JP2014042879A

JP2014042879A - 洗浄装置

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Publication number: JP2014042879A
Application number: JP2012186756A
Authority: JP
Inventors: Motohiro Atsumi; 元宏渥美
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2012-08-27
Filing date: 2012-08-27
Publication date: 2014-03-13

Abstract

【課題】洗浄装置において清掃やメンテナンスを容易に行うことができるようにする。
【解決手段】洗浄装置は、被洗浄物７を収容して洗浄するための洗浄空間Ｓが内部に形成され、上側に開口部１１ａを有する洗浄槽１１と、被洗浄物７を洗浄するための洗浄用液体を供給する液剤供給部１６、シャワー部１７Ａ等の洗浄用液体供給部と、を備え、この洗浄用液体供給部は、開口部１１ａを通して洗浄空間Ｓ内に挿入され、洗浄槽１１と着脱可能に固定されている構成とする。
【選択図】図３

Description

本発明は、洗浄装置に関する。

従来、省スペースの洗浄装置として、１槽の洗浄槽を備え、この洗浄槽に洗浄液とリンス液とを選択的に供給して、被洗浄物の洗浄とリンスとを行うことができる洗浄装置が提案されている。
このような洗浄装置として、例えば、特許文献１には、洗浄槽の下部から給水と排水を行い、洗浄槽の上部からリンス液のオーバーフローとシャワー洗浄とが行えるようにした洗浄装置が記載されている。

特開２００６−１３０１５号公報

しかしながら、上記のような従来技術の洗浄装置には、以下の問題があった。
特許文献１に記載の洗浄装置では、給水配管が洗浄槽の下部に連結されているため、装置の清掃やメンテナンスを行う際に、洗浄槽と給水配管との連結部の分離作業や最連結作業を行う必要がある。このため、清掃やメンテナンスの作業効率が悪くなるという問題がある。

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、清掃やメンテナンスを容易に行うことができる洗浄装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明の第１の態様の洗浄装置は、被洗浄物を収容して洗浄するための洗浄空間が内部に形成され、上側に開口部を有する洗浄槽と、前記被洗浄物を洗浄するための洗浄用液体を供給する洗浄用液体供給部と、を備え、該洗浄用液体供給部は、前記開口部を通して前記洗浄空間内に挿入され、前記洗浄槽と着脱可能に固定されている構成とする。

上記洗浄装置では、前記開口部に着脱可能に設けられた支持部材を備え、前記洗浄用液体供給部は、前記支持部材に固定されることにより該支持部材を介して前記洗浄槽と着脱可能に固定されていることが好ましい。

上記洗浄装置では、前記支持部材は、前記開口部にがたつきなく嵌合して装着されていることが好ましい。

上記洗浄装置では、前記開口部を通して前記洗浄空間内に挿入され、前記洗浄用液体供給部から供給される前記洗浄用液体の液面の位置を検知する液面検知部を備え、該液面検知部は、前記支持部材に固定されることにより該支持部材を介して前記洗浄槽と着脱可能に固定されていることが好ましい。

上記洗浄装置では、前記洗浄用液体供給部から供給される前記洗浄用液体の液面の位置を検知する液面検知部を備え、該液面検知部は、前記開口部を通して前記洗浄空間内に挿入され、前記洗浄槽と着脱可能に固定されていることが好ましい。

本発明の洗浄装置によれば、洗浄用液体供給部が洗浄槽の上側の開口部を通して洗浄空間内に挿入され、洗浄槽と着脱可能に固定されているため、清掃やメンテナンスを容易に行うことができるという効果を奏する。

本発明の第１の実施形態の洗浄装置を備える洗浄システムの模式的な平面図、および正面図である。本発明の第１の実施形態の洗浄装置の主要部を示す模式的な正面図である。図２におけるＢ−Ｂ断面図である。図２におけるＡ視図である。図２におけるＣ−Ｃ断面図である。図３におけるＥ視図である。図３におけるＤ部の部分拡大図、および部分拡大図のＦ視図である。本発明の第１の実施形態の洗浄装置に用いる液面検知部の模式的な動作説明図である。本発明の第１の実施形態の洗浄装置の上部組立体の模式的な平面図、および裏面図である。本発明の第１の実施形態の洗浄装置の主要部の模式的な分解図である。本発明の第１の実施形態の洗浄装置における超音波洗浄時の動作を説明する模式的な断面図である。本発明の第１の実施形態の洗浄装置におけるシャワーすすぎ（リンス）時の動作を説明する模式的な断面図、および平面図である。本発明の第２の実施形態の洗浄装置の主要部を示す模式的な断面図、および平面図である。本発明の第２の実施形態の洗浄装置の主要部の模式的な分解図である。

以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。

［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態の洗浄装置について説明する。
図１（ａ）、（ｂ）は、本発明の第１の実施形態の洗浄装置を備える洗浄システムの模式的な平面図、および正面図である。図２は、本発明の第１の実施形態の洗浄装置の主要部を示す模式的な正面図である。図３は、図２におけるＢ−Ｂ断面図である。図４は、図２におけるＡ視図である。図５は、図２におけるＣ−Ｃ断面図である。図６は、図３におけるＥ視図である。図７（ａ）は、図３におけるＤ部の部分拡大図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）におけるＦ視図である。図８（ａ）、（ｂ）は、本発明の第１の実施形態の洗浄装置に用いる液面検知部の模式的な動作説明図である。図９（ａ）、（ｂ）は、本発明の第１の実施形態の洗浄装置の上部組立体の模式的な平面図、および裏面図である。図１０は、本発明の第１の実施形態の洗浄装置の主要部の模式的な分解図である。

図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施形態の洗浄装置１０は、被洗浄物７の汚れを除去するため、被洗浄物７を洗浄液によって洗浄する洗浄工程と、リンス液によってすすぐリンス工程とを行うことが可能な装置である。また、本実施形態では、リンス工程は、被洗浄物７をリンス液に浸漬し、超音波振動を印加してすすぐリンス工程（以下、超音波リンス工程と称する）と、被洗浄物７にリンス液を噴射するシャワーによるリンス工程（以下、シャワーリンス工程と称する）とを選択することが可能である。
洗浄装置１０では、これらの洗浄工程、超音波リンス工程、およびシャワーリンス工程の少なくとも一つの工程を選択して実施することが可能である。
被洗浄物７の種類は特に限定されない。被洗浄物７の例としては、例えば、レンズなどの光学素子や、小型金型部品などを挙げることができる。
以下の説明では、一例として、洗浄装置１０が、洗浄システム５０の一部として用いられ、被洗浄物７の洗浄工程およびリンス工程を行う場合の例で説明する。

洗浄システム５０の概略構成は、投入部１、洗浄装置１０、乾燥槽４、および搬出部５がこの順に配列され、これらの上方に、これらの並びに沿って搬送部２を移動させるガイドレール３が設けられている。
なお、特に図示しないが、洗浄システム５０および洗浄装置１０は、それぞれの動作制御を行う制御部と、操作者が手動操作を行うための操作入力部をそれぞれ備えている。

