JP2014023022A - アレイ型超音波プローブおよびそれを用いた超音波検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アレイ型超音波プローブが備えるアレイ型圧電センサ30は、薄い高分子圧電膜43の一方の面にシグナル電極45aが形成され、厚い高分子圧電膜43の一方の面にシグナル電極45cが形成され、高分子圧電膜43の他方の面に、グランド電極42が形成され、シグナル電極45aとシグナル電極45cとは交互に配列している。超音波検査装置は、走査位置に対応する各高域用超音波振動子31に励起信号を出力し、超音波を送信させる複数の信号生成部と、走査位置に対応する低域用超音波振動子33の受信信号を信号処理する信号処理部と、当該信号処理部の出力信号に基づいて超音波画像を生成する画像生成部とを備える。
【選択図】図1
Description
アレイ型圧電センサ30Bは、表面から順に、このアレイ型圧電センサ30Bを物理的な衝撃などから保護する保護膜40と、この保護膜40を下層に接着する接着層41と、共通のグランド電極42と、フッ素系共重合体で構成されている高分子圧電膜43と、高分子圧電膜43に電圧を印加する複数のシグナル電極45と、各シグナル電極45を接着する接着層44と、ベースフィルム47と、このベースフィルム47を接着する接着層48と、架台49とを備えている。シグナル電極45は、図の横方向に配列しているシグナル電極45−1〜45−4である。
接着層44の表面側には、均一な厚さの高分子圧電膜43が形成され、更にその表面側にはグランド電極42が形成されて、超音波振動子34−1〜34−4を構成している。これら複数の超音波振動子34−1〜34−4は、図の横方向に配列している。以下、超音波振動子34−1〜34−4を特に区別しないときには、単に超音波振動子34と記載している場合がある。
例えば、最初に超音波振動子34−1〜34−3で超音波ビームを形成し、被検体を走査する。次には、電子的にシフトした超音波振動子34−2〜34−4で超音波ビームを形成し、被検体を走査する。このように、超音波振動子34のシフトを電子制御することにより、高速なスキャンが可能になる。
その他の手段については、発明を実施するための形態のなかで説明する。
アレイ型圧電センサ30は、表面側(図の上側)から順に、このアレイ型圧電センサ30を物理的な衝撃から保護する保護膜40と、この保護膜40を下層に接着する接着層41と、共通のグランド電極42(対向電極)と、フッ素系共重合体で構成されている高分子圧電膜43(第1圧電膜、第2圧電膜)と、高分子圧電膜43に電圧を印加する複数のシグナル電極45(第1電極、第2電極)と、各シグナル電極45を絶縁する絶縁層46と、ベースフィルム47と、このベースフィルム47を接着する接着層48と、架台49とを備えている。シグナル電極45の下部には、絶縁層46が交互に配列して形成されている。
ベースフィルム47上に絶縁層46を介さずに構成されたシグナル電極45は、シグナル電極45c−1〜45c−4(第2電極)と記載している場合と、単にシグナル電極45cと記載している場合がある。
すなわち、薄い高分子圧電膜43(第1圧電膜)の一方の面にシグナル電極45a(第1電極)が形成され、他方の面にグランド電極42(対向電極)が形成されている。言い換えると、高域用超音波振動子31は、シグナル電極45a(第1電極)と薄い高分子圧電膜43(第1圧電膜)とグランド電極42(対向電極)を備えている。
高域用超音波振動子31は、シグナル電極45aに励起信号が入力されたとき、薄い高分子圧電膜43の圧電効果により、高域の超音波を発生するものである。更に高域用超音波振動子31は、シグナル電極45aに、受信した高域の超音波に応じた電圧を発生させる。
すなわち、厚い高分子圧電膜43の一方の面にシグナル電極45c(第2電極)が形成され、他方の面にグランド電極42(対向電極)が形成されている。言い換えると、低域用超音波振動子33は、シグナル電極45c(第2電極)と厚い高分子圧電膜43(第2圧電膜)とグランド電極42(対向電極)を備えている。
低域用超音波振動子33は、シグナル電極45cに励起信号が入力されたとき、厚い高分子圧電膜43の圧電効果により、低域の超音波を発生するものである。更に低域用超音波振動子33は、シグナル電極45cに、受信した低域の超音波に応じた電圧を発生させる。
