JP2014043320A - 製品剥し方法およびその方法に用いられる製品剥し器具 - Google Patents

Abstract

【課題】短時間で容易にかつ確実に、しかも破損させることなく製品を保持シートから剥すことができる方法および器具を提供する。
【解決手段】粘着層を介して製品４を所定位置に保持する保持シート２上から保持された製品を剥すに際し、保持シートに、製品の保持位置の範囲内に突出するとともに保持位置の外側で開いた輪郭を持つ切れ目を形成しておき、支持台１上に保持シートを位置決め支持して、保持シート上に保持された製品の一側縁部と切れ目とを凹部１ｂ上に位置させるとともに、製品の他の部分を支持部１ａで支持し、切れ目の内側かつ製品の一側縁部の外側の位置にて保持シートを二股の挟持具３の一方の先端３ａで押し込むことで、切れ目の内側の保持シート２ｃを折り曲げながら押し下げて製品の一側縁部から剥離させ、次いで挟持具の先端３ａ、３ｂの間に製品の少なくとも一側縁部を挟持し、挟持具を引き上げることで製品を保持シート上から剥す。
【選択図】図３

Description

この発明は、粘着材を介して半導体チップや粘着シール等の薄いチップ状あるいはシート状の製品を所定位置に保持する保持シート上からその保持された製品を剥す方法およびその方法に用いられる製品剥し器具に関するものである。

近年、半導体チップや粘着シール等の薄いチップ状あるいはシート状の製品を、粘着層を介して保持シート上の所定位置に保持し、その保持シートを保管あるいは移送することで、比較的小さくて薄い半導体チップや粘着シール等を破損・紛失させることなく安全に保管あるいは移送し、その保持シート上に保持された半導体チップを剥して基板上に搭載したり、その保持シート上に保持された粘着シールを剥して製品に張付けたりする場合が多くなっており、その際、通常は作業者が、二股の挟持具としての、先端を尖らせたピンセットを持ち、そのピンセットの一方の先端を保持シートとその上の製品の側縁部との間に差し込んでから、製品の側縁部をピンセットの両方の先端で挟持して持ち上げ、製品を保持シート上から剥しているが、その薄いチップ状あるいはシート状の製品と保持シートとの間にピンセットの先端を差し込んで製品を保持シート上から剥すのは容易でなく、時間がかかり、急ぎ過ぎると製品を破損させてしまう場合があるという不都合があった。

このため従来、粘着層を介して半導体チップや粘着シール等の薄いチップ状あるいはシート状の製品を保持する保持シート上から、その保持された製品を容易に剥す方法が提案されており（特許文献１参照）、この方法では、粘着層を有するシール部品が貼り付けられたシート状の剥離紙を、弾性体のマットを介してテーブル上に設置固定すると共に、下端にＬ字形状の爪先を有する分離爪と、前記爪先に対して押し付け可能としたクランプ爪とを具備する製品剥し器具としての粘着シール把持ハンドをロボットアームに取り付けておき、前記分離爪の爪先でシール部品近傍の剥離紙をその下の弾性体とともに押し込んで、シール部品の粘着層を剥離紙から部分的に剥離させ、このとき生じた隙間に前記爪先を潜り込ませ、そしてクランプ爪を降下させることにより、クランプ爪の爪先と分離爪の爪先との間で、シール部品の側縁部を粘着層と共に挟持している。

特許第４６８８３１９号特許公報

しかしながら上記特許文献１記載の従来の方法では、剥離紙の、シール部品を保持する位置に、円形等の閉じた輪郭の切れ目や、シール部品の下側で開いたコ字状等の輪郭の切れ目を形成しておいて、その切れ目の内側の剥離紙をその下の弾性体と一緒に分離爪の爪先で押し込んで、シール部品の粘着層を剥離紙から部分的に剥離させており、このため、分離爪の爪先を押し込み過ぎたり、その押し込み位置が不適当だったりするとその切れ目の内側の剥離紙が分離爪の爪先の内側に入って、クランプ爪の爪先と分離爪の爪先との間で切れ目の内側の剥離紙をシール部品と一緒に挟持してしまい、輪郭が開いた切れ目の場合にシール部品が剥離紙から剥せなかったり、輪郭が閉じた切れ目の場合にその切れ目の内側の剥離紙がシール部品に付いたまま一緒に周囲の剥離紙から取れてしまったりするという問題があった。

