JP2013541012A - 光音響センサー - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (24)
- 入力光線を変調し、試料領域に向けられた変調光を生成するように構成された光変調器と、
前記試料領域の周りに配設され、それぞれが前記試料領域から実質的に等距離のところにある音響センサーのアレイであって、音響センサーのそれぞれが前記試料領域内で検出された音響エネルギーに応じて信号を発生するように適合されている、音響センサーのアレイと、
前記音響センサーに結合され、前記音響センサーによって生成された前記信号に基づき前記試料領域内に存在する1つまたは複数の種類のガスを検出するように構成されたコントローラとを備える光音響センサー。 - 音響センサーの前記アレイは、前記試料領域の周りにリング状に配置構成される請求項1に記載の光音響センサー。
- 前記コントローラは、前記光変調器に結合され、前記入力光線の変調を制御するように適合される請求項1に記載の光音響センサー。
- 前記光変調器は、前記入力光線をいくつかの波長成分に分離するように構成され、前記波長成分を不均一に変調するように構成された分散素子を備える請求項1に記載の光音響センサー。
- 前記光変調器は、前記入力光線をいくつかの波長成分に分離するように構成され、前記波長成分を不均一に変調するように構成された格子を備える請求項1に記載の光音響センサー。
- 前記光変調器は、前記入力光線を変調するように適合されたMEMS反射鏡アレイを備える請求項1に記載の光音響センサー。
- 前記光変調器は、前記入力光線の第1の波長成分を変調するように適合された第1のMEMS反射鏡アレイと、前記入力光線の同じ波長成分を変調するように適合された第2のMEMS反射鏡アレイとを備える請求項1に記載の光音響センサー。
- 前記光変調器は、1つまたは複数の狭帯域光源と、前記1つまたは複数の狭帯域光源からの狭帯域光を変調して前記試料領域へ導かれる変調光を生成するためのMEMS反射鏡アレイとを備える請求項1に記載の光音響センサー。
- 前記光変調器は、前記試料領域へ導かれる前記変調光を生成する、変調された狭帯域光源のアレイを備える請求項1に記載の光音響センサー。
- 試料中の1つまたは複数の種類のガスを検出する方法であって、
入力光線を変調して変調光を生成することと、
前記変調光を前記試料を含む領域内に導くことと、
前記領域の周りに前記領域から実質的に等距離のところに配設されている複数の音響センサーから音響信号を収集することと、
前記収集された音響信号を評価して前記試料中に存在する1つまたは複数の種類のガスを検出することとを含み、前記音響信号は、前記変調光と前記領域内に配置されている前記1つまたは複数の種類のガスの少なくとも一部との相互作用の結果生じる方法。 - 前記音響信号をデジタル信号化することをさらに含み、前記試料中で検出される前記1つまたは複数の種類のガスは、前記デジタル信号化された音響信号を評価することによって検出される請求項10に記載の方法。
- 前記入力光線を変調することは、
前記入力光線をいくつかの波長成分に分離することと、
前記波長成分のそれぞれを不均一に変調して前記変調光を生成することとを含む請求項10に記載の方法。 - 前記入力光線を変調することは、検出される前記1つまたは複数の種類のガスの波長吸収スペクトルに従って前記入力光線を変調することを含む請求項10に記載の方法。
- 前記入力光線を変調することは、第1の決定論的変調信号を使用して前記入力光線の第1の波長成分を変調することと、第2の決定論的変調信号を使用して前記入力光線の第2の波長成分を変調することとを含み、前記第1の決定論的変調信号および前記第2の決定論的変調信号は、互いに無相関である請求項10に記載の方法。
- 変調した後、前記変調光が前記領域に達する前に、前記変調光をコリメートすることをさらに含む請求項10に記載の方法。
- 前記変調光の第1の波長成分は、前記領域内へ導かれ、前記変調光の第2の波長成分は、前記領域内へ導かれない請求項10に記載の方法。
- 変調すること、導くこと、収集すること、および/または検出することのうちの1つまたは複数は、光音響センサーによって実行される請求項10に記載の方法。
- 前記入力光線は、1つまたは複数の狭帯域光源から生成され、MEMS反射鏡アレイにより変調される請求項10に記載の方法。
- 前記変調光は、変調された狭帯域光源のアレイによって生成される請求項10に記載の方法。
- 光音響センサーであって、前記光音響センサーの試料領域内に配置されている試料から1つまたは複数の種類のガスを検出するように適合されており、
入力光線をいくつかの波長成分に分離するように構成された格子と、
前記波長成分を変調して、前記試料領域に対する変調光成分を生成するように構成されたMEMS反射鏡アレイと、
前記変調光成分が通過する試料領域の近くに配設され、前記試料領域内で検出された音響信号に応じて電気信号を発生するように適合された音響センサーと、
前記音響センサーに結合され、前記音響センサーによって生成された前記電気信号に基づき前記試料領域内に存在する前記1つまたは複数の種類のガスの少なくとも一部を検出するように構成されたコントローラとを備える光音響センサー。 - 前記MEMS反射鏡アレイは第1のMEMS反射鏡アレイと第2のMEMS反射鏡アレイとを備え、前記第1のMEMS反射鏡アレイは、前記波長成分の第1の一組を変調するように構成され、前記第2のMEMS反射鏡アレイは、前記波長成分の第2の一組を変調するように構成される請求項20に記載の光音響センサー。
- 前記コントローラは、固有の無相関の決定論的変調信号を前記MEMS反射鏡アレイに送り、前記波長成分のそれぞれを変調するように適合され、前記コントローラは、デジタル信号化された、前記音響センサーによって生成された前記信号を処理することによってガスを検出するように構成される請求項20に記載の光音響センサー。
- 前記固有の変調信号は最長系列ベースの変調信号を含む請求項20に記載の光音響センサー。
- 前記入力光線は、広帯域可視光源、IR光源、およびUV光源のうちの1つから生成される請求項20に記載の光音響センサー。
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