JP2014038884A - Electronic component and method for manufacturing electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、多層基板に埋設された磁性体の周囲を巻回するコイルパターンが絶縁基板に形成された電子部品および電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to an electronic component in which a coil pattern wound around a magnetic body embedded in a multilayer substrate is formed on an insulating substrate, and a method for manufacturing the electronic component.
従来より、図8に示すインダクタ素子を備える電子部品の一例のように、印刷配線基板101に無端状磁性体層102が形成されるとともに、当該無端状磁性体層102を巻回するコイルパターン103が形成された電子部品100が知られている(特許文献1)。
Conventionally, an endless
この場合、印刷配線基板101内に無端状磁性体層102が埋設され、当該無端状磁性体層102を巻回するコイルパターン103が、印刷配線基板101の表裏面それぞれに形成された複数の線状導体パターン104と、対応する表裏面の線状導体パターン104の端部どうしを接続する複数のスルーホール105とにより形成されている。このように構成することにより、電子部品100により生成される磁力線の磁路が閉磁路になるため、大きなインダクタンス値を得ることができる電子部品100を提供することができる。
In this case, the endless
ところで、近年、このようなインダクタ素子を備える電子部品のさらなる小型化・高性能化への要求が強まっている。そこで、無端状磁性体層102を巻回するコイルパターン103の巻数を増やして電子部品100が生成するインダクタンス値を大きくすることが考えられるが、従来の電子部品100では、対応する表裏面の線状導体パターン104の端部どうしを接続する導体が、スルーホール105により形成されているため、隣接するスルーホール105どうしが重ならないように形成するために隣接するスルーホール105間に所定量のギャップを設ける必要がある。そのため、限られたスペースの中で形成できるスルーホール105の数に限りがあり、電子部品100の小型化と高性能化とを同時に実現することが困難であった。
By the way, in recent years, there is an increasing demand for further miniaturization and higher performance of electronic components including such inductor elements. Therefore, it is conceivable to increase the inductance value generated by the
本発明は、上記した課題に鑑みてなされたものであり、小型でインダクタンス特性の優れた電子部品を提供するとともに、この電子部品の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a small electronic component having excellent inductance characteristics and a method for manufacturing the electronic component.
上記した目的を達成するために、本発明の電子部品は、絶縁基板と、前記絶縁基板内に配置された磁性体と、前記磁性体を巻回するように前記絶縁基板に形成されたコイルパターンとを備え、前記コイルパターンは、前記絶縁基板に埋設されて前記磁性体の周囲に立設された複数の柱状導体と、前記柱状導体の長さ方向における前記磁性体の一方側に形成され、前記各柱状導体の対応する一方端どうしを接続する複数の一方側配線電極と、前記各絶縁層の積層方向における前記磁性体の他方側に形成され、前記各柱状導体の対応する他方端どうしを接続する複数の他方側配線電極とを備え、前記磁性体が、前記各柱状導体と前記各柱状導体を直列接続する前記各一方側配線電極および前記各他方側配線電極とにより螺旋状に巻回されていることを特徴としている。 In order to achieve the above object, an electronic component of the present invention includes an insulating substrate, a magnetic body disposed in the insulating substrate, and a coil pattern formed on the insulating substrate so as to wind the magnetic body. The coil pattern is formed on one side of the magnetic body in the length direction of the columnar conductor, and a plurality of columnar conductors embedded in the insulating substrate and standing around the magnetic body, A plurality of one-side wiring electrodes connecting the corresponding one ends of the columnar conductors, and the other ends corresponding to the columnar conductors are formed on the other side of the magnetic body in the stacking direction of the insulating layers. A plurality of other side wiring electrodes to be connected, and the magnetic body is spirally wound by the one side wiring electrodes and the other side wiring electrodes that connect the columnar conductors and the columnar conductors in series. Being done It is characterized in.
このように構成することにより、スルーホールを設けることなくコイルパターンを形成できるため、従来の電子部品のように、隣接するスルーホール間にギャップを設ける必要がなく、各柱状導体を近接して配置することができる。したがって、磁性体の周囲に配置する柱状導体の数を増やすことにより、磁性体を巻回するコイルパターンの巻数を増やすことができるため、小型で大きなインダクタンス値を得ることができる電子部品を提供することができる。 By configuring in this way, a coil pattern can be formed without providing a through hole, so there is no need to provide a gap between adjacent through holes as in conventional electronic components, and the columnar conductors are arranged close to each other. can do. Therefore, by increasing the number of columnar conductors arranged around the magnetic body, the number of coil patterns wound around the magnetic body can be increased, and thus a small electronic component capable of obtaining a large inductance value is provided. be able to.
また、柱状導体は、スルーホールと比較して比抵抗を小さくできるためコイルパターンとしての直流抵抗が低くなり、電子部品のインダクタンス特性の向上を図ることができる。 In addition, since the columnar conductor can have a lower specific resistance than a through hole, the direct current resistance as a coil pattern is lowered, and the inductance characteristics of the electronic component can be improved.
また、複数の絶縁層が積層されてなる絶縁基板と、前記絶縁基板内に配置された磁性体と、前記磁性体を巻回するように前記絶縁基板に形成されたコイルパターンとを備え、前記コイルパターンは、前記絶縁基板に埋設されて前記磁性体の周囲に立設された複数の柱状導体と、前記柱状導体の長さ方向における前記磁性体の一方側に位置する複数の前記絶縁層のうちの少なくとも2つの層に形成された複数の一方側配線電極と、前記柱状導体の長さ方向における前記磁性体の他方側に位置する複数の絶縁層のうちの少なくとも2つの層に形成された複数の他方側配線電極とを備え、前記各柱状導体には、その長さが異なるものが含まれており、前記磁性体を挟んで隣接する1組の前記柱状導体どうしが、一の前記一方側配線電極、および、一または他の前記他方側配線電極により直列接続されて前記磁性体の周囲に所定コイル径に巻回されるとともに、他の組の前記柱状導体どうしが、他の前記一方側配線電極、および、一または他の前記他方側配線電極により直列接続されて前記磁性体の周囲に前記所定コイル径と異なるコイル径に巻回され、螺旋状パターンに形成されるように構成してもよい。 And an insulating substrate in which a plurality of insulating layers are laminated, a magnetic body disposed in the insulating substrate, and a coil pattern formed on the insulating substrate so as to wind the magnetic body, The coil pattern includes a plurality of columnar conductors embedded in the insulating substrate and erected around the magnetic body, and a plurality of the insulating layers positioned on one side of the magnetic body in the length direction of the columnar conductors. Formed on at least two of the plurality of one-sided wiring electrodes formed on at least two of the layers and the plurality of insulating layers located on the other side of the magnetic body in the lengthwise direction of the columnar conductors A plurality of other wiring electrodes, and each of the columnar conductors includes ones having different lengths, and one set of the columnar conductors adjacent to each other across the magnetic body is one of the one Side wiring electrode and one Alternatively, the other side wiring electrodes are connected in series and wound around the magnetic body in a predetermined coil diameter, and the other sets of the columnar conductors are connected to the other one side wiring electrodes, and It may be configured to be formed in a spiral pattern by being connected in series by one or other of the other wiring electrodes and wound around the magnetic body to a coil diameter different from the predetermined coil diameter.
