JP2014041374A - 液晶表示装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】液晶の応答速度が変化しても、動画がぼやけて見えるのを防ぐことができる、液
晶表示装置を提供する。
【解決手段】画素電極、対向電極、及び前記画素電極と前記対向電極とにより電圧が印加
される液晶を有する液晶素子を備えた画素と、画素に光を照射する光源と、画素電極の電
位と基準となる電位とを比較してどちらが高いかで出力される電位が切り替わる比較回路
と、比較回路から出力される電位が切り替わるタイミングに従って、光源の点灯と消灯と
を切り替える制御回路とを有する。
【選択図】図1

Description

本発明は、液晶素子を用いた液晶表示装置に関する。
液晶表示装置は、液晶に電界を加えると液晶分子の配向が変化するのに伴い液晶の屈折率
が変化する現象、すなわち液晶の電気光学効果を利用して、画像の表示を行う。そして、
液晶分子の配向の変化は、画像情報に基づく電気信号(ビデオ信号)の電圧の変化に追従
する。
液晶表示装置で用いられる液晶では、印加される電圧が変化してから液晶分子の配向の変
化が収束するまでの応答時間が、一般的に十数msec程度であるのに対し、例えば60
Hzのフレーム周波数で液晶表示装置を駆動したときの1フレーム期間は約17msec
である。よって、1フレーム期間に占める液晶の応答時間の割合が大きいため、液晶素子
の透過率の変化が動画のぼやけとして視認されやすい。動画の画質を改善するために、液
晶素子に印加する電圧を一時的に高いレベルにして液晶の配向を速く変化させるオーバー
ドライブ駆動を用いる、或いは液晶自体に改良を加えるなどの対策を講じることで、応答
時間を有る程度まで短縮させることは可能である。しかし、短縮化されたとしても応答時
間は数msec程度存在し、動画の画質には未だ改善の余地が残されている。
また、液晶表示装置において動画がぼやけて視認されてしまうもう一つの原因として、上
述した液晶の応答時間の他に、液晶表示装置が、液晶素子に常に電圧を印加するホールド
型駆動であることが挙げられる。人間の目は残像が生じやすい性質を持っているので、連
続して黒以外の階調を表示すると、ホールド型駆動では人間の目が階調の変化に追いつけ
ず、動画がぼやけて見えやすい。
そこで、液晶の応答時間と、ホールド型駆動とによって生じる動画のぼやけを共に解消す
るために、液晶分子の配向の変化が著しい期間は、バックライトを消灯して黒を表示する
、インパルス型駆動が提案されている。インパルス型駆動を用いることで、液晶素子にお
いて透過率の変化が著しい期間にバックライトを消灯することができ、なおかつ人間の目
に残像が残るのを防ぐことができるので、動画のぼやけを解消することができる。
下記の特許文献1には、画素にデータが書き込まれた後、液晶が応答した頃に照明を光ら
せることで、動画表示時の尾引をなくす駆動方法について記載されている。
特開平11−202286号公報
ところで、液晶の応答時間は、液晶の温度によって変化する。液晶の材料にもよるが、一
般的に温度が高いと応答時間が短くなり、温度が低くなると応答時間が長くなる傾向があ
る。そして液晶の温度は、液晶表示装置が置かれる環境の温度、半導体素子のセルフヒー
ティング、バックライトの発熱などにより大幅に変わるため、液晶の応答時間も変化が著
しい。
例えば、ノーマリーホワイトのメルク社製のTN液晶(商品名:ZLI4792)の場合
について説明する。ノーマリーホワイトのTN液晶は、液晶に電圧を印加していないと透
光性の高い明状態であるが、液晶に電圧を印加すると透光性の高い明状態から透光性の低
い暗状態に変化する。逆に、ノーマリーホワイトのTN液晶は、液晶に電圧を印加したま
まだと透光性の低い暗状態であるが、液晶への電圧の印加を止めると透光性の低い暗状態
から透光性の高い明状態に変化する。液晶が明状態から暗状態に変化するまでの応答時間
τonに着目すると、液晶に印加する電圧が5Vの場合、液晶の温度が10℃から30℃
に変化すると、応答時間τonは9.9msecから5.1msecへと変化する。また
、液晶が暗状態から明状態に変化する場合の応答時間τoffに着目すると、液晶に印加
する電圧が5Vの場合、液晶の温度が10℃から30℃に変化すると、応答時間τoff
は23.4msecから11.9msecへと変化する。
一方、ビデオ信号は、室温下の液晶の粘性に合わせて電圧、周波数などの条件が設定され
ている。しかし、液晶は温度によって粘性が変化するのに対し、ビデオ信号には液晶の粘
性の変化は反映されない。すなわち、室温よりも低温側の環境下において、液晶は、粘性
が高い方向に変化し、それに伴い応答速度も低い方向に変化するが、ビデオ信号は室温下
の液晶の粘性に合わせた条件で固定されたままである。そのため低温側の環境下では、液
晶の応答速度の低下によって、ビデオ信号の電圧の変化に、液晶分子の配向の変化がより
遅れて追従してしまい、動画がぼやけて表示されるなどの表示品質の劣化が顕著に見られ
た。
また、上述したインパルス駆動では、液晶分子の配向の変化が著しい期間にバックライト
を消灯し、液晶分子の配向の変化が収束している期間にバックライトを点灯するように、
液晶素子に電圧を印加するタイミングと、バックライトの駆動のタイミングとを設定して
いる。しかし、温度変化により液晶の応答時間が長くなることで、液晶分子の配向の変化
が著しい期間が長くなり、液晶分子の配向の変化が収束している期間が短くなっても、液
晶素子に電圧を印加するタイミングと、バックライトの駆動のタイミングとは、設定され
た当初のままに固定されている。よって、液晶分子の配向の変化が著しい期間においてバ
ックライトが点灯するという事態が生じやすく、その結果、液晶分子の配向の変化、すな
わち液晶素子の透過率の変化が視認され、動画がぼやけて見えやすい。
本発明は上述した問題に鑑み、液晶の温度によらずに動画がぼやけて見えるのを防ぐこと
ができる、液晶表示装置の提案を課題とする。
本発明者らは、液晶に電界を加えると、その比誘電率が変化することに着目し、この比誘
電率の変化を光源(バックライト)にフィードバックさせることで、液晶の温度によらず
に動画のぼやけを防ぐことができるのではないかと考えた。
液晶表示装置に用いられる液晶分子の形状は、棒状であるのが一般的である。そして、棒
状である液晶分子は、長軸方向と短軸方向で分極率が異なる。そのため、液晶分子の配向
の変化に伴い、液晶の屈折率が変化するのだが、同様の理由により比誘電率にも異方性が
あり、液晶の比誘電率は液晶分子の配向の状態に依存する。また、液晶の比誘電率は印加
される電圧に依存する。
よって、本発明では、比誘電率と配向の状態の関係、比誘電率と印加される電圧の関係を
利用し、該電圧をモニターすることで、液晶分子の配向の状態を間接的に把握する。そし
て、液晶分子の配向の変化が収束するタイミングを見出し、液晶分子の配向の変化が著し
い期間に光源を消灯し、液晶分子の配向の変化が収束している期間に光源を点灯するよう
に、該タイミングに従って光源の駆動のタイミングを適宜設定する。
具体的に本発明の液晶表示装置は、画素電極、対向電極、及び画素電極と対向電極とによ
り電圧が印加される液晶を有する液晶素子を備えた画素と、画素に光を照射する光源と、
画素電極の電位と基準となる電位とを比較してどちらが高いかで出力される電位が切り替
わる比較回路と、比較回路から出力される電位が切り替わるタイミングに従って、光源の
点灯と消灯とを切り替える制御回路と、を有する。
また具体的に本発明の液晶表示装置は、画素電極、対向電極、及び画素電極と対向電極と
により電圧が印加される液晶を有する液晶素子を備えた画素と、画素に光を照射する光源
と、画素電極の電位と基準となる電位とを比較してどちらが高いかで出力される電位が切
り替わる比較回路と、比較回路から出力される電位を保持する記憶回路と、記憶回路に保
持されている電位が切り替わるタイミングに従って、光源への電力の供給を制御するスイ
ッチング回路と、を有する。
また本発明の液晶表示装置は上記構成に加え、液晶素子と並列に接続された容量素子と、
液晶素子と直列に接続された容量素子とを、いずれか1つ有していても良いし、両方有し
ていても良い。
さらに本発明の液晶表示装置は、液晶表示装置が置かれる環境下の輝度または光強度を検
出して電気信号(第1の信号)を生成する光検出器と、該第1の信号を用いて、上記輝度
が高いほど光源の輝度が高くなるように、または上記輝度が低いほど光源の輝度が低くな
るよう、光源の輝度を調整するための信号(第2の信号)を生成する信号生成回路と、第
2の信号に従って光源の輝度を調整する輝度制御回路と、を有していても良い。
また具体的に本発明の液晶表示装置は、第1の領域及び第2の領域を有し、画素電極、対
向電極、及び画素電極と対向電極とにより電圧が印加される液晶を有する液晶素子を備え
た画素を第1の領域及び第2の領域のそれぞれに有する画素部と、第1の領域の画素に光
を照射する第1の光源と、第2の領域の画素に光を照射する第2の光源と、第1の領域の
画素における液晶素子の画素電極の電位と基準となる電位とを比較してどちらが高いかで
出力される電位が切り替わる第1の比較回路と、第2の領域の画素における液晶素子の画
素電極の電位と基準となる電位とを比較してどちらが高いかで出力される電位が切り替わ
る第2の比較回路と、第1の比較回路から出力される電位が切り替わるタイミングに従っ
て、第1の光源の点灯と消灯とを切り替え、第2の比較回路から出力される電位が切り替
わるタイミングに従って、第2の光源の点灯と消灯とを切り替える制御回路と、第1の領
域の画素の液晶素子に入力される第1のビデオ信号が有する階調を平均化し、第2の領域
の画素の液晶素子に入力される第2のビデオ信号が有する階調を平均化する画像処理用フ
ィルタと、平均化された第1のビデオ信号が有する階調が、平均化された第2のビデオ信
号が有する階調よりも高い場合に、第1の光源の輝度を第2の光源の輝度よりも高くし、
平均化された第1のビデオ信号が有する階調が、平均化された第2のビデオ信号が有する
階調よりも低い場合に、第1の光源の輝度を第2の光源の輝度よりも低くするための信号
を生成する信号処理回路と、信号に従って第1の光源及び第2の光源の輝度を調整する輝
度制御回路と、を有する。
本発明の液晶表示装置では、液晶分子の配向の変化が収束するタイミングが把握できるの
で、該タイミングに従って光源の駆動のタイミングを適宜設定することができる。よって
、液晶の温度によらず、液晶分子の配向の変化が著しい期間に光源を消灯し、液晶分子の
配向の変化が収束している期間に光源を点灯し、動画がぼやけて視認されてしまうのを防
ぐことができる。
本発明の液晶表示装置の構成を示す図。 複数の画素を有する本発明の液晶表示装置の構成を示す図。 本発明の液晶表示装置の駆動を説明するためのタイミングチャート。 液晶素子の透過率の時間変化と、信号線に入力される電圧の時間変化を示す図。 制御回路の具体的な構成を示す図。 本発明の液晶表示装置の全体的な構成を示すブロック図。 本発明の液晶表示装置の全体的な構成を示すブロック図。 制御回路の具体的な構成を示す図。 制御回路の具体的な構成を示す図。 本発明の液晶表示装置の全体的な構成を示すブロック図。 本発明の液晶表示装置の作製方法を示す図。 本発明の液晶表示装置の作製方法を示す図。 本発明の液晶表示装置の作製方法を示す図。 本発明の液晶表示装置の作製方法を示す図。 本発明の液晶表示装置の断面図及び上面図。 本発明の液晶表示装置の構成を示す斜視図。 本発明の液晶表示装置を用いた電子機器の図。 印加電圧と比誘電率の関係を示すグラフ及び液晶素子の断面模式図。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。但し、本発明は多くの
異なる態様で実施することが可能であり、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することな
くその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って
、本実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
(実施の形態1)
図1(A)に、本発明の液晶表示装置の構成を示す。図1(A)に示す液晶表示装置は、
画素100と、比較回路101と、制御回路102と、光源103とを有する。また画素
100は、液晶素子104と、スイッチング素子105と、容量素子106とを少なくと
も有する。液晶素子104は、画素電極と、対向電極と、画素電極及び対向電極間の電圧
が印加される液晶と、を有している。
光源103は、画素100に光を照射する機能を有する。
スイッチング素子105は、液晶素子104の画素電極にビデオ信号の電位を与えるか否
かを制御する。液晶素子104の対向電極には、所定の電位COMが与えられている。ま
た容量素子106は一対の電極を有しており、一方の電極(第1電極)は液晶素子104
の画素電極に接続されており、他方の電極(第2電極)には所定の電位GNDが与えられ
ている。なお、本明細書において接続とは、電気的な接続と、直接的な接続とを両方含む
スイッチング素子105がオンになると、ビデオ信号の電位Vsがスイッチング素子10
5を介して液晶素子104の画素電極及び容量素子106の第1電極に与えられる。よっ
て、スイッチング素子105がオンになった当初は、液晶素子104の画素電極と対向電
極間の電圧Vは、電位Vsと電位COMの差分に等しくなり、容量素子106の第1電
極と第2電極間の電圧VCSは、電位Vsと電位GNDの差分と等しくなる。なお、容量
素子106は必ずしも設ける必要はないが、容量素子106を設けることで、スイッチン
グ素子105からの電荷のリークに起因する画素電極の電位の変化を防ぐことができる。
そして、画素電極と対向電極の間に電圧が与えられると、液晶素子104が有する液晶内
の液晶分子は、その配向が変化し始める。なお、液晶は比誘電率に異方性を有しており、
液晶分子を楕円に見立てたときの長軸方向における比誘電率と、長軸方向に対して垂直方
向、すなわち短軸方向における比誘電率とが異なる。よって、液晶分子の配向が変化する
に従って、液晶の比誘電率にも変化が生じる。例えばメルク社製のTN液晶(商品名:M
J001393)の場合、液晶分子の長軸方向における比誘電率が8.1、短軸方向にお
ける比誘電率が3.8であり、液晶分子の配向の変化により比誘電率が最大2.1倍程度
も変化する。
図18(A)に、ネマティック液晶を用いた場合における、液晶素子に印加される電圧(
印加電圧)と比誘電率の関係を、一例として示す。ただし図18(A)は、図18(B)
の断面模式図に示すように、液晶素子が画素電極3001と対向電極3002の間に液晶
層3003を有する構成である場合のデータであり、液晶層3003にメルク社製の液晶
(商品名:ZLI4792)を用い、セルギャップdを3.7μmとしている。また、画
