JP2013502063A - マスクの大きさを一定に維持するための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (27)
- 基板(10)、特にウエハーのシャドウキャスティングリソグラフィ等のリソグラフィ中にマスク面においてマスク(6)の大きさを一定に維持するための方法であって、
露光段階中に露光源(1)により前記マスク(6)を露光するステップ(a)と、
非露光段階中に前記マスク(6)を露光しないステップ(b)と、
前記ステップ(a)及び前記ステップ(b)において、前記マスク(6)の温度及び/又は大きさを測定するステップ(c)と、
前記マスクの温度を一定に維持するために前記マスク(6)を前記ステップ(b)において加熱し、且つ/又は、前記ステップ(a)において冷却するステップ(d1)と、前記マスクの大きさを一定に維持するために前記マスク(6)を前記ステップ(a)及び/又は前記ステップ(b)において収縮又は拡張するステップ(d2)とのうち少なくとも一方のステップ(d)と、を有する方法。 - 基板支持体(11)に前記マスク(6)を直接接触させることによって、又は、シャドウキャスティング露光の場合に前記基板支持体(11)上の前記基板(10)に対して前記マスク(6)を接触させるか又は短い距離だけ離間して配置することによって、前記マスク(6)を冷却または加熱する、請求項1に記載の方法。
- 前記マスク(6)の冷却及び/又は加熱に、空気冷却器(17)及び/又は空気加熱器(17)を更に用いる、請求項1または2に記載の方法。
- 前記マスクの大きさを一定に維持するように更にマスクホルダの温度を制御する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 熱膨張性が小さなマスク材料を使用する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 接触加熱、略接触加熱、媒体加熱、誘導加熱、超音波加熱または放射熱による加熱器(5)により前記マスクの温度を一定に維持する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記マスク(6)上への前記放射加熱器(5)の放射が、前記基板(10)に向かう方向である、請求項6に記載の方法。
- 前記マスク(6)を通って伝わる前記放射加熱器(5)の放射を、前記マスク(6)と前記基板(10)との間のシャッター(12)により遮る、請求項7に記載の方法。
- 前記放射加熱器(5)の放射を、前記マスク(6)で完全に吸収する、請求項7に記載の方法。
- 前記マスクに取り付けられる熱導体により前記マスク(6)を加熱する、請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法。
- 熱導体を備えたガラスプレートを通して前記マスク(6)を加熱する、請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法。
- 前記マスク(6)の各部を、熱導体で形成された複数の分離したヒータ回路により異ならせて加熱する、請求項10または11に記載の方法。
- 前記基板の面における前記マスク(6)の大きさの変化を低減するために基板支持体(11)の温度により前記基板(10)の温度を制御する、請求項1〜12のいずれか1項に記載の方法。
- 基板(10)、特にウエハーを露光するための装置、特にシャドウキャスティング露光するための装置であって、
露光源(1)と、
前記基板(10)上に構造体の像を光学的に形成するためのマスク(6)と、
前記マスク(6)の温度及び/又は大きさを測定するための測定装置(15)と、を備え、
前記マスク(6)の大きさを一定に維持するために、
前記マスク(6)の温度を一定に維持するための加熱器(5)及び/又は冷却器と、
前記マスクの大きさを一定に維持するためのマスク拡張装置(16)及び/又はマスク収縮装置(16)とのいずれか一方を更に備える装置。 - 前記加熱器(5)は、接触加熱、略接触加熱、媒体加熱、誘導加熱、超音波加熱または放射熱の加熱器を含む、請求項14に記載の装置。
- 前記放射加熱器(5)は、赤外線放射またはマイクロ波放射の波長帯で作動するものである、請求項15に記載の装置。
- 前記マスク(6)は、前記マスク(6)を流れる電流により前記マスクを加熱するための導電層を備える、請求項14に記載の装置。
- 前記放射加熱器(5)の放射を選択的に遮るために前記マスク(6)と前記基板(10)との間の放射通路内にシャッター(12)を備える、請求項15または16に記載の装置。
- 前記マスク(6)を加熱及び/又は冷却するためのマスクホルダを備える、請求項14〜18のいずれか1項に記載の装置。
- 前記マスク(6)を更に冷却及び/又は加熱するための空気冷却器(17)及び/又は空気加熱器(17)を備える、請求項14〜19のいずれか1項に記載の装置。
- 前記マスク(6)は、熱膨張性が小さな材料を備える、請求項14〜20のいずれか1項に記載の装置。
- 前記基板(10)を保持するとともに加熱及び/又は冷却するための基板支持体(11)を備える、請求項14〜21のいずれか1項に記載の装置。
- リソグラフィ中に基板支持体(11)と基板(10)とを熱接触させることと、基板(10)とマスク(6)とを熱接触させるか又は僅かに離間させることとにより、前記マスク(6)を加熱及び/又は冷却する手段を備える、請求項22に記載の装置。
- 休息期間中において基板(10)が無い状態で、基板支持体(11)とマスク(6)との直接接触により前記マスク(6)を冷却または加熱する手段を備える、請求項22に記載の装置。
- 前記マスク(6)に取り付けられた熱導体を備える、請求項14〜24のいずれか1項に記載の装置。
- 前記マスク(6)に熱接触した熱導体を有するガラスプレートを備える、請求項14〜24のいずれか1項に記載の装置。
- 前記マスク(6)の各部を選択的に且つ/又は異なるように加熱するための熱導体により形成される複数の分離したヒータ回路を備える、請求項25または26に記載の装置。
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