投入部１は、未洗浄の被洗浄物７が配置された洗浄治具６を載置する台状部であり、例えば、図示略のロボットや人手などにより洗浄治具６を載置できるようになっている。
洗浄治具６の構成は、被洗浄物７を一定の姿勢に保持した状態で、後述する洗浄装置１０の洗浄槽１１や乾燥槽４に収容可能な大きさを有し、液体や気体が内部に流通が可能な構成であれば特に限定されない。例えば、網状または格子枠状の素材で形成され、上部が開口した籠体や箱体などを採用することができる。
また、洗浄治具６が収容する被洗浄物７の個数は、１以上の適宜個数を採用することができる。

投入部１に載置された洗浄治具６は、搬送部２によって、ガイドレール３に沿って移動可能に保持される。
搬送部２は、洗浄治具６を保持する保持部２ａと、保持部２ａを昇降移動するとともに、鉛直軸回りに回転可能に設けられた保持アーム２ｂとを有する。
保持部２ａとしては、例えば、水平方向に拡縮して、洗浄治具６の上部の開口の内部側から洗浄治具６に係止するチャッキング機構などを採用することができる。これにより、洗浄治具６の開口の内側から、洗浄治具６を保持することができる。このような構成とすれば、後述する洗浄槽１１や乾燥槽４において、洗浄治具６を出し入れする開口の大きさを洗浄治具６が通過できる大きさとすればよいため、洗浄槽１１や乾燥槽４を小型化することができる。

洗浄装置１０は、図１（ａ）に示すように、洗浄治具６を出し入れする開口１０ａを上部に備えている。洗浄装置１０の開口１０ａは、ガイドレール３の延在方向に沿う方向において、投入部１と並列する位置に配置されている。なお、洗浄装置１０の詳細構成は後述する。

乾燥槽４は、洗浄装置１０によって汚れが除去された被洗浄物７を乾燥させるものである。図１（ａ）に示すように、乾燥槽４の上部には洗浄治具６を出し入れする開口４ａが設けられている。乾燥槽４は、その開口４ａがガイドレール３の延在方向に沿う方向において、洗浄装置１０の開口１０ａと並列する位置に配置されている。
乾燥槽４の内部には、図示略の温風送風部が設けられ、開口４ａから内部に移動された洗浄治具６内の被洗浄物７に付着したリンス液等の液体を乾燥させることができるようになっている。

搬出部５は、乾燥槽４によって乾燥された被洗浄物７が収容された洗浄治具６を載置する台状部であり、ガイドレール３の延在方向に沿う方向において、乾燥槽４の開口４ａと並列する位置に設けられている。
搬出部５に載置された洗浄治具６は、例えば、図示略のロボットや人手などによって洗浄システム５０の外部に排出できるようになっている。

次に、洗浄装置１０の詳細構成について説明する。
洗浄装置１０は、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、洗浄槽１１、超音波振動子１４、排水槽２８、上部組立体３０、洗浄液タンク５６Ａ、およびリンス液タンク５６Ｂを備える。

洗浄槽１１は、図２、３に示すように、被洗浄物７を収容して洗浄するための洗浄空間Ｓ（図３参照）が内部に形成され、上側に開口部１１ａを有する箱体であり、例えば、ステンレス鋼などの金属により形成されている。
開口部１１ａの平面視形状は、本実施形態では、一例として、図４に示すように、矩形状である。
また、図３に示すように、洗浄槽１１は、開口部１１ａの形状が鉛直方向に延ばされた筒状の側面部１１ｃと、側面部１１ｃの下端部の四辺から中心部に向かって傾斜する四角錐台状の傾斜面部１１ｄと、傾斜面部１１ｄの下端の四辺から水平方向に延びる底面部１１ｅとを備える。このため、傾斜面部１１ｄおよび底面部１１ｅは、開口部１１ａに対向する箱体の底面を形成している。
底面部１１ｅの中心部には、図４に示すように、洗浄槽１１内に貯留された液体を下方に排出するため、排水口１１ｂが設けられ、後述する排水管部１２に設けられた排水用自動弁３９（図２参照）を開放することで排水が可能となる。

側面部１１ｃの４つの平面部を、図４に示すように、第１側面１１ｃ_１、第２側面１１ｃ_２、第３側面１１ｃ_３、第４側面ｃ_４と称するとき、洗浄システム５０における投入部１側に向く第１側面１１ｃ_１に、側面部１１ｃを貫通して外部に連通するオーバーフロー排出口１５が設けられている。
オーバーフロー排出口１５は、本実施形態では、図１（ｂ）、図２に示すように、洗浄槽１１の外部において下方に屈曲された円管状部材からなり、その端部には、可撓性を有し必要な最短長さよりも管長に余裕があるオーバーフロー回収管３５が着脱可能に連結されている。
第１側面１１ｃ_１におけるオーバーフロー排出口１５の開口位置は、図３に示すように、第１側面１１ｃ_１の水平幅方向の略中心であって、高さ方向における上端寄りの位置とされている。
これにより、排水口１１ｂが閉じられた状態で洗浄槽１１内に液体が供給され、オーバーフロー排出口１５の下端側の高さを超えると、液体はオーバーフロー排出口１５からオーバーフローして外部に排出される。このため、洗浄槽１１内の液面はオーバーフロー排出口１５の下端部の高さに一致する液面ｆに保たれる。

図４に示すように、第１側面１１ｃ_１に対向する第３側面１１ｃ_３の外面側には、洗浄空間Ｓ内に貯留された液体に超音波振動を印加する超音波振動子１４が設けられている。
第３側面１１ｃ_３における超音波振動子１４の設置位置は、図５に破線で示すように、第３側面１１ｃ_３の水平幅方向の略中心であって、第３側面１１ｃ_３の下端部から液面ｆの位置までの間の矩形状領域である。
このため、超音波振動子１４の発する超音波振動は、この矩形状領域と略同じ大きさの範囲で、第１側面１１ｃ_１に向かって進み、第１側面１１ｃ_１と第３側面１１ｃ_３との間で反射を繰り返して定在波を形成する。
これにより、超音波振動子１４の前方に直方体状の超音波洗浄領域Ｕが形成される（図４、５の網点部参照）。
超音波洗浄領域Ｕの大きさは、少なくとも被洗浄物７を含むことができる大きさとすることが好ましい。本実施形態では、被洗浄物７よりも大きい洗浄治具６をすべて含む大きさとしている。なお、図５では、見易さのため、保持部２ａの図示は省略している。

図２に示すように、底面部１１ｅの下側には、排水管部１２が設けられている。
排水管部１２は、排水口１１ｂから排出される液体を下方側に配置された排水槽２８（図１（ｂ）参照）に導く管路であり、管路を開閉する排水用自動弁３９を備えている。図示は省略しているが、排水管部１２は排水口１１ｂと連通されている。