素電極3001面に対して液晶層3003の液晶分子が平行に配向するように予め配向処
理が施されているものとする。図18から、液晶の比誘電率が液晶素子に印加される電圧
に依存していることがわかる。
なお、液晶素子104を容量として見立てると、その容量値Cは、以下の式1で表すこ
とができる。ただし、εは真空の誘電率、εは液晶の比誘電率、Sは液晶素子104の
面積、dは液晶素子104の第1電極と第2電極間の距離(セルギャップ)を意味する。
ただし、実際には配向膜の比誘電率も容量値Cの値に影響を与えるが、説明の便宜上、
式1において配向膜の比誘電率は考慮しないものとする。
(式1)
=ε×ε×S/d
そして、容量値Cと、電荷Qと、液晶素子104の画素電極と対向電極間の電圧V
関係は、以下の式2で表すことができる。
(式2)
Q=C×V
よって、式1と式2から、以下の式3が導き出される。
(式3)
=d×Q/(ε×ε×S)
式3において、第1電極と第2電極間の距離dと、液晶素子104の面積S、真空の誘電
率εは固定された値である。また、液晶素子104の電荷Qがリークしない理想状態で
あると仮定すると、電荷Qも固定された値とみなすことができる。よって、式3から、液
晶分子の配向が変化することにより液晶の比誘電率εが変化すると、液晶素子104の画
素電極と対向電極間の電圧Vが変化することが分かる。従って、スイッチング素子10
5をオンにしてビデオ信号の電位Vsを液晶素子104の画素電極に与えた後、スイッチ
ング素子105をオフにしてからの電圧Vの変化、すなわち液晶素子104が有する画
素電極の電位の変化を追跡することで、液晶分子の配向の状態を把握し、液晶分子の配向
の変化が収束するタイミングを見出すことができる。
なお、図1(A)の場合、液晶素子104と容量素子106とが直列に接続されているた
め、画素電極の電位は、液晶素子104の容量値と、容量素子106の容量値の比によっ
て定まる。例えば、ビデオ信号の電圧Vsを印加する前の状態において、液晶素子104
の容量値Cと容量素子106の容量値Cの比が100:100であるとする。そして
、上述したメルク社製のTN液晶(商品名:MJ001393)を液晶素子104に用い
る場合、ビデオ信号の電圧Vsの印加により、最終的に液晶分子の比誘電率が最大2.1
倍程度変化するため、液晶素子104の容量値Cも2.1倍に変化する。よって、ビデ
オ信号の電圧Vsを印加した後に液晶分子の配向の変化が収束すると、液晶素子104の
容量値Cと容量素子106の容量値Cの比は210:100になる。したがって、液
晶分子の配向の変化が収束すると、液晶素子104の画素電極と対向電極間の電圧V
、容量素子106の第1電極と第2電極間の電圧VCSとの比が210:100になるよ
うに、画素電極の電位も収束する。
比較回路101は、画素100から与えられる液晶素子104の画素電極の電位と、基準
となる電位REFとを比較し、その結果に従って互いに値の異なる2値の電位を出力する
。例えば、画素電極の電位が電位REFより高い場合は電位OUT1、画素電極の電位が
電位REFと同じか、それより低い場合は電位OUT2を出力する。そして電位REFを
、液晶分子の配向の変化が収束したときに得られるであろう画素電極の電位と同じ高さに
設定しておくことで、液晶分子の配向の変化が収束する前と後とで、比較回路101から
出力される電位を切り替えることができる。なお、実際の液晶表示装置の駆動では、液晶
素子104の電荷Qが多少なりともリークする。そのため、該リーク分に起因する画素電
極の電位の変化分を考慮に入れて、電位REFの値を設定することが望ましい。
なお、図1(A)では、比較回路101としてオペアンプを用いる例を示しているが、オ
ペアンプに限らず、画素100から与えられる電位と基準となる電位REFとを比較した
結果に従って2値の電位の一つを出力することができる回路であれば、比較回路101と
して用いることができる。
制御回路102は、比較回路101から出力された電位に従って、光源103の駆動を制
御する。具体的には、2値の電位のうち、一方の電位が比較回路101から出力されたと
き、制御回路102は光源103が点灯するように制御し、他方の電位が比較回路101
から出力されたとき、制御回路102は光源103が消灯するように制御する。比較回路
101から出力される電位は、液晶分子の配向の変化が収束する前と後とで、その値が切
り替わるので、制御回路102は液晶分子の配向が変化するタイミングに従って、光源1
03の駆動を制御することができる。
従って、本発明では、液晶分子の配向の変化が収束するタイミングを把握できるので、該
タイミングに従って光源103の駆動のタイミングを適宜設定し直すことができる。よっ
て、液晶の応答速度が変化しても、液晶分子の配向の変化が著しい期間に光源103を消
灯し、液晶分子の配向の変化が収束している期間に光源103を点灯し、動画がぼやけて
視認されてしまうのを防ぐことができる。
なお、図1(A)では、液晶素子104の対向電極に電位COMが与えられ、容量素子1
06の第2電極に電位GNDが与えられている例を示しているが、液晶素子104の対向
電極と容量素子106の第2電極とに、共に電位COMが与えられていても良い。この場
合、液晶素子104と容量素子106とが並列に接続されていることになるので、下記の
式4が成り立つ。
(式4)
=Q/(C+C
液晶素子104と容量素子106とが並列に接続されている場合、例えば、ビデオ信号の
電圧Vsを印加する前の状態において、液晶素子104の容量値Cと容量素子106の
容量値Cの比が100:100であるとする。そして、上述したメルク社製のTN液晶
(商品名:MJ001393)を液晶素子104に用いる場合、ビデオ信号の電圧Vsの
印加により、最終的に液晶分子の比誘電率が最大2.1倍程度変化するため、液晶素子1
04の容量値Cも2.1倍に変化する。よって、ビデオ信号の電圧Vsを印加した後に
液晶分子の配向の変化が収束すると、液晶素子104の容量値Cと容量素子106の容
量値Cの比は210:100になる。したがって、液晶分子の配向の変化が始まる前と
、液晶分子の配向の変化が収束した後とでは、液晶素子104の画素電極と対向電極間の
電圧Vは、0.31倍に変化することになる。
液晶素子104と容量素子106の接続関係によって、液晶分子の配向の変化が収束した
ときに得られるであろう画素電極の電位が変化する。よって、画素100の構成に合わせ
て、基準となる電位REFを適宜設定すれば良い。
次に、図1(B)に、図1(A)とは異なる、本発明の液晶表示装置の別の構成を示す。
図1(B)に示す液晶表示装置は、画素200と、比較回路201と、制御回路202と
、光源203とを有する。また画素200は、液晶素子204と、スイッチング素子20
5と、容量素子206と、容量素子207とを少なくとも有する。液晶素子204は、画
素電極と、対向電極と、画素電極及び対向電極間の電圧が印加される液晶と、を有してい
る。
スイッチング素子205は、液晶素子204の画素電極にビデオ信号の電位を与えるか否
かを制御する。液晶素子204の対向電極には、所定の電位COMが与えられている。ま
た容量素子206は一対の電極を有しており、一方の電極(第1電極)は液晶素子204
の画素電極に接続されており、他方の電極(第2電極)には所定の電位GNDが与えられ
ている。また容量素子207は一対の電極を有しており、一方の電極(第1電極)は液晶
素子204の画素電極に接続されており、他方の電極(第2電極)には所定の電位COM
が与えられている。よって、図1(B)に示す液晶表示装置では、液晶素子204と容量
素子206が直列に接続されており、液晶素子204と容量素子207が並列に接続され
ている。
スイッチング素子205がオンになると、ビデオ信号の電位Vsがスイッチング素子20
5を介して液晶素子204の画素電極、容量素子206の第1電極及び容量素子207の
第1電極に与えられる。よって、スイッチング素子205がオンになった当初は、液晶素
子204の画素電極と対向電極間の電圧Vは、電位Vsと電位COMの差分に等しくな
り、容量素子206の第1電極と第2電極間の電圧VCS1は、電位Vsと電位GNDの
差分と等しくなり、容量素子207の第1電極と第2電極間の電圧VCS2は、電位Vs
と電位COMの差分に等しくなる。
そして、画素電極と対向電極の間に電圧が与えられると、液晶素子204が有する液晶内
の液晶分子は、その配向が変化し始める。そして、上述したように、液晶分子の配向が変
化することにより液晶の比誘電率が変化すると、液晶素子204の画素電極と対向電極間
の電圧Vが変化する。よって、スイッチング素子205をオンにしてビデオ信号の電位
Vsを液晶素子204の画素電極に与えた後、スイッチング素子205をオフにしてから
の電圧Vの変化、すなわち液晶素子204が有する画素電極の電位の変化を追跡するこ
とで、液晶分子の配向の状態を把握し、液晶分子の配向の変化が収束するタイミングを見
出すことができる。
なお、図1(B)の場合、液晶素子204と容量素子206とが直列に接続されており、
液晶素子204と容量素子207とが並列に接続されている。そのため、画素電極の電位
は、液晶素子204の容量値と、容量素子206の容量値と、容量素子207の容量値と
の比によって値が定まる。
図1(A)に示す容量素子106の容量値は、電荷のリークに起因する画素電極の電位の
変化を防ぐことができる程度に、十分な大きさに設定する。しかし、液晶素子104の容
量値に対して容量素子106の容量値が大きすぎると、液晶素子104の容量値が変化し
ても、液晶素子104の画素電極の電位の変化が小さくなり、液晶分子の配向の状態を把
握しにくくなる。よって、図1(A)に示す画素100の場合、液晶素子104の画素電
極の電位の変化を大きくして液晶分子の配向の状態をより明確に把握するために、容量素
子106の容量値と液晶素子104の容量値とが大きく異ならないように、より望ましく
は同程度になるように、設定しておくのが良い。
一方、図1(B)に示す画素200の場合、図1(A)とは異なり、液晶素子204と直
列に接続されるように容量素子206が設けられており、液晶素子204と並列に接続さ
れるように容量素子207が設けられている。そのため、液晶素子204の電圧Vと、
容量素子206の電圧VCS2との比は、液晶素子204の容量値に容量素子207の容
量値を加算した値と、容量素子206の容量値との比に相当する。したがって、容量素子
206の容量値を、電荷のリークに起因する画素電極の電位の変化を防ぐことができる程
度に、十分な大きさに設定したとしても、容量素子207の容量値をそれに見合う程度に
大きく設定することで、液晶素子204の容量値を小さく抑えつつ、液晶素子204の電
圧Vと、容量素子206の電圧VCS2とが大きく異ならないように、より望ましくは
同程度になるようにすることができる。よって、液晶素子204の容量値を小さく抑えつ
つ、液晶素子204の画素電極の電位の変化を大きくして液晶分子の配向の状態をより明
確に把握することができる。
比較回路201は、画素200から与えられる液晶素子204の画素電極の電位と、基準
となる電位REFとを比較し、その結果に従って互いに値の異なる2値の電位を出力する
。例えば、画素電極の電位が電位REFより高い場合は電位OUT1、画素電極の電位が
電位REFと同じか、それより低い場合は電位OUT2を出力する。そして電位REFを
、液晶分子の配向の変化が収束したときに得られるであろう画素電極の電位と同じ高さに
設定しておくことで、液晶分子の配向の変化が収束する前と後とで、比較回路201から
出力される電位を切り替えることができる。
なお、図1(B)では、比較回路201としてオペアンプを用いる例を示しているが、オ
ペアンプに限らず、画素200から与えられる電位と基準となる電位REFとを比較した
結果に従って2値の電位の一つを出力することができる回路であれば、比較回路201と
して用いることができる。
制御回路202は、比較回路201から出力された電位に従って、光源203の駆動を制
御する。具体的には、2値の電位のうち、一方の電位が比較回路201から出力されたと
き、制御回路202は光源203が点灯するように制御し、他方の電位が比較回路201
から出力されたとき、制御回路202は光源203が消灯するように制御する。比較回路
201から出力される電位は、液晶分子の配向の変化が収束する前と後とで、その値が切
り替わるので、制御回路202は液晶分子の配向が変化するタイミングに従って、光源2
03の駆動を制御することができる。
従って、本発明では、液晶分子の配向の変化が収束するタイミングを把握できるので、該
タイミングに従って光源203の駆動のタイミングを適宜設定し直すことができる。よっ
て、液晶の応答速度が変化しても、液晶分子の配向の変化が著しい期間に光源203を消
灯し、液晶分子の配向の変化が収束している期間に光源203を点灯し、動画がぼやけて
視認されてしまうのを防ぐことができる。
なお、液晶表示装置では、焼き付きと呼ばれる液晶の劣化を防ぐために、液晶素子に印加
する電圧の極性を所定のタイミングに従って反転させる交流駆動が行われることが多い。
例えば、フレーム期間ごとに液晶素子に印加する電圧の極性を反転させる交流駆動を行う
場合、図1(A)、図1(B)に示す本発明の液晶表示装置では、画素電極の電位の極性
が同じフレーム期間においてのみ、光源の駆動のタイミングを新たに設定し直すようにし
、その他のフレーム期間では、直前のフレーム期間と同じタイミングで光源を駆動させれ
ば良い。或いは、全てのフレーム期間ごとに光源の駆動のタイミングを適宜設定し直すた
めに、基準となる電位REFをフレーム期間ごとに変えるようにしても良いし、各極性に
対応した比較回路及び制御回路を新たに設けるようにしても良い。また、極性が同じフレ
ーム期間において、必ず光源の駆動のタイミングを設定し直す必要はない。液晶の温度変
化がさほど著しくない場合などは、例えば60フレーム期間ごとに1回とするなど、光源
の駆動のタイミングを設定し直す回数を、少なくしても良い。
また、本発明の液晶表示装置は、画素部が画素を複数有する場合、該画素の少なくとも1
つから、画素電極の電位を比較回路に出力できていればよい。図2に、本発明の液晶表示
装置が有する、複数の画素300が設けられた画素部301と、比較回路302と、制御
回路303と、光源304とを一例として示す。
図2において、各画素300は、信号線S1〜Sxの少なくとも1つと、走査線G1〜G
yの少なくとも1つとを有している。また画素300は、スイッチング素子として機能す
るトランジスタ305と、液晶素子306と、容量素子307とを有している。なお図2
では、画素300において、一のトランジスタ305をスイッチング素子として用いてい
る場合について示しているが、本発明はこの構成に限定されない。スイッチング素子とし
てトランジスタ以外の半導体素子を用いていても良い。或いは、複数のトランジスタをス
