JP2013524012A5 - - Google Patents
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Description
一部の実施形態では、接地カラー１４１は、給送構造体１１０の本体１１２と下側部分との周りに配置することができる。接地カラー１４１は、接地シールド１４０に結合され、かつ接地シールド１４０の一体部分又は接地シールドに結合された独立部分とすることができ、給送構造体１１０の接地を提供する。接地カラー１４１は、アルミニウム又は銅のような適切な導電材料で製造することができる。一部の実施形態では、接地カラー１４１の内径と給送構造体１１０の本体１１２の外径の間に配置された間隙は、できるだけ小さく、かつ電気的分離を提供するのに過不足のないように保つことができる。間隙は、プラスチック又はセラミックのような絶縁材料で満たすことができ又は空隙とすることができる。接地カラー１４１は、ＲＦ給送部（例えば、以下で説明する電気給送部２０５）と本体１１２の間のクロストークを防止し、それによってプラズマ及び処理の均一性を改善する。
一部の実施形態では、端子は、連続的ではなく、２つ又はそれよりも多くの個別のポイントで給送構造体１１０の本体１１２に結合することができる。例えば、図４Ｃに示すように、スロット４１４は、有利な態様においては、片持ちアーム４０２、４０４の各々と本体１１２の間に提供することができ、端子２０１、２０３に印加されたエネルギが接触領域４１６に誘導される。スロット４１４は、スロット４１４を横断する端子から本体への導電経路がないように（例えば、エネルギはスロット４１４の周囲を移動すべきであるように）、本体１１２の外側壁４１２の半径方向外側に少なくとも部分的に形成される。例えば、各端子（ＲＦエネルギに対して一方又は両方、かつＤＣエネルギに対して一方又は両方）に結合されたエネルギは、有利な態様においては、端子位置から例えば９０度離れて伝播するようにスロットによって強制され、１つのみのＲＦサプライ及びＤＣサプライが給送構造体１１０に結合される時であっても対称的な給送がそのように提供される。スロット４１４は、スロットの相対する側の間のクロストークを防止又は最小にするのに適切なあらゆる幅を有することができる。例えば、一部の実施形態では、スロット４１４は、約１／８から約２インチの幅を有することができ、又は一部の実施形態では、約１／２インチよりも大きい幅を有することができる。一部の実施形態では、スロット４１４は、約４５から約９０度の円弧長を有することができる。
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