JP2013533454A - 多冷却器高速クライオポンプ - Google Patents
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 62
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 39
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 39
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 57
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims description 6
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 21
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 15
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 9
- 238000013461 design Methods 0.000 description 7
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 4
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 3
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 3
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 3
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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- B01D8/00—Cold traps; Cold baffles
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B7/00—Compression machines, plants or systems, with cascade operation, i.e. with two or more circuits, the heat from the condenser of one circuit being absorbed by the evaporator of the next circuit
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
- F25B9/10—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point with several cooling stages
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25D—REFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F25D19/00—Arrangement or mounting of refrigeration units with respect to devices or objects to be refrigerated, e.g. infrared detectors
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- Thermal Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
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Abstract
【解決手段】冷却システムには、第一の温度で第一の冷却負荷を有する第一の冷却器と、第二の温度で第二の冷却負荷を有する第二の冷却器とが含まれる。また、それら二つの冷却器の間に熱的結合部材が含まれていて、熱負荷、例えば、冷却負荷をそれらの冷却器で共有するために、熱的結合部材は、第一の温度と第二の温度の差を維持するように制限される。
【選択図】図2
Description
本発明は、クライオポンプ用の冷却源として用いられる閉ループ極低温システムのような冷却システムの動作パラメーターの改良に関する。そのような閉ループ冷却器およびクライオポンプは、W・ギフォードらによる米国特許第2,966,035号およびW・ホーガンらによる米国特許第3,338,063号に記載されている。入手可能な閉ループ極低温冷却器に基づくクライオポンプは、典型的には、サイズが制限されていて、入口の直径が約0.3mである。ポンプの排気速度への要請が増して、クライオポンプの入口の直径を大きくすることが必要となり、したがって急速にクライオアレイ(cryoarray )の総表面積が増えている。クライオアレイの面積が増えることで、熱負荷が高くなる。ある時点で、極低温冷却器の限度に達し、冷却を追加しなければ、ポンプのサイズをさらに増すことができなくなる。一つのアプローチは、ポンプの放射シールドを通常の動作温度に維持できる冷却器を追加して用いることである。多数の冷却器を備えるクライオポンプは、A・J・バートレットによる米国特許第4,966,016号に記述されており、それは全体を援用することによってここに組み入れられる。冷却器を二つ有するクライオポンプの一例は、COOLVAC18.000CL(レイボルドバキューム、全品カタログ2005、C12章26−27頁)である。入手可能な冷却を最小のコストで最適に用いることは、多数の制約があって、達成することの困難な設計目標であるが、それらの制約に含まれるのは、第一の段のアレイの最高温度対システム全体の重量、排気速度対第二の段の熱負荷、動作の能力対安定性および設計の製造可能性対アレイセットの剛性(rigidity)である。真空処理と実験的な真空装置には、信頼性が高くて長寿命の極低温真空ポンプが必要である。これらの用途には、簡素で経済的な設計思想を用いることが好ましい。
Claims (20)
- 第一の温度で第一の冷却負荷を有する第一の冷却器と、
第二の温度で第二の冷却負荷を有する第二の冷却器と、
前記第一および第二の冷却器で冷却負荷を共有するための冷却器の間の熱的結合部材であって、前記第一の温度と前記第二の温度の差を維持するように制限された熱的結合部材とを備える冷却システム。 - 少なくとも第一および第二の段を有する第一の冷却器と、
第二の冷却器と、
前記第一の冷却器の第一の段と前記第二の冷却器の冷端との間の熱的結合部材であって、前記第二の冷却器の冷端と前記第一の冷却器の第一の段との温度差を維持するように制限された熱的結合部材と、
前記第二の冷却器の冷端と熱接触している放射シールドと、
その放射シールドに距離をおいて取り囲まれ、前記第一の冷却器の第二の段と熱接触している凝縮面とを備えるクライオポンプ。 - 前記第一の冷却器が、少なくとも第一および第二の段を有し、前記第一の段が前記熱的結合部材と熱接触している請求項1に記載の冷却システム。
- 前記第一の冷却器の第二の段が、クライオポンプの凝縮面と熱接触している請求項3に記載の冷却システム。
