JP2014010687A - Mirror finishing method and grooving method of film-like work by fly cutting - Google Patents
Mirror finishing method and grooving method of film-like work by fly cutting Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014010687A JP2014010687A JP2012147566A JP2012147566A JP2014010687A JP 2014010687 A JP2014010687 A JP 2014010687A JP 2012147566 A JP2012147566 A JP 2012147566A JP 2012147566 A JP2012147566 A JP 2012147566A JP 2014010687 A JP2014010687 A JP 2014010687A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- fly
- workpiece
- work
- error amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Turning (AREA)
- Numerical Control (AREA)
Abstract
Description
本発明は、フライカットによるフィルム状ワークの鏡面加工方法及び溝加工方法に関する。 The present invention relates to a mirror surface processing method and a groove processing method for a film workpiece by fly-cutting.
従来より、フライカットと呼ばれる加工方法が知られている。これは、高精度のバイト(加工工具)をフランジに取り付け、フランジを回転させることによってバイトを大きく回転させ、1回転ごとにワーク加工面の材料を削り飛ばす(fly)ようにしてワークを切削していく、という加工方法である。この加工方法は、主に、凸レンズの加工に利用されている。 Conventionally, a processing method called fly cutting is known. This is because a high precision tool (machining tool) is attached to the flange, and the tool is rotated by rotating the flange so that the material on the workpiece surface is scraped off (fly) every rotation. It is a processing method to go. This processing method is mainly used for processing a convex lens.
一方、光の導波路としての溝を有する光通信用の部材が、広く利用されている。当該部材の成形には、「型」に樹脂を流し込む成形法が一般的である(特許文献1参照)。というのは、当該部材の「溝」を高精度に実現する切削加工法が無かったからである。 On the other hand, optical communication members having grooves as optical waveguides are widely used. The molding of the member is generally a molding method in which a resin is poured into a “mold” (see Patent Document 1). This is because there was no cutting method for realizing the “groove” of the member with high accuracy.
一般に高精度と言われるダイヤモンドブレードを用いた切削加工法でも、「バリ」の生成という問題があり、光学要素部品に求められる精度(鏡面のような精度)までは実現できていない。 Even a cutting method using a diamond blade, which is generally said to have high accuracy, has a problem of generation of “burrs”, and the accuracy required for optical element parts (accuracy like a mirror surface) cannot be realized.
ところで、フィルム上に積層される導波路の切断や、導波路と組み合わされてフィルム上に形成される光学機構の加工成形の際に、スライサ等を用いて円形の薄刃砥石やV型砥石を高速回転させる加工方法が知られている。このような加工方法では、砥石の位置検出機構が利用される。 By the way, when cutting a waveguide laminated on a film or processing an optical mechanism formed on a film in combination with a waveguide, a circular thin blade grindstone or V-shaped grindstone is used at high speed using a slicer or the like. A rotating processing method is known. In such a processing method, a grindstone position detection mechanism is used.
位置検出機構の一例としては、導電性の砥石を用いて、当該砥石とワークチャックとの間に電位差を生じさせると共に、両者を互いに微速で近づけていき、導通(接触)した瞬間を検知することで両者の位置関係を求めるものがある。 As an example of the position detection mechanism, a conductive grindstone is used to generate a potential difference between the grindstone and the work chuck, and the two are brought close to each other at a slow speed to detect the moment when they are electrically connected (contacted). In some cases, the positional relationship between the two is obtained.
また、位置検出機構の別例としては、断面径の小さなレーザ光を空間中に渡らせる機構(投光部と受光部)を設け、回転させた砥石をレーザ光に微速で近づけていき、レーザ光が遮断された瞬間を検知することで両者の位置関係を求める一方で、ワークチャックとレーザ機構との位置関係を予め他の手段で調べておき、これらの情報からワークチャックと砥石との間の距離を計算する、というものがある。 As another example of the position detection mechanism, a mechanism (light projecting part and light receiving part) for passing a laser beam having a small cross-sectional diameter into the space is provided, and the rotated grindstone is brought close to the laser light at a very low speed. While determining the positional relationship between the two by detecting the moment when the light is interrupted, the positional relationship between the work chuck and the laser mechanism is checked in advance by other means, and from these information, the position between the work chuck and the grindstone is determined. There is something to calculate the distance.
本件発明者は、フィルム状ワークに対してフライカットと呼ばれる加工方法を適用することで、非常に高精度に「溝」を形成することができることを知見した。更に、本件発明者は、フライカットによる加工後の端面が鏡面として利用可能な程に高精度であることを知見した。 The present inventor has found that “grooves” can be formed with very high accuracy by applying a processing method called fly-cut to a film-like workpiece. Furthermore, the present inventor has found that the end face after processing by fly-cut is so accurate that it can be used as a mirror surface.
一方、砥石による加工法で用いられていた前述の通電方式や前述のレーザ光を用いた検知方法が、フライカットでは利用できない。従って、フライカットにおいてワークとバイト(フライカット用バイト)との相対位置関係を得る方法が待望される。更に、ワークとバイト(フライカット用バイト)との相対位置関係を補正したいとの要請もあり得る。 On the other hand, the above-described energization method and the above-described detection method using laser light, which have been used in the processing method using a grindstone, cannot be used in fly cutting. Therefore, a method for obtaining the relative positional relationship between the workpiece and the cutting tool (fly cutting tool) in the fly cutting is desired. Furthermore, there may be a request to correct the relative positional relationship between the workpiece and the cutting tool (fly cutting tool).
本発明は、以上の知見に基づいて創案されたものである。本発明の目的は、フライカットによってフィルム状ワークに溝を加工する方法を提供することである。あるいは、本発明の目的は、フライカットによってフィルム状ワークに鏡面を加工する方法を提供することである。 The present invention has been created based on the above findings. An object of the present invention is to provide a method for machining a groove in a film-like workpiece by fly cutting. Alternatively, an object of the present invention is to provide a method of processing a mirror surface on a film-like workpiece by fly cutting.
