JP2013533104A5 - - Google Patents

Claims (17)

1. 装置の被加工物支持面の形状を必要な形状へと近付ける方法であって、
   表面の形状の測定値を取得するステップと、
   表面の形状を必要な形状へと近付けるためのシム層の厚さを、前記測定値に基づいて決定するステップと、
   シム層を表面へと適用するステップと
   を含み、
   シム層が、印刷ヘッドからシム層を印刷することによってもたらされる、方法。
2. 前記シム層を表面へと直接印刷するステップを含む、請求項１に記載の方法。
3. 前記シム層が、少なくとも１つのインク層を含む、請求項１または２に記載の方法。
4. 前記シム層が、間隔を空けて位置した複数の部分を含む不連続な層を含む、請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
5. 前記間隔を空けて位置した部分が、複数のスペーサを含み、前記スペーサが格子パターンにて印刷されている、請求項４に記載の方法。
6. 上乗せ層を用意するステップと、前記上乗せ層を表面上に配置して作業面をもたらすステップと、前記シム層を前記上乗せ層へと印刷するステップとを含む、請求項１〜５のいずれかに記載の方法。
7. 前記シム層が、前記表面と前記上乗せ層との間に設けられる、請求項６に記載の方法。
8. 前記必要な形状が、平坦な表面であり、前記シム層の厚さが、前記測定された形状におけるばらつきを軽減するように決定される、請求項１〜７のいずれかに記載の方法。
9. 前記表面の形状の測定値が、表面と基準点との間の複数の位置における距離を含み、
   前記基準点が、表面の上方に取り付けられたセンサまたは作業ヘッドの前記複数の位置の各々における場所を含む、請求項１〜８のいずれかに記載の方法。
10. 作業ヘッドまたはセンサが、表面に実質的に平行な平面内で表面の上方を移動するように取り付けられ、
    前記作業ヘッドが、印刷ヘッドである、請求項９に記載の方法。
11. 前記必要な形状が、基準点と表面との間の距離が前記位置の各々において実質的に等しい形状である、請求項９または１０に記載の方法。
12. 前記作業ヘッドが、被加工物へとコーティングを塗布するための装置であり、
    測定の工程が、装置によって塗布されたコーティングの厚さの測定を含み、
    前記作業ヘッドが、スリットコータである、
    請求項１〜１１のいずれかに記載の方法。
13. 被加工物の厚さを測定するステップを含み、
    前記距離が、作業ヘッドの焦点距離から被加工物の厚さを引いたものに相当し、
    前記作業ヘッドが、被加工物を検査するための装置、集束レーザ、または撮像装置である、請求項９に記載の方法。
14. 作業ヘッドと、被加工物支持面とを有しており、
    印刷によってシム層が前記支持面に形成され、前記シム層が表面の形状を基準の形状へと近付けるように構成された厚さを有するようにする、装置。
15. 前記基準の形状が、実質的に平坦な表面であるか、または前記支持面と前記作業ヘッドとの間のすき間が実質的に一定であるような形状である、請求項１４に記載の装置。
16. コーティングを基板へと付着させるための請求項１４に記載の装置であって、
    前記作業ヘッドは、前記支持面の上方に取り付けられ表面の上方を移動してコーティングを適用するように構成されたコーティングヘッドを有しており、
    前記シム層が、実質的に一定のコーティング厚さを維持するように、コーティングヘッドと基板との間のすき間のばらつきを軽減するように構成された厚さを有する、装置。
17. 基板の画像をもたらすための請求項１４に記載の装置であって、基板のための支持面と、基板を走査すべく支持面の上方に取り付けられた撮像装置と
    を備えており、印刷によるシム層が、撮像装置の一定の焦点距離を維持するように基板と撮像装置との間のすき間のばらつきを軽減するように支持面と基板との間に設けられる、装置。