JP2014011255A

JP2014011255A - 基板処理システム

Info

Publication number: JP2014011255A
Application number: JP2012145717A
Authority: JP
Inventors: Osamu Ueda; 修上田; Satoru Takahata; 覚高畑; Ichiro Nunomura; 一朗布村; Kazuhide Asai; 一秀浅井; Hiroyuki Iwakura; 裕幸岩倉
Original assignee: Hitachi Kokusai Electric Inc
Current assignee: Hitachi Kokusai Electric Inc
Priority date: 2012-06-28
Filing date: 2012-06-28
Publication date: 2014-01-20

Abstract

【課題】本発明は、バックアップデータの取得および格納されたバックアップデータのリストア等、動作パラメータに関するバックアップデータの管理を群管理装置上で安全に行なうことを目的とする。
【解決手段】
基板処理装置１０から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置１２を含む基板処理システム１であって、
前記群管理装置１２は、バックアップ要求を受けると、バックアップ対象のバックアップデータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックし、可能であればバックアップを実行し、不可能であれば、バックアップ対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返してバックアップを実行するように構成されている。
【選択図】図４

Description

本発明は、半導体基板やガラス基板等を処理する基板処理システムに関する。

一般に、基板処理システムの一つである半導体製造システムは、基板の一つである半導体に処理を施す複数の基板処理装置と、この複数の基板処理装置を管理する群管理装置としての集中管理装置とで構成される。基板処理装置と群管理装置は、構内回線（ＬＡＮ）や広域回線（ＷＡＮ）などのネットワークで接続されている。そして、基板処理装置は、稼動状態を示すデータ(モニタデータ)や成膜処理結果を群管理装置に報告している。群管理装置は、基板処理装置から報告されたモニタデータや成膜処理結果を操作端末上に表示し、全接続装置の稼動状態が一目で確認できるようにしている。

従来から、群管理装置は、基板処理装置から送信される情報を取得し、この情報のバックアップを自動又は手動で実行する。自動でバックアップを実行する場合には、予め設定したバックアップ条件にしたがって、基板処理装置からの情報をバックアップする。手動でバックアップを実行する場合には、ユーザは、端末装置などを介して、バックアップしようとする情報を指定する。例えば、特許文献１参照。

また、特許文献２によれば、基板処理装置からの情報を取得し、ファイルとして保存され、この情報をバックアップしたバックアップデータをユーザが見やすいようにツリー表示することが記載されている。そして、画面上で表示されたファイルが選択されると、そのバックアップデータファイルの世代情報が更新された昇順に表示されるように構成されている。

一方、半導体製造装置の一つである基板処理装置には、装置の構成、処理条件など装置が動作するのに必要なパラメータ(各種設定ファイル、成膜処理レシピ)がある。これらのパラメータ(以下、動作パラメータ)は、通常、誤ってパラメータを変更したことによる成膜異常、装置コントローラ故障による装置稼動停止など、予期せぬトラブル発生時の原因解析および復旧用にバックアップを持つようにしている。通常、これらの動作パラメータは、装置コントローラのＲＯＭなどの記憶部に格納されている。

従来、動作パラメータは、フレキシブルディスク(ＦＤ)やＵＳＢなどの外部記憶媒体(以下、外部メディア)に格納されていた。ここで、外部メディアは、使いまわしされることが多く、不特定の場所で使用されるうちにウィルスに感染する場合がある。それに気づかずに動作パラメータのバックアップのために、外部メディアが、基板処理装置で使用されると、装置コントローラ自体がウィルスに感染し、基板処理装置の動作異常が起きてしまう。その結果、基板処理装置が稼動停止になってしまうという問題があった。また、ＦＤについては、データ保存容量が少ない上に、メディアが生産終了しているため、新規で購入することが出来ず、システムバックアップを取得することが出来なくなることが予想される。

特開平１０−１７７９３９号公報特開２０１０−０４８０３７号公報

本発明は、バックアップデータの取得および格納されたバックアップデータのリストア等、動作パラメータのバックアップデータに関する管理を群管理装置上で安全に行なうことを目的とする。

本発明に係る基板処理システムは、基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置を含み、前記群管理装置は、バックアップの要求を受けると、バックアップ対象のバックアップデータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックし、可能であればバックアップを実行し、不可能であれば、バックアップ対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返してバックアップを実行するように構成されている。

好適には、群管理装置は、予めバックアップ対象の各パラメータに設定された条件に到達すると、バックアップ対象のバックアップデータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックし、可能であれば、前記基板処理装置に前記バックアップデータのアップロードを要求し、不可能であれば、バックアップ対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で繰り返し、前記基板処理装置に前記バックアップデータのアップロードを要求し、前記バックアップ対象の前記バックアップデータのアップロード要求をパラメータ分繰り返す。