本発明は、フライカット用バイトをフライカット用ジグに取り付けると共に、前記フライカット用バイトの取り付け位置の誤差量を測定する工程と、前記フライカット用ジグを回転主軸に取り付ける工程と、加工情報と前記取り付け位置の誤差量とに基づいて、前記回転主軸に対するフィルム状ワークの仮相対座標を決定する工程と、前記回転主軸を回転させると共に、前記仮相対座標に基づいてフィルム状ダミーワークを前記回転主軸に対して相対移動させることによって、当該フィルム状ダミーワークに溝を形成する工程と、前記フィルム状ダミーワークに形成された前記溝の画像を取得する工程と、前記画像に基づいて、加工結果の誤差量を解析する工程と、前記加工結果の誤差量が小さくなるように前記仮相対座標を修正してフィルム状ワークの相対座標を決定する工程と、前記回転主軸を回転させると共に、前記相対座標に基づいてフィルム状ワークを前記回転主軸に対して相対移動させることによって、当該フライカット用バイトが当該フィルム状ワークの側端面に鏡面を形成するように、当該回転主軸に対する当該フィルム状ワークの相対位置が当該鏡面に平行に移動されていく工程と、を備えたことを特徴とするフライカットによるフィルム状ワークの鏡面加工方法である。 The present invention includes a step of attaching a fly cutting tool to a fly cutting jig, a step of measuring an error amount of an attachment position of the fly cutting tool, a step of attaching the fly cutting jig to a rotary spindle, and machining information. Determining a temporary relative coordinate of the film workpiece relative to the rotation spindle based on the error amount of the attachment position; rotating the rotation spindle; and rotating the film dummy workpiece based on the temporary relative coordinate A step of forming a groove in the film-like dummy work by moving relative to the spindle, a step of obtaining an image of the groove formed in the film-like dummy work, and a processing result based on the image A step of analyzing the error amount, and correcting the temporary relative coordinates so that the error amount of the machining result is reduced. Determining the relative coordinates of the workpiece, rotating the rotary spindle, and moving the film workpiece relative to the rotary spindle based on the relative coordinates, thereby making the fly-cut bit into the film-like workpiece. And a step of moving the relative position of the film-shaped workpiece relative to the rotation main shaft in parallel with the mirror surface so as to form a mirror surface on the side end surface of the workpiece. This is a mirror finishing method.
本発明によれば、フライカット用バイトがフライカット用ジグに取り付けられる段階で、その取り付け位置の誤差量が測定されることにより、フライカット用バイトとフィルム状ダミーワークとの間のおおよその位置関係(仮相対座標)が実質的に決定される。次いで、当該フィルム状ダミーワークに形成された溝の画像が解析されることで、仮相対座標が修正されて、フライカット用バイトとフィルム状ワークとの間のより正確な位置関係(相対座標)が決定される。これにより、フライカット用バイトとフィルム状ワークとの相対位置を非常に精密に制御することが可能となり、フィルム状ワークの側端面に鏡面を実現し得る。 According to the present invention, when the fly cutting tool is attached to the fly cutting jig, an error amount of the attachment position is measured, so that an approximate position between the fly cutting tool and the film-like dummy workpiece is measured. The relationship (provisional relative coordinates) is substantially determined. Next, by analyzing the image of the groove formed in the film-like dummy workpiece, the temporary relative coordinates are corrected, and the more accurate positional relationship (relative coordinates) between the fly cutting tool and the film-like workpiece is corrected. Is determined. As a result, the relative position between the fly-cut tool and the film workpiece can be controlled very precisely, and a mirror surface can be realized on the side end surface of the film workpiece.
また、本件発明者による実際の検証によれば、本発明によって、「バリ」生成の問題を生じることなく、フィルム状ワークの側端面に極めて高精度な溝形状や鏡面を実現することができる。また、ダイヤモンドブレード使用時のようにブレード冷却やワークカス除去のための液体を供給する必要がないため(乾式で運転可能であるため)、運転コストも低く、環境に対してもよい。 Further, according to the actual verification by the present inventor, the present invention can realize a groove shape or mirror surface with extremely high accuracy on the side end surface of the film workpiece without causing the problem of “burr” generation. Further, since it is not necessary to supply a liquid for cooling the blade and removing the work residue as in the case of using a diamond blade (because it can be operated in a dry manner), the operation cost is low and it is good for the environment.
好ましくは、前記画像に基づいて、加工結果の誤差量を解析する工程において、前記画像上の前記溝の幅と前記フライカット用バイトの刃先角度とに基づいて、加工結果の深さ方向の誤差量が解析されるようになっている。 Preferably, in the step of analyzing the error amount of the machining result based on the image, an error in the depth direction of the machining result is determined based on the width of the groove on the image and the blade edge angle of the fly cutting tool. The quantity is to be analyzed.
断面が三角形の溝であれば、原理的には、溝の幅を測定することができれば、幾何学的な関係に基づいて加工結果の深さ(溝の深さ)を求めることが可能である。しかしながら、従来の砥石を用いた加工法の場合には、面粗さやクラック等が存在してしまうために、溝の幅を高精度に測定することができなかった。しかし、本発明によれば、フライカット用バイトにより鋭利な輪郭を呈する溝が得られるので、溝の幅を高精度に測定することができる。従って、溝の画像の解析によって深さ方向の位置補正をも十分に可能となるのである。 If the groove has a triangular cross section, in principle, if the groove width can be measured, it is possible to determine the depth of the processing result (groove depth) based on the geometric relationship. . However, in the case of a processing method using a conventional grindstone, since the surface roughness, cracks, and the like exist, the groove width cannot be measured with high accuracy. However, according to the present invention, a groove having a sharp contour can be obtained by the fly cutting tool, and therefore the width of the groove can be measured with high accuracy. Therefore, the position correction in the depth direction can be sufficiently performed by analyzing the groove image.
フィルム状ワークとして効果が実証されたのは、金属箔、金属膜、樹脂である。例えば、金属とは、金、銀、銅、錫、ニッケル等であり、樹脂とは、アクリル系、ポリシラン系、エポキシ系、ノルボルネン系、ポリイミド系といった合成樹脂である。また、樹脂基材上に金属箔や金属膜が設けられたフィルム状ワークに対しても、同様の効果が得られる。 It is a metal foil, a metal film, and a resin that has proved effective as a film-like workpiece. For example, the metal is gold, silver, copper, tin, nickel or the like, and the resin is a synthetic resin such as acrylic, polysilane, epoxy, norbornene, or polyimide. Moreover, the same effect is acquired also with respect to the film-form workpiece | work with which metal foil and the metal film were provided on the resin base material.
好ましくは、フライカット用バイトは、単結晶ダイヤモンドバイトと金属シャンクとを有する。また、好ましくは、単結晶ダイヤモンドバイトの先端は、45度である。また、フライカット用ジグは、一般には、フライカット用フランジである。 Preferably, the fly cutting tool has a single crystal diamond tool and a metal shank. Preferably, the tip of the single crystal diamond tool is 45 degrees. The fly-cut jig is generally a fly-cut flange.
また、好ましくは、本方法は、加工領域に空気を供給する工程を更に備える。これにより、フライカット用バイトを効果的に冷却したり、ワークカスを飛ばして除去することができる。また、更に好ましくは、本方法は、加工領域の空気を吸引する工程を更に備える。これにより、ワークカスを効果的に排除することができる。 Preferably, the method further includes supplying air to the processing area. Thereby, the cutting tool for fly cutting can be effectively cooled, or the work residue can be skipped and removed. More preferably, the method further includes a step of sucking air in the processing area. As a result, the work residue can be effectively eliminated.