イッチング素子として用いていても良い。
また図2では、図1(A)と同様に、画素300において、液晶素子306と容量素子3
07とが直列に接続されている場合を例示しているが、液晶素子306と容量素子307
とは、並列に接続されていても良い。また図1(B)と同様に、画素300が、液晶素子
306に直列に接続されている容量素子307に加えて、液晶素子306に並列に接続さ
れている容量素子を有していても良い。
図2では、複数の画素300のうち、信号線Sxと走査線Gyとを有するモニター用画素
300aにおいて、液晶素子306が有する画素電極の電位をモニターするべく、該電位
を比較回路302に入力する。なお、全ての画素300のうち、最も端に位置している画
素300を、画素電極の電位をモニターするためのモニター用画素300aとする必要は
必ずしもない。モニター用画素300aは、他の画素300と構成を変える必要はないの
で、いずれの画素300をモニター用画素300aとして用いるかは、設計者が適宜決め
ることができる。また、画素部301が有する複数の画素300のうち、実際の映像の表
示には用いることのないダミー用の画素の一つを、モニター用画素300aとして用いる
ようにしても良い。ただし、いずれの場合にせよ、全ての画素300のうち、最後にビデ
オ信号の入力が行われる画素において、液晶分子の配向の変化が収束するタイミングが最
も遅くなる。よって、最後にビデオ信号の入力が行われる画素の一つをモニター用画素3
00aとして用いることで、全ての画素300において液晶分子の配向の変化が収束する
タイミングを把握することができ、望ましい。
次に、図2に示す画素部301の動作と、光源304の駆動について説明する。まず、走
査線G1〜Gyが順に選択されると、選択された走査線を有する画素300において、ト
ランジスタ305がオンになる。そして信号線S1〜Sxに、順にまたは同時にビデオ信
号の電位が与えられると、オンのトランジスタ305を介して、ビデオ信号の電位が液晶
素子306の画素電極に与えられる。次に走査線の選択が終了すると、該走査線を有する
画素300において、トランジスタ305がオフになる。そして液晶素子306は、液晶
分子の配向の変化に伴い、その画素電極の電位が変化する。
図3に、画素部301における、ビデオ信号の画素300への入力のタイミングを示す。
図3では、横軸は時間を示しており、縦軸は走査線が選択される方向(走査方向)を示し
ている。また、図3において、光源304の点灯期間は白地で示し、消灯期間はハッチで
示す。期間Taは、最初の走査線が選択されてから最後の走査線が選択されるまでの期間
を意味しており、期間Ta内に全ての画素300にビデオ信号が入力される。
期間Taでは、複数の画素300に順にビデオ信号が入力されている最中なので、画素3
00によっては液晶素子306が有する液晶分子の配向の変化が著しい。また、期間Ta
において最後にビデオ信号が入力される画素300では、他の画素300に比べて、液晶
分子の配向の変化が収束するタイミングは最も遅い。そして、液晶分子の配向の変化が収
束するタイミングは、液晶の温度によっても随時変わってくる。
図4(A)と図4(B)に、最後にビデオ信号が入力される画素300における、液晶素
子306の透過率の時間変化と、光源の駆動のタイミングを示す。図4(A)、(B)で
は、横軸は時間を示し、縦軸は液晶素子306の透過率を示す。また、光源304の点灯
時間は白地で示し、消灯期間はハッチで示す。また図4(C)には、信号線に入力される
電位の時間変化も併せて示す。ただし、図4(C)では、信号線に与えられる電位が、第
1フレーム期間と第3フレーム期間において電位COMよりも高く、第2フレーム期間で
は電位COMと同じである場合を例示している。
図4(A)と図4(B)の透過率の変化は、共に図4(C)に示すタイミングチャートに
同期している。しかし、図4(A)と図4(B)とでは、温度変化により液晶の比誘電率
が異なっており、透過率の変化が著しい期間401の長さが異なっている。より詳細に説
明すると、図4(A)の方が図4(B)よりも、期間401が短く、期間402が長くな
っている。
本発明では、モニター用画素300aが有する液晶素子306の画素電極の電位から、液
晶分子の配向の変化が収束するタイミングを把握することができる。そして、制御回路3
03は、画素300へのビデオ信号の入力が開始されてから、全ての画素300において
液晶分子の配向の変化が収束するまでの期間Tb(図3参照)において、光源304が消
灯するように、光源304の駆動を制御する。よって本発明では、図4(A)と図4(B
)のいずれの場合においても、少なくとも期間401において消灯するように光源304
を駆動させることができる。期間Tbにおいて光源304を消灯にしておくことで、液晶
分子の配向の変化、すなわち液晶素子の透過率の変化が視認されにくくなり、動画がぼや
けて見えるのを防ぐことができる。
なお、期間401は、液晶の比誘電率のみならず、液晶素子に印加される電圧の変化量に
よっても異なる。例えばVA液晶の場合だと、黒表示から中間階調表示に移行する際に液
晶の応答速度が最も遅くなるため、期間401が最長となる。よって、光源304の駆動
のタイミングを設定する際、まず先のフレーム期間において黒表示を行った後、次の第2
のフレーム期間において中間階調表示を行うように、モニター用画素300aにビデオ信
号を入力する。そして、上記第2のフレーム期間における画素電極の電位を用いて光源3
04の駆動のタイミングを設定するのが望ましい。上記構成により、いずれの階調を表示
する場合でも、液晶分子の配向の変化が収束するまでの期間Tbにおいて光源304が消
灯するように光源304の駆動を制御し、動画がぼやけて見えるのを防ぐことができる。
なお、VA液晶の場合だと、黒表示から中間階調表示に移行する際に液晶の応答速度が最
も遅くなるが、液晶の応答速度が最も遅くなる表示のパターンは液晶の種類によって異な
る。よって、液晶の種類に合わせて、光源304の駆動のタイミングを設定する際に、応
答速度が最長となるよう、モニター用画素300aにおいて階調が変化する表示パターン
を、適宜選択すればよい。例えばTN液晶、OCB液晶の場合、白表示から中間階調表示
に移行する際に液晶の応答速度が最も遅くなる。よって、この場合、白表示の次に中間階
調表示を行う表示パターンを用いて、光源304の駆動のタイミングを設定するのが望ま
しい。また、例えばIPS液晶の場合、VA液晶と同様に、黒表示から中間階調表示に移
行する際に液晶の応答速度が最も遅くなる。よって、この場合、黒表示の次に中間階調表
示を行う表示パターンを用いて、光源304の駆動のタイミングを設定するのが望ましい
また、図4(A)、図4(B)では、期間401のみならず期間403においても液晶分
子の配向の変化が著しい。期間401は、液晶素子の画素電極の電位が、対向電極の電位
からより離れた電位に変化する際に起こる、液晶分子の配向の変化の著しい期間である。
一方、期間403は、液晶素子の画素電極の電位が、対向電極の電位により近い電位に変
化する際に起こる、液晶分子の配向の変化の著しい期間である。本実施の形態では、期間
401における画素電極の電位の変化を用い、光源304の駆動のタイミングを設定して
いるが、期間403における画素電極の電位の変化を用いて、光源304の駆動のタイミ
ングを設定しても良い。液晶の種類にもよるが、期間401よりも期間403の方が長く
なる場合がある。よって、期間401よりも期間403の方が長くなる場合は、期間40
3における画素電極の電位の変化を用いて、光源304の駆動のタイミングを設定するこ
とで、より確実に動画がぼやけて見えるのを防ぐことができる。
なお、期間403において光源304の駆動のタイミングを設定する場合も、期間403
が最長となる表示パターンを用いるのが望ましい。例えばVA液晶の場合だと、白表示か
ら黒表示に移行する際に、液晶の応答時間が最も長くなり、期間401が最長となる。よ
って、光源304の駆動のタイミングを設定する際、まず先のフレーム期間において白表
示を行った後、次の第2のフレーム期間において黒表示を行うように、モニター用画素3
00aにビデオ信号を入力する。そして、上記第2のフレーム期間における画素電極の電
位を用いて光源304の駆動のタイミングを設定するのが望ましい。上記構成により、い
ずれの階調を表示する場合でも、液晶分子の配向の変化が収束するまでの期間Tbにおい
て光源304が消灯するように光源304の駆動を制御し、動画がぼやけて見えるのを防
ぐことができる。
なお、VA液晶の場合だと、白表示から黒表示に移行する際に液晶の応答時間が最も長く
なるが、液晶の応答時間が最も長くなる表示のパターンは液晶の種類によって異なる。よ
って、液晶の種類に合わせて、光源304の駆動のタイミングを設定する際の、表示パタ
ーンを適宜選択すればよい。例えばTN液晶、OCB液晶の場合、黒表示から白表示に移
行する際に液晶の応答速度が最も遅くなる。よって、この場合、黒表示の次に白表示を行
う表示パターンを用いて、光源304の駆動のタイミングを設定するのが望ましい。また
、例えばIPS液晶の場合、VA液晶と同様に、白表示から黒表示に移行する際に液晶の
応答速度が最も遅くなる。よって、この場合、白表示の次に黒表示を行う表示パターンを
用いて、光源304の駆動のタイミングを設定するのが望ましい。
また、図1(A)では光源103を一つだけ図示している。図1(B)では光源203を
一つだけ図示している。図2では光源304を一つだけ図示している。しかし、本発明は
これらの構成に限定されない。光源103と、光源203と、光源304とは、その数が
それぞれ単数であっても良いが、複数であっても良い。
なお、本実施の形態では、アクティブマトリクス型の液晶表示装置を例に挙げて説明した
が、本発明の液晶表示装置はパッシブマトリクス型であっても良い。
(実施の形態2)
本実施の形態では、本発明の液晶表示装置が有する制御回路の具体的な構成の一例につい
て説明する。
図5(A)は、本発明の液晶表示装置が有する比較回路501と、制御回路502と、光
源503とを示している。図5(A)に示す制御回路502は、記憶回路504と、スイ
ッチング回路505とを少なくとも有している。
比較回路501は、画素から与えられる液晶素子の画素電極の電位Vと、基準となる電
位REFとが入力されている。そして比較回路501は電位Vと電位REFとを比較し
、その結果に従って互いに値の異なる電位OUT1または電位OUT2を出力する。
制御回路502では、比較回路501から出力された電位が、電位OUT1と電位OUT
2のうちのいずれであるかを、記憶回路504においてデータとして記憶する。記憶回路
504には、記憶回路504に記憶されているデータを保持するための電源電位VDDと
、記憶が行われるタイミングを制御する信号Sigとが入力されている。具体的には、
信号Sigによって、光源503の駆動のタイミングを設定する際に、記憶回路504
に新たにデータが書き込まれるようになる。また逆に、信号Sigによって、光源50
3の駆動のタイミングを設定された状態のまま維持する際に、記憶回路504に新たにデ
ータが書き込まれないようになる。なお、全ての画素のうち、最初の画素にビデオ信号が
入力されるタイミングが信号Sigによって制御されている場合、該信号Sigを用
いることで、上記最初の画素にビデオ信号が入力されるタイミングに合わせて、光源50
3を消灯させるタイミングをも制御することができる。
光源の駆動のタイミングを設定するタイミングは、上述したように設計者が適宜決めるこ
とができる。具体的には、信号Sigまたはその他の制御信号を用いることで、光源5
03の駆動のタイミングを設定するタイミングを、リアルタイムに制御することができる
。なお、光源の駆動のタイミングを、毎フレーム期間ごとにリアルタイムで設定し直すの
ではなく、複数のフレーム期間ごとに設定し直す場合、制御回路502内にタイミング検
出用回路を更に設け、設定された光源503の駆動のタイミングを次回の設定時まで、上
記タイミング検出用回路で記憶するようにしても良い。例えばタイミング検出用回路は、
光源503の駆動のタイミングを設定し直すように指示が来たら、比較回路501から出
力される電位を用いて、1フレーム期間が開始されてから全ての画素において液晶分子の
配向の変化が収束するまでの期間を検出するための回路と、各フレーム期間が開始されて
からの時間を計測するための回路と、上記2つの回路から出力される信号に従って、記憶
回路504のデータを書き換える回路と、を用いれば良い。
スイッチング回路505は、記憶回路504において記憶されているデータに従ってスイ
ッチングを行うことで、光源503への電力の供給を制御する。なお図5(A)では、ス
イッチング回路505に、トランジスタを一つ用いている例を示しているが、本発明はこ
の構成に限定されない。スイッチング回路505に、トランジスタ以外の半導体素子を用
いていても良いし、複数のトランジスタを用いていても良い。また記憶回路504として
、ラッチ回路などを用いることができる。光源503として、LEDを用いることができ
る。ただし本発明の液晶表示装置に用いることができる光源は、必ずしもLEDに限定さ
れない。LEDのように点灯と消灯を高速で切り替えることが可能な発光素子であれば、
本発明の液晶表示装置の光源として用いることは可能である。
なお、本実施の形態では、記憶回路504を有している制御回路502の構成について説
明したが、本発明の液晶表示装置が有する制御回路は、必ずしも記憶回路を用いる必要は
ない。記憶回路を用いない場合は、制御回路502において、比較回路501の後段にス
イッチング回路505が設けられる。そして記憶回路を用いない場合、全てのフレーム期
間ごとに光源の駆動のタイミングを適宜設定し直すことになるので、基準となる電位RE
Fをフレーム期間ごとに変えるか、若しくは各極性に対応した比較回路及び制御回路を新
たに設けるようにする。
なお制御回路502は、図5(A)に示した構成に加え、バッファを有していても良い。
図5(B)に、比較回路501と、バッファ506をさらに有する制御回路502と、光
源503とを示す。図5(B)に示す制御回路502では、記憶回路504から出力され
る電位を、バッファ506を介して制御回路502に入力している。バッファ506を用
いることで、スイッチング回路505におけるスイッチングの制御に大電力が必要な場合
でも、確実にそのスイッチングを制御することができる。
なお、図5に示した構成の制御回路502が有する機能は、比較回路501において検出
された電位を用い、CPU(central processing unit)で行う
ことも可能である。ただし本発明では、CPUを用いた複雑な制御系の回路を使用せずに
、液晶の応答速度に合わせて光源503の駆動を制御することができるというメリットを
有する。或いは本発明では、CPUを使用していたとしても、CPUの負荷を低減させつ