第1の実施形態の超音波検査装置10は、アレイ型超音波プローブ20によって、適切に反射波を受信するものである。
超音波検査装置10は、超音波の送受信を行うアレイ型超音波プローブ20と、当該超音波検査装置10を統括制御して超音波映像を表示する映像表示装置50と、アレイ型超音波プローブ20との間で電気信号を入出力する送受信装置60と、アレイ型超音波プローブ20を機械的に走査するX軸スキャナ71およびY軸スキャナ72と、アレイ型超音波プローブ20の走査位置を検知するエンコーダ21と、X軸スキャナ71およびY軸スキャナ72を制御するメカ制御装置70とを備えている。アレイ型超音波プローブ20は、X軸スキャナ71およびY軸スキャナ72に支えられて、水槽100に満たされた水110に浸漬され、アレイ型圧電センサ30が被検体120に対向するように配置される。
映像表示装置50は、アレイ型超音波プローブ20の走査位置を制御する走査制御部51と、超音波の送受信タイミングを制御するタイミング制御部53と、超音波画像を生成する画像生成部54とを備えている。
送受信装置60は、低域用超音波振動子33の励起信号を生成する信号生成部61−1,61−2と、アレイ型超音波プローブ20が受信した反射波の受信信号を増幅するアンプ64−1,64−2と、当該受信信号を、アナログ信号からデジタル信号に変換するA/D変換器65−1,65−2と、当該受信信号を信号処理する信号処理部66とを備えている。
信号生成部61−1,61−2,…は、アレイ型超音波プローブ20が備えている各高域用超音波振動子31(第1超音波振動子)に、それぞれ並列に接続されている。以下、信号生成部61−1,61−2,…を特に区別しないときには、単に信号生成部61と記載している場合がある。
アンプ64−1,64−2,…は、アレイ型超音波プローブ20が備えている各低域用超音波振動子33(第2超音波振動子)に、それぞれ並列に接続されている。以下、アンプ64−1,64−2,…を特に区別しないときには、単にアンプ64と記載している場合がある。
A/D変換器65−1,65−2,…は、アンプ64−1,64−2,…の出力側に、それぞれ接続されている。以下、A/D変換器65−1,65−2,…を特に区別しないときには、単にA/D変換器65と記載している場合がある。
メカ制御装置70の出力側は、X軸スキャナ71およびY軸スキャナ72に接続されている。メカ制御装置70には、アレイ型超音波プローブ20の走査位置を検知するエンコーダ21の出力側が接続されている。メカ制御装置70(スキャナ)は、エンコーダ21の出力信号に基づいて、アレイ型超音波プローブ20の走査位置を検知して、X軸スキャナ71およびY軸スキャナ72によって、指示された走査位置になるように制御する。メカ制御装置70は、走査制御部51からアレイ型超音波プローブ20の制御指示を受けると共に、アレイ型超音波プローブ20の走査位置情報を応答する。
タイミング制御部53は、走査制御部51から取得したアレイ型超音波プローブ20の走査位置情報に基づいて、送受信装置60に超音波の送受信タイミング信号(情報)を出力するものである。これにより、超音波ビームは、所定の走査位置を焦点として収束する。
画像生成部54は、信号処理部66の出力信号に基づいて、所定周波数に於ける超音波画像を生成するものである。
図2を参照しつつ、超音波検査装置10の一連の動作について説明する。
走査制御部51は、アレイ型超音波プローブ20を+X方向にスキャンし、被検体120の超音波画像を取得するよう制御する。走査制御部51は、アレイ型超音波プローブ20がX方向の端に位置していることを検知したならば、スキャンを終了する。
アレイ型超音波プローブ20は、連接した複数の低域用超音波振動子33によって反射波を受信し、受信信号を出力する。送受信装置60は、アンプ64によって受信信号を増幅し、A/D変換器65によって受信信号をデジタル信号に変換し、信号処理部66によって当該受信信号の焦点からの距離を打ち消すよう遅延処理したのち、ゲートパルスVgateによって信号処理(ゲート処理)して、当該相殺位置に於ける画素情報として、映像表示装置50に出力する。
映像表示装置50は、メカ制御装置70から取得した走査位置の情報と、タイミング制御部53から取得したY方向の走査位置の情報と、送受信装置60の信号処理部66が出力した当該走査位置に於ける画素の情報とに基づいて、被検体120の内部構造を画像化して表示する。被検体120の内部を示す超音波画像は、受信信号の振幅情報によるものでも、受信信号が所定振幅以上になる時間の情報によるものでもよい。