あるいは、本発明は、フライカット用バイトをフライカット用ジグに取り付けると共に、前記フライカット用バイトの取り付け位置の誤差量を測定する工程と、前記フライカット用ジグを回転主軸に取り付ける工程と、加工情報と前記取り付け位置の誤差量とに基づいて、前記回転主軸に対するフィルム状ワークの仮相対座標を決定する工程と、前記回転主軸を回転させると共に、前記仮相対座標に基づいてフィルム状ダミーワークを前記回転主軸に対して相対移動させることによって、当該フィルム状ダミーワークに溝を形成する工程と、前記フィルム状ダミーワークに形成された前記溝の画像を取得する工程と、前記画像に基づいて、加工結果の誤差量を解析する工程と、前記加工結果の誤差量が小さくなるように前記仮相対座標を修正してフィルム状ワークの相対座標を決定する工程と、前記回転主軸を回転させると共に、前記相対座標に基づいてフィルム状ワークを前記回転主軸に対して相対移動させることによって、当該フライカット用バイトが当該フィルム状ワークに直線上の凹溝を形成するように、当該回転主軸に対する当該フィルム状ワークの相対位置が当該凹溝の延びる方向に移動されていく工程と、を備えたことを特徴とするフライカットによるフィルム状ワークの溝加工方法である。 Alternatively, the present invention attaches the fly-cut tool to the fly-cut jig, measures the error amount of the fly-cut tool attachment position, attaches the fly-cut jig to the rotary spindle, and processing Determining a temporary relative coordinate of the film-like workpiece with respect to the rotation spindle based on the information and the error amount of the attachment position; rotating the rotation spindle; and Based on the image, the step of forming a groove in the film-like dummy work by moving relative to the rotation main shaft, the step of obtaining an image of the groove formed in the film-like dummy work, The process of analyzing the error amount of the machining result, and correcting the temporary relative coordinates so that the error amount of the machining result becomes small Determining the relative coordinates of the film workpiece, rotating the rotation spindle, and moving the film workpiece relative to the rotation spindle based on the relative coordinates, whereby the fly-cut tool is And a step of moving the relative position of the film-shaped workpiece with respect to the rotation main shaft in the extending direction of the groove so as to form a linear groove on the film-shaped workpiece. This is a groove processing method for a film-like workpiece by cutting.
本発明によれば、フライカット用バイトがフライカット用ジグに取り付けられる段階で、その取り付け位置の誤差量が測定されることにより、フライカット用バイトとフィルム状ダミーワークとの間のおおよその位置関係(仮相対座標)が実質的に決定される。次いで、当該フィルム状ダミーワークに形成された溝の画像が解析されることで、仮相対座標が修正されて、フライカット用バイトとフィルム状ワークとの間のより正確な位置関係(相対座標)が決定される。これにより、フライカット用バイトとフィルム状ワークとの相対位置を非常に精密に制御することが可能となり、フィルム状ワークの側端面に鏡面を実現し得る。 According to the present invention, when the fly cutting tool is attached to the fly cutting jig, an error amount of the attachment position is measured, so that an approximate position between the fly cutting tool and the film-like dummy workpiece is measured. The relationship (provisional relative coordinates) is substantially determined. Next, by analyzing the image of the groove formed in the film-like dummy workpiece, the temporary relative coordinates are corrected, and the more accurate positional relationship (relative coordinates) between the fly cutting tool and the film-like workpiece is corrected. Is determined. As a result, the relative position between the fly-cut tool and the film workpiece can be controlled very precisely, and a mirror surface can be realized on the side end surface of the film workpiece.
また、本件発明者による実際の検証によれば、本発明によって、「バリ」生成の問題を生じることなく、フィルム状ワークに極めて高精度な凹溝を実現することができる。また、ダイヤモンドブレード使用時のようにブレード冷却やワークカス除去のための液体を供給する必要がないため(乾式で運転可能であるため)、運転コストも低く、環境に対してもよい。 Further, according to the actual verification by the present inventor, the present invention makes it possible to realize a groove with extremely high accuracy in a film workpiece without causing the problem of “burr” generation. Further, since it is not necessary to supply a liquid for cooling the blade and removing the work residue as in the case of using a diamond blade (because it can be operated in a dry manner), the operation cost is low and it is good for the environment.
好ましくは、前記画像に基づいて、加工結果の誤差量を解析する工程において、前記画像上の前記溝の幅と前記フライカット用バイトの刃先角度とに基づいて、加工結果の深さ方向の誤差量が解析されるようになっている。 Preferably, in the step of analyzing the error amount of the machining result based on the image, an error in the depth direction of the machining result is determined based on the width of the groove on the image and the blade edge angle of the fly cutting tool. The quantity is to be analyzed.
断面が三角形の溝であれば、原理的には、溝の幅を測定することができれば、幾何学的な関係に基づいて加工結果の深さ(溝の深さ)を求めることが可能である。しかしながら、従来の砥石を用いた加工法の場合には、面粗さやクラック等が存在してしまうために、溝の幅を高精度に測定することができなかった。しかし、本発明によれば、フライカット用バイトにより鋭利な輪郭を呈する溝が得られるので、溝の幅を高精度に測定することができる。従って、溝の画像の解析によって深さ方向の位置補正をも十分に可能となるのである。 If the groove has a triangular cross section, in principle, if the groove width can be measured, it is possible to determine the depth of the processing result (groove depth) based on the geometric relationship. . However, in the case of a processing method using a conventional grindstone, since the surface roughness, cracks, and the like exist, the groove width cannot be measured with high accuracy. However, according to the present invention, a groove having a sharp contour can be obtained by the fly cutting tool, and therefore the width of the groove can be measured with high accuracy. Therefore, the position correction in the depth direction can be sufficiently performed by analyzing the groove image.
フィルム状ワークとして効果が実証されたのは、金属箔、金属膜、樹脂である。例えば、金属とは、金、銀、銅、錫、ニッケル等であり、樹脂とは、アクリル系、ポリシラン系、エポキシ系、ノルボルネン系、ポリイミド系といった合成樹脂である。また、樹脂基材上に金属箔や金属膜が設けられたフィルム状ワークに対しても、同様の効果が得られる。 It is a metal foil, a metal film, and a resin that has proved effective as a film-like workpiece. For example, the metal is gold, silver, copper, tin, nickel or the like, and the resin is a synthetic resin such as acrylic, polysilane, epoxy, norbornene, or polyimide. Moreover, the same effect is acquired also with respect to the film-form workpiece | work with which metal foil and the metal film were provided on the resin base material.
好ましくは、フライカット用バイトは、単結晶ダイヤモンドバイトと金属シャンクとを有する。また、好ましくは、単結晶ダイヤモンドバイトの先端は、45度である。また、フライカット用ジグは、一般には、フライカット用フランジである。 Preferably, the fly cutting tool has a single crystal diamond tool and a metal shank. Preferably, the tip of the single crystal diamond tool is 45 degrees. The fly-cut jig is generally a fly-cut flange.
また、好ましくは、本方法は、加工領域に空気を供給する工程を更に備える。これにより、フライカット用バイトを効果的に冷却したり、ワークカスを飛ばして除去することができる。また、更に好ましくは、本方法は、加工領域の空気を吸引する工程を更に備える。これにより、ワークカスを効果的に排除することができる。 Preferably, the method further includes supplying air to the processing area. Thereby, the cutting tool for fly cutting can be effectively cooled, or the work residue can be skipped and removed. More preferably, the method further includes a step of sucking air in the processing area. As a result, the work residue can be effectively eliminated.
また、以上の各方法によって実現された鏡面または高精度の溝を有する光学要素部品も、本願による保護対象である。 Further, the optical element component having a mirror surface or a high-precision groove realized by each of the above methods is also an object to be protected by the present application.