つ、液晶の応答速度に合わせて光源503の駆動を制御することができるというメリット
を有する。
なお、図5(A)、図5(B)では、光源503を一つだけ図示しているが、本発明はこ
の構成に限定されない。光源503は、その数が単数であっても良いが、複数であっても
良い。
本実施の形態は、上記実施の形態と適宜組み合わせて実施することが可能である。
(実施の形態3)
本実施の形態では、本発明の液晶表示装置の全体的な構成の一例について説明する。図6
に、本発明の液晶表示装置のブロック図を示す。
図6に示す液晶表示装置は、液晶素子を備えた画素を複数有する画素部600と、各画素
をラインごとに選択する走査線駆動回路610と、選択されたラインの画素へのビデオ信
号の入力を制御する信号線駆動回路620と、比較回路630と、制御回路631と、光
源632とを有する。そして本発明では画素部600が有する画素のうち、いずれか1つ
をモニター用画素633として用いる。モニター用画素633の画素電極の電位は、比較
回路630に与えられる。
図6において信号線駆動回路620は、シフトレジスタ621、第1の記憶回路622、
第2の記憶回路623、DA(Digital to Analog)変換回路624を
有している。シフトレジスタ621には、クロック信号S−CLK、スタートパルス信号
S−SPが入力される。シフトレジスタ621は、これらクロック信号S−CLK及びス
タートパルス信号S−SPに従って、パルスが順次シフトするタイミング信号を生成し、
第1の記憶回路622に出力する。タイミング信号のパルスの出現する順序は、走査方向
切り替え信号に従って切り替えるようにしても良い。
第1の記憶回路622にタイミング信号が入力されると、該タイミング信号のパルスに従
って、ビデオ信号が順に第1の記憶回路622に書き込まれ、保持される。なお、第1の
記憶回路622が有する複数の記憶素子に順にビデオ信号を書き込んでも良いが、第1の
記憶回路622が有する複数の記憶素子をいくつかのグループに分け、該グループごとに
並行してビデオ信号を入力する、いわゆる分割駆動を行っても良い。なおこのときのグル
ープ数を分割数と呼ぶ。例えば4つの記憶素子ごとにグループに分けた場合、4分割で分
割駆動することになる。
第1の記憶回路622の全ての記憶素子への、ビデオ信号の書き込みが一通り終了するま
での時間を、ライン期間と呼ぶ。実際には、上記ライン期間に水平帰線期間が加えられた
期間をライン期間に含むことがある。
1ライン期間が終了すると、第2の記憶回路623に入力されるラッチ信号S−LSのパ
ルスに従って、第1の記憶回路622に保持されているビデオ信号が、第2の記憶回路6
23に一斉に書き込まれ、保持される。ビデオ信号を第2の記憶回路623に送出し終え
た第1の記憶回路622には、再びシフトレジスタ621からのタイミング信号に従って
、次のビデオ信号の書き込みが順次行われる。この2順目の1ライン期間中には、第2の
記憶回路623に書き込まれ、保持されているビデオ信号が、DA変換回路624に入力
される。
そしてDA変換回路624は、入力されたデジタルのビデオ信号をアナログのビデオ信号
に変換し、信号線を介して画素部600内の各画素に入力する。
なお信号線駆動回路620は、シフトレジスタ621の代わりに、パルスが順次シフトす
る信号を出力することができる別の回路を用いても良い。
なお図6ではDA変換回路624の後段に画素部600が直接接続されているが、本発明
はこの構成に限定されない。画素部600の前段に、DA変換回路624から出力された
ビデオ信号に信号処理を施す回路を設けることができる。信号処理を施す回路の一例とし
て、例えば波形を整形することができるバッファなどが挙げられる。
次に、走査線駆動回路610の動作について説明する。本発明の液晶表示装置では、画素
部600の各画素に走査線が複数設けられている。走査線駆動回路610は選択信号を生
成し、該選択信号を複数の各走査線に入力することで、画素をラインごとに選択する。選
択信号により画素が選択されると、該画素が有するスイッチング素子がオンになり、画素
へのビデオ信号の入力が行われる。
なお、本実施の形態では複数の走査線に入力される選択信号を、全て一の走査線駆動回路
610で生成している例について述べたが、本発明はこの構成に限定されない。複数の走
査線駆動回路610で複数の走査線に入力される選択信号の生成を行うようにしても良い
また、画素部600、走査線駆動回路610、信号線駆動回路620、比較回路630、
制御回路631は、同一基板上に形成することができるが、いずれかを異なる基板上に形
成することもできる。
また、図6では、光源632を一つだけ図示しているが、本発明はこの構成に限定されな
い。光源632は、その数が単数であっても良いが、複数であっても良い。
次に図7に、図6とは異なる、本実施の形態の液晶表示装置のブロック図を一例として示
す。
図7に示す本発明の液晶表示装置は、複数の画素を有する画素部640と、複数の画素を
ラインごとに選択することができる走査線駆動回路650と、選択されたライン内の画素
へのビデオ信号の入力を制御する信号線駆動回路660と、比較回路670と、制御回路
671と、光源672とを有する。そして本発明では画素部640が有する画素のうち、
いずれか1つをモニター用画素673として用いる。モニター用画素673の画素電極の
電位は、比較回路670に与えられる。
信号線駆動回路660は、シフトレジスタ661と、サンプリング回路662と、アナロ
グ信号を記憶することができる記憶回路663とを少なくとも有する。シフトレジスタ6
61にクロック信号S−CLKと、スタートパルス信号S−SPが入力されると、シフト
レジスタ661はこれらクロック信号S−CLK及びスタートパルス信号S−SPに従っ
て、パルスが順次シフトするタイミング信号を生成し、サンプリング回路662に入力す
る。サンプリング回路662では、入力されたタイミング信号に従って、信号線駆動回路
660に入力された1ライン期間分のアナログのビデオ信号をサンプリングする。そして
1ライン期間分のビデオ信号が全てサンプリングされると、サンプリングされたビデオ信
号はラッチ信号S−LSに従って一斉に記憶回路663に出力され、保持される。記憶回
路663に保持されるビデオ信号は、信号線を介して画素部640に入力される。
なお本実施の形態では、サンプリング回路662において1ライン期間分のビデオ信号を
全てサンプリングした後に、一斉に下段の記憶回路663にサンプリングされたビデオ信
号を入力する場合を例に挙げて説明するが、本発明はこの構成に限定されない。サンプリ
ング回路662において各画素に対応するビデオ信号をサンプリングしたら、1ライン期
間を待たずに、その都度下段の記憶回路663にサンプリングされたビデオ信号を入力し
ても良い。
またビデオ信号のサンプリングは対応する画素毎に順に行っても良いし、1ライン内の画
素をいくつかのグループに分け、各グループに対応する画素ごとに並行して行っても良い
なお図7では記憶回路663の後段に直接画素部640が接続されているが、本発明はこ
の構成に限定されない。画素部640の前段に、記憶回路663から出力されたアナログ
のビデオ信号に信号処理を施す回路を設けることができる。信号処理を施す回路の一例と
して、例えば波形を整形することができるバッファなどが挙げられる。
そして、記憶回路663から画素部640にビデオ信号が入力されるのと並行して、サン
プリング回路662は次のライン期間に対応するビデオ信号を再びサンプリングすること
ができる。
次に、走査線駆動回路650の動作について説明する。本発明の液晶表示装置では、画素
部640の各画素に走査線が複数設けられている。走査線駆動回路650は選択信号を生
成し、該選択信号を複数の各走査線に入力することで、画素をラインごとに選択する。選
択信号により画素が選択されると、該画素が有するスイッチング素子がオンになり、画素
へのビデオ信号の入力が行われる。
なお、本実施の形態では複数の走査線に入力される選択信号を、全て一の走査線駆動回路
650で生成している例について述べたが、本発明はこの構成に限定されない。複数の走
査線駆動回路650で複数の走査線に入力される選択信号の生成を行うようにしても良い
また、画素部640、走査線駆動回路650、信号線駆動回路660、比較回路670、
制御回路671は、同一基板上に形成することができるが、いずれかを異なる基板上に形
成することもできる。
また、図7では、光源672を一つだけ図示しているが、本発明はこの構成に限定されな
い。光源672は、その数が単数であっても良いが、複数であっても良い。
本実施の形態は、上記実施の形態と適宜組み合わせて実施することが可能である。
(実施の形態4)
本実施の形態では、液晶表示装置が置かれる環境下の輝度を検出し、検出された輝度に合
わせて光源の輝度を調整する液晶表示装置の構成について説明する。
図8(A)に、本実施の形態の液晶表示装置が有する、光源801の制御系の回路の一例
を示す。図8(A)に示す光源801の制御系の回路は、比較回路802、制御回路80
3、光検出器804、信号生成回路805、輝度制御回路806を有する。
比較回路802は、画素から与えられる液晶素子の画素電極の電位Vと、基準となる電
位REFとを比較し、その結果に従って互いに値の異なる2値の電位を出力する。制御回
路803は、比較回路802から出力された電位に従って、光源801の駆動を制御する
。具体的には、2値の電位のうち、一方の電位が比較回路802から出力されたとき、制
御回路803は光源801が点灯するように制御し、他方の電位が比較回路802から出
力されたとき、制御回路803は光源801が消灯するように制御する。比較回路802
から出力される電位は、液晶分子の配向の変化が収束する前と後とで、その値が切り替わ
るので、制御回路803は液晶分子の配向が変化するタイミングに従って、光源801の
駆動を制御することができる。
光検出器804は、液晶表示装置が置かれる環境下の輝度または光強度を検出し、該輝度
または光強度の情報を含む電気信号(第1の信号)を生成することができる。光検出器8
04として、例えばフォトダイオード、フォトトランジスタ、電荷結合素子(CCD:C
harge Coupled Device)などの、光を電気エネルギーに変換する光
電変換素子を用いることができる。
信号生成回路805は、光検出器804で生成される電気信号を用い、検出された輝度の
情報に従って光源801の輝度を決める。図8(A)では、信号生成回路805が積分回
路807と、輝度比較回路808とを有する例を示している。
積分回路807は光検出器804において検出された光強度を時間で積分する。人間は、
一定時間内の光強度を積分して知覚するという特性を有しているので、積分回路807を
用いることで、人間の目が感じる輝度を算出することができる。輝度比較回路808は、
積分回路807によって算出された輝度と、あらかじめ設定しておいた基準となる輝度と
を比較する。
そして、比較の結果が情報として含まれる信号(第2の信号)を出力する。輝度制御回路
806は、上記第2の信号を、光源の輝度を調整するための信号として用い、輝度比較回
路808における比較の結果に従って光源801の輝度の制御を行う。具体的には、算出
された輝度が設定された輝度よりも高い場合、光源801の輝度がより高くなるように、
逆に算出された輝度が設定された輝度よりも低い場合、光源801の輝度がより低くなる
ように、第2の信号に従って光源801の輝度の制御を行う。
よって本実施の形態の液晶表示装置では、液晶表示装置が置かれる環境下の輝度が高い場
合に光源801の輝度を高め、逆に環境下の輝度が低い場合に光源801の輝度を低くす
ることができる。上記構成により、明るい場所では液晶表示装置に表示される映像を明る
くすることで見やすくし、逆に、暗い場所では映像の明るさを抑えて消費電力を低減させ
ることができる。
なお、基準となる輝度は必ずしも1つである必要はなく、基準となる輝度が複数設定され
ていても良い。例えば、輝度の低い順から第1の輝度、第2の輝度、第3の輝度というよ
うに、3つの基準となる輝度が設定されていている場合、点灯時の光源801の輝度を4
段階に調整できるようにする。そして、算出された輝度が第1の輝度よりも低い時は、4
段階のうち最も低い輝度になるように、第2の信号に従って光源801を点灯させる。ま
た、算出された輝度が第1の輝度よりも高く、第2の輝度よりも低い時は、4段階のうち
2番目に低い輝度になるように、第2の信号に従って光源801を点灯させる。また、算
出された輝度が第2の輝度よりも高く、第3の輝度よりも低い時は、4段階のうち2番目
に高い輝度になるように、第2の信号に従って光源801を点灯させる。また、算出され
た輝度が第3の輝度よりも高い時は、4段階のうち最も高い輝度になるように、第2の信
号に従って光源801を点灯させる。
さらに、本実施の形態の液晶表示装置では、上記効果に加え、液晶分子の配向の変化が収
束するタイミングを把握できるので、該タイミングに従って光源801の駆動のタイミン
グを適宜設定し直すことができる。よって、液晶の応答速度が変化しても、液晶分子の配
向の変化が著しい期間に光源801を消灯し、液晶分子の配向の変化が収束している期間
に光源801を点灯し、動画がぼやけて視認されてしまうのを防ぐことができる。
次に図8(B)に、輝度制御回路806の具体的な回路の一例を示す。図8(B)に示す
輝度制御回路806は、4段階で光源801の輝度を制御する場合を例示しており、4つ
のスイッチング素子810と、4つの抵抗素子811とを有している。スイッチング素子
810と抵抗素子811とは一対一で直列に接続されている。そして、直列に接続された
スイッチング素子810と抵抗素子811の4つの組が、制御回路803と光源801と
の間において、全て並列に接続されている。
各スイッチング素子810のスイッチングは、信号生成回路805から出力される第2の
信号に従って行われる。オンになるスイッチング素子810の数が多いほど、制御回路8
03と光源801との間における抵抗値が低くなる。逆に、オンになるスイッチング素子
810の数が少ないほど、制御回路803と光源801との間における抵抗値は高くなる
。よって、制御回路803において設定されたタイミングに従って、電力の供給が行われ
ると、各スイッチング素子810のスイッチングに従って、光源801に供給される電力
を調整することができ、光源801の輝度を4段階に制御することができる。
なお、光源801への電力の供給の有無は、制御回路803において制御されるので、輝
度制御回路806では光源801へ供給される電力量を制御するのみで良い。よって、複
数のスイッチング素子810のうち、少なくとも1つは常にオンにしておく。ただし、本
発明は必ずしもこの構成に限定されず、輝度制御回路806においても光源801への電
力の供給の有無を制御するべく、全てのスイッチング素子810をオフにできる構成とし