この発明は、上記従来の製品剥し方法の課題を有利に解決した製品剥し方法およびその方法に用いられる製品剥し器具を提供することを目的とするものであり、この発明の製品剥し方法は、
粘着材を介して薄いチップ状あるいはシート状の製品を所定位置に保持する保持シート上からその保持された製品を剥すに際し、
前記製品を保持する前の前記保持シートに、前記製品の保持位置の範囲内に突出するとともにその保持位置の外側で開いた輪郭を持つ切れ目を形成しておき、
前記保持シート上の前記製品の配置に対応する井桁状の支持部と、その支持部の間の凹部と、を持つ支持台上に前記保持シートを位置決め支持して、その保持シート上の前記保持位置に保持された前記製品の一側縁部と前記切れ目とを前記凹部上に位置させるとともに、前記製品の他の部分を前記支持部で支持し、
次いで、前記切れ目の内側かつ前記製品の一側縁部の外側の位置にて前記保持シートを二股の挟持具の一方の先端で押し込むことで、その切れ目の内側の前記保持シートを前記輪郭が開いた部分で折り曲げながら押し下げて前記製品の一側縁部から剥離させ、
次いで、その挟持具の一方の先端を前記切れ目の内側で、前記製品の一側縁部の下側に挿入してから、その挟持具の一方の先端に他方の先端を近づけて、それらの先端の間に前記製品の少なくとも一側縁部を挟持し、その挟持具を引き上げることで前記製品を前記保持シート上から剥すことを特徴とするものである。

また、前記製品剥し方法に用いられるこの発明の製品剥し器具は、
前記保持シート上の前記製品の配置に対応する井桁状の支持部と、その支持部の間の凹部と、を持つ支持台と、
前記製品の保持位置の範囲内に突出するとともにその保持位置の外側で開いた輪郭を持つ切れ目を形成された保持シートと、
を具えてなるものである。

上記したこの発明の製品剥し方法にあっては、粘着材を介して薄いチップ状あるいはシート状の製品を所定位置に保持する保持シート上からその保持された製品を剥すに際し、前記製品を保持する前の前記保持シートに、前記製品の保持位置の範囲内に突出するとともにその保持位置の外側で開いた輪郭を持つ切れ目を形成しておき、前記保持シート上の前記製品の配置に対応する井桁状の支持部と、その支持部の間の凹部と、を持つ支持台上に前記保持シートを位置決め支持して、その保持シート上の前記保持位置に保持された前記製品の一側縁部と前記切れ目とを前記凹部上に位置させるとともに、前記製品の他の部分を前記支持部で支持し、次いで、前記切れ目の内側かつ前記製品の一側縁部の外側の位置にて前記保持シートを二股の挟持具の一方の先端で押し込むことで、その切れ目の内側の前記保持シートを前記輪郭が開いた部分で折り曲げながら押し下げて前記製品の一側縁部から剥離させ、次いで、その挟持具の一方の先端を前記切れ目の内側で、前記製品の一側縁部の下側に挿入してから、その挟持具の一方の先端と他方の先端とを近づけて、それらの先端の間に前記製品の少なくとも一側縁部を挟持し、その挟持具を引き上げることで前記製品を前記保持シート上から剥す。

従って、切れ目の内側の保持シートを、製品の保持位置の外側の、切れ目の輪郭が開いた部分で折り曲げながら押し下げて製品の一側縁部から剥離させるので、その挟持具の一方の先端を切れ目の内側で製品の一側縁部の下側に挿入する際に、その挟持具の先端と製品の一側縁部との間に切れ目の内側の保持シートが入り込むことがない。

それゆえこの発明の製品剥し方法によれば、挟持具の一方の先端と他方の先端との間で切れ目の内側の保持シートを製品と一緒に挟持してしまって製品を保持シートから剥せないということがないので、短時間で容易にかつ確実に、しかも破損させることなく製品を保持シートから剥すことができる。ここで、挟持具を操作して保持シートから製品を剥すのは、作業者でもよく、作業ロボットでもよい。