好適には、前記群管理装置は、リストア要求を受け付けると、リストア対象のデータが上限値を超えないでリストア可能かチェックし、可能であれば基板処理装置に前記リストア対象のデータのダウンロードを実行し、不可能であれば、リストア対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返すことにより、前記基板処理装置に前記バックアップデータのダウンロードを実行する。

本発明によれば、外部メディアを用いずに基板処理装置の動作パラメータを安全に取得することができるので、障害(トラブル)発生時の異常解析および復旧に動作パラメータのバックアップデータを使用することができる。

本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成を示す図である。基板処理装置及び集中管理装置(群管理装置)のハードウェア構成を、制御装置を中心に示す図である。集中管理装置(群管理装置)によって実行されるバックアップデータ管理プログラムの機能構成を示す図である。装置コントローラのシステムバックアップ・リストア画面を例示する図である。システムバックアップ操作実行時の装置(基板処理装置)―群管理装置間の通信シーケンスを例示する図である。システムリストア操作実行時の装置(基板処理装置)―群管理装置間の通信シーケンスを例示する図である。群管理装置の記憶部のバックアップＤＢであるデータ保持領域を示す図である。群管理装置のシステムバックアップの世代を管理する世代管理画面を示す図である。群管理装置の定期的なバックアップを設定する定期バックアップ設定画面を例示する図である。定期バックアップ時の装置(基板処理装置)―群管理装置間の通信シーケンスを例示する図である。

以下、本発明の実施形態に係る基板処理システムを説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の構成を示す図である。
図１に示すように、基板処理システム１は、複数の基板処理装置１０−１〜１０−ｎ及び群管理装置としての集中管理装置１２を有する。基板処理装置１０−１〜１０−ｎは、操作パネルとして、操作部１４−１〜１４−ｎを備える。基板処理装置１０−１〜１０−ｎ及び集中管理装置１２は、例えばＬＡＮ，ＷＡＮなどのネットワーク１６を介して、データの送受信が互いに可能になるよう接続されている。なお、基板処理装置１０−１〜１０−ｎなど、複数ある構成部分のいずれかを特定せずに示すときには、単に基板処理装置１０などと略記することがある。

基板処理装置１０は、プロセスレシピ等に基づいて基板の処理を実行する。具体的には、プロセスレシピには、基板を処理するための手順が記載されており、基板処理装置１０は、操作部１４上で、プロセスレシピが実行されるよう、装置内の構成要素を制御する。また、基板処理装置１０は、温度情報、圧力情報、ガス情報等を含む基板処理装置１０の状態に関する装置情報を、ネットワーク１６を介して、集中管理装置(群管理装置)１２に対して送信する。

集中管理装置１２は、基板処理装置１０から装置情報を受信し、装置情報の保存及びバックアップを行う。なお、集中管理装置１２は、複数の装置によって実現されてもよい。例えば、基板処理装置１０及び集中管理装置１２が配置された場所に、集中管理装置１２の操作インターフェースを提供する端末装置を配置してもよい。

以下、基板処理装置１０及び集中管理装置１２のハードウェア構成を説明する。
図２は、基板処理装置１０及び集中管理装置１２のハードウェア構成を、制御装置１８及び２４を中心に示す図である。
図２に示すように、基板処理装置１０は、操作部１４と、制御部としてのＣＰＵ２０及びメモリ２２などを含む装置コントローラとしての制御装置１８を有する。集中管理装置１２は、ＣＰＵ２６及びメモリ２８などを含む管理コントローラとしての制御装置２４、ＨＤＤ、ＣＤ装置などの記録装置３０、及び、表示部としてＬＣＤ表示装置あるいはＣＲＴ表示装置及びキーボード、タッチパネルなどを含むユーザインタフェース装置（ＵＩ装置）３４を有する。

ＣＰＵ２０（Central
Processing Unit)は、制御装置１８の中枢を構成し、ＲＯＭに記憶された制御プログラムを実行し、操作パネルからの指示に従って、レシピ記憶部に記憶されているレシピ（プロセス用レシピ）に沿って、基板処理装置１０の動作を制御する。例えば、ＣＰＵ２０は、温度センサ（群）、圧力計（群）、ＭＦＣ等に反応管内及び排気管内の各部の温度、圧力、流量等を測定させ、この測定データに基づいて、ヒータコントローラＭＦＣ、バルブ制御部、真空ポンプ等に制御信号等を出力し、上記各部がプロセス用レシピに従うように制御する。