このように構成することにより、各一方側配線電極および各他方側配線電極それぞれにおいて、一部の配線電極を異なる絶縁層に形成できるため、絶縁基板に形成する配線電極の数を増やすことができる。そのため、磁性体を巻回するコイルパターンの巻き数を増やすことができ、電子部品が生成するインダクタンス値を大きくすることができる。 With this configuration, a part of the wiring electrodes can be formed in different insulating layers in each one-side wiring electrode and each other-side wiring electrode, so that the number of wiring electrodes formed on the insulating substrate can be increased. . Therefore, the number of coil patterns wound around the magnetic body can be increased, and the inductance value generated by the electronic component can be increased.
また、絶縁基板に形成する配線電極の数を調整することにより、コイルパターン全体の長さの調整を行うことができるため、所望のインダクタンス値を有する電子部品を容易に得ることができる。 Further, since the length of the entire coil pattern can be adjusted by adjusting the number of wiring electrodes formed on the insulating substrate, an electronic component having a desired inductance value can be easily obtained.
また、前記磁性体は、円環状を有し、前記柱状導体は、前記円環状の磁性体の内周面に囲まれた領域に配置された複数の内側柱状導体と、前記円環状の磁性体の外周面の外側に配置された複数の外側柱状導体とを備え、前記円環状の磁性体は、前記コイルパターンにより、周方向に沿って螺旋状に巻回されていてもよい。 The magnetic body has an annular shape, and the columnar conductor includes a plurality of inner columnar conductors disposed in a region surrounded by an inner peripheral surface of the annular magnetic body, and the annular magnetic body. A plurality of outer columnar conductors disposed outside the outer peripheral surface of the outer peripheral surface, and the annular magnetic body may be spirally wound along the circumferential direction by the coil pattern.
このように構成することにより、電子部品が生成する磁力線の磁路が閉磁路になるため、電子部品が生成するインダクタンス値を大きくすることができる。 With this configuration, the magnetic path of the magnetic force lines generated by the electronic component becomes a closed magnetic path, so that the inductance value generated by the electronic component can be increased.
また、従来のスルーホールが形成されたモジュールと比較して、円環状の磁性体の内周面に囲まれた領域内に、より多くの内側柱状導体を配置できるため、磁性体を巻回するコイルパターンの巻回数を増やすことができ、これにより、電子部品が生成するインダクタンスの値を大きくすることができる。 In addition, as compared with a conventional module in which a through hole is formed, a larger number of inner columnar conductors can be arranged in a region surrounded by an inner peripheral surface of an annular magnetic body, so that the magnetic body is wound. The number of turns of the coil pattern can be increased, and thereby the value of inductance generated by the electronic component can be increased.
また、前記各柱状導体は、ピン材の外側面が絶縁材料により被覆されていることが好ましい。このように構成することにより、各柱状導体を接触配置してもインダクタンスの値を小さくならないため、さらに、磁性体を巻回するコイルパターンの巻回数を多くすることができる。 Each columnar conductor is preferably coated with an insulating material on the outer surface of the pin material. With this configuration, the inductance value is not reduced even if the columnar conductors are arranged in contact with each other, and therefore, the number of turns of the coil pattern around which the magnetic material is wound can be increased.
また、前記磁性体がフェライトで形成されていてもよい。このように構成することにより、本発明の磁性体がフェライトで形成された電子部品に適用することができる。 The magnetic body may be made of ferrite. By comprising in this way, it can apply to the electronic component in which the magnetic body of this invention was formed with the ferrite.
また、前記絶縁基板が樹脂基板であってもよい。このように構成することにより、絶縁基板内に配置された磁性体やコイルパターン(またはその一部)が樹脂により保護されるため、環境信頼性の高い電子部品を提供することができる。 The insulating substrate may be a resin substrate. With this configuration, the magnetic body and the coil pattern (or a part thereof) disposed in the insulating substrate are protected by the resin, so that an electronic component with high environmental reliability can be provided.
また、前記絶縁基板内に複数の前記磁性体が配置されていてもよい。このように構成することにより、絶縁基板に複数のインダクタ素子を形成することができ、電子部品内の複数のインダクタ素子により種々の機能を形成することができる。また、複数のインダクタ素子を組み合わせることにより、電子部品におけるインダクタンス値の調整を容易に行うことができる。 A plurality of the magnetic bodies may be arranged in the insulating substrate. With this configuration, a plurality of inductor elements can be formed on the insulating substrate, and various functions can be formed by the plurality of inductor elements in the electronic component. Further, by combining a plurality of inductor elements, it is possible to easily adjust the inductance value in the electronic component.
また、前記絶縁基板には、内部に前記磁性体を配置するための収納空間が形成されており、少なくとも前記磁性体の外側面と前記収納空間に現れる前記絶縁基板の壁面との間に隙間ができるように、前記収納空間が形成されていてもよい。 The insulating substrate has a storage space for arranging the magnetic body therein, and there is a gap between at least the outer surface of the magnetic body and the wall surface of the insulating substrate that appears in the storage space. The storage space may be formed so that it is possible.
上記した従来のインダクタ素子を備える電子部品では、無端状磁性体層が印刷配線基板の内部に接するように配置されるため、印刷配線基板の収縮等により印刷配線基板から圧力を受けやすい状態になり、この圧力がインダクタンス値を上げる上で支障となっていると考えられる。本発明の発明者は、磁性体の外側面と収納空間に現れる絶縁基板の壁面との間に隙間を設けて、磁性体が絶縁基板から受ける圧力を抑制することにより、電子部品において、より大きなインダクタンス値が得られることを実験的に確認し、このような隙間を設けることが高インダクタンス値を得る上で有効であることを見出した。 In the electronic component including the above-described conventional inductor element, the endless magnetic layer is disposed so as to be in contact with the inside of the printed wiring board, so that the printed wiring board is easily subjected to pressure due to shrinkage of the printed wiring board. This pressure is considered to be an obstacle to increasing the inductance value. The inventor of the present invention provides a gap between the outer surface of the magnetic body and the wall surface of the insulating substrate that appears in the storage space, and suppresses the pressure that the magnetic body receives from the insulating substrate. It has been experimentally confirmed that an inductance value can be obtained, and it has been found that providing such a gap is effective in obtaining a high inductance value.
また、上記した目的を達成するために、本発明の電子部品の製造方法は、磁性体と、それぞれ前記磁性体の周囲に立設されたコイルパターンを形成する複数の柱状導体とを絶縁層に埋設する埋設工程と、前記各柱状導体それぞれの両端面が露出するように前記絶縁層の両主面を研磨または研削する研磨・研削工程と、それぞれ前記コイルパターンを形成し、露出した前記柱状導体の一方端面どうしを接続する複数の一方側配線電極、および、露出した前記柱状導体の他方端面どうしを接続する複数の他方側配線電極を前記絶縁層に形成する電極形成工程とを備えることを特徴としている。 In order to achieve the above-described object, an electronic component manufacturing method according to the present invention includes a magnetic body and a plurality of columnar conductors, each of which forms a coil pattern erected around the magnetic body, as an insulating layer. An embedding step for embedding, a polishing / grinding step for polishing or grinding both main surfaces of the insulating layer so that both end faces of each columnar conductor are exposed, and the columnar conductor exposed by forming the coil pattern, respectively. A plurality of one-side wiring electrodes for connecting the one end surfaces of the first and second electrode electrodes, and an electrode forming step for forming a plurality of other-side wiring electrodes for connecting the other end surfaces of the exposed columnar conductors on the insulating layer. It is said.