そして、上記製品剥し方法に用いられる本発明の製品剥し器具によれば、前記保持シート上の前記製品の配置に対応する井桁状の支持部と、その支持部の間の凹部と、を持つ支持台と、前記製品の保持位置の範囲内に突出するとともにその保持位置の外側で開いた輪郭を持つ切れ目を形成された保持シートと、を具えていることから、その保持シート上の所定位置に製品を、その製品の裏面あるいは保持シートの表面に設けられた粘着層を介して貼付け保持した後、その保持シートを支持台上に位置決め支持することで、上記本発明の製品剥し方法を実施し得て、本発明の製品剥し方法の上述した作用効果をもたらすことができる。

なお、この発明の製品剥し方法においては、前記保持シートの前記切れ目の輪郭は、コ字状またはＵ字状であると好ましい。挟持具の先端での押し下げを行う、切れ目の内側の保持シートの領域を広くできるとともに、その後に挟持具の先端で挟持を行う、その切れ目の内側の保持シートを剥した製品の裏側の領域を広くできるので、剥し作業が容易になるからである。

また、この発明の製品剥し器具においては、さらに、前記製品を剥すための二股の挟持具を具えており、前記二股の挟持具はピンセットであり、そのピンセットの先端はその開閉方向から見て幅広でかつ角を丸められていると好ましい。製品を先端の角で傷めずにかつ幅広の先端でしっかりと挟持することができるからである。

（ａ），（ｂ）および（ｃ）は、この発明の製品剥し器具の一実施例における支持台の構成を示す平面図、その平面図におけるＡ−Ａ線に沿う断面図および、その平面図におけるＢ−Ｂ線に沿う断面図である。 （ａ）および（ｂ）は、上記実施例の製品剥し器具における支持台と、その支持台に支持された保持シートおよび製品としてのシールとを示す平面図および、その平面図におけるＣ−Ｃ線に沿う断面図である。 （ａ），（ｂ），（ｃ）および（ｄ）は、上記実施例の製品剥し器具を用いた、この発明の製品剥し方法の一実施例における、保持シートから製品を剥す手順を順次に示す、図２（ｂ）におけると同様の位置での断面図である。 図３（ｂ）の要部を拡大して示す断面図である。

以下、この発明の実施の形態を図面に基づく実施例によって詳細に説明する。ここに、図１（ａ），（ｂ）および（ｃ）は、この発明の製品剥し器具の一実施例における支持台の構成を示す平面図、その平面図におけるＡ−Ａ線に沿う断面図および、その平面図におけるＢ−Ｂ線に沿う断面図、また図２（ａ）および（ｂ）は、上記実施例の製品剥し器具における支持台と、その支持台に支持された保持シートおよび製品としての粘着シールとを示す平面図および、その平面図におけるＣ−Ｃ線に沿う断面図、そして図３（ａ），（ｂ），（ｃ）および（ｄ）は、上記実施例の製品剥し器具を用いた、この発明の製品剥し方法の一実施例における、保持シートから製品を剥す手順を順次に示す、図２（ｂ）におけると同様の位置での断面図であり、図中、符号１は支持台、２は保持シート、３は二股の挟持具としてのピンセット、そして４は製品としての、裏面に粘着層を持つ粘着シールである。

これらの図に示すようにこの実施例の製品剥し器具は、支持台１と、保持シート２と、二股の挟持具としてのピンセット３とを具えており、支持台１は、比較的硬質の樹脂製で、概ね横長の長方形の厚板状をなし、その表面に、保持シート２上の粘着シール４の配置（この実施例では縦横に１０枚ずつ整列する）に対応して井桁状に縦横に延在する支持部１ａと、それらの支持部１ａの間に位置する凹部１ｂとを持っている。

なお、凹部１ｂは、図示例では有底かつ空洞であるが、支持部１ａの強度が充分であれば下面まで貫通した孔でも良く、その場合には凹部１ｂ内の清掃を容易に行うことができる。また凹部１ｂは、その内部に合成ゴム塊等の弾性部材を収容していても良く、その場合には、保持シート２の後述する切れ目２ｂの内側の領域２ｃをその下の弾性部材と共にピンセット３の先端部で押し下げて粘着シール４を剥した後に、その切れ目２ｂの内側の領域２ｃを弾性部材の弾性力でほぼ元の位置に押し戻すことができるので、保持シート２を容易に繰返し使用することができる。