ＲＯＭは、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュメモリ、ハードディスクなどから構成され、ＣＰＵ２０の動作プログラム等を記憶する記憶部２３としての記録媒体である。ＲＡＭは、ＣＰＵ２０のワークエリアとしてのメモリ２２などとして機能する。

ＣＰＵ２６（Central
Processing Unit)は、制御装置２４の中枢を構成し、ＵＩ装置３４からの指示に従って、記録装置３０に記憶された各プログラムを実行し、基板処理装置１０から送信されるデータ処理を行う。本実施形態において、レシピ記憶部に記憶されているバックアップデータ管理プログラム４（図３を用いて後述）に沿って、基板処理装置１０から受信したデータをバックアップ処理する。

集中管理装置１２は、例えば、バックアップデータ管理プログラム４（図３を用いて後述）がインストールされたコンピュータであり、基板処理装置１０の装置コントローラとしての制御装置１８から、動作パラメータをバックアップする指示を、バックアップ設定画面(図４を用いて後述)を介してユーザから受け取る。また、集中管理装置１２は、バックアップデータを管理する管理画面(図８を用いて後述)をＵＩ装置３４などに表示する。また、同様にバックアップ設定画面(図４を用いて後述)を介して、動作パラメータをリストアする指示をユーザから受け取る。

以下、集中管理装置１２の機能を説明する。
図３は、集中管理装置１２によって実行されるバックアップデータ管理プログラム４の機能構成を示す図である。図３に示すように、バックアップデータ管理プログラム４は、装置情報管理プログラム４(ａ)とシステムバックアップ/リストア管理プログラム４(ｂ)を備え、装置情報管理プログラム４(ａ)は、装置情報（モニタデータ）のバックアップデータを管理し、システムバックアップ/リストア管理プログラム４(ｂ)は、装置が動作するのに必要な各種設定ファイルや成膜処理レシピ等のパラメータ(動作パラメータ)のバックアップデータを管理する。装置情報管理プログラム４(ａ)は、通信部４０、装置情報データベース（装置情報ＤＢ）４２、画面生成部４４、ＵＩ部４６、バックアップ実行部４８、及び、バックアップＤＢ５０を有する。システムバックアップ/リストア管理プログラム４(ｂ)は、通信部４０、画面生成部４４、ＵＩ部４６、バックアップ実行部４８、及び、バックアップＤＢ５０を有する。バックアップデータ管理プログラム４は、集中管理装置１２のメモリ２８にロードされ、集中管理装置１２で動作する図示しないＯＳ上で実行される。

次に、装置情報管理プログラム４(ａ)の機能構成について説明する。

通信部４０は、基板処理装置１０との間の通信に必要な通信処理を行う。例えば、通信部４０は、基板処理装置１０から送信される装置情報（モニタデータ）を取得し、装置情報ＤＢ４２に記憶する（以下、装置情報のバックアップデータについても同様）。

画面生成部４４は、装置情報ＤＢ４２及びバックアップＤＢ５０を参照して、装置情報ＤＢ４２に記憶された装置情報（モニタデータ）及びバックアップＤＢ５０に記憶されたバックアップデータをユーザにとって視覚的に理解しやすい形式で表示する管理画面の画面構成を生成し、ＵＩ部４６に対して出力する。

ＵＩ部４６は、画面生成部４４から入力された管理画面の画面構成を、ＵＩ装置３４のＣＴＲ表示装置に表示する。また、ＵＩ部４６は、ＵＩ装置３４のキーボード等を介して、装置情報をバックアップする指示をユーザから受け取り、バックアップ実行部４８に対して出力する。

バックアップ実行部４８は、ＵＩ部４６から入力されたバックアップ指示に基づいてバックアップを実行し、バックアップした装置情報をバックアップＤＢ５０に記憶する。

バックアップＤＢ５０は、バックアップした装置情報を、バックアップした装置情報の元データの名称、バックアップされた順序を示す世代番号、及び、バックアップされた日時の組み合わせから少なくとも構成されるバックアップデータとして記憶する。

次に、システムバックアップ/リストア管理プログラム４(ｂ)の機能構成について説明する。また、以後、単にバックアッププログラム又はリストアプログラムと呼ばれる場合もある。

通信部４０は、基板処理装置１０との間の通信に必要な通信処理(電文処理)を行う。主に、通信部４０は、基板処理装置１０との電文の送受信を行う。また、基板処理装置１０から送信される電文を処理して、バックアップ実行部４８に渡す。例えば、バックアップ実行部４８でのチェックがＯＫの場合、基板処理装置１０に対してバックアップ対象パラメータのパラメータ情報アップロード要求電文を送信する。