排水槽２８は、洗浄槽１１から外部に排出される液体を貯留するものであり、図１（ｂ）に示すように、上述のオーバーフロー回収管３５と、排水管部１２と着脱可能に接続する排水管２４とが連結されている。
排水槽２８の上部には、排水管２４を側方から支持する支持フレーム２５が設けられている。
図２に示すように、排水管２４は、接続部材２９を介して、洗浄槽１１の排水管部１２と接続されている。
すなわち、排水管部１２の下端部と、排水管２４の上端部には、互いに対向して密着可能な連結フランジ１２ａ、２４ａがそれぞれ形成されている。これらの連結フランジ１２ａ、２４ａが互いに対向して密着した状態では、排水管部１２および排水管２４の内腔が連通した状態となる。
接続部材２９は、積層された連結フランジ１２ａ、２４ａを積層方向に挟持して加圧する固定状態と、加圧状態を解除して、連結フランジ１２ａ、２４ａの積層高さよりも開く固定解除状態とが、図示略の操作部によって選択的に切替可能とされたクランプ部材である。
接続部材２９の図示略の操作部は、回転操作を行う回転ハンドルや、一方向の移動操作を行う押しボタンや操作レバーなどを採用することができる。
例えば、押しボタンや操作レバーにより一方向の移動操作を行って操作力を伝達し、接続部材２９の開き量や加圧量を選択的に切り替えることができるようにすれば、接続部材２９の着脱操作がワンタッチで行えるため好ましい。

上部組立体３０の概略構成は、図４に示すように、上部ベース１３（支持部材）、液剤供給部１６（洗浄用液体供給部）、シャワー部１７Ａ、１７Ｂ（洗浄用液体供給部）、および液面センサー１８（液面検知部）を備える。

上部ベース１３は、洗浄槽１１の開口部１１ａに着脱可能に嵌合する枠部材である。
なお、以下では、特に断らない限り、上部ベース１３が開口部１１ａに嵌合された状態における洗浄装置１０内の位置関係について説明する。
上部ベース１３は、開口部１１ａが設けられた洗浄槽１１の上端部を覆うとともに、側面部１１ｃの外方に突出する矩形枠状のフランジ部１３ｂと、フランジ部１３ｂの内周部からフランジ部１３ｂの板厚方向に突出された角筒状の嵌合部１３ａとを備える。
嵌合部１３ａの内周部は、開口部１１ａに略沿った矩形断面の角筒面とされ、これにより、開口部１１ａよりもわずかに縮径された開口１３ｃが形成されている。開口１３ｃは、洗浄装置１０における開口１０ａを構成している。
嵌合部１３ａの外周部は、洗浄槽１１の開口部１１ａと、がたつきなく嵌合する形状に形成されている。

ここで「がたつきなく嵌合する」とは、嵌合部１３ａを開口部１１ａの内部に挿入して嵌合させる際、開口部１１ａの内周部と嵌合部１３ａの外周部とが周方向の異なる３箇所以上の位置で当接することにより、挿入方向と直交する方向の互いの相対位置が固定されている嵌合状態を意味する。このため開口部１１ａと嵌合部１３ａとの間には、部分的な隙間が形成されていてもよい。
本実施形態では、嵌合部１３ａの外周部が、開口部１１ａの内周部と略同形状の角筒状に形成され、嵌合部１３ａの外周部の全面もしくは一部が開口部１１ａと当接し、嵌合部１３ａが水平方向に移動できない状態で嵌合されている。
なお、３箇所以上の当接部を確実に形成するため、嵌合部１３ａの外周部または開口部１１ａの内周部に突起部を設けてもよい。

液剤供給部１６は、図３に示すように、被洗浄物７を洗浄する洗浄用液体である洗浄液Ｌ_Ａまたはリンス液Ｌ_Ｂを、洗浄槽１１内に選択的に供給するものである。
液剤供給部１６の基端は、固定部材２１を介して上部ベース１３のフランジ部１３ｂ上に固定され、先端側が開口１３ｃに挿通されて、洗浄槽１１内まで鉛直方向に沿って延ばされている。
本実施形態では、図４に示すように、固定部材２１は、洗浄槽１１の第１側面１１ｃ_１と第４側面１１ｃ_４とで形成される角部の近傍の位置で、液剤供給部１６の基端部を固定している。
このため、液剤供給部１６は、洗浄槽１１の第１側面１１ｃ_１と第４側面１１ｃ_４とで形成される隅部に沿って配置されている。

固定部材２１の形状は、液剤供給部１６の外周部を保持して上部ベース１３に固定できる適宜形状を採用することができる。固定部材２１は、上部ベース１３と一体に形成されていてもよいし、上部ベース１３に着脱可能に設けられていてもよい。

液剤供給部１６の先端は、図３に示すように、下方に向かって開口する開口１６ａが形成されており、下方側から緩和部材１９が装着されている。
緩和部材１９は、液剤供給部１６の開口１６ａから供給される洗浄液Ｌ_Ａまたはリンス液Ｌ_Ｂを整流して、洗浄液Ｌ_Ａまたはリンス液Ｌ_Ｂが液圧により傾斜面部１１ｄで跳ね返り飛び散らないよう供給液圧を緩和する部材である。
緩和部材１９の構成としては、液剤供給部１６の管内部を管の軸方向に沿って仕切る部材や、液剤供給部１６の開口をメッシュ状に分割する網状部材などを好適に採用することができる。
本実施形態では、一例として、図６に示すように、開口１６ａを覆う範囲に網状体１９ａを設けた構成を採用している。

液剤供給部１６の先端部は、図３に示すように、洗浄のために洗浄空間Ｓに配置された洗浄治具６よりも下方となる位置まで延びていることが好ましい。本実施形態では、液剤供給部１６の先端部が第４側面１ｃ_４の下端部の近傍に位置している。

液剤供給部１６の基端部には、可撓性を有し必要な最短長さよりも管長に余裕がある洗浄用液体配管２６の一端が連結されている。
洗浄用液体配管２６の他端は、洗浄液Ｌ_Ａを供給する洗浄液配管２６Ａと、リンス液Ｌ_Ｂを供給するリンス液配管２６Ｂとに分岐されている。
洗浄液配管２６Ａ、リンス液配管２６Ｂは、いずれも、可撓性を有し必要な最短長さよりも管長に余裕がある管部材からなり、長さ方向の中間部にそれぞれの供給量を制御する自動弁３６Ａ、３６Ｂが設けられている。
洗浄液配管２６Ａにおいて洗浄用液体配管２６と反対側の端部は、図１（ｂ）に示すように、ポンプ４６Ａを介して洗浄液タンク５６Ａに接続されている。これにより、洗浄液タンク５６Ａに貯留された洗浄液Ｌ_Ａが、ポンプ４６Ａで吸引されて洗浄液配管２６Ａに供給されるようになっている。
また、リンス液配管２６Ｂにおいて洗浄用液体配管２６と反対側の端部は、ポンプ４６Ｂを介してリンス液タンク５６Ｂに接続されている。これにより、リンス液タンク５６Ｂに貯留されたリンス液Ｌ_Ｂが、ポンプ４６Ｂで吸引されてリンス液配管２６Ｂに供給されるようになっている。