支持台１はまた、凹部１ｂが縦横に並んだ領域の外側に、先端部が先細りとなった複数本（図では４本）の位置決めピン１ｃを立設されるとともに、一箇所の角部（図１（ａ）では右上の角部）に直線状の面取り部１ｄを設けられていて、後述の如く位置決めピン１ｃに装着された保持シート２の一箇所の角部がその面取り部１ｄからはみ出て手掛かりとなり、粘着シール４を剥し終えた保持シート２を支持台１から容易に外せるようにされている。

保持シート２は、弾性を持つ比較的軟質の透明な樹脂製で、支持台１より一回り小さい概ね横長の長方形のフィルム状をなすとともに、４本の位置決めピン１ｃをそれぞれ差し込まれる４つのピン穴２ａを有しており、その保持シート２の表面上には、図２（ａ）に示すように、多数の粘着シール４を縦横に整列させて保持する所定位置が、４つのピン穴２ａとの位置関係で定められている。

また保持シート２は、上記粘着シール４を保持する所定位置にそれぞれ対応させて、多数の切れ目２ｂがあらかじめ形成されており、各切れ目２ｂの輪郭は、全体としてコ字状をなしていて、その粘着シール４の保持位置の範囲内に部分的に突出するとともに、図２（ａ）では右側端部が開いた形状とされている。

そしてこの実施例の製品剥し器具におけるピンセット３は、先端３ａ，３ｂがその開閉方向から見て、切れ目２ｂの輪郭内に挿入可能な範囲において通常のピンセットより幅広で、かつ角を丸められたものとされている。

上記実施例の製品剥し器具を用いるこの実施例の製品剥し方法では、先ず、図３（ａ）に示すように、保持シート２の４つのピン穴２ａに４本の位置決めピン１ｃをそれぞれ差し込んで、保持シート２を支持台１に位置決め支持する。これによりこの実施例の方法では、保持シート２上の上記所定位置に裏面の粘着層で貼付けられて保持された各粘着シール４の一側縁部（図２（ａ）では右側端部）と、その粘着シール４の保持位置の範囲内に輪郭が部分的に突出する切れ目２ｂの全体とが支持台１の凹部１ｂ上に位置し、これとともに、粘着シール４の他の部分が下面の粘着層で保持シート２に粘着して支持台１の支持部１ａ上に位置し、その支持部１ａで支持される。

次いでここでは、切れ目２ｂの内側かつ粘着シール４の一側縁部の外側の位置にて、図３（ｂ）およびその要部を拡大した図４に示すように、保持シート２をピンセット３の一方（図３では下側）の先端３ａで凹部１ｂ内に押し込むと、粘着シール４の上記一側縁部を除いた三方の側縁部が保持シート２に粘着して支持部１ａで支持された状態で、切れ目２ｂの内側に位置する舌片状の保持シート２ｃが、上記輪郭が開いた右側端部の部分で下方へ折り曲げられて、粘着シール４の下面の粘着層から剥される。

次いでここでは、図３（ｃ）に示すように、そのピンセット３の一方（図３では下側）の先端３ａを切れ目２ｂの内側で、粘着シール４の上記一側縁部の下側に挿入してから、そのピンセット３の一方の先端３ａと他方の先端３ｂとを近づけて、それらの先端３ａ，３ｂの間に粘着シール４の上記一側縁部から中央部にかけての部分を挟持する。

そしてここでは、図３（ｄ）に示すように、そのピンセット３を引き上げることで粘着シール４の全体を保持シート２上から剥し、その粘着シール４を図示しない貼付け対象に貼り付けて使用する。

かかる剥し作業を繰り返して、保持シート２上の全ての粘着シール４を剥し終えたら、支持台１の面取り部１ｄからはみ出た保持シート２の一箇所の角部を手掛かりとして保持シート２を支持台１から外し、必要に応じて、多数の粘着シール４を保持した次の保持シート２を支持台１上にセットする。

