JP2013245372A5 - - Google Patents
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Claims (5)
- 有機化合物を蒸着用ルツボの内壁表面全体に付着させた後、減圧下で前記蒸着用ルツボを加熱することにより、前記蒸着用ルツボの内壁表面に炭素を含む膜を形成することを特徴とする、蒸着用ルツボの製造方法。
- 有機化合物が分散した溶媒、または前記有機化合物が溶解した溶液で蒸着用ルツボの内壁表面全体を濡らした後、減圧下で前記蒸着用ルツボを加熱することにより、前記蒸着用ルツボの内壁表面に炭素を含む膜を形成することを特徴とする、蒸着用ルツボの製造方法。
- 請求項１または請求項２において、
前記減圧下として、前記有機化合物が昇華する温度と、前記有機化合物が熱分解する温度とが共存する圧力にすることを特徴とする、蒸着用ルツボの製造方法。 - 請求項１乃至３のいずれか一において、
前記蒸着用ルツボとして、酸素濃度が０．１重量％以上であるルツボを用いることを特徴とする、蒸着用ルツボの製造方法。 - 請求項１乃至４のいずれか一において、
前記有機化合物として、分子量が２００以上１５００以下であり、芳香族環を有する有機化合物を用いることを特徴とする、蒸着用ルツボの製造方法。
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