画面生成部４４は、バックアップＤＢ５０を参照して、バックアップＤＢ５０に記憶されたバックアップデータをユーザにとって視覚的に理解しやすい形式で表示する管理画面の画面構成を生成し、例えば、バックアップ設定画面(図４を用いて後述)やバックアップデータを管理する世代管理画面(図８を用いて後述)を生成し、ＵＩ部４６に対して出力する。

ＵＩ部４６は、画面生成部４４から入力された管理画面の画面構成を、ＵＩ装置３４の表示部に表示する。また、ＵＩ部４６は、ＵＩ装置３４のキーボード等を介して、基板処理装置１０毎に定期的に動作パラメータをバックアップするかの指示(定期バックアップ指定の有無)や所定の動作パラメータについて、リストア対象パラメータの選択をユーザから受け取り、バックアップ実行部４８に対して出力する。また、世代管理画面(図８を用いて後述)では、動作パラメータの世代間で内容の比較、削除、コピー等が行えるように構成されている。

バックアップ実行部４８は、通信部４０から取得した電文の内容に基づいて、バックアップ開始可能かチェックする。また、基板処理装置１０の操作部１４からの指示（システムバックアップ指示）を、通信部４０を介して受信すると、バックアップ対象のパラメータ(動作パラメータ)が送受信を行えるかどうかチェックし、バックアップするデータ(動作パラメータ)が送受信可能な制限値を超えている場合には、一定サイズになるように分割する処理を行う。なお、バックアップを実行する手順は、後で詳述する。また、本実施の形態においては、基板処理装置１０の操作部１４からの指示（リストア指示）を受信した場合も同様にデータ(動作パラメータ)が送受信可能な制限値を超えている場合には、一定サイズになるように分割する処理を行うように構成されている。そして、バックアップした動作パラメータをバックアップＤＢ５０に格納する場合に、バックアップＤＢ５０内に格納されている最新のバックアップデータを比較して、異なるデータであれば、バックアップＤＢ５０に格納し、同じデータであれば、バックアップＤＢ５０に格納しないように構成されている。

バックアップＤＢ５０は、バックアップした動作パラメータを、バックアップした動作パラメータの元データの名称、バックアップされた順序を示す世代番号、及び、バックアップされた日時の組み合わせから少なくとも構成されるバックアップデータとして記憶する。

次に装置システムバックアップの取得方法について説明する。
図４は、装置コントローラのシステムバックアップおよびシステムリストア設定画面の一実施例である。本設定画面は、バックアップ(若しくはリストア)対象のパラメータを選択するためのパラメータ種別(パラメータＡ、パラメータＢ・・・パラメータＧ)選択部と、バックアップボタンと、リストアボタンとで少なくとも構成される。また、図５は、システムバックアップ操作実行時の装置―群管理装置間の通信シーケンスを示す。例えば、図４に示すバックアップボタンが押下されると、バックアッププログラムが実行されることにより、図３に示す機能構成が制御装置２４内に実現される。そして、装置（基板処理装置）１０から群管理装置１２へ自動的にバックアップデータが送信され、群管理装置１２のバックアップＤＢ５０に格納される。

(Step1)システムバックアップおよびリストア操作画面にて、バックアップ対象パラメータを選択後、バックアップボタンを押下すると、装置（基板処理装置）１０から群管理装置１２へバックアップ開始要求電文が送信される。尚、バックアップ開始要求電文のデータには、バックアップ対象パラメータの情報が付加されている。

(Step2)群管理装置１２は、バックアップ開始要求電文を受信すると、システムバックアッププログラムが開始され、先ず、バックアップ開始可能かチェックし、チェックＯＫの場合は、装置（基板処理装置）１０に対してバックアップ対象パラメータのパラメータ情報アップロード要求電文を送信する。

(Step3)装置コントローラ１８は、群管理装置１２へパラメータ情報アップロード応答電文にアップロード対象パラメータのサイズを付加して返信する。

(Step4)群管理装置１２は、パラメータ情報アップロード応答電文内のアップロード対象パラメータのサイズを基にアップロード対象パラメータの分割アップロード回数を計算する。これはパラメータの種類によっては、装置（基板処理装置）―群管理装置間の１電文当たりの通信電文サイズの制限値を超える場合があり、一度に全データの送受信が行えないため、一定サイズで複数回に分割して送受信を行う必要があるためである。群管理装置１２は、装置（基板処理装置）１０に対してパラメータアップロード要求電文を送信する。このとき、上記(Step4)で計算した分割数を基に要求電文に分割情報(ｍ/ｎ)を付加する。ｎ：分割数、ｍ：１〜ｎ。