ここでは、超音波検査装置10の一部として、X軸スキャナ71と、Y軸スキャナ72と、アレイ型超音波プローブ20のみが示されている。
X軸スキャナ71は、Y軸スキャナ72を±X方向に移動させるものである。Y軸スキャナ72は、被検体120の被検体120のY方向の大きさが、アレイ型超音波プローブ20のスキャン幅よりも広い場合に、アレイ型超音波プローブ20を±Y方向に移動させるものである。なお、Y軸スキャナ72は、被検体120の被検体120のY方向の大きさが、アレイ型超音波プローブ20のスキャン幅よりも狭い場合には、Y方向のスキャンを行わない。
アレイ型超音波プローブ20は、ほぼ直方体であり、先端部にアレイ型圧電センサ30(図1)を備えている。アレイ型超音波プローブ20は、水槽100に満たされた水110に浸漬されて、被検体120の上部Z方向に所定の距離を於いてアレイ型圧電センサ30(図1、図2)が対向するように配置されている。アレイ型圧電センサ30の高域用超音波振動子31(第1超音波振動子)と低域用超音波振動子33(第2超音波振動子)とは、図のY方向に配列している。
アレイ型超音波プローブ20は、上部筐体23と下部筐体24と、この下部筐体24の下側に配置されたアレイ型圧電センサ30とを備えている。上部筐体23と下部筐体24とは防水機能を備え、アレイ型圧電センサ30や、それに接続されている信号線などが水110(図1)に浸らないように保護している。上部筐体23には、支持部22が片側に形成されている。アレイ型超音波プローブ20は、この支持部22によってY軸スキャナ72(図1、図3)に固定される。
図5(a)は、最初の走査位置121−1に於けるアレイ型圧電センサ30の動作を示す図である。以下、走査位置121−1,…を特に区別しないときには、単に走査位置121と記載している場合がある。
被検体120は、表面120sが形成され、その内部に測定境界面120fが形成されている。測定境界面120fは、例えば被検体120が集積回路の場合には、回路面やボンディング面などである。アレイ型圧電センサ30と被検体120との間には、水110が満たされている。
高域用超音波振動子31−1〜31−3は、走査位置121−1が焦点になるよう、それぞれ予め決められたタイミングで超音波を送信する。高域用超音波振動子31−1が最も早く超音波を送信し、以降順番に、高域用超音波振動子31−2が超音波を送信し、その後に高域用超音波振動子31−3が超音波を送信する。これにより、被検体120の表面120sの内部に超音波ビームが到達し、走査位置121−1に焦点を結ぶ。
超音波ビームは、走査位置121−1かつ測定境界面120fで反射する。超音波の反射波は、それぞれ低域用超音波振動子33−5〜33−7に所定のタイミングで到達し、電気信号(受信信号)に変換される。送受信装置60(図2)は、走査位置121−1に応じた位置である低域用超音波振動子33−5〜33−7の受信信号を、焦点からの距離の差を打ち消すよう遅延処理したのちに信号処理して、当該走査位置121−1に於ける画素を算出する。ここで、送受信装置60の信号処理部66(図2)は、例えば、低域用超音波振動子33−5の受信信号に大きな遅延を加え、低域用超音波振動子33−6の受信信号に中程度遅延を加え、低域用超音波振動子33−7の受信信号に小さな遅延を加え、各受信信号の焦点に於ける信号タイミングが一致するように遅延処理して、各受信信号を加算し、更にゲートパルスVgateによって所定期間の受信信号のみを取り出し、この所定期間の受信信号の振幅情報や時刻情報などを出力する。送受信装置60は、走査位置に応じて電子的に選択した低域用超音波振動子33で反射波を受信しているので、短時間でスキャンすることができる。
このように、アレイ型圧電センサ30が超音波を送信する超音波振動子と、超音波を受信する超音波振動子とは、必ずしも同じでなくてもよい。
また、高域用超音波振動子31と低域用超音波振動子33とは、同じアレイ型圧電センサ30の中に配列して構成されている。これにより、超音波検査装置10は、超音波ビームの入射角度を斜角にして、表面120sによって全てが反射されることなく、測定境界面120fに入射させることができる。超音波ビームの斜角入射は、測定境界面120fに垂直なキズを検出する場合に有効な手段である。
