JP2014020975A - パターン測定装置、及び輪郭線抽出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】所定のエッジ抽出領域内の輝度プロファイルの取得に基づいて、所定のエッジ抽出領域についてピーク検出を行い、ピークを基準ピークとしてエッジ抽出領域に他のピークが有るか否かの判定を行い、エッジ抽出領域に他のピークが存在する場合には、他のピークが含まれなくなるまで、エッジ抽出領域の輝度プロファイルの取得方向の間隔を狭める。
【選択図】図4
Description
図1は、一次元測長で使用したエッジ抽出パラメータを輪郭線抽出のエッジ抽出パラメータとして自動設定し輪郭線抽出結果を出力するデータフローを示す。
プロファイルの基準エッジ付近にピークが存在しない場合、測長カーソル幅増加部407で測長カーソルの幅を任意量加算する。(例:図5のSEM基準線1pixel付近にのみピーク無503。)
プロファイルの開始付近にピークが存在しない場合、プロファイル取得工程(ステップ部406)を実施する。ピークが存在した場合、測長カーソル調整部405より処理を行う。(例:図5のプロファイル開始位置付近にピーク有。)
SEM基準線1pixelごとに対応した測長カーソルサイズを作成しながら輪郭線抽出を実施し高精度化を実現する。また、エッジ抽出領域のピーク間の測定を行うときにも高精度な測長を行うことが可能となる。
104・・・画像付帯情報、105・・・測長パラメータ、106・・・エッジ検出パラメータ、107・・・輪郭線抽出ユーザ設定パラメータ、108・・・輪郭線抽出処理、109・・・輪郭線抽出結果、201・・・SEM画像・画像付帯情報読み込み工程、202・・・SEM基準線抽出工程、203・・・測長カーソルサイズ算出工程、204・・・SEMエッジ点抽出工程、205・・・輪郭線抽出ファイル出力工程、301・・・測長カーソル、302・・・エッジ抽出対象SEM基準線1pixel、401・・・プロファイル方向距離算出工程、402・・・プロファイル逆方向距離算出工程、403・・・測長カーソル長算出工程、404・・・測長カーソル最大長設定工程、405・・・測長カーソル長調整工程、406・・・プロファイル取得工程、407・・・測長カーソル幅増加工程
Claims (4)
- 所定のエッジ抽出領域内の輝度プロファイルの取得に基づいて、パターンの測定を実行する演算処理装置を備えたパターン測定装置において、
当該演算処理装置は、所定のエッジ抽出領域についてピーク検出を行い、当該ピークを基準ピークとして前記エッジ抽出領域に他のピークが有るか否かの判定を行い、当該エッジ抽出領域に前記他のピークが存在する場合には、当該他のピークが含まれなくなるまで、前記エッジ抽出領域の前記輝度プロファイルの取得方向の間隔を狭めることを特徴とするパターン測定装置。 - 請求項1において、
前記演算処理装置は、前記エッジ抽出領域を段階的に狭め、前記他のピークが含まれなくなったエッジ抽出領域を用いて、前記パターンの測定を実行することを特徴とするパターン測定装置。 - 所定のエッジ抽出領域内の輝度プロファイルの取得に基づいて、パターンの輪郭線を形成する演算処理装置を備えた輪郭線形成装置において、
当該演算処理装置は、所定のエッジ抽出領域についてピーク検出を行い、当該ピークを基準ピークとして前記エッジ抽出領域に他のピークが有るか否かの判定を行い、当該エッジ抽出領域に前記他のピークが存在する場合には、当該他のピークが含まれなくなるまで、前記エッジ抽出領域の前記輝度プロファイルの取得方向の間隔を狭めることを特徴とする輪郭線形成装置。 - 請求項3において、
前記演算処理装置は、前記パターンの任意の位置のエッジ抽出領域の設定に基づき、当該パターンの測定を実行し、前記他のピークが含まれなくなったエッジ抽出領域と同じ大きさのエッジ抽出領域を他のエッジ部分に設定することによって、前記輪郭線抽出を実行することを特徴とする輪郭線形成装置。
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