JP2013253660A - 継手部材、継手、基板処理装置、及び制限部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の外径を有する第1外径部と、前記第1の外径よりも小さい第2の外径を有する第2外径部とが中心軸の方向に沿って並ぶ筒形状を有するスリーブ部材;内径が前記第1の外径よりも大きく、内周面に第1のネジ山が形成される有底筒形状を有し、前記第1の外径よりも小さく前記第2の外径より大きい内径を有する開口を底部に有するナット部材;及び前記開口に挿入された前記第2外径部の外周の少なくとも一部を覆う、前記ナット部材の前記底部の外面に接触可能な制限部材であって、前記ナット部材の前記底部の内面に接触可能な前記第1外径部と共に、前記中心軸の方向に前記ナット部材と相対的に前記スリーブ部材が移動するのを制限する当該制限部材;を備える継手部材により上記の課題が達成される。
【選択図】図3
Description
スリーブ22は、中心軸CAに沿った貫通孔THを有する円筒形状を有している。この貫通孔THの内径は、インジェクタJ(図2)の外径よりも僅かに大きい。このため、インジェクタJの先端部がスリーブ22内へ挿入され得る。また、スリーブ22には、大きな外径を有する大径部22L(第1外径部)と、大径部22Lの外径よりも小さい外径を有する中径部22M(第2外径部)と、中径部Mの外径よりも小さい外径を有する小径部22Sとがこの順に設けられている。大径部22Lの先端部には、その外周から内周に向かって傾斜する傾斜端面SSが形成されている。また、スリーブ22の中径部22Mの外周面にはネジ山22Nが形成されている。
また、ナット24の他端側の内周面には、インジェクタ支持管14Aの先端部に形成されるネジ山14N(図2)に対応したネジ山24Nが形成されている。これにより、ナット24ひいては継手部材20がインジェクタ支持管14Aの先端部に取り付けられる。すなわち、内周面にねじ山24Nが形成されるナット24が雌ネジに相当し、先端部にネジ山14Nが形成されるインジェクタ支持管14Aが、ナット24に対する雄ネジに相当する。
まず、図3(b)に示す継手部材20の小径部22Sの先端部に所定のパイプPを溶接する(図4(a))。このパイプPは、例えば基板処理装置10(図2)において使用されるプロセスガスの供給源(不図示)に接続されている。また、パイプPには、例えば開閉バルブや流量調整器が設けられ、これにより基板処理装置10に対してプロセスガスを所定の流量で供給することができる。
図4(d)に示すようにナット24が締め込まれると、インジェクタJの先端部がスリーブ22内に僅かに挿入されると共に、Oリング34が、スリーブ22の大径部22Lの傾斜端面と、スペーサ32の傾斜端面とによって、インジェクタJの外周面に押し付けられる。このため、Oリング34は、2つの傾斜端面とインジェクタJの外周面との3箇所に密着し、これにより、インジェクタJ及びパイプPの内部の空間と外部の空間とが隔離される。また、Oリング30が、インジェクタ支持管14Aの傾斜端面と、スペーサリング32の傾斜端面と、インジェクタJの外周面とに押し付けられ、これにより、インジェクタJ及びパイプPの内部の空間と外部の空間とが更に確実に隔離される。
次に、本発明の実施形態による継手部材20の変形例について説明する。この変形例における継手部材21は、上述の継手部材20のサポートナット26と異なるサポートナット27を有している点で、継手部材20と異なり、他の構成はほぼ同一である。
なお、サポートナット27がナット24の回転(ねじ込み)を妨げないように、スリーブ22のナット24に対する移動が制限される限りにおいて、サポートナット27とナット24との間に僅かな隙間を残してもよいことは、上述の実施形態と同様である。
Claims (15)
- 第1の外径を有する第1外径部と、前記第1の外径よりも小さい第2の外径を有する第2外径部とが中心軸の方向に沿って並ぶ筒形状を有するスリーブ部材;
内径が前記第1の外径よりも大きく、内周面に第1のネジ山が形成される有底筒形状を有し、前記第1の外径よりも小さく前記第2の外径より大きい内径を有する開口を底部に有するナット部材;及び
前記開口に挿入された前記第2外径部の外周の少なくとも一部を覆う、前記ナット部材の前記底部の外面に接触可能な制限部材であって、前記ナット部材の前記底部の内面に接触可能な前記第1外径部と共に、前記中心軸の方向に前記ナット部材と相対的に前記スリーブ部材が移動するのを制限する当該制限部材;
を備える継手部材。 - 前記制限部材が、内周面に第2のネジ山を有する筒状部材であり、
前記スリーブ部材の前記第2外径部が、前記第2のネジ山に対応する第3のネジ山を外周面に有する、請求項1に記載の継手部材。 - 前記筒状部材が、円筒状又は多角筒状の形状を有する、請求項2に記載の継手部材。
- 前記制限部材が、
前記スリーブ部材の前記第2外径部を押さえる少なくとも2つの押さえ部材と、
前記第2外径部を押さえる前記少なくとも2つの押さえ部材を互いに結合する結合部材と
を含む、請求項1に記載の継手部材。 - 前記押さえ部材が、前記第2外径部の一部を収容し、当該一部を押さえる凹部を含む、請求項4に記載の継手部材。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の継手部材と、
前記第1のネジ山に対応する第4のネジ山が外周面の先端部に形成される円筒形状を有する雄ねじ部と
を含む継手。 - 請求項6に記載の継手と、
前記雄ねじ部が取り付けられる金属製のチャンバと
を含む、基板処理装置。 - 前記雄ねじ部に挿入されるパイプを更に備える、請求項7に記載の基板処理装置。
- 前記パイプが、前記スリーブ材の材料よりも脆弱な材料で作製される、請求項8に記載の基板処理装置。
- 前記パイプが挿入可能で、前記雄ねじ部を前記チャンバに取り付ける円筒管を更に含む、請求項8又は9に記載の基板処理装置。
- 第1の外径を有する第1外径部と、前記第1の外径よりも小さい第2の外径を有する第2外径部とが中心軸の方向に沿って並ぶ筒形状を有し、前記中心軸に沿って貫通する貫通孔が形成されるスリーブ部材が、内径が前記第1の外径よりも大きく、内周面に第1のネジ山が形成される有底筒形状を有し、前記第1の外径よりも小さく前記第2の外径より大きい内径を有する開口を底部に有するナット部材の当該開口に挿入される際に、前記開口に挿入された前記第2外径部の外周の少なくとも一部を覆い、前記ナット部材の前記底部の外面に接触可能であって、前記ナット部材の前記底部の内面に接触可能な前記第1外径部と共に、前記中心軸の方向に前記ナット部材と相対的に前記スリーブ部材が移動するのを制限するよう構成される制限部材。
- 前記第2外径部の外周面に形成される第3のネジ山に対応する第2のネジ山が内周面に形成される筒状部材である、請求項11に記載の制限部材。
- 前記筒状部材が、円筒状又は多角筒状の形状を有する、請求項11に記載の制限部材。
- 前記スリーブ部材の前記第2外径部を押さえる少なくとも2つの押さえ部材と、
前記第2外径部を押さえる前記少なくとも2つの押さえ部材を互いに結合する結合部材と
により構成される、請求項11に記載の制限部材。 - 前記押さえ部材が、前記第2外径部の一部を収容し、当該一部を押さえる凹部を有する、請求項14に記載の制限部材。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012130202A JP6030859B2 (ja) | 2012-06-07 | 2012-06-07 | 基板処理装置 |
KR1020130064191A KR101745752B1 (ko) | 2012-06-07 | 2013-06-04 | 이음매 부재, 이음매, 기판 처리 장치 및 제한 부재 |
TW102120040A TWI534383B (zh) | 2012-06-07 | 2013-06-06 | 接頭構件、接頭、基板處理裝置、以及限制構件 |