このように構成することにより、各一方側配線電極および各他方側配線電極を接続する導体が各柱状導体で形成された電子部品を容易に製造することができる。 By comprising in this way, the electronic component by which the conductor which connects each one side wiring electrode and each other side wiring electrode was formed with each columnar conductor can be manufactured easily.
また、前記埋設工程は、前記磁性体および前記各柱状導体を所定の位置に配置するための複数の位置決め凹部が形成された前記絶縁層に、前記磁性体および前記各柱状導体を配置する工程を備えていてもよい。 Further, the embedding step includes a step of disposing the magnetic body and the columnar conductors in the insulating layer having a plurality of positioning recesses for disposing the magnetic body and the columnar conductors at predetermined positions. You may have.
このように構成することにより、各柱状導体を、容易に絶縁層に立設した状態で埋設することができる。 By comprising in this way, each columnar conductor can be easily embed | buried in the state stood in the insulating layer.
また、前記電極形成工程は、前記各一方側配線電極と、前記各一方側配線電極と接続される複数のビア導体が形成された第1樹脂シートと、前記各他方側配線電極と、前記各他方側配線電極と接続される複数のビア導体が形成された第2樹脂シートとを準備し、前記第1樹脂シートを前記絶縁層の一方主面に積層するとともに、前記第2樹脂シートを前記絶縁層の他方主面に積層することにより行うようにしてもよい。 In addition, the electrode forming step includes the one side wiring electrode, a first resin sheet on which a plurality of via conductors connected to the one side wiring electrode are formed, the other side wiring electrode, Preparing a second resin sheet on which a plurality of via conductors connected to the other side wiring electrode are formed, laminating the first resin sheet on one main surface of the insulating layer, and the second resin sheet You may make it carry out by laminating | stacking on the other main surface of an insulating layer.
このように構成することにより、絶縁層の両主面に各一方側配線電極および各他方側配線電極を容易に形成することができる。 By comprising in this way, each one side wiring electrode and each other side wiring electrode can be easily formed in both the main surfaces of an insulating layer.
本発明によれば、柱状導体の長さ方向における磁性体の一方側に形成された複数の一方側配線電極と、柱状導体の長さ方向における磁性体の他方側に形成された複数の他方側配線電極とを接続する導体を柱状導体で形成することにより、当該導体がスルーホールで形成された従来の電子部品と比較して、各柱状導体を近接して配置することができる。したがって、磁性体の周囲に配置する各柱状導体の数を増やすことにより、磁性体の周囲を巻回するコイルパターンの巻回数を増やすことができるため、小型でインダクタンス特性の優れた電子部品を提供することができる。 According to the present invention, a plurality of one-side wiring electrodes formed on one side of the magnetic body in the length direction of the columnar conductor and a plurality of other sides formed on the other side of the magnetic body in the length direction of the columnar conductor. By forming the conductor connecting the wiring electrode with a columnar conductor, the columnar conductors can be arranged close to each other as compared with a conventional electronic component in which the conductor is formed with a through hole. Therefore, by increasing the number of columnar conductors arranged around the magnetic body, the number of turns of the coil pattern wound around the magnetic body can be increased, thereby providing a small electronic component with excellent inductance characteristics. can do.
(第1実施形態)
(電子部品の構成)
本発明の第1実施形態にかかる電子部品1について、図1〜図3を参照して説明する。なお、図1は電子部品1の平面図、図2は電子部品1の切断正面図、図3は電子部品1の要部である磁性体とコイルパターンが示された図である。
(First embodiment)
(Configuration of electronic parts)
An
この実施形態にかかる電子部品1は、絶縁基板2にインダクタ素子が形成された電子部品であり、図1および図2に示すように、複数の絶縁層L1〜L3が積層されてなる絶縁基板2と、該絶縁基板2内に配置された円環状の磁性体4と、それぞれ該磁性体4を巻回するように絶縁基板2に形成された2本のコイルパターン5a,5bとを備え、例えば、高周波が用いられる携帯電話機等の電子機器に搭載される。なお、この実施形態では、インダクタ素子の一例として、チョークコイルが絶縁基板2に形成されている。また、各コイルパターン5a,5bそれぞれの両端が絶縁基板2に形成された外部との接続用の外部電極9に接続されている。
An
絶縁基板2は、図2に示すように、複数の絶縁層(この実施形態では3層)L1,L2,L3が積層されたものであり、絶縁基板2を構成する絶縁層L2は,例えば、ガラスエポキシ樹脂で形成されている。また、各絶縁層L1〜L3の積層方向における磁性体4の上側(本発明における一方側に相当)に位置する絶縁層L3、および、下側(本発明における他方側に相当)に位置する絶縁層L1それぞれは、例えば、エポキシ樹脂で形成された樹脂シートである。なお、各絶縁層L1,L2,L3の層数は4層以上であってもかまわない。また、絶縁層L2は、例えば、低温同時焼成セラミック(LTCC)やガラスで形成されていてもよい。また、絶縁層L2が複数の層からなる多層構造を備えていてもよい。
As shown in FIG. 2, the insulating
また、図1および図2に示すように、絶縁基板2内には、例えば、Ni−Zn−Fe系やMn−Zn−Fe系のフェライトからなる磁性体4が配置される。なお、磁性体4の形状は、円環状に限らず、例えば、平面視がロ字状およびコ字状、U字状や、直方体、円柱状であってもかまわない。また、絶縁基板2に収納する磁性体4は複数個あってもかまわない。
As shown in FIGS. 1 and 2, a
各コイルパターン5a,5bは、図2、図3に示すように、磁性体4の周囲に立設された複数の柱状導体6a1,6a2および6b1および6b2と、柱状導体6a1,6a2および6b1および6b2の長さ方向における磁性体4の上側に位置する絶縁層L3に形成され、各柱状導体6a1,6a2および6b1および6b2の対応する上端(本発明における一方端に相当)どうしを接続する複数の上層側配線電極(本発明における一方側配線電極に相当)7a1および7b1と、柱状導体6a1,6a2および6b1および6b2の長さ方向における磁性体4の下側に位置する絶縁層L1に形成され、各柱状導体6a1,6a2および6b1および6b2の対応する下端(本発明における他方端に相当)どうしを接続する複数の下層側配線電極(本発明における他方側配線電極に相当)7a2および7b2とで形成される。