シャワー部１７Ａ、１７Ｂは、被洗浄物７をシャワーすすぎ（リンス）するため、リンス液Ｌ_Ｂを被洗浄物７に向けて噴射することにより供給するものである。
図４に示すように、シャワー部１７Ａ、１７Ｂの各基端がそれぞれ固定部材２２Ａ、２２Ｂを介して上部ベース１３のフランジ部１３ｂ上に固定され、先端側が開口１３ｃに挿通されて、洗浄槽１１内まで鉛直方向に沿って延ばされている。
本実施形態では、固定部材２２Ａは、洗浄槽１１の第１側面１１ｃ_１と第２側面１１ｃ_２とで形成される角部の近傍の位置で、シャワー部１７Ａの基端部を固定している。
このため、シャワー部１７Ａは、洗浄槽１１の第１側面１１ｃ_１と第２側面１１ｃ_２とで形成される隅部に沿って配置されている。
また、固定部材２２Ｂは、洗浄槽１１の第３側面１１ｃ_３と第４側面１１ｃ_４とで形成される角部の近傍の位置で、シャワー部１７Ｂの基端部を固定している。
このため、シャワー部１７Ｂは、洗浄槽１１の第３側面１１ｃ_３と第４側面１１ｃ_４とで形成される隅部に沿って配置されている。
このような配置により、シャワー部１７Ａ、１７Ｂは、開口１３ｃの４隅のうち、対角線の方向に対向する２隅に配置されている。

固定部材２２Ａ（２２Ｂ）の形状は、シャワー部１７Ａ（１７Ｂ）の外周部を保持して上部ベース１３に固定できる適宜形状を採用することができる。固定部材２２Ａ（２２Ｂ）は、上部ベース１３と一体に形成されていてもよいし、上部ベース１３に着脱可能に設けられていてもよい。

シャワー部１７Ａの先端は閉じられており、開口１３ｃの中心部に面する先端側の側面に、シャワー部１７Ａに供給されたリンス液Ｌ_Ｂを被洗浄物７に向けて噴射して、リンス液Ｌ_Ｂの噴射流を形成する噴射スリット１７ａが形成されている。
噴射スリット１７ａは、図７（ａ）に示すように、円管状のシャワー部１７Ａの先端側（図示下側）から基端側（図示上側）に向かうにつれて斜め上方に切り込まれたスリットであり、開口１３ｃの中心部から見る（図７（ａ）のＦ視）と、図７（ｂ）に示すように、噴射スリット１７ａの幅よりも狭い領域において、上側に開口するＵ字状の開口形状を有している。
また、図５に示すように、シャワー部１７Ｂにも、シャワー部１７Ａと同様の形状を有する噴射スリット１７ａが形成されている。

シャワー部１７Ａ（１７Ｂ）の先端部は、図３（５）に示すように、少なくとも、噴射スリット１７ａの位置が、シャワーすすぎのために洗浄空間Ｓに配置された洗浄治具６内の被洗浄物７よりも上方となる位置まで延びている。
各噴射スリット１７ａが設けられた高さは、噴射スリット１７ａの傾斜角度等に応じて形成される噴射流が、被洗浄物７にかかるような高さにする。

シャワー部１７Ａ（１７Ｂ）の基端部には、可撓性を有し必要な最短長さよりも管長に余裕があるシャワー配管２７Ａ（２７Ｂ）の一端が連結されている。
シャワー配管２７Ａ、２７Ｂの他端は、図１（ｂ）に示すように、可撓性を有するシャワー配管２７に合流されている。シャワー配管２７は、リンス液Ｌ_Ｂの供給量を制御する自動弁３８を介して、自動弁３６Ｂよりも上流側のリンス液配管２６Ｂに連結されている。
シャワー配管２７Ａ（２７Ｂ）の中間部には、図３（５）に示すように、シャワー配管２７Ａ（２７Ｂ）に供給されるリンス液Ｌ_Ｂの流量を調整する流量調整器３７Ａ（３７Ｂ）が設けられている。
このため、自動弁３８が開かれた場合に、リンス液タンク５６Ｂから供給されたリンス液Ｌ_Ｂがシャワー配管２７Ａ、２７Ｂにそれぞれ分割して供給されるようになっている。
その際、流量調整器３７Ａ（３７Ｂ）により流量は同じに調整できる。

液面センサー１８は、洗浄槽１１内に供給された洗浄液Ｌ_Ａまたはリンス液Ｌ_Ｂの液面の位置を検知する液面検知部である。本実施形態では、液体内に気泡などが発生しても、後検知しにくい接液タイプの光学式センサーを採用している。
液面センサー１８の構成と検出原理とについて、図８（ａ）、（ｂ）を参照して説明する。
液面センサー１８は、棒状の外形を有し、その先端側（図示下側）に、洗浄液Ｌ_Ａおよびリンス液Ｌ_Ｂの屈折率に比べて屈折率が小さい光透過性の材質からなり断面三角形状の外形を有する接液部１８ａが形成されている。液面センサー１８の内部には、接液部１８ａの基端側（図示上側）の近傍に設けられたレーザ光を送受光するヘッド部１８ｂと、ヘッド部１８ｂの基端側に接続された光ファイバ１８ｃ、１８ｄとを備えている。
光ファイバ１８ｃ、１８ｄは、さらに液面センサー１８の外部に延出され、液面センサー１８にレーザ光を供給して液面検知を行う制御装置２０に接続されている。
制御装置２０は、レーザ光を発生する光源部２０ａと、レーザ光を受光する受光センサー２０ｂと、光源部２０ａを駆動するとともに受光センサー２０ｂの出力を検出して、液面を検知したかどうかを判定する制御部２０ｃとを備える。

光ファイバ１８ｃは、制御装置２０の光源部２０ａから送出されるレーザ光Ｐ_１を液面センサー１８のヘッド部１８ｂに伝搬するものである。
光ファイバ１８ｄは、ヘッド部１８ｂから出射されたレーザ光Ｐ_１が、接液部１８ａによって内面反射されてヘッド部１８ｂに戻ったレーザ光Ｐ_２を伝搬して、制御装置２０の受光センサー２０ｂに導くものである。
光ファイバ１８ｃ、１８ｄは、可撓性を有し必要な最短長さよりも長さに余裕があり、液面センサー１８から延出された部分は、湾曲させることが可能である。なお、液面センサー１８から延出された光ファイバ１８ｃ、１８ｄは、本実施形態では、図５に示すように、例えば、保護チューブに挿通されるなどして一体に束ねられている。

接液部１８ａの断面の頂角は、図８（ａ）に示すように、液面ｆ_０が低いために接液部１８ａが洗浄液Ｌ_Ａまたはリンス液Ｌ_Ｂに接触しておらず接液部１８ａの材質よりも屈折率が低い空気と接触している場合に、レーザ光Ｐ_１が接液部１８ａの内面で全反射されてヘッド部１８ｂに戻る角度に設定されている。

このため、接液部１８ａが洗浄液Ｌ_Ａまたはリンス液Ｌ_Ｂと接しておらず空気と接触していると、接液部１８ａで内部反射されたレーザ光は、レーザ光Ｐ_１の出射方向と平行なレーザ光Ｐ_２としてヘッド部１８ｂに入射し、光ファイバ１８ｄを通して受光センサー２０ｂに入射する。このため、受光センサー２０ｂから一定値以上の出力信号が制御部２０ｃに出力される。
これに対して、接液部１８ａが洗浄液Ｌ_Ａまたはリンス液Ｌ_Ｂと接していると、接液部１８ａの内面で全反射が起こらないため、図８（ｂ）に示すように、レーザ光Ｐ_１が接液部１８ａを透過する。この結果、受光センサー２０ｂの受光強度が低下し、一定値より低い出力信号が制御部２０ｃに出力されることになる。
このようにして、制御装置２０の制御部２０ｃは、受光センサー２０ｂからの出力信号の大きさによって、接液部１８ａが液面に接触しているかどうかを判定することができる。