従って、この実施例の製品剥し方法によれば、切れ目２ｂの内側の舌片状の保持シート２ｃを、粘着シール４の保持位置の外側の、切れ目２ｂの輪郭が開いた部分で折り曲げながら押し下げて粘着シール４の一側縁部から剥離させるので、ピンセット３の一方の先端３ａを切れ目２ｂの内側で粘着シール４の下側に挿入する際に、そのピンセット３の一方の先端３ａと粘着シール４の一側縁部との間に切れ目２ｂの内側の保持シート２ｃが入り込むことがない。

それゆえこの実施例の製品剥し方法によれば、ピンセット３の一方の先端３ａと他方の先端３ｂとの間で切れ目２ｂの内側の保持シート２ｃを粘着シール４と一緒に挟持してしまって粘着シール４を保持シート２から剥せないということがないので、短時間で容易にかつ確実に、しかも破損させることなく粘着シール４を保持シート２から剥すことができる。

そして、上記実施例の製品剥し方法に用いられる上記実施例の製品剥し器具によれば、保持シート２上の粘着シール４の配置に対応する井桁状の支持部１ａと、その支持部１ａの間の凹部１ｂとを持つ支持台１と、粘着シール４の保持位置の範囲内に突出するとともにその保持位置の外側で開いた輪郭を持つ切れ目２ｂを形成された保持シート２と、を具えていることから、その保持シート２上の所定位置に粘着シール４を、その粘着シール４の裏面に設けられた粘着層を介して貼付け保持した後、その保持シート２を支持台１上に位置決め支持することで、上記実施例の製品剥し方法を実施し得て、上記実施例の製品剥し方法の上述した作用効果をもたらすことができる。

しかも、この実施例の製品剥し方法においては、保持シート２の切れ目２ｂの輪郭は、コ字状であることから、Ｖ字状等と比較して、ピンセット３の先端３ａでの押し下げを行う、切れ目２ｂの内側の保持シート２ｃの領域を広くできるとともに、その後にピンセット３の先端３ａ、３ｂで挟持を行う、その切れ目２ｂの内側の保持シート２ｃを剥した粘着シール４の裏側の領域を広くできるので、剥し作業を容易に行うことができる。

また、この実施例の製品剥し器具によれば、さらに、粘着シール４を剥すための二股の挟持具としてピンセット３を具えており、そのピンセット３の先端３ａ，３ｂはその開閉方向から見て、切れ目２ｂの輪郭内に挿入可能な範囲において通常のピンセットより幅広で、かつ角を丸められているので、粘着シール４を先端３ａ，３ｂの角で傷めずにかつ幅広の先端３ａ，３ｂでしっかりと挟持することができる。

以上、図示例に基づき説明したが、この発明は上述の例に限定されるものでなく、特許請求の範囲の記載範囲内で適宜変更し得るものであり、例えば、上記実施例の方法では作業者がピンセット３を操作して保持シート２から粘着シール４を剥しているが、これに代えて、作業ロボットがピンセットのような二股の挟持具を操作して保持シート２から粘着シール４を剥してもよい。また切れ目２ｂの形状を、上記実施例の方法では角部を持つコ字状としたが、これに代えて、角部を丸めたＵ字状としても良い。さらに、支持台の支持部および凹部の平面形状は、保持シート上の製品の形状や配置等に応じて適宜変更することができる。

そして、上記実施例の方法では保持シート上の製品を、裏面に粘着層を持つ粘着シール４としたが、これに代えて、半導体チップ等の薄いチップ状のものや、他のシール状のものとしても良く、また製品を保持シート上に貼り付ける粘着層は、製品側でなく保持シート側に設けられていても良い。さらに、上記実施例の方法では保持シートを樹脂製のフィルム状のものとしたが、これに代えて、保持シートを紙製のものあるいは紙と樹脂フィルムとを積層したものあるいは薄い金属板等としても良い。また、ピンセット３は通常の先端を持つものでも良い。さらに、支持台への保持シートの位置決めにより、上記実施例の方法では保持シートの各切れ目の全体を各凹部上に位置させているが、これに代えて、切れ目の全体のうち製品の保持位置の範囲内に突出する中間部から、開いた端部よりもその中間部よりの部分までを凹部上に位置させ、開いた端部は支持部上に位置させて、切れ目の内側の保持シートをその支持部の縁に沿って折り曲げるようにしても良い。

