JP2014032128A - 外力検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧電片に加わる外力を高精度にかつ容易に検出することが出来、かつ励振電極の質量に由来する応力による悪影響を排除することが出来る外力検出装置を提供すること。
【解決手段】容器1の内部に設けられた基台8に、導電性接着剤7で水晶片2の一端を接着する。基台8には導電性接着剤7に接触しないように励振電極4が備えられ、導電路14を介して水晶片2の上面の引き出し電極51へと接続され、引き出し電極51は水晶片2の他端下部の可動電極5へと引き回される。一方容器1の内部上面かつ励振電極4の鉛直上方には励振電極3が設けられており、また容器1の内部下面かつ可動電極5の直下には固定電極6が備え付けられており、夫々発振回路17へと接続されている。よって水晶片2上に電極は可動電極5及び引き出し電極51のみが存在しており、励振電極は空間電極となっている。
【選択図】図1
【解決手段】容器1の内部に設けられた基台8に、導電性接着剤7で水晶片2の一端を接着する。基台8には導電性接着剤7に接触しないように励振電極4が備えられ、導電路14を介して水晶片2の上面の引き出し電極51へと接続され、引き出し電極51は水晶片2の他端下部の可動電極5へと引き回される。一方容器1の内部上面かつ励振電極4の鉛直上方には励振電極3が設けられており、また容器1の内部下面かつ可動電極5の直下には固定電極6が備え付けられており、夫々発振回路17へと接続されている。よって水晶片2上に電極は可動電極5及び引き出し電極51のみが存在しており、励振電極は空間電極となっている。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧電片例えば水晶片を用い、圧電片に作用する外力の大きさを発振周波数に基づいて検出することにより、加速度、圧力、流体の流速、磁力あるいは静電気力などといった外力を検出する技術分野に関する。
系に作用する外力として、加速度に基づく物体に作用する力、圧力、流速、磁力、静電気力などがあるが、これらの外力を正確に測定することが必要な場合が多い。例えば自動車を開発する段階で自動車が物体に衝突したときに座席における衝撃力を測定することが行われている。また地震時の振動エネルギーや振幅を調べるためにできるだけ精密に揺れの加速度などを調べる要請がある。
更にまた液体や気体の流速を正確に調べてその検出値を制御系に反映させる場合や、磁石の性能を測定する場合なども外力の測定例として挙げることができる。このような測定を行うにあたって、できるだけ簡素な構造でありかつ高精度に測定できることが要求されている。
そこで本発明者は、圧電片に外力が加わったときの撓みに基づく容量変化を利用して外力を高精度に測定する手法を検討している。具体的には、圧電片を片持ちで支持し、当該圧電片の撓み量を周波数の変化に変換し、この周波数の変化を計測する方法である。当該方法によれば、周波数の変化を高精度で計測することが可能である。
特許文献1には、圧電フィルムを片持ちで支持し、周囲の磁力の変化により圧電フィルムが変形し、圧電フィルムに流れる電流が変化することが記載されている。また特許文献2には、容量結合型の圧力センサと、この圧力センサの配置領域に対して仕切られた空間に配置された水晶振動子とを設け、これら圧力センサの可変容量と水晶振動子とを並列に接続し、圧力センサにおける容量が変化することにより水晶振動子の反共振点が変わることで圧力を検出することが記載されている。
また圧電振動子が片持ち支持された装置において、特許文献3には圧電振動子の撓み方向においてそれと対向する装置の内壁に段差を設けることにより先端部の内壁への衝突を回避する技術が記載されており、特許文献4には圧電振動子の撓み方向に対向するように枕部材を設けることにより先端部の振動を規制する技術が記載されている。
これら特許文献1〜4は、本発明とは原理が全く異なる。
これら特許文献1〜4は、本発明とは原理が全く異なる。