- 前記第二の冷却負荷が、クライオポンプの放射シールドを有する請求項1、3および4のいずれか一項に記載の冷却システム。
- 前記第一の冷却器が、閉サイクル二段冷却器である請求項1から5のいずれか一項に記載の冷却システムまたはクライオポンプ。
- 前記第二の冷却器が、閉サイクル一段冷却器である請求項1から6のいずれか一項に記載の冷却システムまたはクライオポンプ。
- 前記制限された熱的結合部材が、前記第一および第二の冷却器の冷却負荷のバランスを取る請求項1から7のいずれか一項に記載の冷却システムまたはクライオポンプ。
- 前記熱的結合部材が前記放射シールドのベースプレートに形成され、そのベースプレートの周辺の温度が実質的に均一に維持されるように、前記ベースプレートの断面積が変化している請求項2に記載のクライオポンプ。
- 前記ベースプレートの厚さが実質的に均一である請求項9に記載のクライオポンプ。
- 前記ベースプレートが、外リングおよび内リングを含み、それらのリングが、ブリッジによって接続されて前記ベースプレートを通る開口を定め、前記外リングが、前記第二の冷却器の冷端と直接に熱接触し、前記内リングが、前記第一の冷却器の第一の段と直接に熱接触し、前記ブリッジが、前記第一および第二の冷却器の間の制限された熱的結合部材を形成する請求項9または10に記載のクライオポンプ。
- 前記ベースプレートの開口がカバーによって覆われ、そのカバーが、前記ベースプレートの外リングと熱接触しているが、前記内リングおよびブリッジとは絶縁されている請求項11に記載のクライオポンプ。
- 前記ブリッジが、前記第一の冷却器において、前記第二の冷却器とは反対側に位置している請求項11または12に記載のクライオポンプ。
- 前記放射シールドにおける開口を実質的に横切って延びる正面クライオパネルであって、その正面クライオパネルと前記第一の冷却器の第一の段との間に前記第二の段が位置する正面クライオパネルと、
前記正面クライオパネルから前記第二の冷却器の冷端への高伝導熱流路であって、前記放射シールドから独立している高伝導熱流路とをさらに備える請求項2および6から13のいずれか一項に記載のクライオポンプ。 - 前記高伝導熱流路が、少なくとも一つの熱伝導棒によって提供される請求項14に記載のクライオポンプ。
- 前記高伝導熱流路が、前記凝縮面の周りに同心円状に配列されるが前記凝縮面と熱接触していない熱伝導棒のアレイによって提供される請求項14に記載のクライオポンプ。
- 前記熱伝導棒の直径が等しい請求項15または16に記載のクライオポンプ。
- 前記熱的結合部材が前記放射シールドのベースプレートに形成され、前記ベースプレートが前記熱伝導棒と直接に熱接触している請求項15から17のいずれか一項に記載のクライオポンプ。
- クライオポンプでクライオポンプ動作する方法であって、
少なくとも第一および第二の段を有する第一の冷却器で前記クライオポンプの凝縮面を冷却し、前記第一の段が第一の温度で作動するステップと、
第二の温度で作動する第二の冷却器で前記クライオポンプの放射シールドを冷却するステップと、
前記第一および第二の冷却器の間の制限された熱的結合部材で、前記第一の温度と前記第二の温度の差を維持するステップとを備える方法。 - 第一および第二の冷却器を有するクライオポンプのためのクライオポンプシールドであって、
開放端および閉塞端を有する側壁を含む放射シールドと、
その放射シールドの閉塞端に結合されるベースプレートであって、外部分および内部分を含み、それらの部分が、ブリッジによって接続されて前記ベースプレートを通る開口を定め、前記内部分が、前記第一の冷却器と直接に熱接触し、前記外部分が、前記第二の冷却器と直接に熱接触し、前記ブリッジが、前記第一および第二の冷却器の間の制限された熱的結合部材を形成するベースプレートとを備えるクライオポンプシールド。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US36913310P | 2010-07-30 | 2010-07-30 | |
US61/369,133 | 2010-07-30 | ||
PCT/US2011/045977 WO2012016192A2 (en) | 2010-07-30 | 2011-07-29 | Multi-refrigerator high speed cryopump |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013533454A true JP2013533454A (ja) | 2013-08-22 |
JP2013533454A5 JP2013533454A5 (ja) | 2014-08-28 |
JP5907965B2 JP5907965B2 (ja) | 2016-04-26 |
Family
ID=44630401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013522007A Active JP5907965B2 (ja) | 2010-07-30 | 2011-07-29 | 多冷却器高速クライオポンプ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9687753B2 (ja) |
EP (1) | EP2598814A2 (ja) |
JP (1) | JP5907965B2 (ja) |
WO (1) | WO2012016192A2 (ja) |
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EP2598814A2 (en) | 2010-07-30 | 2013-06-05 | Brooks Automation, Inc. | Multi-refrigerator high speed cryopump |
JP6659930B2 (ja) | 2014-03-21 | 2020-03-04 | エドワーズ バキューム リミテッド ライアビリティ カンパニー | クライオポンプ・ハイブリッド前面アレイ |
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- 2011-07-29 JP JP2013522007A patent/JP5907965B2/ja active Active
- 2011-07-29 WO PCT/US2011/045977 patent/WO2012016192A2/en active Application Filing
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US20170306939A1 (en) | 2017-10-26 |
US20130205805A1 (en) | 2013-08-15 |
US10632399B2 (en) | 2020-04-28 |
JP5907965B2 (ja) | 2016-04-26 |
WO2012016192A2 (en) | 2012-02-02 |
US9687753B2 (en) | 2017-06-27 |
WO2012016192A3 (en) | 2012-07-05 |
EP2598814A2 (en) | 2013-06-05 |
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