As shown in FIGS. 2 and 3, each
なお、各コイルパターン5a,5bは、それぞれ同じ構成であるため、相当する符号を付すことにより、以下は、コイルパターンaを例として説明する。
In addition, since each
コイルパターン5aを形成する各柱状導体6a1,6a2は、円環状の磁性体4の内周面に囲まれた領域に配置された複数の内側柱状導体6a1と、外周面の外側に配された複数の外側柱状導体6a2とを備える。この場合、例えば、内側柱状導体6a1の1つは、図2に示すように、上層側の絶縁層L3に形成されたビア導体8cと、下層側の絶縁層L1に形成されたビア導体8aと、磁性体4が配置された絶縁層L2に形成されたCu等の金属線からなるピン状導体8bとで構成され、各ビア導体8a,8cおよびピン状導体8bが接続されて1つの内側柱状導体6a1が形成される。
Each of the columnar conductors 6a1 and 6a2 forming the
また、例えば、1つの外側柱状導体6a2は、上層側の絶縁層L3に形成されたビア導体8iと、下層側の絶縁層L1に形成されたビア導体8gと、磁性体4が配置された絶縁層L2に形成されたCu等の金属線からなるピン状導体8hとで構成され、各ビア導体8g,8iおよびピン状導体8hが接続されて1つの外側柱状導体6a2が形成される。なお、各ピン状導体8b,8e,8h,8kの外側面が絶縁材料により被覆されていてもよい。また、各ビア導体8a〜8lに代えて、絶縁層L2に配置したピン状導体8b,8e,8h,8kと同様のピン状導体を使用して、各柱状導体6a1,6a2および6b1および6b2を形成してもかまわない。なお、ピン状導体8b,8e,8h,8kは所定の直径を有し、円形又は多角形上の断面形状を有するCuなどからなる線材が、所定の長さでせん断加工されることで、所定の長さで円柱状又は多角柱状された、金属ピンである。
In addition, for example, one outer columnar conductor 6a2 includes an via
各コイルパターン5aを形成する各上層側配線電極7a1それぞれは、上層側の絶縁層L3の表面L3aに形成され、対応する内側柱状導体6a1の上端と外側柱状導体6a2の上端どうしを接続する。また、各コイルパターン5aを形成する各下層側配線電極7a2,7b2それぞれは、下層側の絶縁層L1の裏面L1aに形成され、対応する内側柱状導体6a1の下端と外側柱状導体6a2の下端どうしを接続する。
Each upper wiring electrode 7a1 forming each
具体例としては、図2に示すコイルパターン5aの、図示する内側柱状導体6a1の上端は、同じく図示する上層側配線電極7a1に接続されるとともに、下端が図示する下層側配線電極7a2に接続される。一方、図示する外側配線電極6a2の下端は、同じく図示する下層側配線電極7a2に接続されるが、上端は、図示しない上層側配線電極7a1に接続される。すなわち、各柱状導体6a1,6a2、上層側配線電極7a1、下層側配線電極7a2で形成されたコイルパターン5aは、図1および3に示すように、円環状の磁性体4をその周方向に沿って螺旋状に巻回する。なお、図2は電子部品1の断面を模式的に示したものであり、上外側配線電極6a2の上端は上記の通り、図示しない上層側配線電極7a1に接続されるべきものであるが、図示されている上層側面電極7a1に接続されるように記載されている。
As a specific example, the upper end of the illustrated inner columnar conductor 6a1 of the
(電子部品の製造方法)
次に、この実施形態にかかる電子部品1の製造方法の一例について、図4ないし図6を参照して説明する。なお、図4は電子部品1を構成する樹脂体10の集合体11の平面図であり、図5は単一の樹脂体10の平面図であり、図6(a)〜図6(e)それぞれは、電子部品1の切断正面図であり、各製造過程を示すものである。
(Method for manufacturing electronic parts)
Next, an example of a method for manufacturing the
この実施形態において、電子部品1は、複数の電子部品1で形成された集合体を各電子部品1毎に個片化することにより形成される。このとき、図4および図5に示すように、単位電子部品1毎に、磁性体4を配置するための凹部12aと、それぞれ当該凹部12aの周囲に形成された各ピン状導体8b,8e,8h,8kを配置するための複数の凹部12bとが形成された樹脂体10の集合体11を準備する。なお、各ピン状導体8b,8e,8h,8kを配置するための各凹部12aの個数および形成箇所は、磁性体4を巻回するコイルパターン5a,5bの巻回数に応じて、適宜、変更するとよい。また、説明を簡単にするために、以下は、個片化した電子部品1の製造方法について説明する。
In this embodiment, the
まず、図6(a)に示すように、ピン状導体8b,8e,8h,8kを所定の位置に配置するための複数の貫通孔13および磁性体4を所定の位置に配置するための凹部12aが形成された硬化状態の樹脂層10aと、各貫通孔13の下端を塞ぐように樹脂層10aの下側に積層された半硬化状態の樹脂層シート10bとで形成された樹脂体10を準備する。このように、樹脂層10aと樹脂シート10bとを積層することにより、ピン状導体8b,8e,8h,8kを配置するための各凹部12bが樹脂体10に形成される。なお、各凹部12a,12bそれぞれが、本発明における位置決め凹部に相当する。
First, as shown in FIG. 6 (a), a plurality of through
次に、図6(b)に示すように、樹脂体10の凹部12bに各ピン状導体8b,8e,8h,8kを配置するとともに、凹部12aに円環状の磁性体4を配置する。なお、各ピン状導体8b,8e,8h,8kのうち、円環状の磁性体4の内周面に囲まれた領域に配置される各ピン状導体8b,8eを、それぞれ接触させた状態で平面視が円状となるようなピン状導体8b,8eの束として形成し、当該ピン状導体8b,8eの束を樹脂体10の凹部12bに配置するようにしてもよい。この場合、樹脂体10における磁性体4の配置用の凹部12aの内側の領域にピン状導体8b,8eの束の形状にあわせた平面視が円状の一つの凹部12bを形成し、該凹部12bにピン状導体8b,8eの束を配置すればよい。
Next, as shown in FIG. 6B, the pin-shaped
次に、図6(c)に示すように、各ピン状導体8b,8e,8h,8kおよび磁性体4が配置された樹脂体10の各凹部12a,12bを覆うように樹脂体10の上面に半硬化状態の樹脂シート14を積層して第1積層体15を作製し、当該第1積層体15をホットプレス(例えば、120℃)する。
Next, as shown in FIG. 6 (c), the upper surface of the
このとき、磁性体4を配置するための凹部12aと樹脂シート14とで形成される第1積層体15の磁性体4の収納空間において、磁性体4の外側面の一部と当該収納空間に現れる第1積層体15の壁面との間に隙間ができるようなプレス圧で、第1積層体15をプレスする。
At this time, in the storage space of the
なお、磁性体4および各ピン状導体8b,8e,8h,8kそれぞれの周囲を樹脂シート14の樹脂により埋めるようなプレス圧で第1積層体15をプレスしてもよい。すなわち、磁性体4と、当該磁性体4の周囲に立設されたコイルパターン5a,5bを形成する各ピン状導体8b,8e,8h,8kとを第1積層体15に埋設してもよい(埋設工程)。
The first
次に、図6(d)に示すように、各ピン状導体8b,8e,8h,8kそれぞれの両端面が露出するように、第1積層体15の両主面を研磨または研削して、絶縁層L2を作製する(研磨・研削工程)。
Next, as shown in FIG. 6 (d), both main surfaces of the
次に、図6(e)に示すように、各上層側配線電極7a1,7b1と、各上層側配線電極7a1,7b1に接続される各ビア導体8c,8f,8i,8lとが形成された絶縁層L3(本発明における第1樹脂シートに相当)と、各下層側配線電極7a2,7b2と、各下層側配線電極7a2,7b2に接続される各ビア導体8a,8d,8j,8gとが形成された絶縁層L1とを準備する。このとき、絶縁層L1および絶縁層L3は、半硬化状態の樹脂シートで形成される。
Next, as shown in FIG. 6E, the upper layer side wiring electrodes 7a1, 7b1 and the
また、各絶縁層L1,L3に形成される各ビア導体8a,8c,8d,8f,8g,8i,8j,8lは、各絶縁層L1,L3の所定の位置にレーザー加工などによりビアホールを形成し、形成したビアホールにAgやCuなどを含む導体ペーストを充填することにより形成される。また、各配線電極7a1,7a2,7b1,7b2は、Cuなどの金属箔や導体ペーストを用いた印刷技術やめっき等により形成される。
The via
そして、磁性体4が配置された絶縁層L2の一方主面に絶縁層L3を積層するとともに、他方主面に絶縁層L1を積層することにより第2積層体を形成し、当該第2積層体の両主面をプレスした後、所定の温度(例えば、180℃)で各絶縁層L1,L3を完全硬化して電子部品1を製造する。