本発明によれば、フライカット用バイトがフライカット用ジグに取り付けられる段階で、その取り付け位置の誤差量が測定されることにより、フライカット用バイトとフィルム状ダミーワークとの間のおおよその位置関係(仮相対座標)が実質的に決定される。次いで、当該フィルム状ダミーワークに形成された溝の画像が解析されることで、仮相対座標が修正されて、フライカット用バイトとフィルム状ワークとの間のより正確な位置関係(相対座標)が決定される。これにより、フライカット用バイトとフィルム状ワークとの相対位置を非常に精密に制御することが可能となり、フィルム状ワークに鏡面や極めて高精度の溝を実現し得る。 According to the present invention, when the fly cutting tool is attached to the fly cutting jig, an error amount of the attachment position is measured, so that an approximate position between the fly cutting tool and the film-like dummy workpiece is measured. The relationship (provisional relative coordinates) is substantially determined. Next, by analyzing the image of the groove formed in the film-like dummy workpiece, the temporary relative coordinates are corrected, and the more accurate positional relationship (relative coordinates) between the fly cutting tool and the film-like workpiece is corrected. Is determined. As a result, the relative position between the fly-cut tool and the film workpiece can be controlled very precisely, and a mirror surface and an extremely high-precision groove can be realized on the film workpiece.
以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。 Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、本発明の一実施の形態のフライカットによるフィルム状ワークの溝加工方法を実現するための、フライカット用バイトとフライカット用フランジとを示す概略図である。 FIG. 1 is a schematic view showing a fly cutting tool and a fly cutting flange for realizing the method of grooving a film workpiece by fly cutting according to an embodiment of the present invention.
図1に示すように、本実施の形態では、回転主軸に取り付けられるフライカット用ジグとして、フライカット用フランジ10が採用されており、当該フライカット用フランジ10に、フライカット用バイト20が取り付けられている。フライカット用バイト20は、「角度付き刃物」とも称され、本実施の形態では単結晶ダイヤモンドバイト21と金属シャンク22とからなっている。単結晶ダイヤモンドバイト21と金属シャンク22とは、蝋付けによって互いに固着されている。
As shown in FIG. 1, in the present embodiment, a fly-
図1に示すように、本実施の形態の単結晶ダイヤモンドバイト21は、先端の角度が45度の三角形タイプのもので構成されているが、鈍角三角形タイプのものや矩形タイプのものであってもよい。また、単結晶ダイヤモンドバイト21の先端は、厳密にはRが設けられている。さらに、単結晶ダイヤモンドバイト21の代わりに、多結晶ダイヤモンドバイトが用いられてもよいし、超硬工具、CBN工具などが用いられてもよい。
As shown in FIG. 1, the single
図1に示すように、本実施の形態のフライカット用バイト20の金属シャンク22には、回転主軸の方向と平行な通し穴23が開けられている。通し穴23の径は、後述する取り付け用のボルト13の軸部の外径より大きくなっている。一方、フライカット用フランジ10には、外周部分の一部に、金属シャンク22を嵌め入れ可能な取り付け溝12が設けられている。取り付け溝12の底面には、ボルト13に対応するボルト穴14が開けられている。
As shown in FIG. 1, the
そして、取り付け溝12に金属シャンク22が嵌め入れられた状態で、通し穴23にボルト13の軸部が挿通され、ボルト13の頭部と取り付け溝12の底面とで金属シャンク22を挟むようにしてボルト13の軸部がボルト穴14に螺合されることにより、フライカット用バイト20はフライカット用フランジ10に固定される。
Then, with the
従って、原理的に、ボルト13の軸部と通し穴23との間の隙間(遊び)に起因して、フライカット用バイト20の取り付け位置には誤差が生じ得る。
Therefore, in principle, an error may occur in the attachment position of the fly-cutting
そこで、本実施の形態では、フライカット用バイト20をフライカット用フランジ10に取り付けると共に、フライカット用バイト20の取り付け位置の誤差量を測定する。
Therefore, in the present embodiment, the fly-
図2は、フライカット用バイト20の取り付け位置の誤差量を測定する工程に用いられる測定装置50の一例を示す概略図である。図2に示す測定装置50は、台座51と、台座51上に立設されたコラム52と、コラム52に回転軸受を介して取り付けられた回転主軸53と、高倍率レンズを有する撮像装置55と、撮像装置55を台座51上でX、Y、Zの各軸方向に移動させる移動ステージ54と、を備えている。撮像装置55には、同軸落射照明装置56が接続されている。撮像装置55と回転主軸53との相対位置は、校正用ジグを用いて、予め求められている。これにより、撮像装置55で取得された画像が解析されることで、撮像対象物の回転主軸53に対する位置情報が測定されるようになっている。
FIG. 2 is a schematic view showing an example of a measuring
一方、図3(a)は、図2の測定装置50の回転主軸53とフライカット用フランジ10とを示す概略図、図3(b)は、それらの断面図である。図3(a)及び図3(b)に示すように、本実施の形態の回転主軸53は、先端にテーパ部57が設けられている。回転主軸53の本体は、コラム52に設けられた静圧空気軸受に挿通され、当該静圧空気軸受に対して非接触で支持されている。これにより、回転主軸53はその中心軸線を中心して回転されるようになっている。
On the other hand, FIG. 3A is a schematic diagram showing the rotation
一方、本実施の形態のフライカット用フランジ10の裏面には、回転主軸53のテーパ部57に対応するテーパ穴15が開けられている。テーパ穴15の中心軸線はフライカット用フランジ10の中心軸線と整合されている。
On the other hand, a
フライカット用フランジ10の中心軸線が回転主軸53の中心軸線と合致された状態で、テーパ穴15に回転主軸53のテーパ部57が差し込まれるように、フライカット用フランジ10が回転主軸53に向かって移動される。これにより、回転主軸53のテーパ部57がテーパ穴15に嵌め合わされる。すなわち、回転主軸53とフライカット用フランジ10とは、回転方向以外は、一定の相対位置に位置決めされる。
With the center axis of the fly-
本実施の形態では、回転主軸53に対する単結晶ダイヤモンドバイト21の仮の最下点位置が、測定装置50において予め記憶されている。ここで、仮の最下点位置とは、フライカット用バイト20の取り付け位置に誤差がない(取り付け位置の誤差量がゼロである)状態で当該フライカット用バイト20が回転方向に回転される際に、単結晶ダイヤモンドバイト21の先端が到達する最も下方の位置のことである。
In the present embodiment, the temporary lowest point position of the single
前述のように測定装置50の回転主軸53にフライカット用フランジ10が取り付けられた後、移動ステージ54により撮像装置55が移動されることで、図4に示すように、撮像装置55の高倍率レンズが前記仮の最下点位置に向けられる。そして、フライカット用バイト20が仮の最下点位置の近傍で回転方向に揺動されると共に、撮像装置55により、揺動される単結晶ダイヤモンドバイト21の画像が所定の時間間隔で取得される。当該画像が解析されることにより、単結晶ダイヤモンドバイト21の実際の最下点位置の位置情報が測定される。
As described above, after the fly-
取得された画像の解析は、例えば、以下のように行われる。すなわち、画像上の単結晶ダイヤモンドバイト21の先端位置が比較され、当該先端位置が最も下方に存在する画像に基づいて単結晶ダイヤモンドバイト21の最下点位置の位置情報が特定(測定)される。あるいは、画像取得前に回転主軸53の中心軸線の垂下面に撮像装置55の焦点を予め合わせておいて、各画像についてピントが合っているか否かの程度である鮮鋭度が比較され、最も焦点が合っていた画像に基づいて単結晶ダイヤモンドバイト21の最下点位置の位置情報が特定(測定)されてもよい。