US13/911,809 US20130328306A1 (en) | 2012-06-07 | 2013-06-06 | Joint member, joint, substrate processing apparatus and limit member |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012130202A JP6030859B2 (ja) | 2012-06-07 | 2012-06-07 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013253660A true JP2013253660A (ja) | 2013-12-19 |
JP6030859B2 JP6030859B2 (ja) | 2016-11-24 |
Family
ID=49714662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012130202A Active JP6030859B2 (ja) | 2012-06-07 | 2012-06-07 | 基板処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130328306A1 (ja) |
JP (1) | JP6030859B2 (ja) |
KR (1) | KR101745752B1 (ja) |
TW (1) | TWI534383B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022059628A1 (ja) * | 2020-09-18 | 2022-03-24 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、ガス供給アセンブリ、ノズル、基板処理方法及び半導体装置の製造方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103883817B (zh) * | 2014-04-08 | 2016-04-20 | 合肥德铭电子有限公司 | 用于微创手术的气动臂持物端快速连接装置 |
BR102018001006B1 (pt) * | 2018-01-17 | 2023-02-23 | Prysmian Cabos E Sistemas Do Brasil S.A. | Sistema e método para conectar um primeiro e um segundo encaixes de mangueira |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61201983A (ja) * | 1985-03-04 | 1986-09-06 | カジヨン コムパニー | コード化された継手 |
JPH09269089A (ja) * | 1995-10-13 | 1997-10-14 | Cajon Co | 改良連結器 |
JP2007278341A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配管接続具および基板処理装置 |
JP2009224765A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-10-01 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2009224504A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2010007747A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Taisei Tohtsu:Kk | 高温流体用カプラー |
JP2010169172A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Neriki:Kk | 容器弁用配管接続装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4580788A (en) * | 1984-08-23 | 1986-04-08 | Foster Wheeler Energy Corporation | Split ring sealing device for high pressure service |
-
2012
- 2012-06-07 JP JP2012130202A patent/JP6030859B2/ja active Active
-
2013
- 2013-06-04 KR KR1020130064191A patent/KR101745752B1/ko active IP Right Grant
- 2013-06-06 US US13/911,809 patent/US20130328306A1/en not_active Abandoned
- 2013-06-06 TW TW102120040A patent/TWI534383B/zh active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61201983A (ja) * | 1985-03-04 | 1986-09-06 | カジヨン コムパニー | コード化された継手 |
JPH09269089A (ja) * | 1995-10-13 | 1997-10-14 | Cajon Co | 改良連結器 |
JP2007278341A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配管接続具および基板処理装置 |
JP2009224765A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-10-01 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2009224504A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2010007747A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Taisei Tohtsu:Kk | 高温流体用カプラー |
JP2010169172A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Neriki:Kk | 容器弁用配管接続装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022059628A1 (ja) * | 2020-09-18 | 2022-03-24 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、ガス供給アセンブリ、ノズル、基板処理方法及び半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130328306A1 (en) | 2013-12-12 |
TW201413146A (zh) | 2014-04-01 |
JP6030859B2 (ja) | 2016-11-24 |
TWI534383B (zh) | 2016-05-21 |
KR101745752B1 (ko) | 2017-06-12 |
KR20130137544A (ko) | 2013-12-17 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141028 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150729 |
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