本発明は、このような背景の下になされたものであり、圧電板に加わる外力を簡易な構造で高精度に検出することができる外力検出装置を提供することにある。
本発明は、
圧電片に作用する外力を検出する外力検出装置であって、
一端側が支持部に支持された片持ちの圧電片と、
この圧電片を振動させるために、当該圧電片の一面側及び他面側に夫々対向する部材に設けられた第1の励振電極及び第2の励振電極と、
前記第1の励振電極に電気的に接続された発振回路と、
前記圧電片において前記一端側から離れた部位に設けられ、前記第2の励振電極に電気的に接続された可変容量形成用の可動電極と、
前記圧電片とは離間して、前記可動電極に対向するように設けられると共に前記発振回路に接続され、圧電片の撓みにより前記可動電極との間の容量が変化してこれにより可変容量を形成する固定電極と、
前記発振回路の発振周波数に対応する周波数情報である信号を検出するための周波数情報検出部と、を備え、
前記発振回路から第1の励振電極、第2の励振電極、可動電極及び固定電極を経て発振回路に戻る発振ループが形成され、
前記周波数情報検出部にて検出された周波数情報は、圧電片に作用する力を評価するためのものであることを特徴とする。
圧電片に作用する外力を検出する外力検出装置であって、
一端側が支持部に支持された片持ちの圧電片と、
この圧電片を振動させるために、当該圧電片の一面側及び他面側に夫々対向する部材に設けられた第1の励振電極及び第2の励振電極と、
前記第1の励振電極に電気的に接続された発振回路と、
前記圧電片において前記一端側から離れた部位に設けられ、前記第2の励振電極に電気的に接続された可変容量形成用の可動電極と、
前記圧電片とは離間して、前記可動電極に対向するように設けられると共に前記発振回路に接続され、圧電片の撓みにより前記可動電極との間の容量が変化してこれにより可変容量を形成する固定電極と、
前記発振回路の発振周波数に対応する周波数情報である信号を検出するための周波数情報検出部と、を備え、
前記発振回路から第1の励振電極、第2の励振電極、可動電極及び固定電極を経て発振回路に戻る発振ループが形成され、
前記周波数情報検出部にて検出された周波数情報は、圧電片に作用する力を評価するためのものであることを特徴とする。
本発明は、圧電板に外力が加わって撓むとあるいは撓みの程度が変わると、圧電板側の可動電極とこの可動電極に対向する固定電極との間の距離が変わり、このため両電極間の容量が変わることを利用している。そしてこの容量変化と圧電板の撓みの度合とを圧電板の発振周波数の変化として捉え、この変化に基づいて外力を評価している。このため外力(外力の大きさや振動の周期等)を高精度に簡易な方法で検出できる。また励振電極を圧電板と対向する部位に設け、圧電板の撓みに伴って励振電極が撓むことに基づく周波数誤差のおそれもないため、高精度に周波数の変化を捉えることができる。
[第1の実施形態]
本発明を加速度検出装置に適用した第1の実施形態について説明する。図1中、1は直方体形状の密閉型の例えば水晶からなる容器であり、例えば内部に不活性ガスである窒素ガスが封入されている。この容器は基台をなす下部分32とこの下部分32に周辺部にて接合される上部分31とから構成され、絶縁基板11上に設けられている。なお容器1としては必ずしも密閉型の容器に限定されるものではない。容器1内には台座部8が設けられ、この台座部8の上面に導電性接着剤7により圧電片である水晶片2の一端側が固定されている。即ち水晶片2は台座部8に片持ち支持されており、台座部8は水晶片2の一端を支持する支持部に相当する。
本発明を加速度検出装置に適用した第1の実施形態について説明する。図1中、1は直方体形状の密閉型の例えば水晶からなる容器であり、例えば内部に不活性ガスである窒素ガスが封入されている。この容器は基台をなす下部分32とこの下部分32に周辺部にて接合される上部分31とから構成され、絶縁基板11上に設けられている。なお容器1としては必ずしも密閉型の容器に限定されるものではない。容器1内には台座部8が設けられ、この台座部8の上面に導電性接着剤7により圧電片である水晶片2の一端側が固定されている。即ち水晶片2は台座部8に片持ち支持されており、台座部8は水晶片2の一端を支持する支持部に相当する。