(Step5)
装置コントローラ１８は、パラメータアップロード要求電文を受信したら、要求電文内のｍ/ｎで指定された部分をアップロード対象パラメータから切り出し、パラメータアップロード応答電文にセットして返信する。

(Step6)群管理装置１２は、装置（基板処理装置）１０からパラメータアップロード応答を受信したら、群管理装置内のデータ保持領域としてのバックアップＤＢ５０内の対象装置のバックアップデータ格納領域に取得データを格納する。

(Step7)上記(Step4)から上記(Step6)を分割数分繰り返し行う。

(Step8)
群管理装置は、最後の分割データのパラメータ応答電文を受信したら、装置（基板処理装置）へバックアップ開始応答電文を返信し、システムバックアップ処理が終了する。このとき、バックアッププログラムも終了する。

次に、動作パラメータのリストア方法について説明する。
図６は、リストア実行時の装置（基板処理装置）―群管理装置間の通信シーケンスを示す。システムバックアップと同様に、図４に示すリストアボタンが押下されると、システムリストアプログラムが実行される。そして、システムリストアプログラムが実行されることにより、群管理装置１２のバックアップＤＢ５０に格納されたバックアップデータが、装置（基板処理装置）１０へ自動的に送信（ダウンロード）される。

(Step1)システムバックアップおよびリストア操作画面にて、リストア対象パラメータを選択後、リストアボタンを押下すると、装置（基板処理装置）１０から群管理装置１２へシステムリストア開始要求電文が送信される。システムリストア開始要求電文のデータには、リストア対象パラメータの情報が付加されている。

(Step2)群管理装置１２は、リストア開始要求電文を受信すると、システムリストアプログラムが開始され、先ず、リストア開始可能かチェックし、チェックＯＫの場合は、群管理装置１２のデータ保持領域から対象装置の対象パラメータを取り出し、パラメータダウンロード要求電文に付加して、リストア要求元装置（基板処理装置）に送信する。このとき、システムバックアップと同様、送信電文に分割情報(ｍ/ｎ)を付加して送信する。

(Step3)装置コントローラ１８は、パラメータダウンロード要求電文を受信したら、リストアデータ一時格納エリアに受信電文を保存し、パラメータダウンロード応答電文を返信する。返信後、次の分割パラメータのダウンロード要求を待つ。

(Step4)群管理装置１２−装置（基板処理装置）１０間で残りの分割パラメータのダウンロード処理を行う。

(Step5)装置コントローラ１８は、最後の分割データのパラメータダウンロード要求電文を受信したら、全分割データを結合して、一つのパラメータファイルを作成し、リストアデータ格納領域にコピーし、群管理装置１２へパラメータダウンロード応答を返信する。

(Step6)
群管理装置１２は、最後の分割データのパラメータ応答電文を受信したら、装置（基板処理装置）１０へリストア開始応答電文を返信し、システムリストア処理が終了する。このとき、バックアップデータプログラムも終了する。

次に群管理装置１２における装置システムバックアップ世代管理について説明する。
図７は、群管理装置１２内のバックアップＤＢ５０の一部として実現される装置システムバックアップ用データ保持領域の構造を示す。

データ保持領域は、装置（基板処理装置）毎に各パラメータタイプの領域が割り当てられており、各パラメータは最大ｎ世代分を保持することができるようになっている(保持可能世代数ｎは、群管理装置のコンフィグパラメータで指定することが出来る)。装置（基板処理装置）のシステムバックアップおよびリストア画面(図４)にて、バックアップ操作を実行するたびに該当パラメータ保持領域に格納されているようになっており、世代１領域から順に格納される。保持可能世代数を超えるバックアップ操作が実行された場合、最古のシステムバックアップデータ保持領域から上書きしていく。また、各パラメータには、定期バックアップ一時保存領域が設けられており、定期バックアップが実行されると、この領域にバックアップデータが格納される。そして、最新のバックアップデータとの比較が行われ、比較した結果に応じて、定期的にバックアップされたパラメータの世代が更新される。