ても良い。
また、m個の抵抗素子811全てが同じ抵抗値を有するのであれば、m段階で輝度の制御
を行うことになるが、各抵抗素子811が有する抵抗値の値を変えることで、最高で(2
−1)段階まで細かく輝度の制御を行うことが可能である。
また、図8では、光源801を一つだけ図示しているが、本発明はこの構成に限定されな
い。光源801は、その数が単数であっても良いが、複数であっても良い。
本実施の形態は、上記実施の形態と適宜組み合わせて実施することが可能である。
(実施の形態5)
本実施の形態では、液晶表示装置が有する画素部を複数の領域に分割し、各領域に配置さ
れている画素の階調の平均値に合わせて、領域ごとに対応する光源の輝度を調整する、液
晶表示装置の構成について説明する。
本実施の形態の液晶表示装置は、各領域に対応した複数の光源を有する。図9(A)に、
第1の領域の画素に対応した第1の光源820と、第2の領域の画素に対応した第2の光
源821とを有する液晶表示装置における、第1の光源820及び第2の光源821の制
御系の回路の一例を示す。なお、光源の数は2つに限定されず、分割する領域の数に合わ
せて、対応する光源の数を適宜設定することができる。
図9(A)に示す第1の光源820及び第2の光源821の制御系の回路は、比較回路(
比較回路8221及び比較回路8222)、制御回路823、画像処理用フィルタ824
、信号処理回路825、第1の輝度制御回路826及び第2の輝度制御回路827を有す
る。
比較回路8221は、第1の領域の画素から与えられる液晶素子の画素電極の電位VE1
と、基準となる電位REFとを比較し、その結果に従って比較回路8221から値の異な
る2値の電位を制御回路823に出力する。
比較回路8222は、第2の領域の画素から与えられる液晶素子の画素電極の電位VE2
と、基準となる電位REFとを比較し、その結果に従って比較回路8222から互いに値
の異なる2値の電位を制御回路823に出力する。
制御回路823は、比較回路8221及び比較回路8222から出力された電位に従って
、第1の光源820及び第2の光源821の駆動を制御する。具体的には、比較回路82
21から2値の電位のうち、一方の電位が制御回路823に出力されたとき、制御回路8
23は第1の光源820が点灯するように制御し、他方の電位が制御回路823に出力さ
れたとき、制御回路823は第1の光源820が消灯するように制御する。また、比較回
路8222から2値の電位のうち、一方の電位が制御回路823に出力されたとき、制御
回路823は第2の光源821が点灯するように制御し、他方の電位が制御回路823に
出力されたとき、制御回路823は第2の光源821が消灯するように制御する。比較回
路8221及び比較回路8222から出力される電位は、液晶分子の配向の変化が収束す
る前と後とで、その値が切り替わるので、制御回路823は液晶分子の配向が変化するタ
イミングに従って、第1の光源820及び第2の光源821の駆動を制御することができ
る。
一方、画像処理用フィルタ824は、各領域の画素に入力されるビデオ信号を用い、領域
ごとに画素の階調の平均値を算出し、該平均値を情報として含む信号を生成する。画像処
理用フィルタ824として、例えばランクフィルタ、コンボフィルタなどの、階調の平均
値を算出できる画像処理用フィルタを、用いることができる。
信号処理回路825は、画像処理用フィルタ824で生成される信号を用い、算出された
階調の平均値に従って第1の光源820及び第2の光源821の輝度を決める。具体的に
信号処理回路825では、算出された階調の平均値と、あらかじめ設定しておいた階調と
を比較する。そして、比較の結果が情報として含まれる信号を出力する。第1の輝度制御
回路826及び第2の輝度制御回路827は、上記比較の結果が含まれる信号を、第1の
光源820及び第2の光源821の輝度を調整するための信号として用い、該信号に従っ
て第1の光源820及び第2の光源821の輝度の制御を行う。具体的には、算出された
階調の平均値が設定された階調よりも高い場合、第1の光源820及び第2の光源821
の輝度がより高くなるように、逆に算出された階調の平均値が設定された階調よりも低い
場合、第1の光源820及び第2の光源821の輝度がより低くなるように、第1の光源
820及び第2の光源821の輝度の制御を行う。
図9(B)に、4つの領域840、領域841、領域842、領域843に分割した画素
部と、領域840に対応する光源844、領域841に対応する光源845、領域842
に対応する光源846、領域843に対応する光源847の配置を一例として示す。なお
実際に光源からの光は、対応する領域以外の別の領域にも照射される場合が多いが、各領
域に対応する光源は、主に該領域に光を照射することができるものであれば良い。
領域840、領域841、領域842、領域843において、それぞれ配置されている画
素の階調を平均化した結果、例えば、領域840、領域841、領域842、領域843
の順に平均化された階調が低くなっているものと仮定する。この場合、光源844、光源
845、光源846、光源847の順に、光源の輝度を低くすれば良い。
なお、図9(B)は、画素部の端に光源を配置するエッジライト型の光源を例示している
が、本発明の液晶表示装置は光源が画素部の直下に配置される直下型であっても良い。ま
た、図9(A)では、第1の光源820と、第2の光源821とをひとつずつ図示してい
るが、本発明はこの構成に限定されない。第1の光源820と、第2の光源821の数は
、それぞれ単数であっても良いが、複数であっても良い。
よって、本実施の形態の液晶表示装置では、階調が高くて明るい画像を表示する領域では
、より画像を明るく表示することができ、階調が低くて暗い画像を表示する領域では、よ
り画像を暗く表示することができる。上記構成により、本実施の形態の液晶表示装置では
、画素部全体に表示される画像のコントラストを高めることができる。
さらに、本実施の形態の液晶表示装置では、上記効果に加え、液晶分子の配向の変化が収
束するタイミングを把握できるので、該タイミングに従って第1の光源820及び第2の
光源821の駆動のタイミングを適宜設定し直すことができる。よって、液晶の応答速度
が変化しても、液晶分子の配向の変化が著しい期間に第1の光源820及び第2の光源8
21を消灯し、液晶分子の配向の変化が収束している期間に第1の光源820及び第2の
光源821を点灯し、動画がぼやけて視認されてしまうのを防ぐことができる。
なお、図9(A)に示す液晶表示装置では、第1の光源820及び第2の光源821にそ
れぞれ対応するように第1の輝度制御回路826及び第2の輝度制御回路827を設けて
いるが、本発明はこの構成に限定されない。複数の光源の階調を、一つの輝度制御回路で
制御するようにしても良い。また、第1の輝度制御回路826及び第2の輝度制御回路8
27は、図8(B)に示した輝度制御回路の構成を用いることができる。
なお、本実施の形態で示したような、画素部の領域ごとに対応する光源の輝度を調整する
場合においても、実施の形態4で示したように、液晶表示装置が置かれる環境下の輝度を
検出し、検出された輝度に合わせて各光源の輝度を調整するようにしても良い。
また本実施の形態は、実施の形態4以外の、上記実施の形態と適宜組み合わせて実施する
ことが可能である。
(実施の形態6)
本実施の形態では、実施の形態3とは異なる、本発明の液晶表示装置の全体的な構成の一
例について説明する。図10に、本発明の液晶表示装置のブロック図を示す。
図10に示す液晶表示装置は、液晶素子を備えた画素を複数有する画素部900と、各画
素をラインごとに選択する走査線駆動回路910と、選択されたラインの画素へのビデオ
信号の入力を制御する信号線駆動回路920と、比較回路930と、制御回路931と、
光源932とを有する。そして本発明では画素部900が有する画素のうち、いずれか1
つをモニター用画素933として用いる。モニター用画素933の画素電極の電位は、比
較回路930に与えられる。
図10において信号線駆動回路920は、シフトレジスタ921、第1の記憶回路922
、第2の記憶回路923を有している。シフトレジスタ921には、クロック信号S−C
LK、スタートパルス信号S−SPが入力される。シフトレジスタ921は、これらクロ
ック信号S−CLK及びスタートパルス信号S−SPに従って、パルスが順次シフトする
タイミング信号を生成し、第1の記憶回路922に出力する。タイミング信号のパルスの
出現する順序は、走査方向切り替え信号に従って切り替えるようにしても良い。
第1の記憶回路922にタイミング信号が入力されると、該タイミング信号のパルスに従
って、ビデオ信号が順に第1の記憶回路922に書き込まれ、保持される。なお、第1の
記憶回路922が有する複数の記憶素子に順にビデオ信号を書き込んでも良いが、第1の
記憶回路922が有する複数の記憶素子をいくつかのグループに分け、該グループごとに
並行してビデオ信号を入力する、いわゆる分割駆動を行っても良い。なおこのときのグル
ープ数を分割数と呼ぶ。例えば4つの記憶素子ごとにグループに分けた場合、4分割で分
割駆動することになる。
第1の記憶回路922の全ての記憶素子への、ビデオ信号の書き込みが一通り終了するま
での時間を、ライン期間と呼ぶ。実際には、上記ライン期間に水平帰線期間が加えられた
期間をライン期間に含むことがある。
1ライン期間が終了すると、第2の記憶回路923に入力されるラッチ信号S−LSのパ
ルスに従って、第1の記憶回路922に保持されているビデオ信号が、第2の記憶回路9
23に一斉に書き込まれ、保持される。ビデオ信号を第2の記憶回路923に送出し終え
た第1の記憶回路922には、再びシフトレジスタ921からのタイミング信号に従って
、次のビデオ信号の書き込みが順次行われる。この2順目の1ライン期間中には、第2の
記憶回路923に書き込まれ、保持されているビデオ信号が、デジタルのまま、信号線を
介して画素部900内の各画素に入力する。
なお信号線駆動回路920は、シフトレジスタ921の代わりに、パルスが順次シフトす
る信号を出力することができる別の回路を用いても良い。
なお図10では第2の記憶回路923の後段に画素部900が直接接続されているが、本
発明はこの構成に限定されない。画素部900の前段に、第2の記憶回路923から出力
されたビデオ信号に信号処理を施す回路を設けることができる。信号処理を施す回路の一
例として、例えば波形を整形することができるバッファ、電圧の振幅を制御するレベルシ
フタなどが挙げられる。
次に、走査線駆動回路910の動作について説明する。本発明の液晶表示装置では、画素
部900の各画素に走査線が複数設けられている。走査線駆動回路910は選択信号を生
成し、該選択信号を複数の各走査線に入力することで、画素をラインごとに選択する。選
択信号により画素が選択されると、該画素が有するスイッチング素子がオンになり、画素
へのビデオ信号の入力が行われる。
なお、本実施の形態では複数の走査線に入力される選択信号を、全て一つの走査線駆動回
路910で生成している例について述べたが、本発明はこの構成に限定されない。複数の
走査線駆動回路910で複数の走査線に入力される選択信号の生成を行うようにしても良
い。
本実施の形態に示す液晶表示装置は、画素部900にデジタルのビデオ信号が入力される
。画素部900に入力されるビデオ信号がデジタルの場合、画素が白表示を行う時間を制
御することで、階調を表示しても良いし(時間階調方式)、または白表示を行う画素の面
積で階調を表示しても良い(面積階調方式)。例えば本実施の形態において時間階調方式
を用いる場合、1フレーム期間を、ビデオ信号の各ビットに対応する複数のサブフレーム
期間に分割する。そして、1フレーム期間のうち、画素が白表示を行ったサブフレーム期
間のトータルの長さをビデオ信号で制御することで、階調を表示することができる。
また、画素部900、走査線駆動回路910、信号線駆動回路920、比較回路930、
制御回路931は、同一基板上に形成することができるが、いずれかを異なる基板上に形
成することもできる。
また、図10では、光源932を一つだけ図示しているが、本発明はこの構成に限定され
ない。光源932は、その数が単数であっても良いが、複数であっても良い。
本実施の形態は、上記実施の形態と適宜組み合わせて実施することが可能である。
次に、本発明の液晶表示装置の作製方法について詳しく述べる。なお本実施例では薄膜ト
ランジスタ(TFT)を半導体素子の一例として示すが、本発明の液晶表示装置に用いら
れる半導体素子はこれに限定されない。例えばTFTの他に、記憶素子、ダイオード、抵
抗素子、コイル、容量素子、インダクタなどを用いることができる。
まず図11(A)に示すように、耐熱性を有する基板700上に、絶縁膜701、剥離層
702、絶縁膜703と、半導体膜704とを順に形成する。絶縁膜701、剥離層70
2、絶縁膜703及び半導体膜704は連続して形成することが可能である。
基板700として、例えばバリウムホウケイ酸ガラスや、アルミノホウケイ酸ガラスなど
のガラス基板、石英基板、セラミック基板等を用いることができる。また、ステンレス基
板を含む金属基板、またはシリコン基板等の半導体基板を用いても良い。プラスチック等
の可撓性を有する合成樹脂からなる基板は、上記基板と比較して耐熱温度が一般的に低い
傾向にあるが、作製工程における処理温度に耐え得るのであれば用いることが可能である
プラスチック基板として、ポリエチレンテレフタレート(PET)に代表されるポリエス
テル、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリカ
ーボネート(PC)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリスルホン(PSF
)、ポリエーテルイミド(PEI)、ポリアリレート(PAR)、ポリブチレンテレフタ
レート(PBT)、ポリイミド、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂、ポリ塩化ビ
ニル、ポリプロピレン、ポリ酢酸ビニル、アクリル樹脂などが挙げられる。
なお本実施例では、剥離層702を基板700上の全面に設けているが本発明はこの構成
に限定されない。例えばフォトリソグラフィ法などを用いて、基板700上において剥離
層702を部分的に形成する様にしても良い。
絶縁膜701、絶縁膜703は、CVD法やスパッタリング法等を用いて、酸化珪素、窒
化珪素、酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y>0)、窒化酸化珪素(SiNxOy)
(x>y>0)等の絶縁性を有する材料を用いて形成する。
絶縁膜701、絶縁膜703は、基板700中に含まれるNaなどのアルカリ金属やアル
カリ土類金属が半導体膜704中に拡散し、TFTなどの半導体素子の特性に悪影響を及