図1に示す加速度検出装置について、向かって左を後方、右を前方とすると、台座部8は容器1の後端に設けられている。水晶片2は、例えばXカットの水晶を短冊状に形成したものであり、厚さが例えば数十μmオーダ、例えば0.03mmに設定されている。従って水晶片の面に交差する方向に加速度を加えることにより、先端部が撓む。そして水晶片2は台座部8の上面に、水晶片2の長さ方向に沿って、接着部同士が互いに離間するように導電性接着剤7により例えば2箇所接着されている。
水晶片2は、図2に示すように、前端部の下面に可動電極5が設けられ、可動電極5からは引き出し電極51が水晶片2の基端部(台座部8)側へと引き出され、導電性接着剤7による接着部まで延伸される(図2以外では引き出し電極51は図示せず)。
水晶片2に対して、図1で示すように、台座部8の上面には導電性接着剤7による前後の接着部位の間に、水晶片2を励振させるための励振電極4が設けられており、水晶片2の上面と対向する容器1の上部分31の内面には励振電極3が設けられている。励振電極3および4は、水晶片2を挟んで互いに対向する位置に配置される。これらの励振電極3及び4は、いわば水晶片2に対して空間電極として存在している。
一方の励振電極3は導電路13を介して発振回路17に接続され、他方の励振電極4は、上述したとおり導電路14及び引き出し電極51を介して先端部の可動電極5と電気的に接続される。
一方容器1の底面には、可変容量形成用の固定電極6が設けられている。容器1の底部にはコンベックス状の水晶からなる突起部9が設けられている。この突起部9は平面図でみると四角形である。本発明は水晶片2の変形に基づいて起こる可動電極5と固定電極6との間の容量変化を介して外力を検出するものであるから、可動電極5は検出用電極ということもできる。
固定電極6はこの突起部9において、可動電極5と概ね対向するように設けられている。水晶片2は過大に触れて先端が容器1の底部に衝突すると、「劈開(へきかい:Cleavage)」という現象により結晶の塊でも欠け易いという性質がある。このため水晶片2が過大に触れたときに可動電極5よりも水晶片2の基端側(一端側)の部位が突起部9に衝突するように突起部9の形状が決定されている。図1等では実際の装置とは少しイメージを変えて記載してあるが、実際に大きく容器1を振ると、水晶片2の先端より中央寄りの部位が突起部9に衝突する。
固定電極6は、絶縁基板11を介して配線された導電路12の一端に接続され、導電路12の他端は発振回路17に接続されている。発振回路17は導電路16を介して電源部18に接続されている。
図3に加速度センサの配線の接続状態を示し、図4に具体的な回路を示す。図4において、D1は可変容量ダイオード、C1〜C4はコンデンサ、L1はインダクタ、R1〜R3は抵抗、TR1はトランジスタである。図3及び図4において、前記可動電極5と固定電極6との間に介在する可変容量をCvとする。
図3中、101は例えばパーソナルコンピュータからなるデータ処理部であり、このデータ処理部101は、周波数検出部100から得られた周波数情報例えば周波数に基づいて、水晶片2に加速度が加わらないときの周波数f0と加速度が加わったときの周波数f1との差を求め、この周波数差から算出した周波数の変化分と加速度とを対応付けたデータテーブルを参照して加速度を求める機能を有する。周波数情報としては、周波数差の変化分に限らず、周波数の差分そのものであってもよい。
ここで国際規格IEC 60122−1によれば、水晶発振回路の一般式は次の(1)式のように表される。
FL=Fr×(1+x)
x=(C1/2)×1/(C0+CL) ……(1)
FLは、水晶振動子に負荷が加わったときの発振周波数であり、Frは水晶振動子そのものの共振周波数である。
本実施形態では、図3及び図4に示すように、水晶片2の負荷容量は、CLにCvが加わったものである。従って(1)式におけるCLの代わりに(2)式で表されるyが代入される。
y=1/(1/Cv+1/CL) ……(2)