The acquired image is analyzed as follows, for example. That is, the tip position of the single crystal
フライカット用バイト20の揺動は、具体的には、例えば以下のように行われる。すなわち、図5に示すように、測定装置50のコラム52に繰り出し機構59を設置し、繰り出し機構59に突き当て棒58を繰り出し可能に保持させる。そして、突き当て棒58の先端を仮の最下点位置近傍に繰り出して、当該先端にフライカット用バイト20を接触させておく。そして、突き当て棒58の先端とフライカットバイト20との接触状態を維持しながら、繰り出し機構59を更に操作して突き当て棒58の先端を繰り出す乃至戻すことで、フライカット用バイト20を突き当て棒58の先端と一緒に回転方向に揺動させることができる。これにより、単結晶ダイヤモンドバイト21を最下点位置近傍で低速に揺動させることが可能となり、最下点位置の位置情報の特定(測定)が容易になる。
Specifically, the swinging of the
なお、図6に示すように、フライカット用バイト20に角度調整機構26が設けられていて、画像上の単結晶ダイヤモンドバイト21の刃先角度が所望の角度と異なる場合には、最下点位置の位置情報の特定が行われる前に、取得された画像に基づいて、角度調整機構26による刃先角度の調整が行われてもよい。
In addition, as shown in FIG. 6, when the
最下点位置の位置情報の特定については、図7に示すように、撮像装置55の代わりに、レーザ光を水平に投光する投光部81と当該投光部81から投光されたレーザ光を受光する受光部82とが用いられてもよい。投光部81及び受光部82と回転主軸53との相対位置は、校正用ジグを用いて、予め求められる。これにより、投光部81と受光部82との間を渡るレーザ光が障害物により遮断された瞬間を検知することで、当該障害物の回転主軸53に対する位置情報を測定することができる。
For specifying the position information of the lowest point position, as shown in FIG. 7, instead of the
更に具体的に説明すれば、フライカット用バイト20が突き当て棒58の先端に突き当てられて静止された状態で、移動ステージ54により投光部81と受光部82とが共に移動され、受光部82によりレーザ光が遮断された瞬間の投光部81と受光部82との位置情報に基づいて、単結晶ダイヤモンドバイト21の先端の位置情報を測定することができる。
More specifically, the
実際には、突き当て棒58によりフライカット用バイト20が回転方向に断続的に揺動され、フライカット用バイト20の揺動が一時停止する毎に、単結晶ダイヤモンドバイト21の先端の位置情報の測定が繰り返される。そして、各測定結果が比較されることにより、単結晶ダイヤモンドバイト21の最下点位置の位置情報が特定(測定)され得る。
Actually, the position information of the tip of the single
そして、以上のいずれかの方法により特定(測定)された単結晶ダイヤモンドバイト21の最下点位置の位置情報と、測定装置50に予め記憶されていた仮の最下点位置の位置情報とが比較され、その誤差量に基づいて、フライカット用バイト10の取り付け位置の誤差量が測定(算出)される。
And the position information of the lowest point position of the single
次いで、図8に示すように、フライカット用フランジ10が例えばUSM(Ultra Slicing Machine)等の加工装置の回転主軸30に固定される一方、フィルム状ダミーワーク70がワーク用テーブル61に載置される。
Next, as shown in FIG. 8, the fly-
加工装置の回転主軸30のテーパ部は、好ましくは、測定装置50の回転主軸53のテーパ部57と同じ寸法である。この場合、加工装置の回転主軸30に対する単結晶ダイヤモンドバイト21の最下点位置の位置情報が、フライカット用バイト10の取り付け位置の誤差量に基づいて高精度に決定され得る。もっとも、加工装置の回転主軸30のテーパ部と測定装置50の回転主軸53のテーパ部57との間に寸法上の差が存在する場合には、当該差に基づくオフセット情報を後述する加工情報に加えることで、対処可能である。
The taper portion of the rotation
次に、加工情報とフライカット用バイト20の取り付け位置の誤差量とに基づいて、回転主軸53に対するフィルム状ワークの仮相対座標が決定される。ここで、加工情報とは、加工に関する設計上の情報であり、例えば、ワーク用テーブル61と回転主軸30との相対位置情報が含まれる。決定された仮相対座標は、加工装置の制御部62に入力される。
Next, the temporary relative coordinates of the film workpiece with respect to the
回転主軸30の回転と、当該回転主軸30に対するワーク用テーブル61の相対位置とは、決定された仮相対座標に基づいて制御部62によって制御される。
The rotation of the
具体的には、加工装置の回転主軸30が回転されることによって、単結晶ダイヤモンドバイト21の先端が大きく回転軌道を描きながら、1回転ごとにフィルム状ダミーワーク70の加工面を削り飛ばしていくと共に、単結晶ダイヤモンドバイト21がフィルム状ダミーワーク70に直線状の凹溝71を形成するように、回転主軸30に対するワーク用テーブル61の相対位置が当該凹溝71の延びる方向に移動されていく。
Specifically, by rotating the
フィルム状ダミーワーク70の加工面に凹溝71が形成された後、図9(a)に示すように、レンズを下方に向けられた撮像装置75が当該加工面上に配置され、当該撮像装置75により、凹溝71の画像が取得される。
After the
そして、取得された画像に基づいて、加工結果の誤差量が解析される。具体的には、画像上の凹溝71の位置座標に基づいて、加工結果の水平方向の誤差量が解析される。また、図9(b)に示す画像上の凹溝71の幅Wと、図9(c)に示す単結晶ダイヤモンドバイト21の刃先角度θとに基づいて、加工結果の深さ方向の誤差量が解析される。
Then, based on the acquired image, the error amount of the processing result is analyzed. Specifically, the horizontal error amount of the processing result is analyzed based on the position coordinates of the
そして、制御部52では、加工結果の誤差量が小さくなるように仮相対座標が修正されて、フィルム状ワークの相対座標が決定され、当該相対座標が制御部52に記憶される。
Then, the
次いで、図10に示すように、フィルム状ダミーワーク70の代わりにフィルム状ワーク40がワーク用テーブル61に載置される一方、フライカット用フランジ10が固定された回転主軸30が回転されることによって、単結晶ダイヤモンドバイト21の先端が大きく回転軌道を描きながら、1回転ごとにフィルム状ワーク40の加工面を削り飛ばしていく。
Next, as shown in FIG. 10, the film-
回転主軸30の回転と、当該回転主軸30に対するワーク用テーブル61の相対位置とは、修正された相対座標に基づいて制御部62によって制御される。具体的には、単結晶ダイヤモンドバイト21がフィルム状ワーク40に直線状の凹溝41を形成するように、回転主軸30に対するワーク用テーブル61の相対位置が当該凹溝41の延びる方向に移動されていく。
The rotation of the
以上のような本実施の形態の加工方法によれば、「バリ」生成の問題を生じることなく、フィルム状ワーク40に極めて高精度な凹溝41を実現することができた。具体的には、先端が45度である三角形タイプの単結晶ダイヤモンドバイト21を用いたため、断面が三角形のV字溝を高精度に実現することができた。特に水平方向に対して45度である凹溝21の斜面は、水平方向の光を鉛直方向に反射させる反射面(鏡面)として機能できるため、当該フィルム状ワーク40を種々の光学要素部品として展開することができる。例えば、凹溝21の当該面は、VCSEL(面発光レーザ)やVECSEL(外部共振器型垂直面発光レーザ)の反射面として適用可能である。
According to the processing method of the present embodiment as described above, it is possible to realize the
また、ダイヤモンドブレード使用時のようにブレード冷却やワークカス除去のための液体を供給する必要がないため(乾式で運転可能であるため)、運転コストも低く、環境に対してもよい。 Further, since it is not necessary to supply a liquid for cooling the blade and removing the work residue as in the case of using a diamond blade (because it can be operated in a dry manner), the operation cost is low and it is good for the environment.