図８は、群管理装置１２のＵＩ装置３４のシステムバックアップ世代管理画面の一実施例を示す。
本管理画面では、装置ＩＤがＴＯＯＬ＃１、パラメータタイプがパラメータＡを初期画面として表示しているが、それぞれ所望の条件を選択できるようになっている。各パラメータの世代は、１０世代、各パラメータのバックアップ日時は、バックアップが完了した日時を示している。これら世代やバックアップ日時も一実施例であって、種々の変更を妨げるものではない。
本管理画面では、各パラメータの世代ごとのバックアップ日時、現在のリストア対象パラメータを確認することが出来る。装置(基板処理装置)１０でシステムリストア操作が実行された場合、通常は、該当するパラメータの最新のパラメータを装置(基板処理装置)へのパラメータダウンロード用データとして使用するが、本管理画面のリストア対象パラメータの指定を切り替えることで、任意の世代のパラメータをダウンロード用データとして指定することも出来るようになっている。

尚、本管理画面では、各世代間で比較することができるようになっており、相違点および変更点を確認することが可能となっている。また、装置間コピー機能を使用すれば、他装置間のデータ保持領域へのコピーが出来るため、同一膜種装置間でパラメータを統一することが可能となる。これらの機能は、管理画面に表示される比較ボタンおよび装置間コピーボタンを押下することにより実行されるように構成されている。

次に群管理装置における装置システムバックアップの定期バックアップ取得方法について説明する。図９は、群管理装置の定期バックアップ設定画面を示す。

本設定画面にて装置（基板処理装置）毎に定期バックアップの有無、バックアップ時刻を指定出来るようになっている。ここで、図示しないが、バックアップ時刻の指定は、時間(時間、分、秒)だけでなく、イベントの終了時刻や開始時刻などでも設定可能に構成されている。また、バックアップ時刻は、バックアップの開始時刻でも終了時刻でもどちらでも構わない。また、設定を確定させるには、保存ボタンを押下する必要がある。

以下に、定期バックアップのシーケンス(図１０)について説明する。尚、図９に示すバックアップ設定画面にて設定された装置（基板処理装置）１０に対して設定されたバックアップ時刻になったら、システムバックアッププログラムが起動され、制御装置２４内に図３（ｂ）に示す機能構成が実現される。ここでは、以後、本実施形態におけるシステムバックアップ/リストア管理プログラム４（ｂ）を定期バックアッププログラムと称する場合もある。

(Step1)群管理装置１２は、バックアップ指定時刻になったら、定期バックアッププログラムを実行開始し、装置（基板処理装置）１０に対してバックアップ対象パラメータのパラメータ情報アップロード要求電文を送信する。

(Step2)
装置コントローラ１８は、群管理装置へパラメータ情報アップロード応答電文にアップロード対象パラメータのサイズを付加して返信する。

(Step3)
群管理装置１２は、パラメータ情報アップロード応答電文内のアップロード対象パラメータのサイズを基にアップロード対象パラメータの分割アップロード回数を計算する。これはパラメータの種類によっては、装置（基板処理装置）１０−群管理装置１２間の１電文当たりの通信電文サイズの制限値を超える場合があり、一度に全データの送受信が行えないため、一定サイズで複数回に分割して送受信を行う必要があるためである。群管理装置１２は、装置（基板処理装置）１０に対してパラメータアップロード要求電文を送信する。このとき、上記(Step3)で計算した分割数を基に要求電文に分割情報(ｍ/ｎ)を付加する。ｎ：分割数、ｍ：１〜ｎ。

(Step4)装置コントローラ１８は、パラメータアップロード要求電文を受信したら、要求電文内のｍ/ｎで指定された部分をアップデート対象パラメータから切り出し、パラメータアップロード応答電文にセットして返信する。

(Step5)群管理装置１２は、装置（基板処理装置）１０からパラメータアップロード応答電文を受信したら、群管理装置１２内のデータ保持領域の対象装置の定期バックアップ一時保存領域に取得データを格納する。

(Step6)上記(Step3)〜上記(Step5)を分割回数分繰り返し行う。

(Step7) 群管理装置１２は、最後の分割データのパラメータ応答電文を受信したら、今回取得したバックアップデータと前回取得したバックアップデータ(最新データ)との比較を行い、差異があれば、定期バックアップ一時保存領域の取得データを最新データ領域に上書きする。差異がない場合は、定期バックアップ一時保存領域に格納されているデータを破棄する。

(Step8) 上記(Step1)〜上記(Step7)を他のパラメータタイプについても同様に実施する。群管理装置１２は、定期バックアップ対象となっている全てのパラメータタイプについてバックアップデータの更新処理が終了すると、定期バックアッププログラムを終了する。