Then, the insulating layer L3 is laminated on one main surface of the insulating layer L2 on which the
このとき、各柱状導体6a1,6a2,6b1,6b2のうち、例えば、内側柱状導体6a1は、絶縁層L3に形成されたビア導体8cとピン状導体8bの上端とが接続されるとともに、絶縁層L1に形成されたビア導体8aとピン状導体8bの下端とが接続されることにより形成される。
At this time, among the columnar conductors 6a1, 6a2, 6b1, 6b2, for example, the inner columnar conductor 6a1 is connected to the via
なお、各上層側配線電極7a1,7b1および各下層側配線電極7a2,7b2の形成方法については、上記した場合に限らず、例えば、研磨・研削した絶縁層L2の両主面に直接、各上層側配線電極7a1,7b1および各下層側配線電極7a2,7b2を形成してもかまわない。この場合、Cu等の金属箔(リボン)をワイヤボンディング実装したり、導体ペーストを用いた印刷技術やめっき等により各上層側配線電極7a1,7b1および各下層側配線電極7a2,7b2を形成することができる。このようにすることで、各絶縁層L1,L3を形成する必要がないため、電子部品1をより小型化することができる。
The method for forming the upper layer side wiring electrodes 7a1 and 7b1 and the lower layer side wiring electrodes 7a2 and 7b2 is not limited to the above-described case. For example, the upper layer side wiring electrodes 7a1 and 7b2 are directly formed on both main surfaces of the polished and ground insulating layer L2. The side wiring electrodes 7a1 and 7b1 and the lower layer side wiring electrodes 7a2 and 7b2 may be formed. In this case, each upper layer side wiring electrode 7a1, 7b1 and each lower layer side wiring electrode 7a2, 7b2 are formed by wire bonding mounting of a metal foil (ribbon) such as Cu, or by a printing technique or plating using a conductive paste. Can do. By doing in this way, since it is not necessary to form each insulating layer L1, L3, the
したがって、上記した実施形態によれば、各上層側配線電極7a1,7b1と各下層側配線電極7a2,7b2とを接続する各柱状導体(内側柱状導体6a1,6b1、外側柱状導体6a2,6b2)それぞれを形成する各導体を、各ピン状導体8b,8d,8h,8kで形成することにより、絶縁層L2に形成する導体をスルーホールで形成する場合と比較して、隣接するスルーホール間にギャップを設ける必要がなく、各柱状導体(内側柱状導体6a1,6b1、外側柱状導体6a2,6b2)を近接して配置することができる。したがって、磁性体4の周囲に配置する各柱状導体(内側柱状導体6a1,6b1、外側柱状導体6a2,6b2)の数を増やすことにより、磁性体4を巻回するコイルパターン5a,5bの巻回数を増やすことができるため、小型で大きなインダクタンス値を得ることができる電子部品1を提供することができる。
Therefore, according to the above-described embodiment, the columnar conductors (inner columnar conductors 6a1 and 6b1, outer columnar conductors 6a2 and 6b2) connecting the upper layer side wiring electrodes 7a1 and 7b1 and the lower layer side wiring electrodes 7a2 and 7b2, respectively. By forming each of the conductors forming the pin-shaped
また、各柱状導体6a1,6a2,6b1,6b2は、従来の電子部品100のコイルパターンを形成する中空のスルーホール105と比較して、横断面積が大きくなるため、各柱状導体6a1,6a2,6b1,6b2の比抵抗を小さくすることができる。したがって、コイルパターン5a,5bとしての直流抵抗が低くなり、電子部品1のインダクタンス特性の向上を図ることができる。
Further, each of the columnar conductors 6a1, 6a2, 6b1, 6b2 has a larger cross-sectional area than the hollow through-
また、絶縁層L2に形成されたコイルパターン5a,5bを形成する導体を各ピン状導体8b,8e,8h,8kで構成することにより、当該導体をビア導体で構成する場合と比較して、ビア導体を構成する導体ペーストに対してピン状導体は金属そのものであるため、比抵抗を小さくすることができる。
Further, by configuring the conductors forming the
また、磁性体4が円環状を有することにより、電子部品1が生成する磁力線の磁路が閉磁路になるため、電子部品1が生成するインダクタンス値を大きくすることができる。
Moreover, since the
また、従来のスルーホールが形成された電子部品100と比較して、円環状の磁性体4の内周面に囲まれた領域という限られた領域内に、より多くの内側柱状導体6a1,6b1を配置できるため、磁性体4を巻回するコイルパターン5a,5bの巻回数を増やすことができ、これにより、電子部品1が生成するインダクタンスの値を大きくすることができる。
Further, as compared with the conventional
また、各柱状導体6a1,6a2,6b1,6b2を形成する各ピン状導体8b,8e,8h,8kの外側面を絶縁材料で被覆する場合は、各ピン状導体8b,8e,8h,8kを接触配置してもインダクタンスの値が小さくなることがなく、さらに、磁性体4を巻回するコイルパターン5a,5bの巻回数を多くすることができる。もちろん、各ピン状導体8b,8e,8h,8kの外側面を絶縁材料で被覆することなく、複数の各ピン状導体8b,8e,8h,8kを接触配置してもよい。この場合はより多くの巻き回数を得られるため好ましい。
When the outer surfaces of the pin-shaped
また、絶縁基板2内に配置された磁性体4やコイルパターン5a,5bの一部が各絶縁層L1〜L3の樹脂により保護されるため、環境信頼性の高い電子部品1を提供することができる。
In addition, since a part of the
また、絶縁基板2内に複数の磁性体4を配置する場合は、絶縁基板2に複数のインダクタ素子を形成することができ、電子部品1内の複数のインダクタ素子により種々の機能を形成することができる。また、複数のインダクタ素子を組み合わせることにより、電子部品1におけるインダクタンス値の調整を容易に行うことができる。
When a plurality of
また、絶縁基板2には、絶縁層L2に形成された凹部12aと絶縁層L3とにより、その内部に磁性体4を配置するための収納空間が形成されており、磁性体4の外側面の一部と収納空間に現れる絶縁基板2の壁面との間に隙間ができるように、収納空間が形成されている。
The insulating
従来のインダクタ素子を備える電子部品100では、無端状磁性体層102が印刷配線基板101の内部に接するように配置されるため、印刷配線基板101の収縮等により印刷配線基板101から圧力を受けやすい状態になり、この圧力がインダクタンス値を上げる上で支障となっていると考えられる。本発明の発明者は、磁性体4の外側面と収納空間に現れる絶縁基板2の壁面との間に隙間を設けて、磁性体4が絶縁基板2から受ける圧力を抑制することにより、電子部品1において、より大きなインダクタンス値が得られることを実験的に確認し、このような隙間を設けることが高インダクタンス値を得る上で有効であることを見出した。
In the
また、磁性体4および各柱状導体6a1,6a2,6b1,6b2を所定の位置に配置するための各凹部12a,12bが形成された絶縁層L2を形成する樹脂体10に、磁性体4および各柱状導体6a1,6a2,6b1,6b2を配置し、磁性体4および各柱状導体6a1,6a2,6b1,6b2それぞれの周囲を樹脂シート14の樹脂により埋めることにより、各柱状導体6a1,6a2,6b1,6b2を容易に絶縁層L2に立設した状態で埋設することができるため、インダクタンス特性の優れた電子部品1を容易に製造することができる。
Further, the