液面センサー１８は、図５に示すように、上部ベース１３の開口１３ｃの内周面に固定された固定部材２３によって基端部が保持され、固定部材２３を介して上部ベース１３に固定されている。
接液部１８ａの高さ方向の位置は、洗浄槽１１内に供給された洗浄用液体の液面が液面ｆの位置まで達したことが検知可能となる位置に設定されている。
固定部材２３の平面視の固定位置は、本実施形態では、図４に示すように、洗浄槽１１の第２側面１１ｃ_２と第３側面１１ｃ_３とで形成される隅部になっている。
このため、液面センサー１８は、洗浄槽１１の第２側面１１ｃ_２と第３側面１１ｃ_３とで形成される隅部に沿って開口１３ｃに挿通されて、洗浄槽１１内まで鉛直方向に沿って延ばされている。

このような構成の上部組立体３０では、上述したように、洗浄用液体配管２６、シャワー配管２７Ａ、２７Ｂ、および光ファイバ１８ｃ、１８ｄが、それぞれ可撓性を有し必要な最短長さよりも長さに余裕がある。このため、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、液剤供給部１６、シャワー部１７Ａ、１７Ｂ、および液面センサー１８を、上部ベース１３に固定した組立状態を保持した状態で、洗浄槽１１から取り外したり、装着したりすることが可能である。

洗浄液タンク５６Ａは、図１（ｂ）に示すように、洗浄液Ｌ_Ａを貯留するもので、ポンプ４６Ａを介して、洗浄液配管２６Ａに接続されている。
洗浄液Ｌ_Ａとしては、被洗浄物７の汚れを除去する適宜の洗浄液を採用することができる。例えば、界面活性剤を含有する水溶性洗浄剤を採用することができる。

リンス液タンク５６Ｂは、リンス液Ｌ_Ｂを貯留するもので、ポンプ４６Ｂを介して、リンス液配管２６Ｂに接続されている。
リンス液Ｌ_Ｂとしては、洗浄後の被洗浄物７の洗浄液Ｌ_Ａを除去するすすぎを行うための適宜のリンス液を採用することができる。例えば、純水や市水や井水などを採用することができる。

以上に説明した洗浄装置１０は、図１０に示すように、上部組立体３０と、洗浄槽１１とを容易に分解することができる。
上部組立体３０は、組付状態（図３参照）では、上部ベース１３の嵌合部１３ａの外周部が洗浄槽１１の開口部１１ａの内周部に挿入され、挿入方向と直交する方向にがたつきなく嵌合している。このため、上部ベース１３を上方に引き上げることにより、嵌合部１３ａが開口部１１ａから引き抜かれて、上部組立体３０が洗浄槽１１から分離される。
また、逆に、上部組立体３０を、洗浄槽１１に組み立てる場合には、上部組立体３０を洗浄槽１１の上方に配置し、上部ベース１３の開口１３ｃに挿通されて下方に延びる液剤供給部１６、シャワー部１７Ａ、１７Ｂ、液面センサー１８を、それぞれ、洗浄槽１１の開口部１１ａ内に上方から挿入する。そして、さらに挿入を続けることで、上部ベース１３の嵌合部１３ａを開口部１１ａに挿入する。
これにより、嵌合部１３ａが開口部１１ａと嵌合し、フランジ部１３ｂが洗浄槽１１の上端に当接されるため、洗浄槽１１に対する上部組立体３０の水平方向および鉛直方向の位置が固定される。

このように、洗浄装置１０では、上部組立体３０を洗浄槽１１の上方から着脱することができるため、例えば、洗浄槽１１の底部や側部において、例えば、ボルトなどの締結部材を介して配管が接続されている場合に比べて、きわめて容易に着脱を行うことができる。
また、洗浄槽１１の側方に着脱作業を行うための作業スペースを確保する必要もないため、洗浄装置１０は省スペースな装置とすることができる。

また、洗浄槽１１は、接続部材２９を図示略の操作部を操作して、固定解除状態とすることができる。これにより、連結フランジ１２ａ、２４ａの連結状態が解除され、洗浄槽１１を排水管２４から取り外すことが可能である。
また、逆に、連結フランジ１２ａを連結フランジ２４ａに対向して密着させて、接続部材２９によって連結フランジ１２ａ、２４ａを把持し、図示略の操作部によって接続部材２９を加圧状態とすることで、排水管部１２が排水管２４と連結されるとともに、排水管２４上に洗浄槽１１が固定される。
特に、接続部材２９がワンタッチの操作で固定解除状態と加圧状態とを切り替えられるようにしておけば、着脱に要する作業効率を向上することができる。

次に、洗浄システム５０の動作について、洗浄装置１０の動作を中心として説明する。
なお、特に断らない限り、洗浄システム５０および洗浄装置１０の動作制御は、それぞれが有する図示略の制御部の制御信号に基づいて自動的に行う。ただし、必要に応じて図示略の操作入力部から操作入力すれば同様の動作を操作者の指示によって行うことも可能である。
図１１は、本発明の第１の実施形態の洗浄装置における超音波洗浄時の動作を説明する模式的な断面図である。図１２（ａ）、（ｂ）は、本発明の第１の実施形態の洗浄装置におけるシャワーすすぎ（リンス）時の動作を説明する模式的な断面図、および平面図である。

洗浄システム５０によって、被洗浄物７を洗浄するには、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、被洗浄物７を洗浄治具６に配置して、投入部１上に配置する。
そして、搬送部２の保持部２ａを下降させて洗浄治具６の上部の開口内に挿入し、保持部２ａを外側に開く。これにより、保持部２ａの下端側が洗浄治具６の開口の内周部に係止され、洗浄治具６が搬送部２に保持される。

この間に、洗浄装置１０では、洗浄工程の準備を行う。
すなわち、被洗浄物７を超音波洗浄するため、洗浄空間Ｓ内に洗浄液Ｌ_Ａを満たしておく。すなわち、排水用自動弁３９を閉じてから、自動弁３６Ａを開くとともに自動弁３６Ｂ、３８を閉じてポンプ４６Ａを駆動し、洗浄液タンク５６Ａ内の洗浄液Ｌ_Ａを洗浄液配管２６Ａに供給する。
図１１に示すように、洗浄液Ｌ_Ａは、洗浄液配管２６Ａを通して、液剤供給部１６に供給され、開口１６ａから緩和部材１９を介して洗浄空間Ｓ内に放出される。このとき、緩和部材１９の作用により、洗浄液Ｌ_Ａが飛び散ったりすることなく下方側に略均等に放出される。放出された液流は、開口１６ａの下方の傾斜面部１１ｄに衝突するが、緩和部材１９により液圧が緩和されているため、衝突による洗浄液Ｌ_Ａの泡立ちが抑制される。また、傾斜面部１１ｄは斜めに傾斜しているため、傾斜面部１１ｄと衝突した液圧が緩和された洗浄液Ｌ_Ａの液流は上方に跳ね返ることなく、円滑に供給されていく。