以上説明したように、本実施の形態によれば、外部メディアレスでシステムバックアップおよびリストアが行える。これにより、ウィルス感染による装置稼動停止のリスクを無くすことが出来る。また、システムバックアップの管理が容易となる。これにより、装置コントローラ故障時の復旧処理を迅速に行うことができ、装置の立上げ処理または装置改造時の立上げ処理を迅速に行うことができる。

なお、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０、集中管理装置１２及びＵＩ装置３４などは、同じ場所（例えば、クリーンルームなど）に設置されてもよいし、異なる場所に設置されてもよい。例えば、ＵＩ装置３４は操作端末として個別に半導体工場から離れたメーカ側の工場に配置されていてもよい。

また、本発明の実施の形態にかかる制御装置１８，２４は、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、汎用コンピュータに、上述の処理を実行するためのプログラムを格納した記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＵＳＢなど）から当該プログラムをインストールすることにより、上述の処理を実行する操作部を構成することができる。

そして、本実施の形態におけるバックアップデータ管理プログラム４を含むこれらのプログラムを供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板に当該プログラムを掲示し、これをネットワークを介して搬送波に重畳して提供してもよい。そして、このように提供されたプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上述の処理を実行することができる。

また、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、半導体製造装置だけではなく、ＬＣＤ装置などのガラス基板を処理する装置にも適用される。また、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、他の基板処理装置である露光装置、塗布装置、乾燥装置、加熱装置などにも適用される。また、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、炉内の処理を限定せず、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化散を形成する処理、及び、金属を含む膜を形成する処理を含む成膜処理を行うことができる。さらに、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、アニール処理、酸化処理、窒化処理及び拡散処理等を行うことができる。

本発明の好ましい態様を付記する。
（１）基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置を含む基板処理システムであって、
前記群管理装置は、バックアップの要求を受けると、バックアップ対象のバックアップデータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックし、可能であればバックアップを実行し、不可能であれば、バックアップ対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返してバックアップを実行するように構成されている基板処理システム。
（２）基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置を含む基板処理システムであって、
群管理装置は、予めバックアップ対象の各パラメータに設定された条件に含まれるバックアップ開始条件に到達すると、バックアップ対象のバックアップデータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックし、可能であれば、前記バックアップデータのアップロードを実行し、不可能であれば、前記バックアップ対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返し、前記基板処理装置に前記バックアップデータのアップロードを実行し、前記バックアップデータのアップロード実行を、前記設定された条件に含まれるバックアップ対象パラメータ分繰り返す基板処理システム。
（３）基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置であって、
バックアップの要求を受けると、バックアップ対象のバックアップデータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックし、可能であればバックアップを実行し、不可能であれば、バックアップ対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返してバックアップを実行するように構成されている群管理装置。
（４）基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置であって、
予めバックアップ対象の各パラメータに設定された条件に含まれるバックアップ開始条件に到達すると、バックアップ対象のバックアップデータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックし、可能であれば、前記バックアップデータのアップロードを実行し、不可能であれば、前記バックアップ対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返し、前記基板処理装置に前記バックアップデータのアップロードを実行し、前記バックアップデータのアップロード実行を、前記設定された条件に含まれるバックアップ対象パラメータ分繰り返す群管理装置。