また、各一方側配線電極7a1,7b1と接続される各ビア導体8c,8f,8i,8lが形成された絶縁層L3を形成する樹脂シートと、各他方側配線電極7a2,7b2と接続される各ビア導体8a,8d,8g,8jが形成された絶縁層L1を形成する樹脂シートとを準備し、絶縁層L3を形成する樹脂シートを磁性体4が配置された絶縁層L2の一方主面に積層するとともに、絶縁層L1を形成する樹脂シートを絶縁層L2の他方主面に積層することにより、電子部品1の各コイルパターン5a,5bを形成する各上層側配線電極7a1,7b1および各下層側配線電極7a2,7b2を容易に形成することができるため、インダクタンス特性の優れた電子部品1を容易に製造することができる。
Further, the resin sheet forming the insulating layer L3 on which the via
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態にかかる電子部品1aについて、図7を参照して説明する。なお、図7は、電子部品1aの分解切断正面図である。
(Second Embodiment)
An
この実施形態の電子部品1aが、図1ないし図3を参照して説明した第1実施形態の電子部品1と異なるところは、図7に示すように、各絶縁層L4〜L10の積層方向における磁性体4の上方側(本発明における一方側に相当)に位置する複数の絶縁層L8〜L10のうちの2つの層(絶縁層L8,L10)に各コイルパターン5c,5dを形成する複数の上層側配線電極7c1〜7c3および7d1〜7d3が形成されるとともに、下方側(本発明における他方側に相当)に位置する複数の絶縁層L4〜L6のうちの2つの層(絶縁層L4,L6)に各コイルパターン5c,5dを形成する複数の下層側配線電極7c4〜7c6および7d4〜7d6が形成されている点と、各柱状導体(内側柱状導体6c1,6c2および6d1,6d2(図示せず)、外側柱状導体6c3,6c4および6d3,6d4(図示せず))のうち、長さが異なるものがある点である。その他の構成は第1実施形態の電子部品1と同じであるため、同一符号または相当する符号を付すことにより説明を省略する。なお、各コイルパターン5c,5dそれぞれの構成は同じであるため、以下は、コイルパターン5cを例に説明する。
The
この場合、各上層側配線電極7c1〜7c3は、絶縁層L8の一方主面に形成された複数の上層側配線電極7c1と、絶縁層L10の両主面それぞれに形成された複数の上層側配線電極7c2,7c3とに分かれて形成される。また、各下層側配線電極7c4〜7c6も、絶縁層L6の一方主面に形成された複数の下層側配線電極7c4と、絶縁層L4の両主面それぞれに形成された複数の下層側配線電極7c5,7c6とに分かれて形成される。 In this case, each of the upper layer side wiring electrodes 7c1 to 7c3 includes a plurality of upper layer side wiring electrodes 7c1 formed on one main surface of the insulating layer L8 and a plurality of upper layer side wirings formed on both main surfaces of the insulating layer L10. The electrodes 7c2 and 7c3 are formed separately. Each of the lower layer side wiring electrodes 7c4 to 7c6 is also composed of a plurality of lower layer side wiring electrodes 7c4 formed on one main surface of the insulating layer L6 and a plurality of lower layer side wiring electrodes formed on both main surfaces of the insulating layer L4. 7c5 and 7c6.
また、各柱状導体(内側柱状導体6c1,6c2、外側柱状導体6c3,6c4)の中には、長さが異なるものがあり、例えば、各内側柱状導体6c1,6c2の場合は、各絶縁層L6,L8それぞれの各ビア導体16c,16eおよび絶縁層L7のピン状導体16dで形成された複数の第1内側柱状導体6c1と、各絶縁層L5,L6,L8,L9それぞれの各ビア導体16b,16c,16e,16fおよび絶縁層L7のピン状導体16dで形成された複数の第2内側柱状導体6c2とがある。
Further, some of the columnar conductors (inner columnar conductors 6c1 and 6c2, outer columnar conductors 6c3 and 6c4) have different lengths. For example, in the case of the inner columnar conductors 6c1 and 6c2, each insulating layer L6 , L8 via
一方、各外側柱状導体6c3,6c4の場合は、例えば、各絶縁層L5,L6,L8それぞれの各ビア導体16i,16j,16lおよび絶縁層L7のピン状導体16kで形成された複数の第1外側柱状導体6c3と、各絶縁層L4〜L6,L8,L9それぞれの各ビア導体16h〜16j,16l,16mおよび絶縁層L7のピン状導体16kで形成された複数の第2外側柱状導体6c4とがある。
On the other hand, in the case of the outer columnar conductors 6c3, 6c4, for example, a plurality of first conductors formed by the via
そして、例えば、磁性体4を挟んで隣接する1組の柱状導体(第1内側柱状導体6c1、第1外側柱状導体6c3)の上端どうしが、上層側配線電極7c1に接続されるとともに、第1内側柱状導体6c1の下端が下層側配線電極7c4に接続され、第1外側柱状導体6c3下端が下層側配線電極7c5に接続される。また、他の組の柱状導体(第2内側柱状導体6c2,第2外側柱状導体6c4)の上端どうしが、上層側配線電極7c1が形成された絶縁層L8と異なる絶縁層L10に形成された上層側配線電極7c2に接続されるとともに、第2内側柱状導体6c2の下端が下層側配線電極7c4が形成された絶縁層L6と異なる絶縁層L4に形成された下層側配線電極7c5に接続され、第2外側柱状導体6c4の下端が下層側配線電極7c6に接続される。
For example, the upper ends of a pair of columnar conductors (the first inner columnar conductor 6c1 and the first outer columnar conductor 6c3) adjacent to each other with the
このように、下層側配線電極7c4と、第1内側柱状導体6c1と、上層側配線電極7c1と、第1外側柱状導体6c3とが直列接続されたコイルパターン5cの一部が、磁性体4の周囲に所定のコイル径に巻回される。また、下層側配線電極7c5と、第2内側柱状導体6c2と、上層側配線電極7c2と、第2外側柱状導体6c4とが直列接続されたコイルパターン5cの一部が、磁性体4の周囲に上記した所定のコイル径と異なるコイル径に巻回される。そして、上記した両コイルパターン5cの一部が直列接続されてコイルパターン5cが螺旋状に形成されている。
Thus, a part of the
なお、図7は電子部品1aの断面を模式的に示したものであり、例えば、第1内側柱状導体6c1と第2内側柱状導体6c2とは、電子部品1aの平面方向の異なる位置に配置されたものであるが、同一断面上に見えるように記載されている。第1の外側柱状導体6c3と第2の外側柱状導体6c4についても同様である。
FIG. 7 schematically shows a cross section of the
また、上記した各柱状導体6c1〜6c4の長さおよび配置関係は一例であり、接続させたい上層側配線電極7c1〜7c3と下層側配線電極7c4〜7c6との位置関係に応じて、適宜、各柱状導体6c1〜6c4の長さおよび各絶縁層L4〜L10の積層方向における配置を変更するとよい。 Further, the length and arrangement relationship of each of the columnar conductors 6c1 to 6c4 described above is an example, and depending on the positional relationship between the upper layer side wiring electrodes 7c1 to 7c3 and the lower layer side wiring electrodes 7c4 to 7c6 to be connected, It is preferable to change the length of the columnar conductors 6c1 to 6c4 and the arrangement of the insulating layers L4 to L10 in the stacking direction.
