグラフェンの成長方法と同様の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し或いは簡潔にする。
CoSi2(面心立方構造):格子定数0.536nm×2周期=1.072nm
したがって、エピタキシャル成長されたCoSi2上には、CoSi2の配向性を反映した単結晶のCoを形成することができる。
[変形実施形態]
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
12…絶縁膜
14…単結晶シリコン膜
16…SOI基板
18…カーボン膜
20,26…金属膜
22…金属シリサイド膜
24…炭素原子
28…グラフェン
Claims (11)
- 単結晶シリコン上に、金属膜を形成する工程と、
前記単結晶シリコンと前記金属膜の一部とを反応させ、前記単結晶シリコン上に金属シリサイド膜をエピタキシャル成長する工程と、
前記金属シリサイド膜上に残存する前記金属膜を結晶化し、前記金属シリサイド膜の面方位を反映した単結晶金属膜を形成する工程と、
前記単結晶金属膜上にグラフェンをエピタキシャル成長する工程と
を有することを特徴とするグラフェンの成長方法。 - 請求項1記載のグラフェンの成長方法において、
前記グラフェンをエピタキシャル成長する工程では、炭素源を導入し、前記炭素源を分解するための触媒として前記単結晶金属膜を用い、前記グラフェンを成長する
ことを特徴とするグラフェンの成長方法。 - 単結晶シリコン上に、金属膜を形成する工程と、
前記単結晶シリコンと前記金属膜とを反応させ、前記単結晶シリコン上に金属シリサイド膜をエピタキシャル成長する工程と、
前記金属シリサイド膜上にグラフェンをエピタキシャル成長する工程と
を有することを特徴とするグラフェンの成長方法。 - 請求項3記載のグラフェンの成長方法において、
前記グラフェンをエピタキシャル成長する工程では、炭素源を導入し、前記炭素源を分解するための触媒として前記金属シリサイド膜を用い、前記グラフェンを成長する
ことを特徴とするグラフェンの成長方法。 - 請求項1又は3記載のグラフェンの成長方法において、
前記金属膜中に炭素原子を導入する工程を更に有し、
前記グラフェンをエピタキシャル成長する工程では、前記単結晶シリコンと前記金属膜との反応に伴い前記金属膜中から析出された炭素原子により、前記グラフェンを成長する
ことを特徴とするグラフェンの成長方法。 - 請求項5記載のグラフェンの成長方法において、
炭素源を含む雰囲気に前記金属膜を暴露することにより、前記金属膜中に炭素原子を導入する
ことを特徴とするグラフェンの成長方法。 - 請求項5記載のグラフェンの成長方法において、
前記金属膜を形成する工程の前に、前記単結晶シリコン上にカーボン膜を堆積する工程を更に有し、
前記カーボン膜からの拡散により、前記金属膜中に炭素原子を導入する
ことを特徴とするグラフェンの成長方法。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載のグラフェンの成長方法において、
前記金属膜は、Co膜、Ni膜又はCu膜である
ことを特徴とするグラフェンの成長方法。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載のグラフェンの成長方法において、
前記単結晶シリコン及び前記金属シリサイド膜は、(111)の面方位を有する
ことを特徴とするグラフェンの成長方法。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載のグラフェンの成長方法において、
前記単結晶シリコン及び前記金属シリサイド膜は、(100)の面方位を有する
ことを特徴とするグラフェンの成長方法。 - 請求項1乃至10のいずれか1項に記載のグラフェンの成長方法において、
前記単結晶シリコンは、絶縁膜上に形成された単結晶シリコン膜である
ことを特徴とするグラフェンの成長方法。
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