従って水晶片2の撓み量が状態1から状態2に変わり、これにより可変容量CvがCv1からCv2に変わったとすると、周波数の変化dFLは、(3)式で表される。
dFL=FL1−FL2=A×CL2×(Cv2−Cv1)/(B×C)…(3)
ここで、
A=C1×Fr/2
B=C0×CL+(C0+CL)×Cv1
C=C0×CL+(C0+CL)×Cv2
である。
FL=Fr×(1+x)
x=(C1/2)×1/(C0+CL) ……(1)
FLは、水晶振動子に負荷が加わったときの発振周波数であり、Frは水晶振動子そのものの共振周波数である。
本実施形態では、図3及び図4に示すように、水晶片2の負荷容量は、CLにCvが加わったものである。従って(1)式におけるCLの代わりに(2)式で表されるyが代入される。
y=1/(1/Cv+1/CL) ……(2)
従って水晶片2の撓み量が状態1から状態2に変わり、これにより可変容量CvがCv1からCv2に変わったとすると、周波数の変化dFLは、(3)式で表される。
dFL=FL1−FL2=A×CL2×(Cv2−Cv1)/(B×C)…(3)
ここで、
A=C1×Fr/2
B=C0×CL+(C0+CL)×Cv1
C=C0×CL+(C0+CL)×Cv2
である。
また水晶片2に加速度が加わっていないときのいわば基準状態にあるときにおける可動電極5及び固定電極6の間の離間距離をd1とし、水晶片2に加速度が加わったときの前記離間距離をd2とすると、(4)式が成り立つ。
Cv1=S×ε/d1
Cv2=S×ε/d2 ……(4)
ここでSは可動電極5及び固定電極6の対向領域の面積、εは比誘電率である。
d1は既知であることから、dFLとd2とが対応関係にあることが分かる。
Cv1=S×ε/d1
Cv2=S×ε/d2 ……(4)
ここでSは可動電極5及び固定電極6の対向領域の面積、εは比誘電率である。
d1は既知であることから、dFLとd2とが対応関係にあることが分かる。
次に上述実施形態の作用について説明する。
加速度測定装置について、地震の発生、あるいは模擬的な振動などを加えると、水晶片2が図5の点線で示すように撓む。既述のように水晶片2に外力が加わらない基準の状態において、可動電極5と固定電極6との間の容量をCv1とおくと、水晶片2に外力が加わって、当該水晶片2が撓んだ状態では両電極5、6間の距離が変わるので、容量がCv1から変化する。このため発振回路17から出力される発振周波数が変化する。
加速度測定装置について、地震の発生、あるいは模擬的な振動などを加えると、水晶片2が図5の点線で示すように撓む。既述のように水晶片2に外力が加わらない基準の状態において、可動電極5と固定電極6との間の容量をCv1とおくと、水晶片2に外力が加わって、当該水晶片2が撓んだ状態では両電極5、6間の距離が変わるので、容量がCv1から変化する。このため発振回路17から出力される発振周波数が変化する。
振動が加わらない状態において周波数情報検出部である周波数検出部100により検出した周波数をFL1、振動(加速度)が加わった場合の周波数をFL2とすると、周波数の差分FL1−FL2は(3)式で表される。本発明者は状態1から状態2に変わったときの周波数の変化率を周波数の差分FL1−FL2から算出し、周波数の変化率{(FL1−FL2)/FL1}と、加速度との関係を調べて、直線関係を得ている。従って前記周波数の差分を測定することにより加速度を求めることが可能である。なお、FL1の値はある温度を基準温度と決めて、その基準温度例えば25℃における周波数の値である。
ここで、励振電極が水晶片上にある加速度センサを比較例とし、本実施形態の加速度センサについて、ともに経時的に観測を続け、時間の経過により検出周波数が発振周波数の理想値とどの程度のずれを生じるか測定した結果を図6に示す。
図6において直線が本実施形態、点線が比較例のグラフであり、横軸は時間、縦軸は発振周波数の理想値に対する検出周波数の偏差である。このグラフから、双方の例ともに時間と共に発振周波数の理想値に対する検出周波数の偏差が増大していくが、本実施形態では、発振周波数の理想値に対する検出周波数の偏差が増大していく様子が、比較例に比して緩やかであることが認められる。この測定の結果から、励振電極部を水晶片2と対向する位置に設けることにより、比較例の水晶振動子において、水晶片2の撓みに伴って励振電極が撓むことに基づいて生じていた測定誤差が、抑えられたものと推測できる。