洗浄液Ｌ_Ａの液面が液面センサー１８の接液部１８ａに達すると、制御装置２０の受光センサー２０ｂの受光量が変化し、制御部２０ｃによって洗浄液Ｌ_Ａの液面が液面ｆの高さに達したことが検知される。制御装置２０は、検知結果を図示略の表示部に表示したり報知音を鳴らしたりして操作者に知らせる。また、洗浄槽１１によって洗浄が可能になったことを、搬送部２や超音波振動子１４に通知する。

洗浄液Ｌ_Ａの液面の高さが、オーバーフロー排出口１５の下端部よりも上回ると、洗浄液Ｌ_Ａがオーバーフロー排出口１５からオーバーフローして、オーバーフロー回収管３５を介して、排水槽２８に回収される。これにより、洗浄槽１１内の液面ｆが一定に保たれる。
ただし、洗浄液Ｌ_Ａはポンプ４６Ａで供給するため流量にばらつきが生じる。このため、本実施形態では、洗浄液Ｌ_Ａが液面ｆに達しなかったり、流量の変化によって液面ｆから上昇しすぎたりしないように、液面センサー１８を設けている。制御装置２０から出力される液面の検知信号は、自動弁３６Ａの開閉量の制御に用いられる。
本実施形態では、接液型の液面センサー１８を用いているため、洗浄液Ｌ_Ａ内に泡などが発生しても液面を誤検知しにくい。このため、液面ｆに到達したことを正確に検知できるから、洗浄液Ｌ_Ａの液面を適正な高さに保つことができる。

洗浄槽１１に洗浄液Ｌ_Ａが満たされたら、搬送部２をガイドレール３に沿って移動させて、洗浄治具６を洗浄装置１０の開口１０ａの上方に位置づける。そして搬送部２の保持アーム２ｂを延ばして洗浄治具６を下降させ、洗浄治具６を洗浄槽１１の洗浄空間Ｓにおける超音波洗浄領域Ｕ内に配置する（図１１参照。ただし、保持部２ａの図示は省略している）。この状態で、超音波振動子１４によって超音波振動を印加する。これにより、超音波洗浄が開始される。
このとき、上部ベース１３は、洗浄槽１１と、がたつきなく嵌合しているため、洗浄槽１１が超音波振動によって振動しても、上部ベース１３は洗浄槽１１と一体に振動し、がたつきによってより大きな振動が励起されることを防止することができる。
また、開口部１１ａに上部ベース１３が嵌合されることにより洗浄槽１１の剛性が向上するため、共振による振動を抑制することができる。
また、本実施形態では、洗浄空間Ｓ内に挿入される液剤供給部１６、シャワー部１７Ａ、１７Ｂ、液面センサー１８がいずれも超音波洗浄領域Ｕの外部に配置されているため、これらにさえぎられることで、被洗浄物７に対する超音波振動の照射ムラが発生することがないため、洗浄ムラを抑制することができる。

このような超音波洗浄において、被洗浄物７の姿勢により、超音波洗浄のムラが発生するおそれがある場合には、保持アーム２ｂを回転させて被洗浄物７の鉛直軸回りの向きを変えたり、保持アーム２ｂを昇降させて超音波洗浄領域Ｕ内の位置を移動させたりしてもよい。
このようにして、超音波洗浄が行われ、被洗浄物７に付着した汚れが除去されていく。一定時間だけ超音波洗浄を行ったら、超音波振動子１４、ポンプ４６Ａを停止して、自動弁３６Ａを閉止する。そして、排水用自動弁３９を開放して、洗浄液Ｌ_Ａを排水槽２８に排水する。このとき、洗浄槽１１の底部には、傾斜面部１１ｄが設けられ、流路が排水口１１ｂに向かって狭まっているため、排水が加速され、洗浄槽１１の底部に沈降した汚れ成分が排水とともに排水槽２８に排出される。
以上で、洗浄工程が終了する。

次に、洗浄装置１０によってリンス工程を行う。洗浄装置１０では、超音波リンス工程と、シャワーリンス工程とが可能である。
超音波リンス工程は、上記洗浄工程の洗浄液Ｌ_Ａに代えてリンス液Ｌ_Ｂを用いる以外は、上記洗浄工程と同様の工程であり、リンス液Ｌ_Ｂがすすぎを行う点を除いて上記洗浄工程と同様の作用効果を備える。
すなわち、排水用自動弁３９を閉じてから、自動弁３６Ｂを開くとともに自動弁３６Ａ、３８を閉じてポンプ４６Ｂを駆動し、リンス液タンク５６Ｂ内のリンス液Ｌ_Ｂをリンス液配管２６Ｂに供給する。
図１１に示すように、リンス液Ｌ_Ｂは、上記洗浄工程の洗浄液Ｌ_Ａと同様にして、液面が液面ｆに達するまで供給され、液面ｆの高さが保たれる。

洗浄槽１１にリンス液Ｌ_Ｂが満たされたら、超音波振動子１４によって超音波振動を印加してすすぎを行う。その際、必要に応じて、上記洗浄工程と同様に被洗浄物７の姿勢や位置を変化させてもよい。
このようにして、超音波振動を印加したすすぎが行われ、被洗浄物７に付着した洗浄液Ｌ_Ａが除去されていく。一定時間だけすすぎを行ったら、超音波振動子１４、ポンプ４６Ｂを停止して、自動弁３６Ｂを閉止する。そして、排水用自動弁３９を開放して、リンス液Ｌ_Ｂを排水槽２８に排水する。
以上で、超音波リンス工程が終了する。

次に、シャワーリンス工程を行う。
本工程では、シャワー部１７Ａ、１７Ｂからリンス液Ｌ_Ｂをシャワー噴射して、被洗浄物７にリンス液Ｌ_Ｂの噴射流を吹き付けることにより行う。
すなわち、排水用自動弁３９を開放した状態で、自動弁３８を開くとともに自動弁３６Ａ、３６Ｂを閉じてポンプ４６Ｂを駆動し、リンス液タンク５６Ｂ内のリンス液Ｌ_Ｂをリンス液配管２６Ｂに供給する。
図１２（ａ）、（ｂ）に示すように、リンス液Ｌ_Ｂは、リンス液配管２６Ｂ、自動弁３８（図１２（ａ）、（ｂ）では図示略、図１（ｂ）参照）を経由し、シャワー配管２７Ａ、２７Ｂを通して、シャワー部１７Ａ、１７Ｂに供給される。
そして、リンス液Ｌ_Ｂは、シャワー部１７Ａ、１７Ｂの各噴射スリット１７ａから洗浄空間Ｓ内に噴射される。噴射されたリンス液Ｌ_Ｂは、被洗浄物７に吹き付けられた後に落下し、排水口１１ｂ（図１２（ａ）、（ｂ）では図示略）に流れ込んで排水槽２８に排出される。
なお、図１２（ａ）、（ｂ）では、見易さのため、保持部２ａの図示は省略している。