かくしてこの発明の製品剥し方法によれば、挟持具の一方の先端と他方の先端との間で切れ目の内側の保持シートを製品と一緒に挟持してしまって製品を保持シートから剥せないということがないので、短時間で容易にかつ確実に、しかも破損させることなく製品を保持シートから剥すことができる。

そして、上記製品剥し方法に用いられる本発明の製品剥し器具によれば、上記本発明の製品剥し方法を実施し得て、本発明の製品剥し方法の上述した作用効果をもたらすことができる。

１ 支持台
１ａ 支持部
１ｂ 凹部
１ｃ 位置決めピン
１ｄ 面取り部
２ 保持シート
２ａ ピン穴
２ｂ 切れ目
２ｃ 舌片状の保持シート
３ ピンセット
３ａ 一方の先端
３ｂ 他方の先端
４ 粘着シール

この発明は、上記従来の製品剥し方法の課題を有利に解決した製品剥し方法およびその方法に用いられる製品剥し器具を提供することを目的とするものであり、この発明の製品剥し方法は、
粘着材を介して薄いチップ状あるいはシート状の製品を所定位置に保持する保持シート上からその保持された製品を剥すに際し、
前記製品を保持する前の前記保持シートに、前記製品の保持位置の範囲内に突出するとともにその保持位置の外側で開いたコ字状またはＵ字状の輪郭を持つ切れ目を形成して、その切れ目の内側の前記保持シートを、前記製品の保持位置の外側に位置する、輪郭が開いた部分で前記切れ目の外側の前記保持シートに繋げておき、
前記保持シート上の前記製品の配置に対応する井桁状の支持部と、その支持部の間の凹部と、を持つ支持台上に前記保持シートを位置決め支持して、その保持シート上の前記保持位置に保持された前記製品の一側縁部と前記切れ目とを前記凹部上に位置させるとともに、前記製品の他の部分を前記支持部で支持し、
次いで、前記切れ目の内側かつ前記製品の一側縁部の外側の位置にて前記保持シートを二股の挟持具の一方の先端で押し込むことで、その切れ目の内側の前記保持シートを、前記製品の保持位置の外側に位置する、前記輪郭が開いた部分で折り曲げながら押し下げて前記製品の一側縁部から剥離させ、
次いで、その挟持具の一方の先端を前記切れ目の内側で、前記製品の一側縁部の下側に挿入してから、その挟持具の一方の先端に他方の先端を近づけて、それらの先端の間に前記製品の少なくとも一側縁部を挟持し、その挟持具を引き上げることで前記製品を前記保持シート上から剥すことを特徴とするものである。

上記したこの発明の製品剥し方法にあっては、粘着材を介して薄いチップ状あるいはシート状の製品を所定位置に保持する保持シート上からその保持された製品を剥すに際し、前記製品を保持する前の前記保持シートに、前記製品の保持位置の範囲内に突出するとともにその保持位置の外側で開いたコ字状またはＵ字状の輪郭を持つ切れ目を形成して、その切れ目の内側の前記保持シートを、前記製品の保持位置の外側に位置する、輪郭が開いた部分で前記切れ目の外側の前記保持シートに繋げておき、前記保持シート上の前記製品の配置に対応する井桁状の支持部と、その支持部の間の凹部と、を持つ支持台上に前記保持シートを位置決め支持して、その保持シート上の前記保持位置に保持された前記製品の一側縁部と前記切れ目とを前記凹部上に位置させるとともに、前記製品の他の部分を前記支持部で支持し、次いで、前記切れ目の内側かつ前記製品の一側縁部の外側の位置にて前記保持シートを二股の挟持具の一方の先端で押し込むことで、その切れ目の内側の前記保持シートを、前記製品の保持位置の外側に位置する、前記輪郭が開いた部分で折り曲げながら押し下げて前記製品の一側縁部から剥離させ、次いで、その挟持具の一方の先端を前記切れ目の内側で、前記製品の一側縁部の下側に挿入してから、その挟持具の一方の先端と他方の先端とを近づけて、それらの先端の間に前記製品の少なくとも一側縁部を挟持し、その挟持具を引き上げることで前記製品を前記保持シート上から剥す。