ここで、水晶振動子のFrは80.000029Hz、C1は0.0017pF、C0は3.4pF、R1は8.2Ωであった。
なお、励振電極3、4と水晶片2との間の距離は、例えば10μm程度に調整することにより、水晶振動子の発振が容易になる。しかし、距離を近づけすぎると静電気が発生し、可動電極5が固定電極6などの容器内壁に接触するおそれがある。このため、励振電極3、4と水晶片2との間は適度な距離を置くことが求められる。
また、第1の実施形態の変形例として、図7に示したように、容器1の上面全体を導電体で形成し、この導電体を励振電極3として用いることもできる。あるいは図1において、容器1の上半分31を導電体で形成してもよい。
[第2の実施形態]
次に第2の実施形態について図8を参照しながら説明する。この第2の実施形態は、第1の実施形態の基台8にあたる部分について、上面には、内部すなわち図右側へと下る段が付いており、上方の段に励振電極4が埋め込まれると共に、水晶片2が上段側に片持ち支持される。基台8の下段において、水晶片2の下面側は基台8に接着剤71により接着されている。よって、水晶片2は接着剤71により接着された部分を基点に撓む。また、励振電極4及び可動電極5は引き出し電極51により電気的に接続されている。容器1の上部分31の内面には励振電極3が設けられ、励振電極3および4は、水晶片2を挟んで互いに対向する位置に設けられる。
次に第2の実施形態について図8を参照しながら説明する。この第2の実施形態は、第1の実施形態の基台8にあたる部分について、上面には、内部すなわち図右側へと下る段が付いており、上方の段に励振電極4が埋め込まれると共に、水晶片2が上段側に片持ち支持される。基台8の下段において、水晶片2の下面側は基台8に接着剤71により接着されている。よって、水晶片2は接着剤71により接着された部分を基点に撓む。また、励振電極4及び可動電極5は引き出し電極51により電気的に接続されている。容器1の上部分31の内面には励振電極3が設けられ、励振電極3および4は、水晶片2を挟んで互いに対向する位置に設けられる。
第2の実施形態によれば、接着剤71により基台8に接着された基点を境に、水晶片2が、励振電極3、4により励振される部分と、水晶片2に外力が加わり撓む部分とに完全に分離される。よって励振電極3、4が水晶片2に及ぼす外力は、水晶片2の撓みの大きさに影響を与えず、結果として周波数の検出精度が上昇する。
なお、当該実施形態の変形例として、図9に示すように、水晶片2の上面と、容器1の内部上面を接着剤71で接着する形態が挙げられる。この変形例においても、接着剤71により容器1に接着された基点を境に、水晶片2が、励振電極3及び4に励振される部分と、外力が加わり撓む部分とに完全に分離されるので、励振電極3、4が水晶片2に及ぼす外力は、水晶片2の撓みの大きさに影響を与えず、結果として周波数の検出精度が上昇する。
これらの実施形態の応用として、ある程度の厚みを有した、例えばガラスやセラミックス製の容器1内に、一端に可動電極5を有した水晶片2を他端で支持し、励振電極3及び4、並びに固定電極6を容器1外壁に設ける形態を挙げることができる。このように各電極を設けることで、さらに水晶片2に対する外力の影響が低減されるものと考えられる。
図10において、(a)〜(d)は短冊状の水晶片の両面側をエッチング加工して形成した水晶片2の形状の例、(e)〜(g)は短冊状の水晶片の片面側をエッチング加工して形成した水晶片2の形状の例である。図10は、理解のために寸法等を実際の比から変化させて描いたものである。いずれの例も、励振電極側と稼働電極側の中間部分が細くなっている。これは、水晶片2の感度を増大させるためである。