また、以上のような本実施の形態の加工方法によれば、フライカット用バイト20がフライカット用フランジ10に取り付けられる段階で、その取り付け位置の誤差量が測定されることにより、フライカット用バイト20とフィルム状ダミーワーク70との間のおおよその位置関係(仮相対座標)が実質的に決定される。次いで、当該フィルム状ダミーワーク70に形成された溝の画像が解析されることで、仮相対座標が修正されて、フライカット用バイト20とフィルム状ワーク40との間のより正確な位置関係(相対座標)が決定される。これにより、フライカット用バイト20とフィルム状ワーク40との相対位置を非常に精密に制御することが可能となり、フィルム状ワーク40に極めて高精度の溝を実現し得る。
Further, according to the processing method of the present embodiment as described above, at the stage where the
次に、図11は、本発明の一実施の形態のフライカットによるフィルム状ワークへの鏡面加工方法を説明するための概略図である。本方法でも、図1に示したフライカット用バイト20とフライカット用フランジ10とが用いられるが、本方法では、加工対象がフィルム状ワーク40の上面における溝ではなく、フィルム状ワークの側端面における鏡面である。
Next, FIG. 11 is a schematic view for explaining a mirror surface processing method for a film workpiece by fly cutting according to an embodiment of the present invention. Also in this method, the
本方法でも、前述の各工程に従ってフィルム上ワークの相対座標が決定され、制御部に記憶された後、図11に示すように、フィルム状ワーク40がワーク用テーブル61に載置される一方、フライカット用フランジ10が回転主軸30に固定され、当該回転主軸30が回転されることによって、単結晶ダイヤモンドバイト21の先端が大きく回転軌道を描きながら、1回転ごとにフィルム状ワーク40の加工面を削り飛ばしていく。
Also in this method, the relative coordinates of the workpiece on the film are determined according to the above-described steps and stored in the control unit, and then the
回転主軸30の回転と、当該回転主軸30に対するワーク用テーブル50の相対位置とは、やはり修正された相対座標に基づいて制御部62によって制御されるが、単結晶ダイヤモンドバイト21がフィルム状ワーク40の端面に鏡面43を形成するように、回転主軸30に対するワーク用テーブル61の相対位置が当該端面(鏡面)に平行に移動されていく。
The rotation of the
以上のような本実施の形態の加工方法によれば、「バリ」生成の問題を生じることなく、フィルム状ワーク40に極めて高精度な鏡面43を実現することができた。当該鏡面43は、それに垂直な入射光を極めて低損失で入射させることができるため(出射についても同様)、当該フィルム状ワーク40を種々の光学要素部品として展開することができる。
According to the processing method of the present embodiment as described above, it is possible to realize the
また、ダイヤモンドブレード使用時のようにブレード冷却やワークカス除去のための液体を供給する必要がないため(乾式で運転可能であるため)、運転コストも低く、環境に対してもよい。 Further, since it is not necessary to supply a liquid for cooling the blade and removing the work residue as in the case of using a diamond blade (because it can be operated in a dry manner), the operation cost is low and it is good for the environment.
また、以上のような本実施の形態の加工方法によれば、フライカット用バイト20がフライカット用フランジ10に取り付けられる段階で、その取り付け位置の誤差量が測定されることにより、フライカット用バイト20とフィルム状ダミーワーク70との間のおおよその位置関係(仮相対座標)が実質的に決定される。次いで、当該フィルム状ダミーワーク70に形成された溝の画像が解析されることで、仮相対座標が修正されて、フライカット用バイト20とフィルム状ワーク40との間のより正確な位置関係(相対座標)が決定される。これにより、フライカット用バイト20とフィルム状ワーク40との相対位置を非常に精密に制御することが可能となり、フィルム状ワーク40の側端面に鏡面を実現し得る。
Further, according to the processing method of the present embodiment as described above, at the stage where the
10 フライカット用フランジ
12 取り付け溝
13 ボルト
14 ボルト穴
15 テーパ穴
20 フライカット用バイト
21 単結晶ダイヤモンドバイト
22 金属シャンク
23 通し穴
26 角度調整機構
30 回転主軸
40 フィルム状ワーク
41 凹溝
43 鏡面
50 測定装置
51 台座
52 コラム
53 回転主軸
54 移動ステージ
55 撮像装置
56 同軸落射照明
57 テーパ部
58 突き当て棒
59 繰り出し機構
61 ワーク用テーブル
62 制御部
70 フィルム状ダミーワーク
71 凹溝
75 撮像装置
81 投光部
82 受光部
DESCRIPTION OF
Claims (14)
前記フライカット用ジグを回転主軸に取り付ける工程と、
加工情報と前記取り付け位置の誤差量とに基づいて、前記回転主軸に対するフィルム状ワークの仮相対座標を決定する工程と、
前記回転主軸を回転させると共に、前記仮相対座標に基づいてフィルム状ダミーワークを前記回転主軸に対して相対移動させることによって、当該フィルム状ダミーワークに溝を形成する工程と、
前記フィルム状ダミーワークに形成された前記溝の画像を取得する工程と、
前記画像に基づいて、加工結果の誤差量を解析する工程と、
前記加工結果の誤差量が小さくなるように前記仮相対座標を修正してフィルム状ワークの相対座標を決定する工程と、
前記回転主軸を回転させると共に、前記相対座標に基づいてフィルム状ワークを前記回転主軸に対して相対移動させることによって、当該フライカット用バイトが当該フィルム状ワークの側端面に鏡面を形成するように、当該回転主軸に対する当該フィルム状ワークの相対位置が当該鏡面に平行に移動されていく工程と、
を備えたことを特徴とするフライカットによるフィルム状ワークの鏡面加工方法。 Attaching the fly-cutting tool to the fly-cutting jig, and measuring an error amount of the mounting position of the fly-cutting tool;
Attaching the fly-cut jig to the rotary spindle;
Determining temporary relative coordinates of the film-like workpiece with respect to the rotation spindle, based on processing information and an error amount of the attachment position;
A step of forming a groove in the film-like dummy work by rotating the rotation spindle and moving the film-like dummy work relative to the rotation spindle based on the temporary relative coordinates;
Obtaining an image of the groove formed in the film-like dummy work;
Analyzing the error amount of the processing result based on the image;
A step of determining the relative coordinates of the film workpiece by correcting the temporary relative coordinates so as to reduce the error amount of the processing result;
The fly cutting tool forms a mirror surface on the side end surface of the film workpiece by rotating the rotation spindle and moving the film workpiece relative to the rotation spindle based on the relative coordinates. The relative position of the film workpiece relative to the rotation spindle is moved parallel to the mirror surface;
A method of mirror-finishing a film workpiece by fly-cut, characterized by comprising:
前記画像上の前記溝の幅と前記フライカット用バイトの刃先角度とに基づいて、加工結果の深さ方向の誤差量が解析されるようになっている
ことを特徴とする請求項1に記載のフライカットによるフィルム状ワークの鏡面加工方法。 In the step of analyzing the error amount of the processing result based on the image,
The error amount in the depth direction of the machining result is analyzed based on the width of the groove on the image and the blade edge angle of the fly cutting tool. Method for mirror finishing of film workpiece by fly cutting.