（５）基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置のデータ処理方法であって、
バックアップの要求を受けると、バックアップ対象のバックアップデータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックし、可能であればバックアップを実行し、不可能であれば、バックアップ対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返してバックアップを実行するように構成されている群管理装置のデータ処理方法。
（６）基板処理装置を動作するための動作パラメータのバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置のデータ処理方法あって、
前記基板処理装置からのバックアップの要求を受け付け、
バックアップ対象のバックアップデータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックし、可能であればバックアップを実行し、不可能であれば、バックアップ対象のデータを分割し、前記上限値を超えない範囲でバックアップを繰り返し実行し、
前記動作パラメータのバックアップを実行するように構成されている群管理装置のデータ処理方法。
（７）操作部と、制御部(制御装置)とを少なくとも備えた基板処理装置と、前記基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置と、を有する基板処理システムであって、
前記操作部に表示された設定画面で指定された動作パラメータのバックアップ要求を前記制御部を介して受けると、
前記群管理装置は、バックアップ対象のバックアップデータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックし、可能であればバックアップを実行し、不可能であれば、バックアップ対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返してバックアップを実行するように構成されている基板処理システム。
（８）基板処理装置毎にバックアップ指定の有無を設定する設定画面を表示する表示部と、前記基板処理装置から送信された動作パラメータのバックアップデータを少なくとも記憶する記憶部を備えた群管理装置と、を有する基板処理システムであって、
前記設定画面でバックアップ対象に設定された前記基板処理装置の動作パラメータをバックアップするバックアップ開始条件に到達すると、バックアップ対象のバックアップデータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックし、可能であれば、前記バックアップデータのアップロードを実行し、不可能であれば、前記バックアップ対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返し、前記基板処理装置に前記バックアップデータのアップロードを実行し、前記バックアップデータのアップロード実行を、前記設定された条件に含まれるバックアップ対象パラメータ分繰り返す基板処理システム。
（９）(８)において、
前記表示部は、動作パラメータのバックアップデータを世代管理する世代管理画面を表示する基板処理システム。
（１０）(９）において、
前記群管理装置は、前記世代管理画面上で所定の動作パラメータの世代間の比較およびコピーを可能なように構成されている基板処理システム。
（１１）(９)または(１０)において、
前記群管理装置は、前記世代管理画面上で所定の動作パラメータの世代間でリストア対象のファイルを選択可能なように構成されている基板処理システム。
（１２）基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置を含む基板処理システムであって、
前記群管理装置は、リストア要求を受け付けると、リストア対象のデータが上限値を超えないでリストア可能かチェックし、可能であれば基板処理装置に前記バックアップデータのダウンロードを実行し、不可能であれば、リストア対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返し、前記基板処理装置に前記バックアップデータのダウンロードを実行する基板処理システム。
（１３）操作部と、制御部(制御装置)とを少なくとも備えた基板処理装置と、前記基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置と、を有する基板処理システムであって、
前記操作部に表示された設定画面で指定された動作パラメータのリストア要求を前記制御部を介して受けると、
前記群管理装置は、リストア対象のデータ（前記動作パラメータ）が上限値を超えないでリストア可能かチェックし、可能であれば基板処理装置に前記記憶手段内の前記バックアップデータのダウンロードを実行し、不可能であれば、リストア対象のデータ（前記動作パラメータ）を分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返し、前記基板処理装置に前記バックアップデータのダウンロードを実行するように構成されている基板処理システム。
（１４）基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置であって、
リストア要求を受け付けると、リストア対象のデータが上限値を超えないでリストア可能かチェックし、可能であれば基板処理装置に前記バックアップデータのダウンロードを実行し、不可能であれば、リストア対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返し、前記基板処理装置に前記バックアップデータのダウンロードを実行する群管理装置。
（１５）パラメータ情報を送受信する工程と、パラメータをアップロードする工程とを有するバックアッププログラムであって、
前記パラメータをアップロードする工程では、バックアップ対象の前記パラメータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックする工程と、
可能であればバックアップを実行し、不可能であれば、バックアップ対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返してバックアップを実行する工程を備えたバックアッププログラム。

１基板処理システム
４バックアップデータ管理プログラム
４(ａ) 装置情報管理プログラム
４(ｂ) バックアップ/リストア管理プログラム
１０基板処理装置(装置)
１２集中管理装置(群管理装置)
１４操作部
１６ネットワーク
１８制御装置(装置コントローラ)
２０ＣＰＵ
２２メモリ
２４制御装置(管理コントローラ)
２６ＣＰＵ
２８メモリ
３０記録装置
３４ＵＩ装置
４０通信部
４２装置情報ＤＢ
４４画面生成部
４６ＵＩ部
４８バックアップ/リストア実行部
５０バックアップＤＢ

Claims

基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置を含む基板処理システムであって、
前記群管理装置は、バックアップの要求を受けると、バックアップ対象のバックアップデータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックし、可能であればバックアップを実行し、不可能であれば、バックアップ対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返してバックアップを実行するように構成されている基板処理システム。
基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置を含む基板処理システムであって、
前記群管理装置は、リストア要求を受け付けると、リストア対象のデータが上限値を超えないでリストア可能かチェックし、可能であれば基板処理装置に前記バックアップデータのダウンロードを実行し、不可能であれば、リストア対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返し、前記基板処理装置に前記バックアップデータのダウンロードを実行する基板処理システム。
基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段を備えた群管理装置を含む基板処理システムであって、
群管理装置は、予めバックアップ対象の各パラメータに設定された条件に含まれるバックアップ開始条件に到達すると、バックアップ対象のバックアップデータが上限値を超えないでバックアップ可能かチェックし、可能であれば、前記バックアップデータのアップロードを実行し、不可能であれば、前記バックアップ対象のデータを分割し、データ上限値を超えない範囲で送受信を繰り返し、前記基板処理装置に前記バックアップデータのアップロードを実行し、前記バックアップデータのアップロード実行を、前記設定された条件に含まれるバックアップ対象パラメータ分繰り返す基板処理システム。