噴射スリット１７ａからの噴射流は、本実施形態では、噴射スリット１７ａから洗浄槽１１の中心部に向かって斜め下方に噴射される（図１２（ａ）参照）とともに、平面視では、洗浄槽１１の中心部を中心として扇形状に拡散するように噴射される（図１２（ｂ）参照）。
このため、例えば、被洗浄物７がレンズなど第１面７ａと第２面７ｂとを有する扁平な板状部材の場合、図１２（ｂ）に示すように、被洗浄物７は、その厚さ方向がシャワー部１７Ａ、１７Ｂが対向された対角方向に一致する姿勢で、洗浄槽１１の中央部に配置することが好ましい。この場合、噴射流が第１面７ａ、第２面７ｂにそれぞれ吹き付けられて、効率的にすすぎを行うことができる。

本実施形態では、厚さ方向が水平方向になる姿勢で被洗浄物７を洗浄治具６に配置した場合、保持部２ａを鉛直軸回りに回転させることで、被洗浄物７の厚さ方向を前記対角方向に一致させることができる。
また、上記洗浄工程や超音波リンス工程と同様に、噴射流に対して、被洗浄物７の位置や姿勢を変化させて、噴射流に対する相対位置を移動させるようにしてもよい。
また、流量調整器３７Ａ、３７Ｂの測定値に応じて、自動弁３８による流量制御を行うことで、噴射流の流量を変化させてもよい。例えば、噴射流を断続させたり、脈動させたりすれば、効率よくすすぎを行うことが可能である。

このようにして、リンス液Ｌ_Ｂの噴射流が、被洗浄物７に吹き付けられると、超音波リンス工程で、被洗浄物７の表面に残存したリンス液Ｌ_Ｂが噴射流とともに吹き飛ばされて、被洗浄物７の表面がさらに清浄な状態にすすがれていく。
一定時間だけ、噴射を行ったら、ポンプ４６Ｂを停止して、自動弁３６Ｂを閉止する。そして、排水用自動弁３９を開放して、リンス液Ｌ_Ｂを排水槽２８に排水する。
以上で、シャワーリンス工程が終了する。

次に、保持アーム２ｂを引き上げることで、洗浄治具６および被洗浄物７を洗浄装置１０の開口１０ａから外部に移動し、さらに、乾燥槽４内に移動する。
乾燥槽４では、温風を噴射することで被洗浄物７が乾燥される。
被洗浄物７が乾燥したら、保持アーム２ｂを引き上げて、洗浄治具６および被洗浄物７を搬出部５に移動させる。
このようにして、被洗浄物７が洗浄される。搬出部５に配置された洗浄治具６および被洗浄物７は、図示略のロボットや人手などによって、洗浄システム５０の外部に搬出する。
他に洗浄する被洗浄物７がある場合には、他の被洗浄物７を配置した洗浄治具６を投入部１に載置して、上記の各工程を同様に繰り返す。

このようにして、洗浄システム５０によれば、洗浄装置１０によって被洗浄物７の洗浄工程、リンス工程を行い、次いで、乾燥槽４によって乾燥工程を行うことで、被洗浄物７を洗浄および乾燥仕上げを順次実施することができる。

洗浄装置１０をメンテナンスする場合、上部ベース１３を上方に引き上げることで、上部組立体３０ごと洗浄槽１１から容易に取り外すことができる。これにより、液剤供給部１６、シャワー部１７Ａ、１７Ａ、液面センサー１８を個々に取り外す作業が不要となり、迅速に取り外すことができる。
その際、液剤供給部１６、シャワー部１７Ａ、１７Ｂ、液面センサー１８に接続された洗浄用液体配管２６、シャワー配管２７Ａ、２７Ｂ、光ファイバ１８ｃ、１８ｄがいずれも、可撓性を有し必要な最短長さよりも長さに余裕があるため、これらが接続されていても、取り外し作業を円滑に行うことができる。
また、上方からの作業が可能になるため、作業性が良好となる。

上部組立体３０を取り外した状態では、洗浄槽１１は、上方に開口し、洗浄槽１１の内面が露出する状態になるため、洗浄槽１１の上方からの清掃作業が容易に行える。
また、上部組立体３０の装着も同様に容易に行えるため、メンテナンスの作業効率を向上することができる。

清掃後、上部組立体３０を再装着する場合、上記の取り外し作業を逆順に行えばよい。すなわち、嵌合部１３ａを下方に向けて上部組立体３０を洗浄槽１１の開口部１１ａ内に挿入するだけでよい。
このとき、上部組立体３０上の液剤供給部１６、シャワー部１７Ａ、１７Ｂ、液面センサー１８の相対的な位置関係は、変わらないため、嵌合部１３ａと開口部１１ａとを取り外し前と同じ位置関係に嵌合させることで、取り外し前の位置関係を精度よく再現することができる。したがって、装着後に、上部組立体３０上の各部材の位置や高さ調整を行う必要がないため、迅速な装着が可能である。

また、部品交換を行う場合にも、予め交換用の上部組立体３０を用意することで、上部組立体３０ごと交換することができる。このため、交換作業に伴う洗浄装置１０の稼働停止時間を低減することができる。
洗浄装置１０の洗浄槽１１を交換する場合には、接続部材２９によって、連結フランジ１２ａ、２４ａの間の固定解除状態と、加圧状態とを切り替えるのみで、排水管２４との着脱を行える。そして、洗浄槽１１の側面の上側に設けられたオーバーフロー排出口１５から、オーバーフロー回収管３５を外せば、洗浄槽１１を洗浄装置１０から取り外すことができる。
このようにして洗浄槽１１の交換作業も短時間で行うことができる。

以上説明したように、本実施形態の洗浄装置１０によれば、洗浄用液体供給部である液剤供給部１６、シャワー部１７Ａ、１７Ｂが、洗浄槽１１の上側の開口部１１ａを通して洗浄空間Ｓ内に挿入され、洗浄槽１１と着脱可能に固定されているため、清掃やメンテナンスを容易に行うことができる。

［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態の洗浄装置について説明する。
図１３（ａ）、（ｂ）は、本発明の第２の実施形態の洗浄装置の主要部を示す模式的な断面図、および平面図である。図１４は、本発明の第２の実施形態の洗浄装置の主要部の模式的な分解図である。

本実施形態の洗浄装置６０は、図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、上記第１の実施形態の洗浄装置１０の上部ベース１３を削除し、洗浄槽１１に代えて、洗浄槽７１を備える。洗浄装置６０は、上記第１の実施形態で説明した洗浄システム５０において、洗浄装置１０に代えて用いることができる。
以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。

洗浄槽７１は、上記第１の実施形態の洗浄槽１１の上端部から、水平方向外側に延びるフランジ部７１ｂを延出させた部材である。
フランジ部７１ｂは、上記第１の実施形態の上部ベース１３のフランジ部１３ｂと同程度の大きさを有する平板部からなる。
液剤供給部１６、シャワー部１７Ａ、１７Ｂ、および液面センサー１８は、洗浄槽７１の洗浄空間Ｓに対して同様な位置関係となるように、フランジ部７１ｂ上に着脱可能に固定されている。これらの固定方法は、着脱可能であれば特に限定されない。