ぼすのを防ぐために設ける。また絶縁膜703は、剥離層702に含まれる不純物元素が
半導体膜704中に拡散するのを防ぎ、なおかつ後の半導体素子を剥離する工程において
、半導体素子を保護する役目も有している。
絶縁膜701、絶縁膜703は、単数の絶縁膜を用いたものであっても、複数の絶縁膜を
積層して用いたものであっても良い。本実施例では、膜厚100nmの酸化窒化珪素膜、
膜厚50nmの窒化酸化珪素膜、膜厚100nmの酸化窒化珪素膜を順に積層して絶縁膜
703を形成するが、各膜の材質、膜厚、積層数は、これに限定されるものではない。例
えば、下層の酸化窒化珪素膜に代えて、膜厚0.5〜3μmのシロキサン系樹脂をスピン
コート法、スリットコーター法、液滴吐出法、印刷法などによって形成しても良い。また
、中層の窒化酸化珪素膜に代えて、窒化珪素膜を用いてもよい。また、上層の酸化窒化珪
素膜に代えて、酸化珪素膜を用いていても良い。また、それぞれの膜厚は、0.05〜3
μmとするのが望ましく、その範囲から自由に選択することができる。
或いは、剥離層702に最も近い、絶縁膜703の下層を酸化窒化珪素膜または酸化珪素
膜で形成し、中層をシロキサン系樹脂で形成し、上層を酸化珪素膜で形成しても良い。
なおシロキサン系樹脂とは、シロキサン系材料を出発材料として形成されたSi−O−S
i結合を含む樹脂に相当する。シロキサン系樹脂は、置換基に水素の他、フッ素、アルキ
ル基、または芳香族炭化水素のうち、少なくとも1種を有していても良い。
酸化珪素膜は、シランと酸素、TEOS(テトラエトキシシラン)と酸素などの組み合わ
せの混合ガスを用い、熱CVD、プラズマCVD、常圧CVD、バイアスECRCVD等
の方法によって形成することができる。また、窒化珪素膜は、代表的には、シランとアン
モニアの混合ガスを用い、プラズマCVDによって形成することができる。また、酸化窒
化珪素膜、窒化酸化珪素膜は、代表的には、シランと一酸化二窒素の混合ガスを用い、プ
ラズマCVDによって形成することができる。
剥離層702は、金属膜、金属酸化膜、金属膜と金属酸化膜とを積層して形成される膜を
用いることができる。金属膜と金属酸化膜は、単層であっても良いし、複数の層が積層さ
れた積層構造を有していても良い。また、金属膜や金属酸化膜の他に、金属窒化物や金属
酸化窒化物を用いてもよい。剥離層702は、スパッタ法やプラズマCVD法等の各種C
VD法等を用いて形成することができる。
剥離層702に用いられる金属としては、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、チ
タン(Ti)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、ニッケル(Ni)、コバルト(Co
)、ジルコニウム(Zr)、亜鉛(Zn)、ルテニウム(Ru)、ロジウム(Rh)、パ
ラジウム(Pd)、オスミウム(Os)またはイリジウム(Ir)等が挙げられる。剥離
層702は、上記金属で形成された膜の他に、上記金属を主成分とする合金で形成された
膜、或いは上記金属を含む化合物を用いて形成された膜を用いても良い。
また剥離層702は珪素(Si)単体で形成された膜を用いても良いし、珪素(Si)を
主成分とする化合物で形成された膜を用いても良い。或いは、珪素と上記金属とを含む合
金で形成された膜を用いても良い。珪素を含む膜は、非晶質、微結晶、多結晶のいずれで
もよい。
剥離層702は、上述した膜を単層で用いても良いし、上述した複数の膜を積層して用い
ても良い。金属膜と金属酸化膜とが積層された剥離層702は、元となる金属膜を形成し
た後、該金属膜の表面を酸化または窒化させることで形成することができる。具体的には
、酸素雰囲気中または一酸化二窒素雰囲気中で元となる金属膜にプラズマ処理を行ったり
、酸素雰囲気中または一酸化二窒素雰囲気中で金属膜に加熱処理を行ったりすればよい。
また元となる金属膜上に接するように、酸化珪素膜または酸化窒化珪素膜を形成すること
でも、金属膜の酸化を行うことが出来る。また元となる金属膜上に接するように、窒化酸
化珪素膜、窒化珪素膜を形成することで、窒化を行うことが出来る。
金属膜の酸化または窒化を行うプラズマ処理として、プラズマ密度が1×1011cm
以上、好ましくは1×1011cm−3から9×1015cm−3以下であり、マイク
ロ波(例えば周波数2.45GHz)などの高周波を用いた高密度プラズマ処理を行って
も良い。
なお、もととなる金属膜の表面を酸化することで、金属膜と金属酸化膜とが積層した剥離
層702を形成するようにしても良いが、金属膜を形成した後に金属酸化膜を別途形成す
るようにしても良い。例えば金属としてタングステンを用いる場合、スパッタ法やCVD
法等により元となる金属膜としてタングステン膜を形成した後、該タングステン膜にプラ
ズマ処理を行う。これにより、金属膜に相当するタングステン膜と、該金属膜に接し、な
おかつタングステンの酸化物で形成された金属酸化膜とを、形成することができる。
半導体膜704は、絶縁膜703を形成した後、大気に曝さずに形成することが望ましい
。半導体膜704の膜厚は20〜200nm(望ましくは40〜170nm、好ましくは
50〜150nm)とする。なお半導体膜704は、非晶質半導体であっても良いし、多
結晶半導体であっても良い。また半導体は珪素だけではなくシリコンゲルマニウムも用い
ることができる。シリコンゲルマニウムを用いる場合、ゲルマニウムの濃度は0.01〜
4.5atomic%程度であることが好ましい。
なお半導体膜704は、公知の技術により結晶化しても良い。公知の結晶化方法としては
、レーザ光を用いたレーザ結晶化法、触媒元素を用いる結晶化法がある。或いは、触媒元
素を用いる結晶化法とレーザ結晶化法とを組み合わせて用いることもできる。また、基板
700として石英のような耐熱性に優れている基板を用いる場合、電熱炉を使用した熱結
晶化方法、赤外光を用いたランプアニール結晶化法、触媒元素を用いる結晶化法、950
℃程度の高温アニールを適宜組み合わせた結晶法を用いても良い。
例えばレーザ結晶化を用いる場合、レーザ結晶化の前に、レーザに対する半導体膜704
の耐性を高めるために、550℃、4時間の加熱処理を該半導体膜704に対して行なう
。そして連続発振が可能な固体レーザを用い、基本波の第2高調波〜第4高調波のレーザ
光を照射することで、大粒径の結晶を得ることができる。例えば、代表的には、Nd:Y
VOレーザ(基本波1064nm)の第2高調波(532nm)や第3高調波(355
nm)を用いるのが望ましい。具体的には、連続発振のYVOレーザから射出されたレ
ーザ光を非線形光学素子により高調波に変換し、出力10Wのレーザ光を得る。そして、
好ましくは光学系により照射面にて矩形状または楕円形状のレーザ光に成形して、半導体
膜704に照射する。このときのエネルギー密度は0.01〜100MW/cm程度(
好ましくは0.1〜10MW/cm)が必要である。そして、走査速度を10〜200
0cm/sec程度とし、照射する。
連続発振の気体レーザとして、Arレーザ、Krレーザなどを用いることが出来る。また
連続発振の固体レーザとして、YAGレーザ、YVOレーザ、YLFレーザ、YAlO
レーザ、フォルステライト(MgSiO)レーザ、GdVOレーザ、Y
ーザ、ガラスレーザ、ルビーレーザ、アレキサンドライトレーザ、Ti:サファイアレー
ザなどを用いることが出来る。
またパルス発振のレーザとして、例えばArレーザ、Krレーザ、エキシマレーザ、CO
レーザ、YAGレーザ、Yレーザ、YVOレーザ、YLFレーザ、YAlO
レーザ、ガラスレーザ、ルビーレーザ、アレキサンドライトレーザ、Ti:サファイアレ
ーザ、銅蒸気レーザまたは金蒸気レーザを用いることができる。
また、パルス発振のレーザ光の発振周波数を10MHz以上とし、通常用いられている数
十Hz〜数百Hzの周波数帯よりも著しく高い周波数帯を用いてレーザ結晶化を行なって
も良い。パルス発振でレーザ光を半導体膜704に照射してから半導体膜704が完全に
固化するまでの時間は数十nsec〜数百nsecと言われている。よって上記周波数を
用いることで、半導体膜704がレーザ光によって溶融してから固化するまでに、次のパ
ルスのレーザ光を照射できる。したがって、半導体膜704中において固液界面を連続的
に移動させることができるので、走査方向に向かって連続的に成長した結晶粒を有する半
導体膜704が形成される。具体的には、含まれる結晶粒の走査方向における幅が10〜
30μm、走査方向に対して垂直な方向における幅が1〜5μm程度の結晶粒の集合を形
成することができる。該走査方向に沿って連続的に成長した単結晶の結晶粒を形成するこ
とで、少なくともTFTのチャネル方向には結晶粒界のほとんど存在しない半導体膜70
4の形成が可能となる。
なおレーザ結晶化は、連続発振の基本波のレーザ光と連続発振の高調波のレーザ光とを並
行して照射するようにしても良いし、連続発振の基本波のレーザ光とパルス発振の高調波
のレーザ光とを並行して照射するようにしても良い。
なお、希ガスや窒素などの不活性ガス雰囲気中でレーザ光を照射するようにしても良い。
これにより、レーザ光照射による半導体表面の荒れを抑えることができ、界面準位密度の
ばらつきによって生じる閾値電圧のばらつきを抑えることができる。
上述したレーザ光の照射により、結晶性がより高められた半導体膜704が形成される。
なお、予め半導体膜704に、スパッタ法、プラズマCVD法、熱CVD法などで形成し
た多結晶半導体を用いるようにしても良い。
また本実施例では半導体膜704を結晶化しているが、結晶化せずに非晶質珪素膜または
微結晶半導体膜のまま、後述のプロセスに進んでも良い。非晶質半導体、微結晶半導体を
用いたTFTは、多結晶半導体を用いたTFTよりも作製工程が少ない分、コストを抑え
、歩留まりを高くすることができるというメリットを有している。
非晶質半導体は、珪素を含む気体をグロー放電分解することにより得ることができる。珪
素を含む気体としては、SiH、Siが挙げられる。この珪素を含む気体を、水
素、水素及びヘリウムで希釈して用いても良い。
次に半導体膜704に対して、p型を付与する不純物元素又はn型を付与する不純物元素
を低濃度に添加するチャネルドープを行う。チャネルドープは半導体膜704全体に対し
て行っても良いし、半導体膜704の一部に対して選択的に行っても良い。p型を付与す
る不純物元素としては、ボロン(B)やアルミニウム(Al)やガリウム(Ga)等を用
いることができる。n型を付与する不純物元素としては、リン(P)やヒ素(As)等を
用いることができる。ここでは、不純物元素として、ボロン(B)を用い、当該ボロンが
1×1016〜5×1017/cmの濃度で含まれるよう添加する。
次に図11(B)に示すように、半導体膜704を所定の形状に加工(パターニング)し
、島状の半導体膜705〜707を形成する。そして、島状の半導体膜705〜707を
覆うように、ゲート絶縁膜709を形成する。ゲート絶縁膜709は、プラズマCVD法
またはスパッタリング法などを用い、窒化珪素、酸化珪素、窒化酸化珪素または酸化窒化
珪素を含む膜を、単層で、または積層させて形成することができる。積層する場合には、
例えば、基板700側から酸化珪素膜、窒化珪素膜、酸化珪素膜の3層構造とするのが好
ましい。
ゲート絶縁膜709は、高密度プラズマ処理を行うことにより島状の半導体膜705〜7
07の表面を酸化または窒化することで形成しても良い。高密度プラズマ処理は、例えば
He、Ar、Kr、Xeなどの希ガスと酸素、酸化窒素、アンモニア、窒素、水素などの
混合ガスとを用いて行う。この場合プラズマの励起をマイクロ波の導入により行うことで
、低電子温度で高密度のプラズマを生成することができる。このような高密度のプラズマ
で生成された酸素ラジカル(OHラジカルを含む場合もある)や窒素ラジカル(NHラジ
カルを含む場合もある)によって、半導体膜の表面を酸化または窒化することにより、1
〜20nm、代表的には5〜10nmの絶縁膜が半導体膜に接するように形成される。こ
の5〜10nmの絶縁膜をゲート絶縁膜709として用いる。
上述した高密度プラズマ処理による半導体膜の酸化または窒化は固相反応で進むため、ゲ
ート絶縁膜と半導体膜の界面準位密度をきわめて低くすることができる。また高密度プラ
ズマ処理により半導体膜を直接酸化または窒化することで、形成される絶縁膜の厚さのば
らつきを抑えることが出来る。また半導体膜が結晶性を有する場合、高密度プラズマ処理
を用いて半導体膜の表面を固相反応で酸化させることにより、結晶粒界においてのみ酸化
が速く進んでしまうのを抑え、均一性が良く、界面準位密度の低いゲート絶縁膜を形成す
ることができる。高密度プラズマ処理により形成された絶縁膜を、ゲート絶縁膜の一部ま
たは全部に含んで形成されるトランジスタは、特性のばらつきを抑えることができる。
次に図11(C)に示すように、ゲート絶縁膜709上に導電膜を形成した後、該導電膜
を所定の形状に加工(パターニング)することで、島状の半導体膜705〜707の上方
に電極710を形成する。本実施例では積層された2つの導電膜をパターニングして電極
710を形成する。導電膜は、タンタル(Ta)、タングステン(W)、チタン(Ti)
、モリブデン(Mo)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、クロム(Cr)、ニオブ(
Nb)等を用いることが出来る。また上記金属を主成分とする合金を用いても良いし、上
記金属を含む化合物を用いても良い。または、半導体膜に導電性を付与するリン等の不純
物元素をドーピングした、多結晶珪素などの半導体を用いて形成しても良い。
本実施例では、1層目の導電膜として窒化タンタル膜またはタンタル膜を、2層目の導電
膜としてタングステン膜を用いる。2つの導電膜の組み合わせとして、本実施例で示した
例の他に、窒化タングステン膜とタングステン膜、窒化モリブデン膜とモリブデン膜、ア
ルミニウム膜とタンタル膜、アルミニウム膜とチタン膜等が挙げられる。タングステンや
窒化タンタルは、耐熱性が高いため、2層の導電膜を形成した後の工程において、熱活性
化を目的とした加熱処理を行うことができる。また、2層の導電膜の組み合わせとして、
例えば、n型を付与する不純物がドーピングされた珪素とニッケルシリサイド、n型を付
与する不純物がドーピングされたSiとWSix等も用いることが出来る。
また、本実施例では電極710を積層された2つの導電膜で形成しているが、本実施例は
この構成に限定されない。電極710は単層の導電膜で形成されていても良いし、3つ以
上の導電膜を積層することで形成されていても良い。3つ以上の導電膜を積層する3層構
造の場合は、モリブデン膜とアルミニウム膜とモリブデン膜の積層構造を採用するとよい
導電膜の形成にはCVD法、スパッタリング法等を用いることが出来る。本実施例では1
層目の導電膜を20〜100nmの厚さで形成し、2層目の導電膜を100〜400nm
の厚さで形成する。