ことを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載のフライカットによるフィルム状ワークの鏡面加工方法。 The said film-form workpiece | work has metal foil or a metal film, The mirror surface processing method of the film-form workpiece | work by the fly cut in any one of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned.
ことを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載のフライカットによるフィルム状ワークの鏡面加工方法。 The said film-form workpiece | work has resin, The mirror surface processing method of the film-form workpiece | work by the fly cut in any one of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned.
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のフライカットによるフィルム状ワークの鏡面加工方法。 5. The method of mirror-finishing a film-like workpiece by fly cutting according to claim 1, wherein the fly cutting tool comprises a single crystal diamond tool.
を更に備えたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のフライカットによるフィルム状ワークの鏡面加工方法。 The method of mirror-finishing a film workpiece by fly-cutting according to any one of claims 1 to 5, further comprising a step of supplying air to the processing region.
を更に備えたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のフライカットによるフィルム状ワークの鏡面加工方法。 The method of mirror-finishing a film-like workpiece by fly-cutting according to any one of claims 1 to 6, further comprising a step of sucking air in the processing region.
前記フライカット用ジグを回転主軸に取り付ける工程と、
加工情報と前記取り付け位置の誤差量とに基づいて、前記回転主軸に対するフィルム状ワークの仮相対座標を決定する工程と、
前記回転主軸を回転させると共に、前記仮相対座標に基づいてフィルム状ダミーワークを前記回転主軸に対して相対移動させることによって、当該フィルム状ダミーワークに溝を形成する工程と、
前記フィルム状ダミーワークに形成された前記溝の画像を取得する工程と、
前記画像に基づいて、加工結果の誤差量を解析する工程と、
前記加工結果の誤差量が小さくなるように前記仮相対座標を修正してフィルム状ワークの相対座標を決定する工程と、
前記回転主軸を回転させると共に、前記相対座標に基づいてフィルム状ワークを前記回転主軸に対して相対移動させることによって、当該フライカット用バイトが当該フィルム状ワークに直線上の凹溝を形成するように、当該回転主軸に対する当該フィルム状ワークの相対位置が当該凹溝の延びる方向に移動されていく工程と、
を備えたことを特徴とするフライカットによるフィルム状ワークの溝加工方法。 Attaching the fly-cutting tool to the fly-cutting jig, and measuring an error amount of the mounting position of the fly-cutting tool;
Attaching the fly-cut jig to the rotary spindle;
Determining temporary relative coordinates of the film-like workpiece with respect to the rotation spindle, based on processing information and an error amount of the attachment position;
A step of forming a groove in the film-like dummy work by rotating the rotation spindle and moving the film-like dummy work relative to the rotation spindle based on the temporary relative coordinates;
Obtaining an image of the groove formed in the film-like dummy work;
Analyzing the error amount of the processing result based on the image;
A step of determining the relative coordinates of the film workpiece by correcting the temporary relative coordinates so as to reduce the error amount of the processing result;
The fly cutting tool forms a linear groove on the film workpiece by rotating the rotation spindle and moving the film workpiece relative to the rotation spindle based on the relative coordinates. And the step of moving the relative position of the film workpiece relative to the rotation spindle in the direction in which the concave groove extends,
A method for grooving a film-like workpiece by fly-cut, characterized by comprising:
前記画像上の前記溝の幅と前記フライカット用バイトの刃先角度とに基づいて、加工結果の深さ方向の誤差量が解析されるようになっている
ことを特徴とする請求項8に記載のフライカットによるフィルム状ワークの溝加工方法。 In the step of analyzing the error amount of the processing result based on the image,
The error amount in the depth direction of the machining result is analyzed based on the width of the groove on the image and the blade edge angle of the fly cutting tool. Method for grooving film-like workpiece by fly cutting.
ことを特徴とする請求項8又は9のいずれかに記載のフライカットによるフィルム状ワークの溝加工方法。 The method for grooving a film-like workpiece by fly-cut according to claim 8, wherein the film-like workpiece has a metal foil or a metal film.
ことを特徴とする請求項8又は9のいずれかに記載のフライカットによるフィルム状ワークの溝加工方法。 The said film-like workpiece | work has resin, The groove processing method of the film-like workpiece | work by the fly cut in any one of Claim 8 or 9 characterized by the above-mentioned.
ことを特徴とする請求項8乃至11のいずれかに記載のフライカットによるフィルム状ワークの溝加工方法。 The groove cutting method for a film-like workpiece by fly cutting according to any one of claims 8 to 11, wherein the fly cutting bit has a single crystal diamond bit.
を更に備えたことを特徴とする請求項8乃至12のいずれかに記載のフライカットによるフィルム状ワークの溝加工方法。 The method for grooving a film workpiece by fly-cut according to any one of claims 8 to 12, further comprising a step of supplying air to the processing region.