また、上述してきた実施形態において、可動電極5が固定電極6などの容器内壁に接触することを防止するため、可動電極5に電荷を与えるための電極を可動電極5近傍に設けてもよい。この電極から可動電極5に電荷を与えることにより、測定前に水晶片2が撓んでいた場合、この水晶片2の変形を調整することも可能である。
本発明は、上述の実施形態のように外力値そのものを検出する場合の他に、外力に応じた振動(振動の周波数)を検出することができる。具体的には、地震等を対象とした振動検出装置などに適用できる。この場合、振動検出装置の構造は第1の実施形態における外力検出装置と同様なため、説明は省略する。地震が発生してこの振動検出装置に振動が加わると、水晶片2が揺れて例えば図11(a)に示す第1の状態と、図11(b)に示す第2の状態とが繰り返される。第1の状態及び第2の状態の可変容量Cvの値を夫々Cv3及びCv4、発振周波数を夫々FL3及びFL4とすると、発振周波数は図13のようにFL3とFL4の間で時間と共に変化する。従って周波数検出部100にて検出された周波数データを解析することにより、図12に示される周波数変化の波の周期T(周波数に対応する)を求めることができる。この周波数変化の周期Tが振動の周期に対応し、発振周波数変化の振幅即ち発振周波数FL3及びFL4の差分値が振動の振幅に対応することから、本発明により地震波を検出することができる。
以上において本発明は、加速度検出器への適用及び地震波の検出のほか、磁力の測定、被測定物の傾斜の度合いの測定、液体の流量の測定、風力の測定、重力の測定などにも適用することができる。
1 容器
2 水晶片
3 励振電極
4 励振電極
5 可動電極
6 固定電極
7 導電性接着剤
8 基台
17 発振回路
18 電源部
2 水晶片
3 励振電極
4 励振電極
5 可動電極
6 固定電極
7 導電性接着剤
8 基台
17 発振回路
18 電源部
Claims (3)
- 圧電片に作用する外力を検出する外力検出装置であって、
一端側が支持部に支持された片持ちの圧電片と、
この圧電片を振動させるために、当該圧電片の一面側及び他面側に夫々対向する部材に設けられた第1の励振電極及び第2の励振電極と、
前記第1の励振電極に電気的に接続された発振回路と、
前記圧電片において前記一端側から離れた部位に設けられ、前記第2の励振電極に電気的に接続された可変容量形成用の可動電極と、
前記圧電片とは離間して、前記可動電極に対向するように設けられると共に前記発振回路に接続され、圧電片の撓みにより前記可動電極との間の容量が変化してこれにより可変容量を形成する固定電極と、
前記発振回路の発振周波数に対応する周波数情報である信号を検出するための周波数情報検出部と、を備え、
前記発振回路から第1の励振電極、第2の励振電極、可動電極及び固定電極を経て発振回路に戻る発振ループが形成され、
前記周波数情報検出部にて検出された周波数情報は、圧電片に作用する力を評価するためのものであることを特徴とする外力検出装置。 - 基台が内部に設けられ、圧電片を収納するための容器を備え、
前記第1の励振電極及び第2の励振電極のうちの一方及び他方は、夫々基台及び前記容器の内面部に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の外力検出装置。 - 前記圧電片の一端側は、前記支持部に接着剤により固定され、
前記第1の励振電極及び第2の励振電極は、前記圧電片における前記接着剤よりも一端寄りの部位を介して対向していることを特徴とする請求項1または2のいずれか一項に記載の外力検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012173316A JP2014032128A (ja) | 2012-08-03 | 2012-08-03 | 外力検出装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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2012
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