なお電極710を形成する際に用いるマスクとして、レジストの代わりに酸化珪素、酸化
窒化珪素等をマスクとして用いてもよい。この場合、パターニングして酸化珪素、酸化窒
化珪素等のマスクを形成する工程が加わるが、エッチング時におけるマスクの膜減りがレ
ジストよりも少ないため、所望の幅を有する電極710を形成することができる。またマ
スクを用いずに、液滴吐出法を用いて選択的に電極710を形成しても良い。
なお液滴吐出法とは、所定の組成物を含む液滴を細孔から吐出または噴出することで所定
のパターンを形成する方法を意味し、インクジェット法などがその範疇に含まれる。
次に、電極710をマスクとして、島状の半導体膜705〜707に、n型を付与する不
純物元素(代表的にはP(リン)またはAs(砒素))を低濃度にドープする(第1のド
ーピング工程)。第1のドーピング工程の条件は、ドーズ量:1×1015〜1×10
/cm、加速電圧:50〜70keVとしたが、これに限定されるものではない。こ
の第1のドーピング工程によって、ゲート絶縁膜709を介してドーピングがなされ、島
状の半導体膜705〜707に、低濃度不純物領域711がそれぞれ形成される。なお、
第1のドーピング工程は、pチャネル型TFTとなる島状の半導体膜706をマスクで覆
って行っても良い。
次に図12(A)に示すように、nチャネル型TFTとなる島状の半導体膜705、70
7を覆うように、マスク712を形成する。そしてマスク712に加えて電極710をマ
スクとして用い、島状の半導体膜706に、p型を付与する不純物元素(代表的にはB(
ホウ素))を高濃度にドープする(第2のドーピング工程)。第2のドーピング工程の条
件は、ドーズ量:1×1019〜1×1020/cm、加速電圧:20〜40keVと
して行なう。この第2のドーピング工程によって、ゲート絶縁膜709を介してドーピン
グがなされ、島状の半導体膜706に、p型の高濃度不純物領域713が形成される。
次に図12(B)に示すように、マスク712をアッシング等により除去した後、ゲート
絶縁膜709及び電極710を覆うように、絶縁膜を形成する。該絶縁膜は、プラズマC
VD法やスパッタリング法等により、珪素膜、酸化珪素膜、酸化窒化珪素膜または窒化酸
化珪素膜や、有機樹脂などの有機材料を含む膜を、単層または積層して形成する。本実施
例では、膜厚100nmの酸化珪素膜をプラズマCVD法によって形成する。
そして、垂直方向を主体とした異方性エッチングにより、ゲート絶縁膜709及び該絶縁
膜を部分的にエッチングする。上記異方性エッチングによりゲート絶縁膜709が部分的
にエッチングされて、島状の半導体膜705〜707上に部分的に形成されたゲート絶縁
膜714が形成される。また上記異方性エッチングにより、ゲート絶縁膜709及び電極
710を覆うように形成された絶縁膜が部分的にエッチングされて、電極710の側面に
接するサイドウォール715が形成される。サイドウォール715は、LDD(Ligh
tly Doped drain)領域を形成する際のドーピング用のマスクとして用い
る。本実施例ではエッチングガスとしては、CHFとHeの混合ガスを用いる。なお、
サイドウォール715を形成する工程は、これらに限定されるものではない。
次に図12(C)に示すように、pチャネル型TFTとなる島状の半導体膜706を覆う
ようにマスク716を形成する。そして、形成したマスク716に加えて電極710及び
サイドウォール715をマスクとして用い、n型を付与する不純物元素(代表的にはPま
たはAs)を島状の半導体膜705、707に高濃度にドープする(第3のドーピング工
程)。第3のドーピング工程の条件は、ドーズ量:1×1019〜1×1020/cm
、加速電圧:60〜100keVとして行なう。この第3のドーピング工程によって、島
状の半導体膜705、707に、n型の高濃度不純物領域717が形成される。
なおサイドウォール715は、後に高濃度のn型を付与する不純物をドーピングし、サイ
ドウォール715の下部に低濃度不純物領域またはノンドープのオフセット領域を形成す
る際のマスクとして機能するものである。よって、低濃度不純物領域またはオフセット領
域の幅を制御するには、サイドウォール715を形成する際の異方性エッチングの条件ま
たはサイドウォール715を形成するための絶縁膜の膜厚を適宜変更し、サイドウォール
715のサイズを調整すればよい。なお、半導体膜706において、サイドウォール71
5の下部に低濃度不純物領域またはノンドープのオフセット領域を形成しても良い。
次に、マスク716をアッシング等により除去した後、不純物領域の加熱処理による活性
化を行っても良い。例えば、50nmの酸化窒化珪素膜を形成した後、550℃、4時間
、窒素雰囲気中において、加熱処理を行なえばよい。
また、水素を含む窒化珪素膜を、100nmの膜厚に形成した後、410℃、1時間、窒
素雰囲気中において加熱処理を行ない、島状の半導体膜705〜707を水素化する工程
を行なっても良い。或いは、水素を含む雰囲気中で、300〜450℃で1〜12時間の
加熱処理を行ない、島状の半導体膜705〜707を水素化する工程を行なっても良い。
加熱処理には、熱アニール、レーザーアニール法またはRTA法などを用いることが出来
る。加熱処理により、水素化のみならず、半導体膜に添加された不純物元素の活性化も行
うことが出来る。また、水素化の他の手段として、プラズマ水素化(プラズマにより励起
された水素を用いる)を行っても良い。この水素化の工程により、熱的に励起された水素
によりダングリングボンドを終端することができる。
上述した一連の工程により、nチャネル型TFT718、720と、pチャネル型TFT
719とが形成される。
次に図13(A)に示すように、TFT718、719、720を保護するための絶縁膜
722を形成する。絶縁膜722は必ずしも設ける必要はないが、絶縁膜722を形成す
ることで、アルカリ金属やアルカリ土類金属などの不純物がTFT718、719、72
0へ侵入するのを防ぐことが出来る。具体的に絶縁膜722として、窒化珪素、窒化酸化
珪素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、酸化珪素などを用いるのが望ましい。本実
施例では、膜厚600nm程度の酸化窒化珪素膜を、絶縁膜722として用いる。この場
合、上記水素化の工程は、該酸化窒化珪素膜形成後に行っても良い。
次に、TFT718、719、720を覆うように、絶縁膜722上に絶縁膜723を形
成する。絶縁膜723は、ポリイミド、アクリル、ベンゾシクロブテン、ポリアミド、エ
ポキシ等の、耐熱性を有する有機材料を用いることができる。また上記有機材料の他に、
低誘電率材料(low−k材料)、シロキサン系樹脂、酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪
素、窒化酸化珪素、PSG(リンガラス)、BPSG(リンボロンガラス)、アルミナ等
を用いることができる。シロキサン系樹脂は、置換基に水素の他、フッ素、アルキル基、
または芳香族炭化水素のうち少なくとも1種を有していても良い。なお、これらの材料で
形成される絶縁膜を複数積層させることで、絶縁膜723を形成しても良い。
絶縁膜723の形成には、その材料に応じて、CVD法、スパッタ法、SOG法、スピン
コート、ディップ、スプレー塗布、液滴吐出法(インクジェット法、スクリーン印刷、オ
フセット印刷等)、ドクターナイフ、ロールコーター、カーテンコーター、ナイフコータ
ー等を用いることができる。
次に島状の半導体膜705〜707がそれぞれ一部露出するように絶縁膜722及び絶縁
膜723にコンタクトホールを形成する。そして、該コンタクトホールを介して島状の半
導体膜705〜707に接する導電膜725〜730を形成する。コンタクトホール開口
時のエッチングに用いられるガスは、CHFとHeの混合ガスを用いたが、これに限定
されるものではない。
導電膜725〜730は、CVD法やスパッタリング法等により形成することができる。
具体的に導電膜725〜730として、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、チ
タン(Ti)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、ニッケル(Ni)、白金(Pt
)、銅(Cu)、金(Au)、銀(Ag)、マンガン(Mn)、ネオジム(Nd)、炭素
(C)、珪素(Si)等を用いることが出来る。また上記金属を主成分とする合金を用い
ても良いし、上記金属を含む化合物を用いても良い。導電膜725〜730は、上記金属
が用いられた膜を単層または複数積層させて形成することが出来る。
アルミニウムを主成分とする合金の例として、アルミニウムを主成分としニッケルを含む
ものが挙げられる。また、アルミニウムを主成分とし、ニッケルと、炭素または珪素の一
方または両方とを含むものも例として挙げることが出来る。アルミニウムやアルミニウム
シリコンは抵抗値が低く、安価であるため、導電膜725〜730を形成する材料として
最適である。特にアルミニウムシリコン膜は、導電膜725〜730をパターニングする
とき、レジストベークにおけるヒロックの発生をアルミニウム膜に比べて防止することが
できる。また、珪素の代わりに、アルミニウム膜に0.5%程度の銅(Cu)を混入させ
ても良い。
導電膜725〜730は、例えば、バリア膜とアルミニウムシリコン膜とバリア膜の積層
構造、バリア膜とアルミニウムシリコン膜と窒化チタン膜とバリア膜の積層構造を採用す
るとよい。なお、バリア膜とは、チタン、チタンの窒化物、モリブデンまたはモリブデン
の窒化物を用いて形成された膜である。アルミニウムシリコン膜を間に挟むようにバリア
膜を形成すると、アルミニウムやアルミニウムシリコンのヒロックの発生をより防止する
ことができる。また、還元性の高い元素であるチタンを用いてバリア膜を形成すると、島
状の半導体膜705〜707上に薄い酸化膜ができていたとしても、バリア膜に含まれる
チタンがこの酸化膜を還元し、導電膜725〜730と島状の半導体膜705〜707が
良好なコンタクトをとることができる。またバリア膜を複数積層するようにして用いても
良い。その場合、例えば、導電膜725〜730を下層からチタン、窒化チタン、アルミ
ニウムシリコン、チタン、窒化チタンの5層構造とすることが出来る。
なお、導電膜725、726はnチャネル型TFT718の高濃度不純物領域717に接
続されている。導電膜727、728はpチャネル型TFT719の高濃度不純物領域7
13に接続されている。導電膜729、730はnチャネル型TFT720の高濃度不純
物領域717に接続されている。
次に図13(B)に示すように、導電膜730に接するように、絶縁膜723上に電極7
31を形成する。図13(B)では、光を透過しやすい導電膜を用いて電極731を形成
し、透過型の液晶素子を作製する例を示すが、本発明はこの構成に限定されない。本発明
の液晶表示装置は、半透過型であっても良い。
電極731に用いられる透明導電膜には、例えば酸化珪素を含む酸化インジウムスズ(I
TSO)、酸化インジウムスズ(ITO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化インジウム亜鉛(
IZO)、ガリウムを添加した酸化亜鉛(GZO)などを用いることができる。
次に図13(C)に示すように、導電膜725〜730及び電極731を覆うように、絶
縁膜723上に保護層736を形成する。保護層736は、後に剥離層702を境にして
基板700を剥離する際に、絶縁膜723、導電膜725〜730及び電極731を保護
することができる材料を用いる。例えば、水またはアルコール類に可溶なエポキシ系、ア
クリレート系、シリコン系の樹脂を全面に塗布することで保護層736を形成することが
できる。
本実施例では、スピンコート法で水溶性樹脂(東亜合成製:VL−WSHL10)を膜厚
30μmとなるように塗布し、仮硬化させるために2分間の露光を行ったあと、紫外線を
裏面から2.5分、表面から10分、合計12.5分の露光を行って本硬化させて、保護
層736を形成する。なお、複数の有機樹脂を積層する場合、有機樹脂同士では使用して
いる溶媒によって塗布または焼成時に一部溶解する、密着性が高くなりすぎるなどの恐れ
がある。従って、絶縁膜723と保護層736を共に同じ溶媒に可溶な有機樹脂を用いる
場合、後の工程において保護層736の除去がスムーズに行なわれるように、絶縁膜72
3を覆うように、無機絶縁膜(窒化珪素膜、窒化酸化珪素膜、AlN膜、またはAlN
膜)を形成しておくことが好ましい。
次に図13(C)に示すように、絶縁膜703から絶縁膜723上に形成された導電膜7
25〜730及び電極731までの、TFTに代表される半導体素子や各種導電膜を含む
層(以下、「素子形成層738」と記す)と、保護層736とを、基板700から剥離す
る。本実施例では、第1のシート材737を保護層736に貼り合わせ、物理的な力を用
いて基板700から素子形成層738と、保護層736とを剥離する。剥離層702は、
全て除去せず一部が残存した状態であっても良い。
また上記剥離は、剥離層702のエッチングを用いた方法で行っても良い。この場合、剥
離層702が一部露出するように溝を形成する。溝は、ダイシング、スクライビング、U
V光を含むレーザ光を用いた加工、フォトリソグラフィ法などにより、形成する。溝は、
剥離層702が露出する程度の深さを有していれば良い。そしてエッチングガスとしてフ
ッ化ハロゲンを用い、該ガスを溝から導入する。本実施例では、例えばClF(三フッ
化塩素)を用い、温度:350℃、流量:300sccm、気圧:800Pa、時間:3
hの条件で行なう。また、ClFガスに窒素を混ぜたガスを用いても良い。ClF
のフッ化ハロゲンを用いることで、剥離層702が選択的にエッチングされ、基板700
を素子形成層738から剥離することができる。なおフッ化ハロゲンは、気体であっても
液体であってもどちらでも良い。
次に図14(A)に示すように、素子形成層738の上記剥離により露出した面に、第2
のシート材744を貼り合わせる。そして、素子形成層738及び保護層736を第1の
シート材737から剥離した後、保護層736を除去する。
第2のシート材744として、例えばバリウムホウケイ酸ガラスや、アルミノホウケイ酸
ガラスなどのガラス基板、可撓性を有する紙またはプラスチックなどの有機材料を用いる
ことができる。または第2のシート材744として、フレキシブルな無機材料を用いてい
ても良い。プラスチック基板は、極性基のついたポリノルボルネンからなるARTON(
JSR製)を用いることができる。また、ポリエチレンテレフタレート(PET)に代表
されるポリエステル、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリエチレンナフタレート(P