このように、この実施形態では、各柱状導体(各内側柱状導体6c1,6c2、各外側柱状導体6c3,6c4)の中で、その長さが異なるものを含んでおり、各上層側配線電極7c1〜7c3および各下層側配線電極7c4〜7c6それぞれにおいて、各配線電極を複数の絶縁層L4,L6,L8,L10に渡って配置できるように構成されている。 As described above, in this embodiment, each of the columnar conductors (inner columnar conductors 6c1 and 6c2, outer columnar conductors 6c3 and 6c4) having different lengths is included, and each upper layer side wiring electrode 7c1 is included. ˜7c3 and each lower layer side wiring electrode 7c4˜7c6, each wiring electrode can be arranged across a plurality of insulating layers L4, L6, L8, L10.
なお、電子部品1aは、第1実施形態で説明した製造方法と同様の方法により製造することができる。このとき、各絶縁層L5,L6,L8,L9それぞれは、エポキシ樹脂等で形成された半硬化状態の樹脂シートであり、各絶縁層L4〜L10を接着するための層として設けられている。
The
したがって、このように構成することにより、各上層側配線電極7c1〜7c3および各下層側配線電極7c4〜7c6それぞれにおいて、一部の配線電極を異なる絶縁層に形成できるため、絶縁基板2aに形成する配線電極の数を増やすことができる。そのため、磁性体4を巻回するコイルパターンの巻き数を増やすことができ、電子部品1aが生成するインダクタンス値を大きくすることができる。
Therefore, by configuring in this way, in each of the upper layer side wiring electrodes 7c1 to 7c3 and the lower layer side wiring electrodes 7c4 to 7c6, a part of the wiring electrodes can be formed in different insulating layers, and thus formed on the insulating substrate 2a. The number of wiring electrodes can be increased. Therefore, the number of coil patterns wound around the
また、絶縁基板2bに形成する配線電極の数を容易に変更することができるため、コイルパターン全体の長さの調整を行うことができ、所望のインダクタンス値を有する電子部品1aを容易に得ることができる。
Further, since the number of wiring electrodes formed on the insulating substrate 2b can be easily changed, the length of the entire coil pattern can be adjusted, and an
なお、第1実施形態と同様に、各絶縁層L4〜L6,L8〜L10に形成する各ビア導体16a〜16c,16e〜16j,16l〜16nを、絶縁層L7に形成したピン状導体16d,16kと同様のピン導体で形成してもよい。
As in the first embodiment, the via
なお、本発明は上記した各実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上記したもの以外に種々の変更を行なうことが可能である。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications other than those described above can be made without departing from the spirit of the invention.
例えば、コイルパターンは複数ではなく、1つであってもよい。また、絶縁基板2,2aに、キャパシタ素子等のインダクタ素子と異なる機能を有する素子を合わせて形成することにより、各電子部品1,1aに種々の回路(例えば、フィルタ回路)を形成する構成であってもよい。
For example, the coil pattern may be one instead of plural. In addition, by forming an element having a function different from that of an inductor element such as a capacitor element on the insulating
また、上記した各実施形態では、各絶縁層L2,L7それぞれにおいて、樹脂体10に凹部12aを形成して該凹部12aに磁性体4を配置する構成としたが、凹部12aを例えば、複数の絶縁層で形成する構成であってもかまわない。この場合、例えば、隣接する絶縁層それぞれに凹部を設け、両凹部が対向するようにして両絶縁層を積層することにより磁性体4を配置するようにしてもかまわない。
Further, in each of the embodiments described above, in each of the insulating layers L2 and L7, the
また、上記した各実施形態では、各柱状導体6a1,6a2,6b1,6b2,6c1〜6c4,6d1〜6d4、上層側配線電極7a1,7b1,7c1〜7c3,7d1〜7d3、下層配線電極7a2,7b2,7c4〜7c6,7d4〜7d6はいずれも磁性体4とは接していないが、各柱状導体6a1,6a2,6b1,6b2,6c1〜6c4,6d1〜6d4、上層側配線電極7a1,7b1,7c1〜7c3,7d1〜7d3、下層配線電極7a2,7b2,7c4〜7c6,7d4〜7d6のいずれか、または全てが磁性体4と接するように配置されていてもよい。
In each of the above-described embodiments, each of the columnar conductors 6a1, 6a2, 6b1, 6b2, 6c1 to 6c4, 6d1 to 6d4, the upper layer side wiring electrodes 7a1, 7b1, 7c1 to 7c3, 7d1 to 7d3, and the lower layer wiring electrodes 7a2, 7b2 7c4 to 7c6 and 7d4 to 7d6 are not in contact with the
さらに、本発明は、絶縁基板2,2a内にコイルパターン5a〜5dを形成する構成であれば、どのような電子部品に対しても通用することができる。
Furthermore, the present invention can be applied to any electronic component as long as the
1,1a 電子部品
2,2a 絶縁基板
4 磁性体
5a〜5d コイルパターン
6a1,6a2,6b1,6b2,6c1〜6c4,6d1〜6d4 柱状導体
7a1,7b1,7c1〜7c3,7d1〜7d3 上層側配線電極(一方側配線電極)
7a2,7b2,7c4〜7c6,7d4〜7d6 下層側配線電極(他方側配線電極)
10 樹脂体
12a,12b 凹部(位置決め凹部)
L1〜L10 絶縁層
DESCRIPTION OF
7a2, 7b2, 7c4-7c6, 7d4-7d6 Lower layer side wiring electrode (the other side wiring electrode)
10
L1 to L10 Insulating layer
Claims (11)
前記絶縁基板内に配置された磁性体と、
前記磁性体を巻回するように前記絶縁基板に形成されたコイルパターンとを備え、
前記コイルパターンは、
前記絶縁基板に埋設されて前記磁性体の周囲に立設された複数の柱状導体と、
前記柱状導体の長さ方向における前記磁性体の一方側に形成され、前記各柱状導体の対応する一方端どうしを接続する複数の一方側配線電極と、
前記各絶縁層の積層方向における前記磁性体の他方側に形成され、前記各柱状導体の対応する他方端どうしを接続する複数の他方側配線電極とを備え、
前記磁性体が、前記各柱状導体と前記各柱状導体を直列接続する前記各一方側配線電極および前記各他方側配線電極とにより螺旋状に巻回されている
ことを特徴とする電子部品。 An insulating substrate;
A magnetic body disposed in the insulating substrate;
A coil pattern formed on the insulating substrate so as to wind the magnetic body,
The coil pattern is
A plurality of columnar conductors embedded in the insulating substrate and standing around the magnetic body;
A plurality of one-side wiring electrodes that are formed on one side of the magnetic body in the length direction of the columnar conductor and connect corresponding one ends of the columnar conductors;
A plurality of other side wiring electrodes that are formed on the other side of the magnetic body in the stacking direction of the insulating layers and connect the corresponding other ends of the columnar conductors;
The electronic component, wherein the magnetic body is spirally wound around the one side wiring electrode and the other side wiring electrode that connect the columnar conductors and the columnar conductors in series.
前記絶縁基板内に配置された磁性体と、
前記磁性体を巻回するように前記絶縁基板に形成されたコイルパターンとを備え、
前記コイルパターンは、
前記絶縁基板に埋設されて前記磁性体の周囲に立設された複数の柱状導体と、
前記柱状導体の長さ方向における前記磁性体の一方側に位置する複数の前記絶縁層のうちの少なくとも2つの層に形成された複数の一方側配線電極と、
前記柱状導体の長さ方向における前記磁性体の他方側に位置する複数の絶縁層のうちの少なくとも2つの層に形成された複数の他方側配線電極とを備え、
前記各柱状導体には、その長さが異なるものが含まれており、
前記磁性体を挟んで隣接する1組の前記柱状導体どうしが、一の前記一方側配線電極、および、一または他の前記他方側配線電極により直列接続されて前記磁性体の周囲に所定コイル径に巻回されるとともに、他の組の前記柱状導体どうしが、他の前記一方側配線電極、および、一または他の前記他方側配線電極により直列接続されて前記磁性体の周囲に前記所定コイル径と異なるコイル径に巻回され、螺旋状パターンに形成されている
ことを特徴とする電子部品。 An insulating substrate formed by laminating a plurality of insulating layers;
A magnetic body disposed in the insulating substrate;
A coil pattern formed on the insulating substrate so as to wind the magnetic body,
The coil pattern is
A plurality of columnar conductors embedded in the insulating substrate and standing around the magnetic body;
A plurality of one-side wiring electrodes formed on at least two of the plurality of insulating layers located on one side of the magnetic body in the length direction of the columnar conductor;
A plurality of other wiring electrodes formed on at least two of the plurality of insulating layers located on the other side of the magnetic body in the length direction of the columnar conductor;
Each of the columnar conductors includes those having different lengths,
A pair of the columnar conductors adjacent to each other with the magnetic body interposed therebetween are connected in series by one of the one side wiring electrode and one or the other side wiring electrode, and have a predetermined coil diameter around the magnetic body. And the other set of the columnar conductors are connected in series by the other one side wiring electrode and one or the other side wiring electrode, and the predetermined coil is disposed around the magnetic body. An electronic component that is wound around a coil diameter different from the diameter and formed in a spiral pattern.
前記柱状導体は、
前記円環状の磁性体の内周面に囲まれた領域に配置された複数の内側柱状導体と、
前記円環状の磁性体の外周面の外側に配置された複数の外側柱状導体とを備え、
前記円環状の磁性体は、前記コイルパターンにより、周方向に沿って螺旋状に巻回されていることを特徴とする請求項1または2に記載の電子部品。 The magnetic body has an annular shape,
The columnar conductor is
A plurality of inner columnar conductors arranged in a region surrounded by an inner peripheral surface of the annular magnetic body;
A plurality of outer columnar conductors arranged outside the outer peripheral surface of the annular magnetic body,
The electronic component according to claim 1, wherein the annular magnetic body is spirally wound along a circumferential direction by the coil pattern.
少なくとも前記磁性体の外側面と前記収納空間に現れる前記絶縁基板の壁面との間に隙間ができるように、前記収納空間が形成されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の電子部品。 The insulating substrate is formed with a storage space for arranging the magnetic body therein,
The storage space is formed so that a gap is formed at least between the outer surface of the magnetic body and the wall surface of the insulating substrate that appears in the storage space. The electronic component described.
前記各柱状導体それぞれの両端面が露出するように前記絶縁層の両主面を研磨または研削する研磨・研削工程と、
それぞれ前記コイルパターンを形成し、露出した前記柱状導体の一方端面どうしを接続する複数の一方側配線電極、および、露出した前記柱状導体の他方端面どうしを接続する複数の他方側配線電極を前記絶縁層に形成する電極形成工程と
を備えることを特徴とする電子部品の製造方法。 An embedding step of embedding a magnetic body and a plurality of columnar conductors each forming a coil pattern standing around the magnetic body in an insulating layer;
A polishing / grinding step of polishing or grinding both main surfaces of the insulating layer so that both end surfaces of each of the columnar conductors are exposed;
Insulating the plurality of one-side wiring electrodes that respectively form the coil pattern and connect the exposed one end surfaces of the columnar conductors, and the plurality of other-side wiring electrodes that connect the exposed other end surfaces of the columnar conductors And an electrode forming step for forming the layer.
前記磁性体および前記各柱状導体を所定の位置に配置するための複数の位置決め凹部が形成された前記絶縁層に、前記磁性体および前記各柱状導体を配置する工程を備えることを特徴とする請求項9に記載の電子部品の製造方法。 The embedding process includes
The step of disposing the magnetic body and the columnar conductors on the insulating layer having a plurality of positioning recesses for disposing the magnetic body and the columnar conductors at predetermined positions is provided. Item 10. A method for manufacturing an electronic component according to Item 9.
前記各一方側配線電極と、前記各一方側配線電極と接続される複数のビア導体が形成された第1樹脂シートと、
前記各他方側配線電極と、前記各他方側配線電極と接続される複数のビア導体が形成された第2樹脂シートとを準備し、
前記第1樹脂シートを前記絶縁層の一方主面に積層するとともに、前記第2樹脂シートを前記絶縁層の他方主面に積層することにより行う
ことを特徴とする請求項9または10に記載の電子部品の製造方法。
The electrode forming step includes
Each one-side wiring electrode, and a first resin sheet on which a plurality of via conductors connected to each one-side wiring electrode are formed,
Preparing each second wiring electrode and a second resin sheet on which a plurality of via conductors connected to the other wiring electrode are formed;
11. The method according to claim 9, wherein the first resin sheet is laminated on one main surface of the insulating layer and the second resin sheet is laminated on the other main surface of the insulating layer. Manufacturing method of electronic components.
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