高域用超音波振動子31−2〜31−4は、走査位置121−2が焦点になるよう、それぞれ予め決められたタイミングで超音波を送信する。このように、当該走査位置121−2に対応して高域用超音波振動子31を電子的にシフトしている。高域用超音波振動子31−2が最も早く超音波を送信し、以降順番に、高域用超音波振動子31−3が超音波を送信し、その後に高域用超音波振動子31−4が超音波を送信する。これにより、被検体120の表面120sの内部に超音波ビームが到達し、走査位置121−2に焦点を結ぶ。
超音波ビームは、走査位置121−2かつ測定境界面120fで反射する。超音波の反射波は、それぞれ低域用超音波振動子33−6〜33−8に所定のタイミングで到達し、電気信号(受信信号)に変換される。送受信装置60(図2)は、走査位置121−2に応じた位置である低域用超音波振動子33−6〜33−8の受信信号を、焦点からの距離の差を打ち消すよう遅延処理したのちに信号処理して、当該走査位置121−2に於ける画素を算出する。
高域用超音波振動子31−3〜31−5は、走査位置121−3が焦点になるよう、それぞれ予め決められたタイミングで超音波を送信する。このように、当該走査位置121−3に対応して高域用超音波振動子31を電子的にシフトしている。高域用超音波振動子31−3が最も早く超音波を送信し、以降順番に、高域用超音波振動子31−4が超音波を送信し、その後に高域用超音波振動子31−5が超音波を送信する。これにより、被検体120の表面120sの内部に超音波ビームが到達し、走査位置121−3に焦点を結ぶ。
超音波ビームは、測定境界面120fで反射する。超音波の反射波は、それぞれ低域用超音波振動子33−7〜33−9に所定のタイミングで到達し、電気信号(受信信号)に変換される。送受信装置60(図2)は、走査位置121−3に応じた位置である低域用超音波振動子33−7〜33−9の受信信号を、焦点からの距離の差を打ち消すよう遅延処理したのちに信号処理して、当該走査位置121−3に於ける画素を算出する。
更に、高域用超音波振動子31と低域用超音波振動子33とを配列させて形成しているので、2つのアレイ型圧電センサ30を横に配置するよりも設置寸法を小さくできると共に、送信用の高域用超音波振動子31に対して正確な相対位置にある受信用の低域用超音波振動子33を選択できるので、好適に反射波を受信することができる。
図2を適宜参照して、オペレータによる超音波検査装置10の操作手順を説明する。
被検体120の超音波検査を行うにあたり、オペレータは、被検体120を水槽100の底部に設置する。オペレータは、被検体120の目的とする測定境界面120fを超音波検査装置10に設定し、図6に示す画像化処理を開始する。オペレータは、画像化処理によって得られた超音波画像に基づき、被検体120の内部の欠陥などを評価する。
画像化処理を開始すると、ステップS10に於いて、映像表示装置50の走査制御部51は、+X方向にアレイ型超音波プローブ20の走査を開始する。
ステップS11に於いて、映像表示装置50の走査制御部51は、X方向の走査位置を判断する。走査制御部51は、X方向位置が所定位置に達する前ならば、ステップS11の判断を繰り返し、X方向位置が所定の画素位置ならば、ステップS12の処理を行い、X方向位置がX方向の終端ならば、ステップS18の処理を行う。
ステップS13に於いて、映像表示装置50のタイミング制御部53は、当該Y方向の走査位置に該当する高域用超音波振動子31から超音波を送信する。すなわち、タイミング制御部53は、信号生成部61に対して、励起信号を高域用超音波振動子31に出力させるように制御する。これにより、高域用超音波振動子31は、超音波を送信する。
ステップS14に於いて、送受信装置60は、当該Y方向の走査位置に該当する低域用超音波振動子33で超音波を受信し、受信信号を出力する。受信信号は、送受信装置60の各アンプ64によって増幅され、各A/D変換器65によってデジタル信号に変換されて、信号処理部66に入力される。
ステップS15に於いて、送受信装置60の信号処理部66は、タイミング制御部53のゲートパルスに基づいて、受信信号を信号処理する。
ステップS16に於いて、映像表示装置50の画像生成部54は、当該走査位置の画素を算出する。
ステップS18に於いて、映像表示装置50の画像生成部54は、全ての画素に基づき、画像を生成する。ステップS18の処理が終了すると、映像表示装置50は、図6の処理を終了する。
以上説明した第1の実施形態では、次の(A)〜(C)のような効果がある。
第2の実施形態の超音波検査装置10Aは、第1の実施形態の超音波検査装置10(図2)とは異なる送受信装置60Aを備え、それ以外は第1の実施形態と同様に構成されている。
第2の実施形態の送受信装置60Aは、第1の実施形態の送受信装置60(図2)に加えて更に、各低域用超音波振動子33に励起信号を出力する信号生成部62−1,62−2を備え、それ以外は第1の実施形態と同様に構成されている。
信号生成部62−1,62−2,…は、タイミング制御部53の出力側が接続されている。更に信号生成部62−1,62−2,…の出力側は、アレイ型超音波プローブ20が備えている各低域用超音波振動子33に、それぞれ並列に接続されている。以下、信号生成部62−1,62−2,…を特に区別しないときには、単に信号生成部62と記載している場合がある。
第2の実施形態の被検体120は、第1の実施形態の被検体120(図5)と同様に構成されている。アレイ型圧電センサ30と被検体120との間には、水110が満たされている。
高域用超音波振動子31−1〜31−3は、走査位置121a−1が焦点になるよう、それぞれ予め決められたタイミングで超音波を送信する。高域用超音波振動子31−1,31−3が最も早く超音波を送信し、その後に、高域用超音波振動子31−2が超音波を送信する。これにより、被検体120の表面120sの内部に超音波ビームが到達し、走査位置121a−1に焦点を結ぶ。
超音波ビームは、走査位置121a−1かつ測定境界面120fで反射する。超音波の反射波は、それぞれ低域用超音波振動子33−1〜33−4に所定のタイミングで到達し、電気信号(受信信号)に変換される。送受信装置60A(図7)は、走査位置121a−1に応じた位置である低域用超音波振動子33−1〜33−4の受信信号を、焦点からの距離を打ち消すよう遅延処理したのちに信号処理して、当該走査位置121a−1に於ける高域画像の画素を算出する。
低域用超音波振動子33−2〜33−4は、走査位置121b−1が焦点になるよう、それぞれ予め決められたタイミングで超音波を送信する。低域用超音波振動子33−2,33−4が最も早く超音波を送信し、その後に、低域用超音波振動子33−3が超音波を送信する。これにより、被検体120の表面120sの内部に超音波ビームが到達し、走査位置121b−1に焦点を結ぶ。
超音波ビームは、走査位置121b−1かつ測定境界面120fで反射する。超音波の反射波は、それぞれ低域用超音波振動子33−2〜33−4に所定のタイミングで到達し、電気信号(受信信号)に変換される。送受信装置60A(図7)は、走査位置121b−1に応じた位置である低域用超音波振動子33−2〜33−4の受信信号を、焦点からの距離を打ち消すよう遅延処理したのちに信号処理して、当該走査位置121b−1に於ける低域画像の画素を算出する。
高域用超音波振動子31−2〜31−4は、走査位置121a−2が焦点になるよう、それぞれ予め決められたタイミングで超音波を送信する。高域用超音波振動子31−2,31−4が最も早く超音波を送信し、その後に、高域用超音波振動子31−3が超音波を送信する。これにより、被検体120の表面120sの内部に超音波ビームが到達し、走査位置121a−2に焦点を結ぶ。
超音波ビームは、走査位置121a−2かつ測定境界面120fで反射する。超音波の反射波は、それぞれ低域用超音波振動子33−2〜33−5に所定のタイミングで到達し、電気信号(受信信号)に変換される。送受信装置60A(図7)は、走査位置121a−2に応じた位置である低域用超音波振動子33−2〜33−5の受信信号を、焦点からの距離の差を打ち消すよう遅延処理したのち信号処理して、当該走査位置121a−2に於ける高域画像の画素を算出する。
このようにすることで、第2の実施形態の超音波検査装置10Aは、一度のスキャンで、周波数の異なる超音波画像を取得することができる。
被検体120に好適な周波数は、初めて検査するものに対しては未知である。そのため、オペレータは、異なる周波数のプローブを交換しながら最適なものを選択しなければならず、検査の手間と時間とが必要となっていた。
図7を適宜参照して、オペレータによる超音波検査装置10Aの操作手順を説明する。
第1の実施形態と同様に、被検体120の超音波検査を行うにあたり、オペレータは、被検体120を水槽100の底部に設置する。オペレータは、被検体120の目的とする測定境界面120fを超音波検査装置10Aに設定し、図9に示す画像化処理を開始する。オペレータは、画像化処理によって得られた高域の第1の超音波画像と低域の第2の超音波画像のうち好適なものを選択し、被検体120の内部の欠陥などを評価する。
画像化処理を開始すると、ステップS20に於いて、映像表示装置50の走査制御部51は、+X方向に超音波プローブの走査を開始する。
ステップS21に於いて、映像表示装置50の走査制御部51は、X方向の走査位置を判断する。走査制御部51は、X方向位置が所定位置に達する前ならば、ステップS21の判断を繰り返し、X方向位置が所定の画素位置ならば、ステップS22の処理を行い、X方向位置がX方向の終端ならば、ステップS32の処理を行う。
ステップS23に於いて、映像表示装置50のタイミング制御部53は、当該Y方向の走査位置に該当する高域用超音波振動子31から超音波を送信する。すなわち、タイミング制御部53は、当該Y方向の走査位置に該当する信号生成部61に対して、励起信号を高域用超音波振動子31に出力させるように制御する。これにより、当該Y方向の走査位置に該当する高域用超音波振動子31は、超音波を送信する。
ステップS24に於いて、送受信装置60Aは、当該Y方向の走査位置に該当する低域用超音波振動子33で超音波を受信し、受信信号に変換する。受信信号は、送受信装置60Aの各アンプ64によって増幅され、各A/D変換器65によってデジタル信号に変換されて、信号処理部66に入力される。
ステップS25に於いて、送受信装置60Aの信号処理部66は、各受信信号に遅延処理を行ったのち、タイミング制御部53のゲートパルスに基づいて信号処理する。
ステップS26に於いて、映像表示装置50の画像生成部54は、信号処理部66の出力信号によって、当該走査位置の高域用の画素を算出する。
ステップS28に於いて、送受信装置60Aは、当該Y方向の走査位置に該当する低域用超音波振動子33で超音波を受信し、受信信号に変換する。受信信号は、送受信装置60Aの各アンプ64によって増幅され、各A/D変換器65によってデジタル信号に変換されて、信号処理部66に入力される。
ステップS29に於いて、送受信装置60Aの信号処理部66は、各受信信号に遅延処理を行ったのち、タイミング制御部53のゲートパルスに基づいて信号処理する。
ステップS30に於いて、映像表示装置50の画像生成部54は、信号処理部66の出力信号によって、当該走査位置の低域用の画素を算出する。
ステップS31に於いて、映像表示装置50のタイミング制御部53は、全Y方向の走査範囲(ライン)について繰り返したか否かを判断する。タイミング制御部53は、当該判断条件が成立しなかったならば、ステップS22の処理に戻り、当該判断条件が成立したならば、ステップS20の処理に戻る。
ステップS33に於いて、映像表示装置50の画像生成部54は、低域用の全ての画素に基づき、第2の超音波画像を生成する。ステップS33の処理が終了すると、映像表示装置50は、図9の処理を終了する。
以上説明した第2の実施形態では、次の(D)のような効果がある。
図10は、第3の実施形態に於けるアレイ型圧電センサの一部断面を示す図である。
第3の実施形態のアレイ型圧電センサ30Aは、第1の実施形態のアレイ型圧電センサ30(図1)に加えて更に、中間の厚みを持つ絶縁層46と、当該絶縁層46の表面側に構成されたシグナル電極45b−1,45b−2,…とを備えている。以下、シグナル電極45b−1,45b−2,…を特に区別しないときには、単にシグナル電極45bと記載している場合がある。
シグナル電極45は、直接にベースフィルム47上に形成されたシグナル電極45cと、薄い絶縁層46の上に形成されたシグナル電極45bと、厚い絶縁層46の上に形成されたシグナル電極45aとに分類される。
シグナル電極45a−1〜45a−3の上部には、高分子圧電膜43が薄く形成され、更にその表面側にはグランド電極42が形成されて、高域用超音波振動子31−1〜31−3を構成している。
シグナル電極45b−1,45b−2の上部には、高分子圧電膜43が中程度の厚みに形成され、更にその表面側にはグランド電極42が形成されて、中域用超音波振動子32−1,32−2を構成している。以下、中域用超音波振動子32−1,32−2,…を特に区別しないときには、単に中域用超音波振動子32と記載している場合がある。