を更に備えたことを特徴とする請求項8乃至13のいずれかに記載のフライカットによるフィルム状ワークの溝加工方法。 14. The method for grooving a film-like workpiece by fly-cut according to claim 8, further comprising a step of sucking air in the processing area.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012147566A JP5980593B2 (en) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | Mirror surface processing method and groove processing method of film workpiece by fly cut |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012147566A JP5980593B2 (en) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | Mirror surface processing method and groove processing method of film workpiece by fly cut |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014010687A true JP2014010687A (en) | 2014-01-20 |
JP5980593B2 JP5980593B2 (en) | 2016-08-31 |
Family
ID=50107327
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012147566A Active JP5980593B2 (en) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | Mirror surface processing method and groove processing method of film workpiece by fly cut |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5980593B2 (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108732998A (en) * | 2017-04-17 | 2018-11-02 | 发那科株式会社 | The control system of lathe |
US10481590B2 (en) | 2017-03-27 | 2019-11-19 | Fanuc Corporation | Control system of machine tool |
CN110733141A (en) * | 2019-11-13 | 2020-01-31 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | miniature ultra-precise single-point diamond fly-cutting machine tool |
US10585418B2 (en) | 2017-04-20 | 2020-03-10 | Fanuc Corporation | Control system of machine tool |
US10725450B2 (en) | 2017-03-14 | 2020-07-28 | Fanuc Corporation | Control system of machine tool |
CN113579262A (en) * | 2021-07-30 | 2021-11-02 | 深圳大学 | Fly cutter cutting assembly |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06262419A (en) * | 1993-03-12 | 1994-09-20 | Brother Ind Ltd | Working device for holding tool for stuff to be sewn in automatic sewing equipment |
JPH0724543U (en) * | 1993-09-30 | 1995-05-09 | 安藤電気株式会社 | Printed board outline processing machine |
JPH10138100A (en) * | 1996-11-11 | 1998-05-26 | Mori Seiki Co Ltd | Tool position measuring method in nc machine tool, and medium in which program for same method is recorded |
JP2001259966A (en) * | 2000-03-15 | 2001-09-25 | Toyoda Mach Works Ltd | Method and device for correction of tool position |
JP2002066824A (en) * | 2000-08-31 | 2002-03-05 | Canon Inc | Cutting method and apparatus |
JP2002346803A (en) * | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Ricoh Co Ltd | Groove processing method, grooved goods, and, optical parts or presision parts |
JP2003011014A (en) * | 2001-07-02 | 2003-01-15 | Ricoh Co Ltd | Cutter head, curved face machining method, v-groove machining method, optical part and mold for optical part |
JP2003089001A (en) * | 2001-09-17 | 2003-03-25 | Ricoh Co Ltd | Method and device for processing array shape, component for molding array element, and array element |
JP2004163914A (en) * | 2002-10-22 | 2004-06-10 | Matsushita Electric Works Ltd | Manufacturing method of optical circuit board |
JP2007268653A (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Konica Minolta Opto Inc | Cutting device and method, method of calculating radius of rotation of cutting blade and manufacturing method of cut work |
JP2011206899A (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Institute Of Physical & Chemical Research | Machining device and method for driving the same |
-
2012
- 2012-06-29 JP JP2012147566A patent/JP5980593B2/en active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06262419A (en) * | 1993-03-12 | 1994-09-20 | Brother Ind Ltd | Working device for holding tool for stuff to be sewn in automatic sewing equipment |
JPH0724543U (en) * | 1993-09-30 | 1995-05-09 | 安藤電気株式会社 | Printed board outline processing machine |
JPH10138100A (en) * | 1996-11-11 | 1998-05-26 | Mori Seiki Co Ltd | Tool position measuring method in nc machine tool, and medium in which program for same method is recorded |
JP2001259966A (en) * | 2000-03-15 | 2001-09-25 | Toyoda Mach Works Ltd | Method and device for correction of tool position |
JP2002066824A (en) * | 2000-08-31 | 2002-03-05 | Canon Inc | Cutting method and apparatus |
JP2002346803A (en) * | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Ricoh Co Ltd | Groove processing method, grooved goods, and, optical parts or presision parts |
JP2003011014A (en) * | 2001-07-02 | 2003-01-15 | Ricoh Co Ltd | Cutter head, curved face machining method, v-groove machining method, optical part and mold for optical part |
JP2003089001A (en) * | 2001-09-17 | 2003-03-25 | Ricoh Co Ltd | Method and device for processing array shape, component for molding array element, and array element |
JP2004163914A (en) * | 2002-10-22 | 2004-06-10 | Matsushita Electric Works Ltd | Manufacturing method of optical circuit board |
JP2007268653A (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Konica Minolta Opto Inc | Cutting device and method, method of calculating radius of rotation of cutting blade and manufacturing method of cut work |
JP2011206899A (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Institute Of Physical & Chemical Research | Machining device and method for driving the same |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10725450B2 (en) | 2017-03-14 | 2020-07-28 | Fanuc Corporation | Control system of machine tool |
US10481590B2 (en) | 2017-03-27 | 2019-11-19 | Fanuc Corporation | Control system of machine tool |
CN108732998A (en) * | 2017-04-17 | 2018-11-02 | 发那科株式会社 | The control system of lathe |
JP2018181050A (en) * | 2017-04-17 | 2018-11-15 | ファナック株式会社 | Control system for machine tool |
US10564621B2 (en) | 2017-04-17 | 2020-02-18 | Fanuc Corporation | Failure detection and correction control system of machine tool using chronological control data |
US10585418B2 (en) | 2017-04-20 | 2020-03-10 | Fanuc Corporation | Control system of machine tool |
CN110733141A (en) * | 2019-11-13 | 2020-01-31 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | miniature ultra-precise single-point diamond fly-cutting machine tool |
CN113579262A (en) * | 2021-07-30 | 2021-11-02 | 深圳大学 | Fly cutter cutting assembly |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5980593B2 (en) | 2016-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5980593B2 (en) | Mirror surface processing method and groove processing method of film workpiece by fly cut | |
KR20190028339A (en) | Method and apparatus for gear skiving | |
TWI663014B (en) | Device for grooving wafers | |
KR20150048627A (en) | Machining apparatus | |
US20140103019A1 (en) | Methods for scanning tubes on laser cutting machines | |
JP6215730B2 (en) | Wafer center detection method in processing equipment | |
JP5905320B2 (en) | Grooving method and mirror surface processing method for film workpiece by fly cut | |
JP5490498B2 (en) | Cutting apparatus and cutting method | |
JP2013151002A (en) | Method and device of detecting spot shape of laser beam | |
JP6229883B2 (en) | Dicing apparatus and cutting method thereof | |
JP4857861B2 (en) | Cutting device and method thereof, method of calculating cutting radius of cutting blade, and method of manufacturing cut product | |
JP2003039282A (en) | Free-form surface working device and free-form surface working method | |
JP5389604B2 (en) | Method for managing consumption of cutting blade in cutting apparatus | |
JP2011104667A (en) | Method for controlling consumption amount of cutting blade in cutting device | |
KR102440569B1 (en) | Laser processing device | |
JP2009196003A (en) | Method of interpolating tool length of micromachine or micro milling machine | |
JP4519449B2 (en) | Shape measuring instruments | |
JP2021166258A (en) | Workpiece processing method | |
JP5950674B2 (en) | Optical axis checking jig | |
JP2010012562A (en) | Micro machine and micro milling machine | |
JP2007054930A (en) | Positioning method and device for tool | |
JP2021002605A (en) | Cutting method of workpiece | |
JP7471059B2 (en) | Processing device and processing method | |
US11754390B2 (en) | Method, system, and apparatus for optical measurement | |
KR102659151B1 (en) | Stylus and measurement method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150309 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151222 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160329 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160526 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160701 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160727 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5980593 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |