JP2008198757A - Euv露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】フォトマスクの待機時及び使用時の温度を制御管理することにより、フォトマスクの熱膨張を高精度に管理するEUV露光装置を提供する。
【解決手段】ガラス製の基板の表面に形成された多層の反射膜、及び前記反射膜の表面に所定のパターンの形状に形成された吸収体とを備えたフォトマスク6と、前記ガラス製の基板が固定されるガラス製のマスクホルダー10と、前記マスクホルダー内に収容された発熱体11と、前記フォトマスクの温度を検出する温度検出手段14と、前記温度検出手段の検出結果に基づいて、フォトマスクの温度を所定温度になすように発熱体の発熱量を制御する制御部12とを具備する。
【選択図】図1
【解決手段】ガラス製の基板の表面に形成された多層の反射膜、及び前記反射膜の表面に所定のパターンの形状に形成された吸収体とを備えたフォトマスク6と、前記ガラス製の基板が固定されるガラス製のマスクホルダー10と、前記マスクホルダー内に収容された発熱体11と、前記フォトマスクの温度を検出する温度検出手段14と、前記温度検出手段の検出結果に基づいて、フォトマスクの温度を所定温度になすように発熱体の発熱量を制御する制御部12とを具備する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体・液晶等の製造工程において用いられる露光装置に関し、特に、超紫外光リソグラフィ(以下、EUVリソグラフィという。)に好適に用いられるEUV露光装置に関する。
近年の半導体集積回路の高集積化において、微細加工技術は、最も重要な役割を担っている。半導体集積回路のさらなる微細化に伴い、光リソグラフィ技術の開発も進んでおり、その一つとして、露光光源にEUV光を用いたEUVリソグラフィが注目されている(例えば、特許文献1)。このEUV光は、波長が13.5nm以下であり、あらゆる材料に吸収されるため、反射光学系のリソグラフィシステムが採用されている。
EUVリソグラフィにおいては、前記したようにフォトマスクも反射型であり、この反射型のフォトマスクには、基板表面にEUV光を反射する多層膜が形成され、この多層膜表面にEUV光を吸収する吸収体を形成されている。そして、前記吸収体を所定のパターン形状に形成することにより、マスクパターンが形成されている(例えば、特許文献2)。
特開2006−287003号公報
特開2004−119541号公報
ところで、前記多層膜は、Mo/Siなどで形成され、吸収パターン(吸収体)はCrあるいはTaNで形成されている。この多層膜の反射率は65%〜70%程度であり、残り30%〜35%は多層膜及び吸収体に吸収されて熱に変わる。
そのため、フォトマスクはEUV光の照射により発熱し、熱変形(熱膨張)を引き起こす。この温度変化に伴う熱膨張はマスクを変形させるためにパターンずれが起り、結果として、ウエハ上に高精度、高解像度の転写パターンが望めないという技術的課題があった。
そのため、フォトマスクはEUV光の照射により発熱し、熱変形(熱膨張)を引き起こす。この温度変化に伴う熱膨張はマスクを変形させるためにパターンずれが起り、結果として、ウエハ上に高精度、高解像度の転写パターンが望めないという技術的課題があった。
この技術的課題を解決する方法として、フォトマスクを構成する基体を、熱膨張率の極めて低い超低熱膨張ガラス体で形成することも考えられるが、本願発明者はフォトマスクの熱膨張(熱変形)を前提とし、フォトマスクの待機時及び使用時の温度を制御管理することによって、高精度、高解像度の転写パターン達成を試み、本願発明を完成するに至った。
本発明は上記事情のもとに成されたものであり、フォトマスクの待機時及び使用時の温度を制御管理することにより、フォトマスクの熱膨張を高精度に管理することによって、マスクパターンを高精度、高解像度に転写できるEUV露光装置を提供することを目的とする。
本発明にかかるEUV露光装置は、上記目的を達成するためになされたものであり、EUV光発生装置によって発生、出射したEUV光を反射鏡で反射し、フォトマスクのマスクパターンをウエハ上に転写するEUV露光装置において、ガラス製の基板の表面に形成された多層の反射膜、及び前記反射膜の表面に所定のパターンの形状に形成された吸収体とを備えたフォトマスクと、前記ガラス製の基板が固定されるガラス製のマスクホルダーと、前記マスクホルダー内に収容された発熱体と、前記フォトマスクの温度を検出する温度検出手段と、前記温度検出手段の検出結果に基づいて、フォトマスクの温度を所定温度になすように発熱体の発熱量を制御する制御部とを具備することを特徴としている。
このように、マスクホルダー内に発熱体を収容すると共に、フォトマスクの温度を検出する温度検出手段を設け、前記温度検出手段の検出結果に基づいて、フォトマスクの温度を所定温度になすように制御するように構成されているため、ウエハにEUV光を照射し露光する露光時とウエハにEUV光を照射しない待機時におけるフォトマスクの温度を、略同一の温度に管理することができる。
そして、予めフォトマスクのマスクパターンを、前記温度において高精度になるように(ずれ、歪みが生じないように)形成しておき、上記のようにフォトマスクの温度を管理することによって、ウエハ上に高精度、高解像度の転写パターンを形成することができる。
そして、予めフォトマスクのマスクパターンを、前記温度において高精度になるように(ずれ、歪みが生じないように)形成しておき、上記のようにフォトマスクの温度を管理することによって、ウエハ上に高精度、高解像度の転写パターンを形成することができる。
ここで、前記フォトマスクを構成するガラス製の基板及びマスクホルダーが、チタニア−シリカガラスであることが望ましい。
このチタニア−シリカガラスは低膨張体であるため、ウエハ上により高精度、より高解像度の転写パターンを形成することができる。
このチタニア−シリカガラスは低膨張体であるため、ウエハ上により高精度、より高解像度の転写パターンを形成することができる。
また、前記発熱体が、ガラス中にカーボンワイヤー発熱体を封入したカーボンワイヤーヒータであることが望ましい。このカーボンワイヤーヒータによれば急速加熱ができ、フォトマスクの温度をより厳格に管理することができる。
更に、前記マスクホルダーは、下面にフォトマスクを構成するガラス製の基板を固定する凹部が形成されると共に、上面にカーボンワイヤー発熱体を収容する溝部が形成された第1の部材と、前記第1の部材と上面と密着し、前記第1の部材に形成された溝部を密閉する第2の部材とから構成されていることが望ましい。
このように、カーボンワイヤー発熱体をマスクホルダー内に密閉することにより、カーボンワイヤー発熱体の長寿命化が望める。
このように、カーボンワイヤー発熱体をマスクホルダー内に密閉することにより、カーボンワイヤー発熱体の長寿命化が望める。
本発明にかかるEUV露光装置は、上記目的を達成するためになされたものであり、EUV光発生装置によって発生、出射したEUV光を反射鏡で反射し、フォトマスクのマスクパターンをウエハ上に転写するEUV露光装置において、EUV光光路中に進退し、EUV光の光路を変更する反射鏡と、前記反射鏡がEUV光光路中に進行した際、変更されたEUV光を受けるレーザ吸収器とを少なくとも備え、待機時にあっては、前記反射鏡がEUV光光路中に進行し、EUV光の光路を変更し、変更されたEUV光がフォトマスクに照射されフォトマスクを加熱し、前記フォトマスクで反射したEUV光が前記レーザ吸収器に照射され、かつ、露光時には、前記反射鏡がEUV光光路中から後退し、フォトマスクで反射したEUV光がウエハ上に照射され、マスクパターンに対応したパターンがウエハに転写されることを特徴としている。
このように、待機時においても、反射鏡がEUV光光路中に進行し、EUV光の光路を変更し、変更されたEUV光がフォトマスクに照射されフォトマスクを加熱するように構成されているため、ウエハにEUV光を照射し露光する露光時とウエハにEUV光を照射しない待機時におけるフォトマスクの温度を、略同一の温度に管理することができる。
そして、予めフォトマスクのマスクパターンを、前記温度において高精度になるように(ずれ、歪みが生じないように)形成しておき、上記のようにフォトマスクの温度を管理することによって、ウエハ上に高精度、高解像度の転写パターンを形成することができる。
そして、予めフォトマスクのマスクパターンを、前記温度において高精度になるように(ずれ、歪みが生じないように)形成しておき、上記のようにフォトマスクの温度を管理することによって、ウエハ上に高精度、高解像度の転写パターンを形成することができる。
本発明によれば、フォトマスクの待機時及び使用時の温度を制御管理し、フォトマスクの熱膨張を高精度に管理することができ、マスクパターンを高精度、高解像度に転写できるEUV露光装置を得ることができる。
以下、本発明にかかるEUV露光装置の実施の形態を、図1乃至図4に基づいて説明する。尚、図1は、本発明にかかる露光装置の実施形態を示す概略構成図、図2はマスクホルダー(カーボンワイヤーヒータ)の概略構成を示す斜視図、図3はマスクホルダーに用いられているカーボンワイヤー発熱体を示す概略構成図、図4は、フォトマスク及びマスクホルダーの断面図である。
図1に示すように、このEUV露光装置(露光装置)1は、EUV光発生装置(例えば、X線の光源)2を備えている。このEUV光発生装置2によって発生、出射したライン状のEUV光は露光光として、反射鏡3,4,5で反射し、反射型のフォトマスク6の表面にライン状に照射される。そして、このフォトマスク6の表面にライン状に照射されたEUV光は、フォトマスク6で反射し、感光性樹脂が塗布されたウエハ7に投影される。
このとき、前記フォトマスク6には、後述するように、マスクパターンが形成されているため、マスクパターンに対応したパターンがウエハ7に縮小投影される。
このとき、前記フォトマスク6には、後述するように、マスクパターンが形成されているため、マスクパターンに対応したパターンがウエハ7に縮小投影される。
また、前記ウエハ7は、X方向に移動可能なウエハステージ8上に載置され、またフォトマスク6も、マスクホルダー10を介してX方向に移動可能なマスクステージ9上に載置されている。
そのため、前記ウエハ7、フォトマスク6を相対的に移動させながら、露光を繰り返すことにより、フォトマスク6の平面に亘るマスクパターンがウエハ7上に縮小投影される。
尚、EUV露光装置(露光装置)1は、図示しない真空容器内に収容されている。
そのため、前記ウエハ7、フォトマスク6を相対的に移動させながら、露光を繰り返すことにより、フォトマスク6の平面に亘るマスクパターンがウエハ7上に縮小投影される。
尚、EUV露光装置(露光装置)1は、図示しない真空容器内に収容されている。
次に、反射型のフォトマスク6及びマスクホルダー10について説明する。
フォトマスク6は、図4に示すように、熱変形の少ない低熱膨張ガラス製の基板6Aから構成されている。この低熱膨張ガラス製の基板6Aとしては、例えば、チタニア−シリカガラス(SiO2−TiO2ガラス)が用いられる。
フォトマスク6は、図4に示すように、熱変形の少ない低熱膨張ガラス製の基板6Aから構成されている。この低熱膨張ガラス製の基板6Aとしては、例えば、チタニア−シリカガラス(SiO2−TiO2ガラス)が用いられる。
そして、この低熱膨張ガラス製の基板6Aの表面には、モリブデン(Mo)6B1とシリコン(Si)6B2とが交互に積層されたMo/Si多層膜6Bが形成されている。このMo/Si多層膜6Bの表面には、ウエハ7に転写するマスクパターンの形状に対応した吸収体(マスクパターン)6Cが、例えばCr,TaNで形成されている。
尚、Mo/Si多層膜6Bと前記吸収体6Cとの間には、SiO2あるいはRuからなるバッファ層6Dが形成されている。
尚、Mo/Si多層膜6Bと前記吸収体6Cとの間には、SiO2あるいはRuからなるバッファ層6Dが形成されている。
また、前記低熱膨張ガラス製の基板6Aは、マスクホルダー10に融着、固定されている。このマスクホルダー10は、下面に前記基板6Aを固定する凹部10A2が形成されると共に上面に発熱体であるカーボンワイヤー発熱体11を収容する溝部10A1が形成された第1の部材10Aと、前記第1の部材10Aに形成された溝部10A1を密閉する蓋部材である第2の部材10Bとによって構成されている。なお、前記マスクホルダーは、シリカガラスもしくはSiO2−TiO2ガラスで形成することがより好ましい。
前記第1の部材10Aの溝部10A1にカーボンワイヤー発熱体11を収容し、溝部10A1内を非酸化雰囲気とした後、第1の部材10Aと第2の部材10Bを融着し、カーボンワイヤー発熱体を封入した状態で一体化させ、カーボンワイヤーヒータを形成している。
そして、一体化したマスクホルダー10に対して、前記低熱膨張ガラス製の基板6Aを融着、固定する。尚、前記マスクホルダー10を構成するこれら第1の部材10A及び第2の部材10Bは共にフォトマスク6を構成する低熱膨張ガラス製の基板で形成するのが好ましい。
そして、一体化したマスクホルダー10に対して、前記低熱膨張ガラス製の基板6Aを融着、固定する。尚、前記マスクホルダー10を構成するこれら第1の部材10A及び第2の部材10Bは共にフォトマスク6を構成する低熱膨張ガラス製の基板で形成するのが好ましい。
前記カーボンワイヤー発熱体11としては、図3に示すような複数本のカーボンファイバーを束ねたファイバー束を複数束用いてワイヤー状に編み込んだもの等を用いる。前記カーボンワイヤー発熱体11は、図2に示すように、マスクホルダー10に、いわゆるジグザグ形状に配置されている。なお、前記カーボンワイヤー発熱体3の平面配置パターンは、前記のようにジグザク形状に配置するものに限定されず、渦巻状やその他の形状でも良い。
前記カーボンワイヤー発熱体11の具体例としては、直径5乃至15μmのカーボンファイバー、例えば、直径7μmのカーボンファイバーを約300乃至350本程度束ねたファイバー束を9束程度用いて直径約2mmの編紐、あるいは組紐形状に編み込んだもの等を挙げることができる。前記の場合において、ワイヤーの編み込みスパンは2乃至5mm程度、カーボンファイバーによる表面の毛羽立ちは0.5乃至2.5mm程度である。なお、前記毛羽立ちとは、図3の符号11aに示すように、カーボンファイバーが切断されたものの一部が、カーボンワイヤーの外周面から突出したものである。
このカーボンワイヤー発熱体11は、図1に示すように、制御部12を介して電源13に接続されている。また、フォトマスク6の低熱膨張ガラス製の基板6Aには熱電対等の温度測定器14が設けられ、検出結果が制御部12に入力されるように構成されている。
そして、測定された温度に基づいて、フォトマスク6の温度を一定になるようにカーボンワイヤー発熱体11の発熱量が前記制御部12によって制御されるように構成されている。
そして、測定された温度に基づいて、フォトマスク6の温度を一定になるようにカーボンワイヤー発熱体11の発熱量が前記制御部12によって制御されるように構成されている。
また、マスクパターンは、使用時(露光時)の温度(例えば、450℃)において高精度になるように(ずれ、歪みが生じないように)、予めフォトマスク6にマスクパターンが形成されている。即ち、所定温度(例えば、450℃)において、フォトマスクのマスクパターンが規定の寸法形状となるものであり、使用時(露光時)においても、前記所定温度を維持することにより、フォトマスクの熱膨張の影響を排除することができる。
具体的には、露光時において、フォトマスク6にEUV光が照射されるとフォトマスク6は昇温する。しかしながら、前記熱電対14でその温度を検出し、制御部12によって前記カーボンワイヤー発熱体11の発熱量を制御することにより、前記露光時におけるフォトマスク6の温度を一定に維持することができる。
したがって、フォトマスク6は、前記所定温度に維持されるため、低熱膨張ガラス製の基板6Aの上に形成されたマスクパターンは、高精度(ずれ、歪みが生じないように)に維持される。その結果、高精度のマスクパターンに対応したライン状のパターンがウエハ7に縮小投影され、高精度、高解像度の転写パターンがウエハ上に形成される。
したがって、フォトマスク6は、前記所定温度に維持されるため、低熱膨張ガラス製の基板6Aの上に形成されたマスクパターンは、高精度(ずれ、歪みが生じないように)に維持される。その結果、高精度のマスクパターンに対応したライン状のパターンがウエハ7に縮小投影され、高精度、高解像度の転写パターンがウエハ上に形成される。
また、EUV光がフォトマスク6に照射されていない時間(待機時)において、カーボンワイヤー発熱体11を用いて、フォトマスク6の表面温度を所定の温度(例えば450℃)に維持する。
これにより、フォトマスク6の温度変化を極力抑制することができ、フォトマスク6の熱膨張の影響を排除することができる。また、待機時において、前記所定温度を維持することにより、露光時(使用時)における温度管理を、容易かつ迅速になすことができ、露光処理の能率を向上させることができる。
これにより、フォトマスク6の温度変化を極力抑制することができ、フォトマスク6の熱膨張の影響を排除することができる。また、待機時において、前記所定温度を維持することにより、露光時(使用時)における温度管理を、容易かつ迅速になすことができ、露光処理の能率を向上させることができる。
このように、フォトマスク6の使用時温度において、高精度となるようにマスクパターンが形成され、待機時及び使用時において、フォトマスク6の温度が一定になるように制御管理しているため、ウエハ7上に高解像度の転写パターンを形成することができる。
次に、本発明にかかる露光装置の第二の実施形態について、図5及び図6に基づいて説明する。尚、図5は第二の実施形態にかかる露光装置の露光時(使用時)の状態を示す概略構成図、図6は、露光装置の待機時の状態を示す概略構成図である。
この第二の実施形態は、第1の実施形態のようにフォトマスク近傍に発熱体(例えば、前記カーボンワイヤーヒータ)を設けることなく、待機時においてもフォトマスクにEUV光を照射し、フォトマスク6を所定の温度に維持する点に特徴がある。
この露光装置20にあっては、図5、図6に示すように、EUV光光路中に進退し、EUV光の進路を変更する反射鏡21と、前記反射鏡21がEUV光光路中に進行した際、変更されたEUV光を受けるレーザ吸収器22が設けられている。
即ち、待機時にあっては、図6に示すように反射鏡21をEUV光光路中に進行させ、EUV光の進路を変更する。この変更されたEUV光はフォトマスク6に照射され、フォトマスク6は昇温し、所定温度になる。このフォトマスク6に入射されたEUV光は、入射角が露光時(使用時)の入射角と異なるため、ウエハ7には照射されず、レーザ吸収器22に照射される。
このように、待機時において、フォトマスク6はEUV光で加熱され、所定温度になされる。
尚、フォトマスク6の温度を厳密に維持管理するために、EUV光発生装置2から発生、出射するEUV光の強度を、図1に示すように、熱電対のような温度検出手段14を設け、検出されたフォトマスク6の温度に基づいて、制御するように構成するのが好ましい。
このように、待機時において、フォトマスク6はEUV光で加熱され、所定温度になされる。
尚、フォトマスク6の温度を厳密に維持管理するために、EUV光発生装置2から発生、出射するEUV光の強度を、図1に示すように、熱電対のような温度検出手段14を設け、検出されたフォトマスク6の温度に基づいて、制御するように構成するのが好ましい。
一方、露光時には、図5に示すように、前記反射鏡21がEUV光光路中から後退し、EUV光の進路が変更され、フォトマスク6で反射したEUV光がウエハ7上に照射され、マスクパターンに対応したパターンがウエハ7に縮小投影され、転写パターンがウエハ7上に形成される。
このように、フォトマスクの使用時温度において、高精度となるようにマスクパターンが形成され、待機時及び使用時において、フォトマスクの温度が一定になるように制御管理しているため、ウエハ上に高解像度の転写パターンを形成することができる。
本発明にかかるフォトマスク及び露光装置は、半導体・液晶等の製造工程におけるEUVリソグラフィにおいて好適に使用することができ、ひいては、半導体・液晶等の各種処理工程における歩留の向上に寄与し得る。
1 EUV露光装置
2 EUV光発生装置
3 反射鏡
4 反射鏡
5 反射鏡
6 フォトマスク
6A ガラス基板(低熱膨張ガラス)
7 ウエハ
10 マスクホルダー(カーボンワイヤーヒータ)
10A 第1の部材
10A1 溝部
10A2 凹部
10B 第2の部材
11 発熱体(カーボンワイヤー発熱体)
12 制御部
13 電源
14 温度検出手段(熱電対)
20 EUV露光装置
21 反射鏡
22 レーザ吸収器
2 EUV光発生装置
3 反射鏡
4 反射鏡
5 反射鏡
6 フォトマスク
6A ガラス基板(低熱膨張ガラス)
7 ウエハ
10 マスクホルダー(カーボンワイヤーヒータ)
10A 第1の部材
10A1 溝部
10A2 凹部
10B 第2の部材
11 発熱体(カーボンワイヤー発熱体)
12 制御部
13 電源
14 温度検出手段(熱電対)
20 EUV露光装置
21 反射鏡
22 レーザ吸収器
Claims (5)
- EUV光発生装置によって発生、出射したEUV光を反射鏡で反射し、フォトマスクのマスクパターンをウエハ上に転写するEUV露光装置において、
ガラス製の基板の表面に形成された多層の反射膜、及び前記反射膜の表面に所定のパターンの形状に形成された吸収体とを備えたフォトマスクと、
前記ガラス製の基板が固定されるガラス製のマスクホルダーと、
前記マスクホルダー内に収容された発熱体と、
前記フォトマスクの温度を検出する温度検出手段と、
前記温度検出手段の検出結果に基づいて、フォトマスクの温度を所定温度になすように発熱体の発熱量を制御する制御部と、
を具備することを特徴とするEUV露光装置。 - 前記フォトマスクを構成するガラス製の基板及びマスクホルダーが、チタニア−シリカガラスであることを特徴とする請求項1記載のEUV露光装置。
- 前記発熱体が、ガラス中にカーボンワイヤー発熱体を封入したカーボンワイヤーヒータであることを特徴とする請求項1記載のEUV露光装置。
- 前記マスクホルダーは、下面にフォトマスクを構成するガラス製の基板を固定する凹部が形成されると共に、上面にカーボンワイヤー発熱体を収容する溝部が形成された第1の部材と、前記第1の部材と上面と密着し、前記第1の部材に形成された溝部を密閉する第2の部材とから構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載されたEUV露光装置。
- EUV光発生装置によって発生、出射したEUV光を反射鏡で反射し、フォトマスクのマスクパターンをウエハ上に転写するEUV露光装置において、
EUV光光路中に進退し、EUV光の光路を変更する反射鏡と、前記反射鏡がEUV光光路中に進行した際、変更されたEUV光を受けるレーザ吸収器とを少なくとも備え、
待機時にあっては、前記反射鏡がEUV光光路中に進行し、EUV光の光路を変更し、変更されたEUV光がフォトマスクに照射されフォトマスクを加熱し、前記フォトマスクで反射したEUV光が前記レーザ吸収器に照射され、
かつ、露光時には、前記反射鏡がEUV光光路中から後退し、フォトマスクで反射したEUV光がウエハ上に照射され、マスクパターンに対応したパターンがウエハに転写されることを特徴とするEUV露光装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009164284A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Nikon Corp | パターン形成基板、露光方法およびデバイスの製造方法 |
JP2013502063A (ja) * | 2009-08-11 | 2013-01-17 | ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | マスクの大きさを一定に維持するための方法および装置 |
JP2014165460A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Toshiba Corp | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
-
2007
- 2007-02-13 JP JP2007031529A patent/JP2008198757A/ja active Pending
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