本実施形態では、液剤供給部１６、およびシャワー部１７Ａ、１７Ｂは、ねじ８４によってフランジ部７１ｂ上に着脱可能に固定される固定部材８１、８２Ａ、８２Ｂによって固定されている。
また、液面センサー１８は、一端がフランジ部７１ｂとねじ８４によって着脱可能に固定され、他端が開口部１１ａにつきだして、液面センサー１８の基端部を保持する固定部材８３によって固定されている。
フランジ部７１ｂには、図１４に示すように、各ねじ８４の固定位置にそれぞれ対応する雌ねじ部８５が設けられている。

このような構成により、洗浄装置６０では、液剤供給部１６、シャワー部１７Ａ、１７Ｂ、および液面センサー１８がそれぞれ、個別に洗浄槽７１に固定されている。したがって、本実施形態は、洗浄用液体供給部が開口部に着脱可能に設けられた支持部材を介することなく洗浄槽に固定された場合の例になっている。

本実施形態では、例えば、図１４に示すように、ねじ８４を外して固定部材８２Ａ（８３）をフランジ部７１ｂから取り外すことにより、シャワー部１７Ａ（液面センサー１８）と洗浄槽７１との固定が解除される。これにより、シャワー部１７Ａ（液面センサー１８）を開口部１１ａから上方に引き上げて取り外すことができる。
また、装着時はこれとは逆に、シャワー部１７Ａ（液面センサー１８）を開口部１１ａの上方から洗浄空間Ｓ側に挿入し、固定部材８２Ａ（８３）に係止してから、ねじ８４で固定部材８２Ａ（８３）をフランジ部７１ｂにねじ締結することにより、固定することができる。
特に図示しないが、液剤供給部１６、シャワー部１７Ｂも、それぞれ固定部材８１、８２Ｂとねじ８４を用いることにより、同様に着脱を行うことができる。

このような洗浄装置６０によれば、液剤供給部１６、シャワー部１７Ａ、１７Ｂ、および液面センサー１８と洗浄槽７１との固定方法が異なるのみであるため、上記第１の実施形態と同様に、被洗浄物７の洗浄工程、リンス工程を行って、被洗浄物７の洗浄を行うことができる。

また、洗浄装置６０によれば、洗浄用液体供給部である液剤供給部１６、シャワー部１７Ａ、１７Ｂが、洗浄槽７１の上側の開口部１１ａを通して洗浄空間Ｓ内に挿入され、洗浄槽７１と着脱可能に固定されているため、清掃やメンテナンスを容易に行うことができる。
本実施形態では、複数の洗浄用液体供給部がある場合に、個別に取り外しできるため、例えば、交換時には、交換する部品のみを交換することができる。

なお、上記の各実施形態の説明では、液面検知部が、接液型の光学式センサーの場合の例で説明したが、洗浄槽の開口部を通して洗浄空間Ｓに挿入可能な液面検知部であれば、他方式のセンサーを採用してもよい。例えば、フロート式の液面センサーや、超音波式の液面センサーを用いてもよい。

また、上記の各実施形態の説明では、洗浄槽の開口部を通して洗浄空間内に挿入され、洗浄用液体供給部から供給される洗浄用液体の液面の位置を検知する液面検知部である液面センサー１８を備える場合の例で説明したが、このような液面検知部を有しない構成としてもよい。
すなわち、洗浄槽に固定された液面センサーによって、液面を検知する構成としてもよい。
さらに、液面を検知する必要がない場合には、液面センサー自体を有しない構成としてもよい。

また、上記各実施形態の説明では、洗浄装置が、１台で、洗浄工程、超音波リンス工程、およびシャワーリンス工程を行うことができる場合の例で説明したが、液剤供給部１６、シャワー部１７Ａ、１７Ｂは、いずれか１つを有する構成としてもよい。
さらに、液液剤供給部１６は、洗浄液Ｌ_Ａおよびリンス液Ｌ_Ｂのいずれか一方のみを供給できる構成としてもよい。
このように、洗浄装置が、洗浄工程、超音波リンス工程、およびシャワーリンス工程のいずれか１工程のみが行える構成の場合、洗浄システム５０は、これらの単工程を行う洗浄装置を複数設置する構成としてもよい。
また、洗浄システム５０において、超音波リンス工程またはシャワーリンス工程を実施しないシステム構成を採用してもよい。

また、上記第１の実施形態の説明では、嵌合部１３ａが開口部１１ａの内周側に嵌合する場合の例で説明したが、嵌合部１３ａの内周部を開口部１１ａの外周部に嵌合させる構成としてもよい。
また、支持部材を洗浄槽に着脱可能に設ける場合、洗浄槽の上側の開口部に固定されていれば、着脱方向は特に限定されない。例えば、水平方向や斜め方向に着脱される構成としてもよい。

また、上記の各実施形態で説明したすべての構成要素は、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせたり、削除したりして実施することができる。

２搬送部
６洗浄治具
７被洗浄物
１０、６０洗浄装置
１１、７１洗浄槽
１１ａ開口部
１３上部ベース（支持部材）
１３ａ嵌合部
１３ｂフランジ部
１３ｃ開口
１４超音波振動子
１６液剤供給部（洗浄用液体供給部）
１７ａ噴射スリット
１７Ａ、１７Ｂシャワー部（洗浄用液体供給部）
１８液面センサー（液面検知部）
１９整流部材
２１、２２Ａ、２２Ｂ、２３、１８、８２Ａ、８２Ｂ、８３固定部材
２９接続部材
３０上部組立体
５０洗浄システム
５６Ａ洗浄液タンク
５６Ｂリンス液タンク
７１ｂフランジ部
ｆ液面
Ｌ_Ａ洗浄液（洗浄用液体）
Ｌ_Ｂリンス液（洗浄用液体）
Ｓ洗浄空間
Ｕ超音波洗浄領域

Claims

被洗浄物を収容して洗浄するための洗浄空間が内部に形成され、上側に開口部を有する洗浄槽と、
前記被洗浄物を洗浄するための洗浄用液体を供給する洗浄用液体供給部と、
を備え、
該洗浄用液体供給部は、前記開口部を通して前記洗浄空間内に挿入され、前記洗浄槽と着脱可能に固定されている
洗浄装置。
前記開口部に着脱可能に設けられた支持部材を備え、
前記洗浄用液体供給部は、前記支持部材に固定されることにより該支持部材を介して前記洗浄槽と着脱可能に固定されている
ことを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
前記支持部材は、前記開口部にがたつきなく嵌合して装着されている
ことを特徴とする請求項２に記載の洗浄装置。
前記開口部を通して前記洗浄空間内に挿入され、前記洗浄用液体供給部から供給される前記洗浄用液体の液面の位置を検知する液面検知部を備え、
該液面検知部は、前記支持部材に固定されることにより該支持部材を介して前記洗浄槽と着脱可能に固定されている
ことを特徴とする請求項２または３に記載の洗浄装置。
前記洗浄用液体供給部から供給される前記洗浄用液体の液面の位置を検知する液面検知部を備え、
該液面検知部は、前記開口部を通して前記洗浄空間内に挿入され、前記洗浄槽と着脱可能に固定されている
ことを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。