EN)、ポリカーボネート(PC)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリス
ルホン(PSF)、ポリエーテルイミド(PEI)、ポリアリレート(PAR)、ポリブ
チレンテレフタレート(PBT)、ポリイミド、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹
脂、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリ酢酸ビニル、アクリル樹脂などが挙げられる
なお基板700上に複数の液晶表示装置に対応する半導体素子を形成している場合には、
素子形成層738を液晶表示装置ごとに分断する。分断は、レーザ照射装置、ダイシング
装置、スクライブ装置等を用いることができる。
次に図14(B)に示すように、導電膜730、電極731を覆うように、配向膜750
を形成し、ラビング処理を施す。配向膜750は、液晶表示装置となる領域に、パターニ
ング等により選択的に形成する。そして、液晶を封止するためのシール材751を形成す
る。一方、透明導電膜を用いた電極752と、ラビング処理が施された配向膜753とが
形成された基板754を用意する。そして、シール材751で囲まれた領域に液晶755
を滴下し、別途用意しておいた基板754を、電極752と電極731とが向かい合うよ
うに、シール材751を用いて貼り合わせる。なおシール材751にはフィラーが混入さ
れていても良い。
なお、カラーフィルタや、ディスクリネーションを防ぐための遮蔽膜(ブラックマトリク
ス)などが形成されていても良い。また、基板754の電極752が形成されている面と
は逆の面に、偏光板756を貼り合わせておく。
電極731または電極752に用いられる透明導電膜には、例えば酸化珪素を含む酸化イ
ンジウムスズ(ITSO)、酸化インジウムスズ(ITO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化
インジウム亜鉛(IZO)、ガリウムを添加した酸化亜鉛(GZO)などを用いることが
できる。電極731と液晶755と電極752が重なり合うことで、液晶素子760が形
成されている。
上述した液晶の注入は、ディスペンサ式(滴下式)を用いているが、本発明はこれに限定
されない。基板754を貼り合わせてから液晶を注入するディップ式(汲み上げ式)を用
いていても良い。
なお本実施例では素子形成層738を基板700から剥離して利用する例を示しているが
、剥離層702を設けずに、基板700上に上述の素子形成層738を作製し、液晶表示
装置として利用しても良い。
また本実施例では、全てのTFT718、719、720において、ゲート絶縁膜714
の膜厚を全て同じにしているが、本発明はこの構成に限定されない。例えば、より高速で
の駆動が要求される回路において、他の回路よりもTFTが有するゲート絶縁膜の膜厚を
薄くするようにしても良い。
なお本実施例では薄膜トランジスタを例に挙げて説明しているが、本発明はこの構成に限
定されない。薄膜トランジスタの他に、単結晶シリコンを用いて形成されたトランジスタ
、SOI基板を用いて形成されたトランジスタなども用いることができる。
本実施例は、上記実施の形態と適宜組み合わせて実施することが可能である。
本実施例では、本発明の液晶表示装置を例に挙げ、その外観について図15を用いて説明
する。図15(A)は、第1の基板上に形成されたトランジスタ及び液晶素子を、第1の
基板と第2の基板の間に形成したパネルの上面図であり、図15(B)は、図15(A)
のA−A’における断面図に相当する。
第1の基板4001上に設けられた画素部4002と、信号線駆動回路4003と、走査
線駆動回路4004とを囲むように、シール材4020が設けられている。また画素部4
002、信号線駆動回路4003、走査線駆動回路4004の上に、第2の基板4006
が設けられている。よって画素部4002、信号線駆動回路4003、走査線駆動回路4
004は、第1の基板4001と第2の基板4006の間において、シール材4020に
より、液晶4013と共に密封されている。
また第1の基板4001上に設けられた画素部4002、信号線駆動回路4003及び走
査線駆動回路4004は、それぞれトランジスタを複数有している。図15(B)では、
信号線駆動回路4003に含まれるトランジスタ4008、4009と、画素部4002
に含まれるトランジスタ4010とを例示している。
また液晶素子4011は、トランジスタ4010のソース領域またはドレイン領域と、配
線4017を介して接続されている画素電極4030と、第2の基板4006に形成され
た対向電極4012と、液晶4013とを有している。
なお図示していないが、本実施例に示した液晶表示装置は配向膜、偏光板を有し、更にカ
ラーフィルタや遮蔽膜を有していても良い。
またスペーサ4035は、球状であり、画素電極4030と対向電極4012との間の距
離(セルギャップ)を制御するために設けられている。なお絶縁膜をパターニングするこ
とで得られるスペーサを用いていても良い。
信号線駆動回路4003、走査線駆動回路4004または画素部4002に与えられる各
種信号及び電圧は、配線4014及び4015を介して、接続端子4016から供給され
ている。接続端子4016は、FPC4018が有する端子と、異方性導電膜4019を
介して電気的に接続されている。
本実施例は、上記実施の形態または上記実施例と適宜組み合わせて実施することができる
本実施例では、本発明の液晶表示装置における、液晶パネルと光源の配置について説明す
る。
図16は、本発明の液晶表示装置の構造を示す斜視図の一例である。図16に示す液晶表
示装置は、一対の基板間に液晶素子が形成された液晶パネル1601と、第1の拡散板1
602と、プリズムシート1603と、第2の拡散板1604と、導光板1605と、反
射板1606と、光源1607と、回路基板1608とを有している。
液晶パネル1601と、第1の拡散板1602と、プリズムシート1603と、第2の拡
散板1604と、導光板1605と、反射板1606とは、順に積層されている。光源1
607は導光板1605の端部に設けられており、導光板1605内部に拡散された光源
1607からの光は、第1の拡散板1602、プリズムシート1603及び第2の拡散板
1604によって、均一に液晶パネル1601に照射される。
なお、本実施例では、第1の拡散板1602と第2の拡散板1604とを用いているが、
拡散板の数はこれに限定されず、単数であっても3以上であっても良い。そして、拡散板
は導光板1605と液晶パネル1601の間に設けられていれば良い。よって、プリズム
シート1603よりも液晶パネル1601に近い側にのみ拡散板が設けられていても良い
し、プリズムシート1603よりも導光板1605に近い側にのみ拡散板が設けられてい
ても良い。
またプリズムシート1603は、図16に示した断面が鋸歯状の形状に限定されず、導光
板1605からの光を液晶パネル1601側に集光できる形状を有していれば良い。
回路基板1608には、液晶パネル1601に入力される各種信号を生成する回路、また
はこれら信号に処理を施す回路などが設けられている。そして図16では、回路基板16
08と液晶パネル1601とが、FPC(Flexible Printed Circ
uit)1609を介して接続されている。なお、上記回路は、COG(Chip ON
Glass)法を用いて液晶パネル1601に接続されていても良いし、上記回路の一
部がFPC1609にCOF(Chip ON Film)法を用いて接続されていても
良い。
図16では、光源1607の駆動を制御する、比較回路、制御回路などの制御系の回路が
回路基板1608に設けられており、該制御系の回路と光源1607とがFPC1610
を介して接続されている例を示している。ただし、上記制御系の回路は液晶パネル160
1に形成されていても良く、この場合は液晶パネル1601と光源1607とがFPCな
どにより接続されるようにする。
なお、図16は、液晶パネル1601の端に光源1607を配置するエッジライト型の光
源を例示しているが、本発明の液晶表示装置は光源1607が液晶パネル1601の直下
に配置される直下型であっても良い。
本実施例は、上記実施の形態または上記実施例と適宜組み合わせて実施することができる
本発明の液晶表示装置を用いることができる電子機器として、携帯電話、携帯型ゲーム機
または電子書籍、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、ゴーグル型ディスプレイ(ヘッ
ドマウントディスプレイ)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、
オーディオコンポ等)、ノート型パーソナルコンピュータ、記録媒体を備えた画像再生装
置(代表的にはDVD:Digital Versatile Disc等の記録媒体を
再生し、その画像を表示しうるディスプレイを有する装置)などが挙げられる。これら電
子機器の具体例を図17に示す。
図17(A)は携帯電話であり、本体2101、表示部2102、音声入力部2103、
音声出力部2104、操作キー2105を有する。表示部2102に本発明の液晶表示装
置を用いることで、動画がぼやけて視認されてしまうのを防ぐことができる携帯電話が得
られる。
図17(B)はビデオカメラであり、本体2601、表示部2602、筐体2603、外
部接続ポート2604、リモコン受信部2605、受像部2606、バッテリー2607
、音声入力部2608、操作キー2609、接眼部2610等を有する。表示部2602
に本発明の液晶表示装置を用いることで、動画がぼやけて視認されてしまうのを防ぐこと
ができるビデオカメラが得られる。
図17(C)は映像表示装置であり、筐体2401、表示部2402、スピーカー部24
03等を有する。表示部2402に本発明の液晶表示装置を用いることで、動画がぼやけ
て視認されてしまうのを防ぐことができる映像表示装置が得られる。なお、映像表示装置
には、パーソナルコンピュータ用、TV放送受信用、広告表示用などの、映像を表示する
ための全ての映像表示装置が含まれる。
以上の様に、本発明の適用範囲は極めて広く、あらゆる分野の電子機器に用いることが可
能である。
本実施例は、上記実施の形態または上記実施例と適宜組み合わせて実施することができる
100 画素
101 比較回路
102 制御回路
103 光源
104 液晶素子
105 スイッチング素子
106 容量素子
200 画素
201 比較回路
202 制御回路
203 光源
204 液晶素子
205 スイッチング素子
206 容量素子
207 容量素子
300 画素
300a モニター用画素
301 画素部
302 比較回路
303 制御回路
304 光源
305 トランジスタ
306 液晶素子
307 容量素子
401 期間
402 期間
403 期間
501 比較回路
502 制御回路
503 光源
504 記憶回路
505 スイッチング回路
506 バッファ
600 画素部
610 走査線駆動回路
620 信号線駆動回路
621 シフトレジスタ
622 記憶回路
623 記憶回路
624 DA変換回路
630 比較回路
631 制御回路
632 光源
633 モニター用画素
640 画素部
650 走査線駆動回路
660 信号線駆動回路
661 シフトレジスタ
662 サンプリング回路
663 記憶回路
670 比較回路
671 制御回路
672 光源
673 モニター用画素
700 基板
701 絶縁膜
702 剥離層
703 絶縁膜
704 半導体膜
705 半導体膜
706 半導体膜
707 半導体膜
709 ゲート絶縁膜
710 電極
711 低濃度不純物領域
712 マスク
713 高濃度不純物領域
714 ゲート絶縁膜
715 サイドウォール
716 マスク
717 高濃度不純物領域
718 TFT
719 TFT
720 TFT
722 絶縁膜
723 絶縁膜
725 導電膜
727 導電膜
729 導電膜
730 導電膜
731 電極
736 保護層
737 シート材
738 素子形成層
744 シート材
750 配向膜
751 シール材
752 電極
753 配向膜
754 基板
755 液晶
756 偏光板
760 液晶素子
801 光源
802 比較回路
803 制御回路
804 光検出器
805 信号生成回路
806 輝度制御回路
807 積分回路
808 輝度比較回路
810 スイッチング素子
811 抵抗素子
820 光源
821 光源
8221 比較回路
8222 比較回路
823 制御回路
824 画像処理用フィルタ
825 信号処理回路
826 第1の輝度制御回路
827 第2の輝度制御回路
840 領域
841 領域
842 領域
843 領域
844 光源
845 光源
846 光源
847 光源
900 画素部
910 走査線駆動回路
920 信号線駆動回路
921 シフトレジスタ
922 記憶回路
923 記憶回路
930 比較回路
931 制御回路
932 光源
933 モニター用画素
1601 液晶パネル
1602 第1の拡散板
1603 プリズムシート
1604 第2の拡散板
1605 導光板
1606 反射板
1607 光源
1608 回路基板
1609 FPC
1610 FPC
2101 本体
2102 表示部
2103 音声入力部
2104 音声出力部
2105 操作キー
2401 筐体
2402 表示部
2403 スピーカー部
2601 本体
2602 表示部
2603 筐体
2604 外部接続ポート
2605 リモコン受信部
2606 受像部
2607 バッテリー
2608 音声入力部
2609 操作キー
2610 接眼部
3001 画素電極
3002 対向電極
3003 液晶層
4001 基板
4002 画素部
4003 信号線駆動回路
4004 走査線駆動回路
4006 基板
4008 トランジスタ
4010 トランジスタ
4011 液晶素子
4012 対向電極
4013 液晶
4014 配線
4016 接続端子
4017 配線
4018 FPC
4019 異方性導電膜
4020 シール材
4030 画素電極

Claims (1)

  1. 第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極とにより電圧が印加される液晶を有する液晶素子と、を備えた複数の画素と、
    前記複数の画素に光を照射する光源と、
    前記複数の画素の少なくとも一の画素の前記第1の電極の電位と、基準となる電位と、を比較して、第1の信号又は第2の信号を出力する比較回路と、
    前記比較回路から出力される信号が切り替わるタイミングに従って、前記光源の点灯と消灯とを切り替える制御回路と、
    を有することを特徴とする液晶表示装置。
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