さらに、この発明の製品剥し方法によれば、前記保持シートの前記切れ目の輪郭がコ字状またはＵ字状であることから、挟持具の先端での押し下げを行う、切れ目の内側の保持シートの領域を広くできるとともに、その後に挟持具の先端で挟持を行う、その切れ目の内側の保持シートを剥した製品の裏側の領域を広くできるので、剥し作業を容易に行うことができる。

なお、この発明の製品剥し器具においては、さらに、前記製品を剥すための二股の挟持具を具えており、前記二股の挟持具はピンセットであり、そのピンセットの先端はその開閉方向から見て幅広でかつ角を丸められていると好ましい。製品を先端の角で傷めずにかつ幅広の先端でしっかりと挟持することができるからである。

そして、上記実施例の方法では保持シート上の製品を、裏面に粘着層を持つ粘着シール４としたが、これに代えて、半導体チップ等の薄いチップ状のものや、他のシール状のものとしても良く、また製品を保持シート上に貼り付ける粘着層は、製品側でなく保持シート側に設けられていても良い。さらに、上記実施例の方法では保持シートを樹脂製のフィルム状のものとしたが、これに代えて、保持シートを紙製のものあるいは紙と樹脂フィルムとを積層したものあるいは薄い金属板等としても良い。さらに、支持台への保持シートの位置決めにより、上記実施例の方法では保持シートの各切れ目の全体を各凹部上に位置させているが、これに代えて、切れ目の全体のうち製品の保持位置の範囲内に突出する中間部から、開いた端部よりもその中間部よりの部分までを凹部上に位置させ、開いた端部は支持部上に位置させて、切れ目の内側の保持シートをその支持部の縁に沿って折り曲げるようにしても良い。

Claims (4)

1. 粘着材を介して薄いチップ状あるいはシート状の製品を所定位置に保持する保持シート上からその保持された製品を剥すに際し、
   前記製品を保持する前の前記保持シートに、前記製品の保持位置の範囲内に突出するとともにその保持位置の外側で開いた輪郭を持つ切れ目を形成しておき、
   前記保持シート上の前記製品の配置に対応する井桁状の支持部と、その支持部の間の凹部と、を持つ支持台上に前記保持シートを位置決め支持して、その保持シート上の前記保持位置に保持された前記製品の一側縁部と前記切れ目とを前記凹部上に位置させるとともに、前記製品の他の部分を前記支持部で支持し、
   次いで、前記切れ目の内側かつ前記製品の一側縁部の外側の位置にて前記保持シートを二股の挟持具の一方の先端で押し込むことで、その切れ目の内側の前記保持シートを前記輪郭が開いた部分で折り曲げながら押し下げて前記製品の一側縁部から剥離させ、
   次いで、その挟持具の一方の先端を前記切れ目の内側で、前記製品の一側縁部の下側に挿入してから、その挟持具の一方の先端に他方の先端を近づけて、それらの先端の間に前記製品の少なくとも一側縁部を挟持し、その挟持具を引き上げることで前記製品を前記保持シート上から剥すことを特徴とする、製品剥し方法。
2. 前記保持シートの前記切れ目の輪郭はコ字状またはＵ字状であることを特徴とする、請求項１記載の製品剥し方法。
3. 前記保持シート上の前記製品の配置に対応する井桁状の支持部と、その支持部の間の凹部と、を持つ支持台と、
   前記製品の保持位置の範囲内に突出するとともにその保持位置の外側で開いた輪郭を持つ切れ目を形成された保持シートと、
   を具えてなる、請求項１または２に記載の製品剥し方法に用いられる製品剥し器具。
4. さらに、前記製品を剥すための二股の挟持具を具えており、
   前記二股の挟持具はピンセットであり、
   そのピンセットの先端はその開閉方向から見て幅広でかつ角を丸められていることを特徴とする、請求項３記載の製品剥し器具。

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