シグナル電極45c−1,45c−2の上部には、高分子圧電膜43が最も厚く形成され、更にその表面側にはグランド電極42が形成されて、低域用超音波振動子33−1,33−2を構成している。
以上説明した第3の実施形態では、次の(E),(F)のような効果がある。
本発明は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、変更実施が可能であり、例えば、次の(a)〜(f)のようなものがある。
20 アレイ型超音波プローブ
21 エンコーダ
30,30A,30B アレイ型圧電センサ
31 高域用超音波振動子 (第1超音波振動子)
32 中域用超音波振動子 (第3超音波振動子)
33 低域用超音波振動子 (第2超音波振動子)
34 超音波振動子
40 保護膜
41 接着層
42 グランド電極 (対向電極)
43 高分子圧電膜 (第1圧電膜、第2圧電膜、第3圧電膜)
44 接着層
45 シグナル電極
45a シグナル電極 (第1電極)
45b シグナル電極 (第3電極)
45c シグナル電極 (第2電極)
46 絶縁層
47 ベースフィルム
48 接着層
49 架台
50 映像表示装置
51 走査制御部
53 タイミング制御部
54 画像生成部
60,60A 送受信装置
61,62 信号生成部
64 アンプ
65 A/D変換器
66 信号処理部
70 メカ制御装置
71 X軸スキャナ
72 Y軸スキャナ
100 水槽
110 水
120 被検体
120s 表面
120f 測定境界面
121 走査位置
Claims (7)
- 第1圧電膜の一方の面に第1電極が形成され、
前記第1圧電膜よりも厚い第2圧電膜の一方の面に第2電極が形成され、
前記第1圧電膜および前記第2圧電膜の他方の面に、対向電極が形成され、
前記第1電極と前記第2電極とは交互に配列している、
ことを特徴とするアレイ型超音波プローブ。 - 請求項1に記載のアレイ型超音波プローブは更に、
前記第1圧電膜よりも厚く、かつ、前記第2圧電膜よりも薄い第3圧電膜の一方の面に第3電極が形成され、
前記第3圧電膜の他方の面には、前記対向電極が形成され、
前記第1電極と前記第2電極と前記第3電極とは交互に配列している、
ことを特徴とするアレイ型超音波プローブ。 - 前記第1圧電膜と前記第2圧電膜とは、フッ素系共重合体で構成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のアレイ型超音波プローブ。 - 前記第1圧電膜と前記第2圧電膜とは、ジルコンチタン酸鉛、チタン酸鉛、酸化亜鉛、チタン酸バリウム、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、リチウムテトラボレート、ニオブ酸ナトリウムカリウム、ビスマスフェライト、ニオブ酸ナトリウム、チタン酸ビスマス、チタン酸ビスマスナトリウム、窒化アルミニウム、リン酸ガリウム、ガリウム砒素のいずれかで構成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のアレイ型超音波プローブ。 - 前記第1電極と前記対向電極と前記第1圧電膜を備えた第1超音波振動子と、
前記第2電極と前記対向電極と前記第2圧電膜を備えた第2超音波振動子と、
をそれぞれ複数備え、
前記第1超音波振動子と前記第2超音波振動子とは交互に配列している、
ことを特徴とする請求項1に記載のアレイ型超音波プローブ。 - 請求項5に記載のアレイ型超音波プローブと、
所定走査位置に対応する前記第1超音波振動子に信号を出力し、超音波を送信させる信号生成部と、
前記所定走査位置に対応する前記第2超音波振動子が受信した受信信号を信号処理する信号処理部と、
前記信号処理部の出力信号に基づいて超音波画像を生成する画像生成部と、
を備えることを特徴とする超音波検査装置。 - 請求項5に記載のアレイ型超音波プローブと、
所定走査位置に対応する前記第1超音波振動子と前記第2超音波振動子とに交互に信号を出力し、それぞれ超音波を送信させる信号生成部と、
前記第1超音波振動子が送信した超音波による第1の受信信号と、前記第2超音波振動子が送信した超音波による第2の受信信号とを、それぞれ信号処理する信号処理部と、
前記第1の受信信号による第1の超音波画像と、前記第2の受信信号による第2の超音波画像とを、それぞれ生成する画像生成部と、
を備えることを特徴とする超音波検査装置。
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