JP5955598B2 - 基板処理システム、表示方法、及び表示プログラム - Google Patents

Description

本発明は、ウェハ等の基板を処理する基板処理装置が保有する成膜レシピ等の装置情報を管理する基板処理システムに関し、例えば、半導体集積回路（以下、ＩＣという。）が作り込まれる半導体基板（例えば、半導体ウェハ）に成膜等の処理を行う複数の基板処理装置の装置情報を管理する基板処理システムに関する。

大規模な半導体製造工場（以下、工場）では、複数の基板処理装置から構成される基板処理装置群を集中管理するための群管理システムが導入され、各基板処理装置の生産状況の監視や、生産履歴や障害履歴の蓄積及び参照等が行えるようになっている。すなわち、複数の基板処理装置と群管理装置とを接続して、基板処理システムとしての群管理システムを構成し、群管理装置において配下の基板処理装置が保有している成膜レシピや生産履歴や障害履歴等の装置情報の蓄積及び参照を行う。群管理装置と各基板処理装置は、高速通信が可能なＬＡＮなどのネットワークで接続される。

この群管理システムにより、各基板処理装置に共通する装置情報、例えば成膜レシピや装置パラメータ等の変更やコピー等を、各基板処理装置に対して同時に一括で実施することができるので、生産性向上に有効である。また、各基板処理装置の生産状況や障害発生状況を比較することができるので、例えば成膜処理等の基板処理内容の異常の有無確認や、その後の成膜処理結果の予測や、各基板処理装置のメンテナンス時期の判断などを行うことができる。よって、各基板処理装置の生産量の予測を行い、生産計画を正確に立てることができる。

ところで近年、各工場では、生産力向上のために基板処理装置が増加しており、これに伴い、群管理システムに接続される基板処理装置の数も増加している。また、工場自体も新たに建設され、該新工場にも基板処理装置の設置台数に応じた群管理システムが導入されている。

しかしながら、１台の群管理装置は、無限に基板処理装置を接続できるわけではなく、接続数には限界がある。また、１台の群管理装置に全ての基板処理装置を接続すると、その群管理システムで何らかのトラブルが発生した場合、全基板処理装置の集中管理が停止してしまう。そのため、通常は、１台の群管理装置に所定数以下、例えば数十台の基板処理装置を接続して１つの群管理システムを構成し、複数の群管理システムにより分散管理するようにしている。また、群管理装置に別の工場の基板処理装置を接続することはできないため、工場ごとに群管理システムを構成している。

しかし、このように、複数の群管理システムで分散管理すると、異なる群管理システムに接続されている基板処理装置の間で、生産状況や障害発生状況、あるいは生産履歴や障害履歴を同時に比較及び参照することができない。また、同じ群管理システム内においては、例えば同一膜種の成膜を行う基板処理装置の間で、成膜レシピや各種パラメータを、フロッピーディスク（登録商標、以下、ＦＤ）やＵＳＢメモリ（以下、ＵＳＢ）等の外部メディア（記憶媒体）を使用することなく、工場内ＬＡＮを使用する高速ネットワーク通信を行うことにより、瞬時にコピーしたりデータ比較を行うことが可能であるが、異なる群管理システムに接続されている基板処理装置の間では、外部メディアを使用して手作業でコピーやデータ比較を行うしかない。

外部メディアを使用する場合は、コンピュータウィルス感染による基板処理装置稼働への影響が出ないよう、使用する外部メディアの取り扱い方法を含めセキュリティ対策を厳しくする必要があり、そのために余計に費用がかかってしまう。さらに、異なる工場間においては、各種情報をコピーさせた外部メディアを何らかの輸送手段で運ぶか、あるいは、工場間のネットワークを利用して電子メールにファイル添付して送付するなどが必要である。電子メールに添付して送付する場合は、添付ファイルのサイズが大きい場合、ネットワークに対して過負荷とならないよう分割して送付しなければならないこともあり、さらに手間のかかる作業となってしまう。

上述したように、従来の基板処理システムにおいては、異なる群管理システムに接続されている基板処理装置の間で、生産状況や障害発生状況あるいは生産履歴や障害履歴等の装置情報を比較や参照することができない。あるいは、成膜レシピや各種パラメータ等の装置情報のコピーやデータ比較を行うことができない。
本発明の目的は、異なる群管理システムに接続されている基板処理装置の間で、生産履歴や成膜レシピ等の基板処理装置に関する装置情報の参照やコピー等を行うことのできる基板処理システムを提供することにある。

上述の課題を解決するための、本発明における代表的な構成は、次のとおりである。すなわち、
基板を処理する基板処理装置であって、基板を処理するための基板処理レシピを含む装置情報と、基板処理装置を識別するための装置ＩＤとを記憶する基板処理装置と、
前記基板処理装置の複数と接続され、該複数の基板処理装置から送信される前記装置情報及び装置ＩＤと、群管理装置を識別するための群管理ＩＤとを記憶する群管理装置と、
前記群管理装置の複数と接続され、前記群管理ＩＤと、前記装置ＩＤと、複数の基板処理内容に対してグループ分けするためのグループＩＤとが対応付けられたグループ管理情報を複数記憶するファイル管理装置と、
を備えた基板処理システムであって、
前記基板処理装置において前記装置情報が変更されると、該変更された装置情報が前記装置ＩＤとともに、前記群管理装置へ送信され、次に該群管理装置から前記ファイル管理装置へ送信され、
前記変更された装置情報と前記装置ＩＤを受信したファイル管理装置は、前記受信した装置ＩＤに対応するグループＩＤと同一のグループＩＤに対応する装置ＩＤを、前記グループ管理情報から抽出する基板処理システム。

上記の構成によれば、異なる群管理システムに接続されている基板処理装置の間で、生産履歴や成膜レシピ等の装置情報の参照やコピー等を行うことができる。

本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成図である。 本発明の実施形態に係るファイル管理装置の構成図である。 本発明の実施形態に係るファイル管理装置のファイルビュー画面例である。 本発明の実施形態に係るファイル管理装置の変更内容確認画面例である。 本発明の実施形態に係るファイル管理装置の比較結果画面例である。 本発明の実施形態に係るファイル管理装置の展開有無確認画面例である。 本発明の実施形態に係るグループ管理情報の構成例である。 本発明の実施形態に係る詳細情報の構成例である。 本発明の実施形態に係るファイル更新処理のフローチャートである。 本発明の実施形態に係るネットワークにおける送受信条件設定画面例である。

本発明の実施形態に係る基板処理システムについて、図１ないし図１０を用いて説明する。まず、基板処理システムの構成の概要を、図１を用いて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成図である。
図１において、本実施形態の基板処理システムは、工場１と工場２とを工場間ネットワーク６０、例えば専用回線やインターネットで接続されて構成されている。工場１には、ファイル管理装置１０（１）と、群管理装置２０（１）と、群管理装置２０（２）と、基板処理装置３０（１）を含む複数の基板処理装置から構成される基板処理装置群（１）と、基板処理装置３０（２）を含む複数の基板処理装置から構成される基板処理装置群（２）と、ネットワーク負荷監視装置４０とが、工場ＬＡＮ５０（１）により接続されている。

同様に、工場２には、ファイル管理装置１０（２）と、群管理装置２０（３）と、群管理装置２０（４）と、基板処理装置３０（３）を含む複数の基板処理装置から構成される基板処理装置群（３）と、基板処理装置３０（４）を含む複数の基板処理装置から構成される基板処理装置群（４）とが、工場ＬＡＮ５０（２）により接続されている。
なお、ファイル管理装置１０（１）、（２）をファイル管理装置１０と総称し、群管理装置２０（１）〜（４）を群管理装置２０と総称し、基板処理装置３０（１）〜（４）を基板処理装置３０と総称し、工場ＬＡＮ５０（１）、（２）を工場ＬＡＮ５０と総称する。

基板処理装置３０は、基板処理、例えば基板表面に成膜を行う成膜処理を行うもので、基板処理装置に関する各種の装置情報を、各装置情報を識別するための識別子である装置情報ＩＤとともに、当該基板処理装置３０の記憶部に記憶している。ここで、装置情報とは、基板処理を行うためのレシピや、該レシピで使用される処理室内圧力や温度や処理ガス流量等の装置パラメータや、生産履歴や障害履歴等であり、それらのうち少なくとも１つを含むものである。

群管理装置２０は、その配下の複数の基板処理装置３０と工場ＬＡＮ５０により接続され、該接続された配下の基板処理装置３０から成膜レシピや装置パラメータ等の装置情報を収集し、例えばハードディスクで構成される当該群管理装置２０の記憶部に、基板処理装置３０ごとに記憶する。
また、群管理装置２０は、装置パラメータについては、パラメータごとに変更履歴情報を、最大１０世代分保持できるようにしている。変更履歴情報は、例えば、変更内容の差分情報である。

群管理装置２０（１）は、その配下の基板処理装置群（１）に属する各基板処理装置３０、例えば基板処理装置３０（１）と通信（図１のＧ（１））を行い、配下の各基板処理装置３０の装置情報を受信し、該受信した装置情報を基板処理装置３０ごとに、群管理装置２０（１）の記憶部のファイル共有領域に記憶し保存する。
また、群管理装置２０（２）は、その配下の基板処理装置群（２）に属する各基板処理装置３０、例えば基板処理装置３０（２）と通信（図１のＧ（２））を行い、各基板処理装置３０の装置情報を受信し、該受信した装置情報を基板処理装置３０ごとに、群管理装置２０（２）の記憶部のファイル共有領域に記憶し保存する。

同様に、工場２において、群管理装置２０（３）は、その配下の基板処理装置群（３）に属する各基板処理装置３０と通信（図１のＧ（３））を行い、群管理装置２０（４）は、その配下の基板処理装置群（４）に属する各基板処理装置３０と通信（図１のＧ（４））を行い、各基板処理装置３０の装置情報を受信し、該受信した装置情報を基板処理装置３０ごとに、それぞれの記憶部のファイル共有領域に記憶し保存する。

また、ファイル管理装置１０（１）は、工場ＬＡＮ５０（１）に接続された同一工場内の群管理装置２０（１）や群管理装置２０（２）から、各群管理装置２０が記憶部２２に記憶している装置情報を、通信（図１のＦ（１））により受信して取得し、工場間ネットワーク６０を介して、他のファイル管理装置１０、例えばファイル管理装置１０（２）へ送信することができる。また、ファイル管理装置１０（１）は、ネットワーク負荷監視装置４０から、ネットワーク負荷率等のネットワーク負荷監視情報を、通信（図１のＮ）により、受信して取得することができる。
同様に、ファイル管理装置１０（２）は、工場ＬＡＮ５０（２）に接続された同一工場内の群管理装置２０（３）や群管理装置２０（４）から、各群管理装置２０の記憶部に記憶している装置情報を、通信（図１のＦ（２））により受信して取得し、工場間ネットワーク６０を介して、他のファイル管理装置１０、例えばファイル管理装置１０（１）へ送信することができる。

同一工場内の群管理装置２０の記憶部には、例えばＮＦＳ（登録商標）等のファイル共有システムにより、他の群管理装置２０との間でファイル共有可能なファイル共有領域が設けられており、基板処理装置３０から収集した装置情報は、ファイル共有領域に格納される。ファイル共有領域を使用することにより、群管理装置２０（１）は工場ＬＡＮ５０（１）に接続された他の群管理装置２０（２）との間のアクセスが可能となり、群管理装置２０（３）は工場ＬＡＮ５０（２）に接続された他の群管理装置２０（４）との間のアクセスが可能となる。

Ｗindows（登録商標）システムを例にすると、エクスプローラ上で各群管理装置２０がひとつのフォルダとして見えることになり、その下に各基板処理装置３０のフォルダ、さらにその下に各情報ファイルのフォルダが存在するツリー構造になっている。しかし、不特定多数のコンピュータや人が、群管理装置２０に記憶された装置情報に自由にアクセスできると、誤って重要な情報を書き換え又は削除して、各基板処理装置３０の正常な稼働を妨げる恐れがある。これを回避するために、操作者は、ファイル管理装置１０を介してのみ、各群管理装置２０に蓄積された装置情報の参照や比較やコピーが行えるようにしている。このセキュリティ機能は、例えば、操作者にパスワードを付与することにより実現できる。

次に、ファイル管理装置について、図２を用いて説明する。図２は、本発明の実施形態に係るファイル管理装置の構成図である。
図２に示すように、ファイル管理装置１０は、制御部１１と、記憶部１２と、操作者からの各種指示やデータ入力等を受け付けるキーボードやマウス等で構成される操作部１３と、各種データ等を表示するＬＣＤ等から構成される表示部１４と、第１通信部１５と、第２通信部１６とを備える。第１通信部１５は、工場ＬＡＮ５０と接続され、該工場ＬＡＮ５０に接続された群管理装置２０との間で通信を行う。第２通信部１６は、工場間ネットワーク６０と接続され、該工場間ネットワーク６０に接続された他工場のファイル管理装置１０との間で通信を行う。

記憶部１２は、そのファイル管理装置１０が属する工場内の全基板処理装置３０を、基板処理の種類ごとに分類して管理するためのグループ管理情報を記憶している。本実施形態のグループ管理情報の構成例を図７に示す。グループ管理情報には、図７に示すように、そのファイル管理装置１０配下の各基板処理装置３０、つまり、そのファイル管理装置１０に接続されている群管理装置２０に接続された各基板処理装置３０について、各基板処理装置３０を識別するための識別子である装置ＩＤと、その基板処理装置３０が接続されている群管理装置２０の群管理番号と、グループＩＤとが、１つのレコードとして対応付けて記憶されている。群管理番号は群管理装置を識別するための識別子である群管理ＩＤである。グループＩＤは、基板処理内容が類似しているグループ、例えば成膜処理する場合の膜種が同一である処理を行うグループを同一グループとして識別するための識別子である。なお、同一膜種の成膜処理であっても、成膜レシピや装置パラメータは、処理が行われる基板処理装置３０に適合するように、基板処理装置３０ごとに微調整されることが多い。
例えば、図７のグループ管理情報テーブルのＮｏ.１には、装置ＩＤが＃１の基板処理装置３０は、群管理番号（群管理ＩＤ）が１であり、グループＩＤがＡであることが示されている。
また、記憶部１２は、配下の群管理装置２０や他のファイル管理装置１０から受信した、後述のファイルビュー画面（図３参照）を表示するための情報に基づき、ファイルビュー情報を記憶している。

制御部１１は、上記したファイル管理装置１０の各構成部を制御するもので、ハードウエア構成としては、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と制御部１１の動作プログラム等を格納するメモリを備えており、ＣＰＵは、この動作プログラムに従って動作する。
また、制御部１１は、操作部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、記憶部１２に記憶しているファイルビュー画面を表示する。すなわち、全ての工場に属する全ての群管理装置２０に接続された基板処理装置３０を、各群管理装置２０ごとにツリー構造で、ファイルビュー画面として表示部１４に表示する。そして、操作部１３のマウスで受け付けた操作者からの指示に従い、ドラッグ＆ドロップ操作により、表示した基板処理装置３０の間で、ファイルのコピーや比較をおこなうことができる。

図３に、ファイル管理装置１０の表示部１４に表示されたファイルビュー画面例を示す。制御部１１は、図３のファイルビュー画面において、工場ごとに各工場に属する全ての群管理装置２０を表示、つまり、工場番号ごとに全ての群管理システムの群管理番号（群管理ＩＤ）を表示し、さらに、各群管理システムに属する全ての基板処理装置３０の装置ＩＤを表示し、さらに、各基板処理装置３０に属する全てのファイル名を表示することができる。このファイル名は、各ファイルを互いに識別するための識別子であり、ファイルＩＤとして機能する。ファイル名の代わりにファイルＩＤを用いてもよい。ファイルの内容は、例えば成膜レシピや装置パラメータ等の装置情報であり、ファイル名は、装置情報を互いに識別するための識別子である装置情報ＩＤである。また、工場番号は、各工場を互いに識別するための識別子である工場ＩＤである。

図３の例では、制御部１１は、例えば、工場番号（工場ＩＤ）ｎの表示３１がクリックされることにより、工場番号ｎに属する全ての群管理システムの群管理番号（群管理ＩＤ）を表示し、さらに、群管理システム＃２の表示３２がクリックされることにより、群管理システム＃２に属する全ての基板処理装置３０の装置ＩＤを表示し、さらに、基板処理装置３０の装置ＩＤ＃ｎの表示３３がクリックされることにより、基板処理装置３０の装置ＩＤ＃ｎに属する全てのファイルのファイルＩＤ（装置情報ＩＤ）を表示する。このような表示状態で、制御部１１は、上述したように、マウスのドラッグ＆ドロップ操作がなされると、ドラッグ元のファイルからドラッグ先のファイルへ、ファイル内容のコピーや比較をおこなうことができる。ファイルのコピー動作や比較動作の詳細は後述する。

また、図３のファイルビュー画面には、変更内容確認ボタン３４が備えられている。各工場のいずれかの群管理システムにおいて、その配下の基板処理装置３０でファイル内容の変更が行われた場合に、ファイル変更内容が、基板処理装置３０から群管理装置２０を経てファイル管理装置１０へ送信される。ファイル管理装置１０へ送信されるファイル変更内容は、後述の図４に示す変更元情報（変更日時、変更者、工場番号（工場ＩＤ）、群管理番号（群管理ＩＤ）、装置ＩＤ、変更ファイル名（装置情報ＩＤ））である。ファイル変更内容を受信したファイル管理装置１０の制御部１１は、変更内容確認ボタン３４を点滅させ、ファイル内容の変更が行われたことを、操作者に通知するようになっている。
また、変更内容確認ボタン３４が操作者によりクリックされると、制御部１１は、図４の変更内容確認画面を表示部１４に表示させ、変更元情報、すなわち、いつ、誰により、どの工場の、どの群管理システムの、どの基板処理装置の、どのファイルの変更が行われたかを、操作者が確認できるようにしている。図４は、本発明の実施形態に係るファイル管理装置の変更内容確認画面例である。

さらに、図４の変更内容確認画面の変更ファイル欄がクリック、図４の例では「ファイルＡ」４１がクリックされると、ファイル管理装置１０は、ファイルＡの内容の取得要求を群管理装置２０へ送信し、群管理装置２０から、ファイルＡに関する変更前の設定と現在設定（変更後の設定）とを受信する。ファイル管理装置１０の制御部１１は、図５の比較結果画面を表示部１４に表示させ、変更前の設定と現在設定（変更後の設定）との比較結果を表示させる。図５は、本発明の実施形態に係るファイル管理装置の比較結果画面例である。図５の比較結果画面において、変更前の設定と現在設定の相違点は、例えば背景色を変えて表示されるので、変更箇所の確認を操作者が容易に行える。図５の例では、項目３と項目５と項目ｎの背景色を変えて表示している。
さらに、図５の比較結果画面において、変更前設定ボタン５１がクリックされることにより、制御部１１は、群管理装置２０に記憶された変更履歴情報を取得して、該取得した変更履歴情報を比較結果画面に表示させる。これにより、各世代と現在設定との比較も可能としている。

また、図４の変更内容確認画面には、ファイルの変更内容を、自工場内の他の基板処理装置３０、つまり、当該ファイル管理装置１０の配下の他の基板処理装置３０へ反映させることが必要か否かを確認するための展開有無確認ボタン４２が備えられている。展開有無確認ボタン４２がクリックされると、制御部１１は、図７のグループ管理情報に基づき、図６の展開有無確画面を表示部１４に表示させる。図６は、本発明の実施形態に係るファイル管理装置の展開有無確認画面例である。

図６に示すように、展開有無確画面においては、自工場内の全ての基板処理装置３０の装置ＩＤが、その属する群管理システムの群管理番号に対応付けられて表示される。また、変更内容を反映させることが必要な基板処理装置３０、すなわち、同一のグループＩＤを含む基板処理装置３０の装置ＩＤについては、例えば背景色を変えてボタン表示される。このボタンがクリックされると、制御部１１は、サブメニュー（不図示）を表示させ、クリックされたボタンの装置ＩＤに対応するファイルＩＤ（この例ではファイルＡ）のファイルの設定内容の比較（対象とする基板処理装置３０における、現在の設定と変更後の新設定との比較）、又は、変更内容への更新のどちらかを、操作者が選択できるようにする。
なお、設定内容の比較が選択された場合は、制御部１１は、図５の比較結果画面と同様の画面を表示するようになっている。

（ファイル更新処理動作）
次に、工場間を含むファイル更新処理動作について説明する。
各工場のファイル管理装置１０は、前述したように工場間ネットワーク６０で接続されており、お互いに他のファイル管理装置１０上で管理している各種装置情報の一覧（図３参照）を参照できるようになっている。また、これらの装置情報は、全工場で共有され同期するようになっている。上述したように、ある工場で装置情報が更新された場合、他の工場へ通知されるようになっており、ファイル管理装置１０の表示部１４で上述のファイルビュー画面により、操作者は、更新情報の有無を確認することができる。

（工場間におけるファイル更新処理動作）
まず、工場間におけるファイル更新処理動作について、図９を用いて説明する。図９は、本発明の実施形態に係るファイル更新処理のフローチャートである。この説明において、ファイル管理装置１０の動作は、ファイル管理装置１０の制御部１１により制御される。

図９において、基板処理装置３０（１）で操作者により装置情報に関するファイル更新が行われると、群管理システム２０（１）からの定期的なアップロード要求（図９のＳ１）に応じて、基板処理装置３０（１）から群管理装置２０（１）へ、変更されたファイルの詳細内容を含む詳細データが送信され（Ｓ２）、群管理装置２０（１）の記憶部に保存される。基板処理装置３０（１）から群管理装置２０（１）への送信データには、変更日時、変更者、装置ＩＤ、変更ファイル名（装置情報ＩＤ）、変更ファイルの詳細内容が含まれるが、グループＩＤは含まれない。また、群管理装置２０（１）で保存されるデータには、上記基板処理装置３０（１）からの送信内容に加えて、工場番号（工場ＩＤ）、群管理番号（群管理ＩＤ）、グループＩＤが付加されて保存される。

群管理装置２０（１）は、該群管理装置２０（１）の属する工場１のファイル管理装置１０（１）からの定期的なファイル更新有無問合せ（Ｓ３）に応じて、変更されたファイルを特定する変更ファイル特定情報（図４の変更元情報）を、ファイル管理装置１０（１）へ送信する（Ｓ４）。変更ファイル特定情報には、図４の説明で述べたように、変更日時、変更者、工場番号、群管理番号、装置ＩＤ、変更ファイル名が含まれるが、変更ファイルの詳細内容やグループＩＤは含まれない。

群管理装置２０（１）からの変更ファイル特定情報（Ｓ４）を受信すると、ファイル管理装置１０（１）は、他の工場のファイル管理装置１０、例えば工場２のファイル管理装置１０（２）に対して、ファイルが更新された旨のファイル更新通知を送信する（Ｓ５）。ファイル管理装置１０（２）は、ファイル更新内容を、工場２の装置に反映させる必要があるか否かを判断するために、詳細情報取得要求（Ｓ６）をファイル管理装置１０（１）へ送信する。

ファイル管理装置１０（２）からの詳細情報取得要求（Ｓ６）を受信すると、ファイル管理装置１０（１）は、ファイル更新した基板処理装置３０（１）の属する群管理装置２０（１）に対して、変更ファイルの詳細情報取得要求を送信する（Ｓ７）。この詳細情報取得要求（Ｓ７）には、群管理番号、装置ＩＤ、変更ファイル名が含まれる。

ファイル管理装置１０（１）からの詳細情報取得要求（Ｓ７）を受信した群管理装置２０（１）は、詳細情報（図８参照）をファイル管理装置１０（１）へ送信する（Ｓ８）。この詳細情報（Ｓ８）には、工場番号、群管理番号、グループＩＤ、変更ファイル名、変更種別、変更内容の詳細が含まれる。グループＩＤは、群管理装置２０（１）により付加されるが、詳細情報（Ｓ８）にグループＩＤを付加しない構成も可能である。

ファイル管理装置１０（１）は、この詳細情報（Ｓ８）を、詳細情報取得応答としてファイル管理装置１０（２）へ転送する（Ｓ９）。

ファイル管理装置１０（１）からの詳細情報取得応答（Ｓ９）を受信したファイル管理装置１０（２）は、工場２に属する各群管理装置２０や基板処理装置３０に対して、変更ファイルの反映が必要か否か、グループ管理情報（図７参照）により確認する（Ｓ１０）。詳しくは、展開有無確認画面（図６参照）を表示し、ファイル管理装置１０（２）の操作者が確認する。

ファイル管理装置１０（２）において、その配下の基板処理装置３０への展開有無を確認する動作について詳しく説明する。この説明において、ファイル管理装置１０（２）の動作は、ファイル管理装置１０（２）の制御部１１により制御される。
前述したように、ファイル管理装置１０（２）の記憶部１２は、そのファイル管理装置１０（２）が属する工場内の全基板処理装置３０を、基板処理の種類ごとに分類して管理するためのグループ管理情報（図７参照）を記憶している。ファイル管理装置１０（２）が、ファイル管理装置１０（１）から図８に示す変更内容の詳細情報を受信すると、制御部１１は、受信した詳細情報中の、グループＩＤ８３をチェックする。受信した詳細情報には、設定変更した基板処理装置３０の属する工場番号８１、群管理番号８２、グループＩＤ８３、変更種別８４、変更内容８５が含まれる。

グループＩＤ８３は、前述したように、例えば成膜処理する場合の膜種が同一である処理を同一グループとして識別するための識別子であり、図８の例では、膜種としてＡ又はＢ又はＣを示す。変更種別８４は、装置パラメータか又は成膜レシピかを示す。変更内容８５には、変更種別８４が装置パラメータの場合はデータ種別として、全グループ共通か又はグループ固有が入り、変更種別８４が成膜レシピの場合は成膜レシピ名称（装置情報ＩＤ）が入り、さらに、詳細な変更内容（装置情報）が入る。

制御部１１は、受信した詳細情報中のグループＩＤ８３をキーにして、図７のグループ管理情報を検索し、同一のグループＩＤの基板処理装置３０を抽出し、該抽出した基板処理装置３０については、図６の展開有無確認画面において、装置ＩＤの背景色を変えて表示させる。また、変更種別８４が装置パラメータであって、データ種別が全グループ共通の場合は、自工場内の全基板処理装置３０が変更対象となるので、全基板処理装置３０の装置ＩＤの背景色を変えて表示させる。
以上で、展開有無確認動作の説明を終了する。

ファイル管理装置１０（２）が、詳細情報取得応答（Ｓ９）に含まれるグループＩＤと同一のグループＩＤを有する基板処理装置３０に対して、変更ファイルの反映を行う場合は、具体的には、まず、ファイル管理装置１０（２）から工場２に属する配下の各群管理装置２０に対して、上述のＳ９で受信した詳細情報取得応答の詳細情報（Ｓ９）を含むファイル更新指示を送信する（Ｓ１１）。このファイル更新指示において、ファイル更新対象装置として、詳細情報（Ｓ９）と同一のグループＩＤを有する装置を、装置ＩＤにより指定する。また、このＳ１１の詳細情報には、変更ファイル名、変更種別、変更内容の詳細が含まれる。

詳細情報を含むファイル更新指示（Ｓ１１）を受信した各群管理装置２０は、自身が保存している更新対象ファイル、つまり、詳細情報（Ｓ１１）の変更ファイル名と同一のファイル名を有するファイルを更新するとともに、ファイル更新指示（Ｓ１２）により、指定された配下の基板処理装置３０のファイル更新を指示する。このファイル更新指示には、変更ファイル名、変更種別、変更内容の詳細が含まれる。
その後、指示された基板処理装置３０においてファイル更新が行われる。

（工場内におけるファイル更新処理動作）
続いて、工場内におけるファイル更新処理動作について説明する。
上記詳細情報取得応答（Ｓ９）と並行して、ファイル管理装置１０（１）は、工場１に属する配下の各群管理装置２０や基板処理装置３０に対して、変更ファイルの反映が必要か否か、グループ管理情報（図７参照）により確認する。詳しくは、展開有無確認画面（図６参照）を表示し、ファイル管理装置１０（１）の操作者が確認する。

ファイル管理装置１０（１）において、その配下の基板処理装置３０への展開有無を確認する動作は、次のように行われる。
ファイル管理装置１０（１）が、その配下の群管理装置２０から図８に示す変更内容の詳細情報（Ｓ８）を受信すると、制御部１１は、前述したファイル管理装置１０（２）の展開有無確認動作と同様に、受信した詳細情報中のグループＩＤ８３をキーにして、図７のグループ管理情報を検索し、同一のグループＩＤの基板処理装置３０を抽出し、該抽出した基板処理装置３０については、図６の展開有無確認画面において、装置ＩＤの背景色を変えて表示させる。また、変更種別８４が装置パラメータであって、データ種別が全グループ共通の場合は、自工場内の全基板処理装置３０が変更対象となるので、全基板処理装置３０の装置ＩＤの背景色を変えて表示させる。

ファイル管理装置１０（１）が、詳細情報（Ｓ８）に含まれるグループＩＤと同一のグループＩＤを有する基板処理装置３０に対して、変更ファイルの反映を行う場合は、具体的には、まず、ファイル管理装置１０（１）から工場１に属する各群管理装置２０に対して、Ｓ８で受信した詳細情報を含むファイル更新指示を送信する（Ｓ１３）。このファイル更新指示において、ファイル更新対象装置として、Ｓ８で受信した詳細情報と同一のグループＩＤを有する装置を、装置ＩＤにより指定する。また、このＳ１３の詳細情報には、変更ファイル名、変更種別、変更内容の詳細が含まれる。

詳細情報を含むファイル更新指示（Ｓ１３）を受信した各群管理装置２０は、自身が保存している更新対象ファイル、つまり、詳細情報の変更ファイル名と同一のファイル名を有するファイルを更新するとともに、ファイル更新指示（Ｓ１４）により、指定された配下の基板処理装置３０のファイル更新を指示する。このファイル更新指示には、装置ＩＤ、変更ファイル名、変更種別、変更内容の詳細が含まれる。
その後、指示された基板処理装置３０においてファイル更新が行われる。

（ファイルコピー動作）
次に、ファイルコピー動作について説明する。ここでは、図１に示す工場１のファイル管理装置１０（１）において、工場１の基板処理装置３０（１）から工場２の基板処理装置３０（３）へ、ファイルコピーする場合の動作について説明する。この説明において、ファイル管理装置１０の動作は、ファイル管理装置１０の制御部１１により制御される。
前述したように、図３のファイルビュー画面を表示した状態で、ドラッグ元のファイルからドラッグ先のファイルへ、ドラッグ＆ドロップ動作を行うことにより、ファイル内容のコピーや比較をおこなうことができる。

コピー操作において、マウスのドラッグ＆ドロップ操作がなされると、ファイル管理装置１０（１）は、図７のグループ管理情報に基づき、コピー元の基板処理装置３０（１）とコピー先の基板処理装置３０（３）のグループＩＤをチェックし、コピー元とコピー先のグループＩＤが同一の場合のみ、コピーを可能としている。

コピー元とコピー先のグループＩＤが同一の場合は、ファイル管理装置１０（１）は、コピー元の基板処理装置３０（１）の属する群管理装置２０（１）へ、ファイル名を指定して、上述のＳ７と同様の詳細情報取得要求を送信する。群管理装置２０（１）は、詳細情報取得要求で指定されたファイル名のファイルを含む詳細情報を、ファイル管理装置１０（１）へ送信する。

ファイル管理装置１０（１）は、群管理装置２０（１）からの詳細情報を、コピー先の基板処理装置３０（３）が属するファイル管理装置１０（２）へ送信する。このとき、ファイル管理装置１０（１）は、コピー元とコピー先の装置ＩＤやコピー日時等を含むコピー操作履歴情報を、ファイル管理装置１０（２）へ送信する。

ファイル管理装置１０（２）は、ファイル管理装置１０（１）からの詳細情報とコピー操作履歴情報とを、コピー先の基板処理装置３０（３）が属する群管理装置２０（３）へ送信する。群管理装置２０（３）は、ファイル管理装置１０（２）からの詳細情報を、保存基板処理装置３０（３）へ転送する。また、このとき、群管理装置２０（３）は、ファイル管理装置１０（２）からの詳細情報とコピー操作履歴情報とを、群管理装置２０（３）の記憶部の、基板処理装置３０（３）用に割り当てられたパラメータ保存領域に保存する。
このようにして、ファイル管理装置１０（１）配下の基板処理装置３０のファイルが、ファイル管理装置１０（３）配下の基板処理装置３０へコピーされる。

なお、ファイル管理装置１０（１）は、コピー元ファイルと同一名称のファイルが、コピー先の群管理装置２０（３）の記憶部に存在する場合、コピー先のファイル名称を変更して、コピーするようにしている。これにより、間違ってコピー元ファイルをコピー先ファイルへ上書きした場合でも、コピー先ファイルを元のファイルに戻すことができる。

（ファイルの比較動作）
次に、ファイルの比較動作について説明する。ここでは、図１に示す工場１のファイル管理装置１０（１）において、工場１の基板処理装置３０（１）のファイルと工場２の基板処理装置３０（３）のファイルを比較する場合の動作について説明する。この説明において、ファイル管理装置１０の動作は、ファイル管理装置１０の制御部１１により制御される。
前述したように、図３のファイルビュー画面を表示した状態で、ドラッグ元のファイルからドラッグ先のファイルへ、ドラッグ＆ドロップ動作を行うことにより、ファイル内容の比較を行うことができる。

比較操作において、マウスのドラッグ＆ドロップ操作がなされると、ファイル管理装置１０（１）は、ドラッグ元の基板処理装置３０（１）の属する群管理装置２０（１）と、ドラッグ先の基板処理装置３０（３）の属する群管理装置２０（３）の属するファイル管理装置１０（２）へ、ファイル名（又はファイルＩＤ）を指定して、上述のＳ７と同様の詳細情報取得要求を送信する。

群管理装置２０（１）は、指定されたドラッグ元のファイル名のファイルを含む詳細情報を、ファイル管理装置１０（１）へ送信する。また、ファイル管理装置１０（２）は、ファイル管理装置１０（１）からの詳細情報取得要求を群管理装置２０（３）へ送信する。群管理装置２０（３）は、指定されたドラッグ先のファイル名のファイルを含む詳細情報を、ファイル管理装置１０（２）へ送信し、ファイル管理装置１０（２）は、これをファイル管理装置１０（１）へ送信する。

ファイル管理装置１０（１）は、群管理装置２０（１）とファイル管理装置１０（２）からの詳細情報を、図５に示す比較結果画面に表示する。
このようにして、ファイル管理装置１０（１）とファイル管理装置１０（２）の配下の基板処理装置３０のファイルが、ファイル管理装置１０（１）において比較される。

以上説明したように、ファイルの比較やコピーは、外部メディアを介さずに、セキュリティで保護されたネットワーク上で行われるため、コンピュータウィルス感染等の危険性がない。

次に、ネットワーク負荷の上昇を抑制するためのデータ送受信方法について、図１０を用いて説明する。図１０は、本発明の実施形態に係るネットワークにおける送受信条件設定画面例である。
まず、ファイル管理装置１０（１）の送受信条件設定画面において、操作者が、送受信条件設定を行う。この受信条件設定は、工場間用と工場内用とを別々に設定できる。工場間については、データ分割サイズや送信間隔を設定する。工場内については、ネットワーク負荷率に応じて、データ分割サイズや送信間隔を設定する。

ファイル管理装置１０（１）の制御部１１は、同一ネットワークである工場ＬＡＮ５０（１）に接続されたネットワーク負荷監視装置４０から、定期的にネットワーク負荷率を受け取るように構成されており、自工場内の群管理装置２０に対してデータ取得要求を行う場合、図１０の送受信条件設定画面で定義されている、ネットワーク負荷に応じたデータ分割サイズや送信間隔を指示する。
ファイル管理装置１０（１）からのデータ取得要求を受信した群管理装置２０は、指示されたデータ分割サイズや送信間隔にて、要求されたデータの送信を行う。

本実施形態によれば、少なくとも次の（１）〜（５）の効果を奏する。
（１）ファイル管理装置において、ファイル更新された基板処理装置の装置ＩＤに対応するグループＩＤと同一のグループＩＤに対応する装置ＩＤを、グループ管理情報に基づき、抽出して表示するので、ファイル更新が必要な他の基板処理装置を容易に認識することができる。
（２）基板処理装置で装置情報が変更されたことをファイル管理装置で表示中において、操作者からの変更元確認指示を受け付けると、変更があった基板処理装置の装置ＩＤと、変更された装置情報ＩＤとを含む変更元情報を表示するので、変更元の装置ＩＤと装置情報ＩＤとを容易に確認することができる。
（３）上記変更元情報を表示中において、操作者からの比較結果確認指示を受け付けると、変更された装置情報の変更前設定と変更後の現在設定とを比較結果として表示するので、変更前設定と変更後の設定とを容易に比較することができる。
（４）上記比較結果を表示中において、操作者からの展開有無確認指示を受け付けると、変更があった基板処理装置の装置ＩＤに対応するグループＩＤと同一のグループＩＤに対応する装置ＩＤを、展開すべき又は展開可能な基板処理装置の装置ＩＤとして表示するので、展開すべき又は展開可能な基板処理装置を容易に確認することができる。
（５）ファイル管理装置に接続された群管理装置と、群管理装置に接続された基板処理装置と、基板処理装置の保有する装置情報とを、ツリー構造で表示するので、異なるファイル管理装置間、つまり異なる工場間における装置情報のコピーや比較を容易に行うことができる。

なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
前記実施形態では、ファイル管理装置からのみ、基板処理装置の装置情報のコピーや比較等を行えるように構成したが、群管理装置において、その群管理装置配下の基板処理装置の装置情報のコピーや比較等を行えるように構成することも可能である。

また、前記実施形態では、ファイル更新動作において、群管理装置からのアップロード要求に応じて、基板処理装置から群管理装置へ変更ファイルの詳細データを送信し、ファイル管理装置からの定期的問い合わせに応じて、群管理装置からファイル管理装置へ変更ファイル特定情報（図４の変更元情報）を送信したが、群管理装置からのアップロード要求やファイル管理装置からの定期的問い合わせを行わず、基板処理装置でファイル更新されると群管理装置へ変更ファイルの詳細データを送信し、それを受信した群管理装置がファイル特定情報をファイル管理装置へ送信するように構成することも可能である。

また、前記実施形態では、ファイル更新動作において、基板処理装置から群管理装置へ送信された変更ファイルの詳細データに対し、群管理装置においてグループＩＤを付加して、図８に示す詳細データをファイル管理装置へ送信するようにしたが、群管理装置においてグループＩＤを付加せず、図８に示す詳細データにグループＩＤを含ませないように構成することも可能である。このようにすると、群管理装置においてグループＩＤを管理する必要がなくなる。

また、ファイル管理装置や群管理装置は、基板処理装置と同じフロアやクリーンルームに設置される必要はなく、例えばＬＡＮ接続して別のフロアに設置してもよい。また、ファイル管理装置や群管理装置は、その記憶部（データベース）と制御部や操作部や表示部を一体にする必要はなく、それぞれを別体にして設置し、クリーンルームに設置されたデータベース内のデータを、事務所に設置された操作部や表示部（端末装置）により解析できるように構成してもよい。
また、本発明は、半導体製造装置だけでなく、ＬＣＤ製造装置のようなガラス基板を処理する装置や、他の基板処理装置にも適用できる。基板処理の処理内容は、ＣＶＤ、ＰＶＤ、ＡＬＤ、Ｅｐｉ、その他酸化膜、窒化膜、金属含有膜等を形成する成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、拡散処理、エッチング処理、露光処理、リソグラフィ、塗布処理、モールド処理、現像処理、ダイシング処理、ワイヤボンディング処理、検査処理等であってもよい。

本明細書には、少なくとも次の構成が含まれる。すなわち、
第１の構成は、
基板を処理する基板処理装置であって、基板を処理するための基板処理レシピを含む装置情報と、基板処理装置を識別するための装置ＩＤとを記憶する基板処理装置と、
前記基板処理装置の複数と接続され、該複数の基板処理装置から送信される前記装置情報及び装置ＩＤと、群管理装置を識別するための群管理ＩＤとを記憶する群管理装置と、
前記群管理装置の複数と接続され、前記群管理ＩＤと、前記装置ＩＤと、複数の基板処理内容に対してグループ分けするためのグループＩＤとが対応付けられたグループ管理情報を複数記憶するファイル管理装置と、
を備えた基板処理システムであって、
前記基板処理装置において前記装置情報が変更されると、該変更された装置情報が前記装置ＩＤとともに、前記群管理装置へ送信され、次に該群管理装置から前記ファイル管理装置へ送信され、
前記変更された装置情報と前記装置ＩＤを受信したファイル管理装置は、前記受信した装置ＩＤに対応するグループＩＤと同一のグループＩＤに対応する装置ＩＤを、前記グループ管理情報から抽出する基板処理システム。

第２の構成は、第１の構成の基板処理システムであって、
前記ファイル管理装置は、さらに表示部を備え、前記変更された装置情報と前記装置ＩＤを受信すると、前記装置情報が変更されたことを前記表示部に表示する基板処理システム。

第３の構成は、第２の構成の基板処理システムであって、
前記ファイル管理装置は、さらに操作部を備え、前記装置情報が変更されたことを表示中において、操作者からの変更元確認指示を前記操作部で受け付けると、変更があった基板処理装置の前記装置ＩＤと、変更された前記装置情報を識別するための装置情報ＩＤとを含む変更元情報を、前記表示部に表示する基板処理システム。

第４の構成は、第３の構成の基板処理システムであって、
前記ファイル管理装置は、前記変更元情報を表示中において、操作者からの比較結果確認指示を前記操作部で受け付けると、変更された前記装置情報の変更前設定と変更後の現在設定とを比較結果として、前記表示部に表示する基板処理システム。

第５の構成は、第４の構成の基板処理システムであって、
前記ファイル管理装置は、前記比較結果を表示中において、操作者からの展開有無確認指示を前記操作部で受け付けると、前記受信した装置ＩＤに対応するグループＩＤと同一のグループＩＤに対応する装置ＩＤを、展開すべき又は展開可能な基板処理装置の装置ＩＤとして、前記表示部に表示する基板処理システム。

第６の構成は、第１の構成の基板処理システムであって、
前記ファイル管理装置は、さらに表示部を備え、前記接続された群管理装置と、該群管理装置に接続された基板処理装置と、該基板処理装置の保有する前記装置情報とを、ツリー構造で前記表示部に表示する基板処理システム。

第７の構成は、
基板を処理する基板処理装置であって、基板を処理するための基板処理レシピを含む装置情報と、基板処理装置を識別するための装置ＩＤとを記憶する基板処理装置と、
前記基板処理装置の複数と接続され、該複数の基板処理装置から送信される前記装置情報及び装置ＩＤと、群管理装置を識別するための群管理ＩＤとを記憶する群管理装置と、
前記群管理装置の複数と接続され、前記群管理ＩＤと、前記装置ＩＤと、複数の基板処理内容に対してグループ分けするためのグループＩＤとが対応付けられたグループ管理情報を複数記憶するファイル管理装置と、
を備えた基板処理システムにおいて、
前記基板処理装置で変更された前記装置情報が前記装置ＩＤとともに、前記基板処理装置から前記群管理装置へ送信される工程と、
前記群管理装置で受信した前記装置情報と前記装置ＩＤとが、前記群管理装置から前記ファイル管理装置へ送信される工程と、
前記装置情報と前記装置ＩＤとを受信した前記ファイル管理装置において、前記受信した装置ＩＤに対応するグループＩＤと同一のグループＩＤに対応する装置ＩＤを、前記グループ管理情報から抽出して、該抽出した装置ＩＤの背景色を変更して表示するグループ表示工程と、
を含むグループ表示プログラム。

１０…ファイル管理装置、１１…制御部、１２…記憶部、１３…操作部、１４…表示部、１５…第１通信部、１６…第２通信部、２０…群管理装置、３０…基板処理装置、３３…変更内容確認ボタン、４０…ネットワーク負荷監視装置、５０…工場ＬＡＮ、６０…工場間ネットワーク。

Claims (8)

1. 基板を処理するための基板処理レシピを含む装置情報と、基板処理装置を識別するための装置ＩＤとを記憶する基板処理装置と、
   前記基板処理装置に接続され、該基板処理装置から送信される前記装置情報及び装置ＩＤと、管理装置を識別するための群管理ＩＤとを記憶する管理装置と、
   前記管理装置と接続され、前記群管理ＩＤと、前記装置ＩＤと、複数の基板処理内容に対してグループ分けするためのグループＩＤとが対応付けられたグループ管理情報を記憶するファイル管理装置と、
   を備えた基板処理システムであって、
   前記基板処理装置において前記装置情報が変更されると、該変更された装置情報が前記装置ＩＤとともに、前記管理装置へ送信され、次に該管理装置から前記ファイル管理装置へ送信され、
   前記変更された装置情報と前記装置ＩＤを受信したファイル管理装置は、前記受信した装置ＩＤに対応するグループＩＤと同一のグループＩＤに対応する装置ＩＤを、前記グループ管理情報から抽出する基板処理システム。
2. 前記ファイル管理装置は、さらに表示部を備え、前記変更された装置情報と前記装置ＩＤを受信すると、前記装置情報が変更されたことを前記表示部に表示する請求項１記載の基板処理システム。
3. 前記ファイル管理装置は、さらに操作部を備え、前記装置情報が変更されたことを表示中において、操作者からの変更元確認指示を前記操作部で受け付けると、変更があった基板処理装置の前記装置ＩＤと、変更された前記装置情報を識別するための装置情報ＩＤとを含む変更元情報を、前記表示部に表示する請求項２記載の基板処理システム。
4. 前記ファイル管理装置は、前記変更元情報を表示中において、操作者からの比較結果確認指示を前記操作部で受け付けると、変更された前記装置情報の変更前設定と変更後の現在設定とを比較結果として、前記表示部に表示する請求項３記載の基板処理システム。
5. 前記ファイル管理装置は、前記比較結果を表示中において、操作者からの展開有無確認指示を前記操作部で受け付けると、前記受信した装置ＩＤに対応するグループＩＤと同一のグループＩＤに対応する装置ＩＤを、展開すべき又は展開可能な基板処理装置の装置ＩＤとして、前記表示部に表示する請求項４記載の基板処理システム。
6. 前記ファイル管理装置は、さらに表示部を備え、前記接続された管理装置と、該管理装置に接続された基板処理装置と、該基板処理装置の保有する前記装置情報とを、ツリー構造で前記表示部に表示する請求項１記載の基板処理システム。
7. 基板を処理するための基板処理レシピを含む装置情報と、基板処理装置を識別するための装置ＩＤとを記憶する基板処理装置と、
   前記基板処理装置から送信される前記装置情報及び装置ＩＤと、管理装置を識別するための群管理ＩＤとを記憶する管理装置と、
   前記群管理ＩＤと、前記装置ＩＤと、複数の基板処理内容に対してグループ分けするためのグループＩＤとが対応付けられたグループ管理情報を複数記憶するファイル管理装置と、
   を備えた基板処理システムにおける表示方法であって、
   前記基板処理装置で変更された前記装置情報が前記装置ＩＤとともに、前記基板処理装置から前記管理装置へ送信される工程と、
   前記管理装置で受信した前記装置情報と前記装置ＩＤとが、前記管理装置から前記ファイル管理装置へ送信される工程と、
   前記装置情報と前記装置ＩＤとを受信した前記ファイル管理装置において、前記受信した装置ＩＤに対応するグループＩＤと同一のグループＩＤに対応する装置ＩＤを、前記グループ管理情報から抽出して、該抽出した装置ＩＤの背景色を変更して表示するグループ表示工程と、
   を有する表示方法。
8. 基板を処理するための基板処理レシピを含む装置情報と、基板処理装置を識別するための装置ＩＤとを記憶する基板処理装置と、
   前記基板処理装置から送信される前記装置情報及び装置ＩＤと、管理装置を識別するための群管理ＩＤとを記憶する管理装置と、
   前記群管理ＩＤと、前記装置ＩＤと、複数の基板処理内容に対してグループ分けするためのグループＩＤとが対応付けられたグループ管理情報を複数記憶するファイル管理装置と、
   を備えた基板処理システムで実行される表示プログラムであって、
   前記基板処理装置で変更された前記装置情報が前記装置ＩＤとともに、前記基板処理装置から前記管理装置へ送信される手順と、
   前記管理装置で受信した前記装置情報と前記装置ＩＤとが、前記管理装置から前記ファイル管理装置へ送信される手順と、
   前記装置情報と前記装置ＩＤとを受信した前記ファイル管理装置において、前記受信した装置ＩＤに対応するグループＩＤと同一のグループＩＤに対応する装置ＩＤを、前記グループ管理情報から抽出して、該抽出した装置ＩＤの背景色を変更して表示する手順と、
   を含む表示プログラム。

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