JP2013237586A - シリコン原料の溶融方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン単結晶の製造の際に、ルツボ内に充填したシリコン原料をヒーターにより加熱して溶融する方法であって、前記シリコン原料の溶融は、前記ヒーターにより前記シリコン原料の温度が200〜300℃の範囲の基準温度になるまで加熱する第1ステップと、前記シリコン原料の温度が200〜300℃の範囲の基準温度を超えてから、前記ヒーターの出力を上げる第2ステップとからなるシリコン原料の溶融方法。
【選択図】図1
Description
このように昇温を行うことで、ヒーターの昇温に伴うシリコン原料の昇温を効率的に実施することができ、溶融時間を延長することなく、より効果的に加熱することができる。
このような温度範囲を超えるとシリコン原料の熱線吸収特性がさらに改善するため、第2ステップにおいてヒーターの出力を当該温度範囲を境に段階的に上げることで、短時間でより効率的にシリコン原料を溶融することができる。
このように昇温を行うことで、より効率的に溶融することができ、消費電力をさらに抑制することができる。
このように最初にヒーターを高出力で輻射伝熱優勢温度まで効率的に昇温させることで、溶融時間を短くでき、その後ヒーターの出力を下げて、前記昇温させた温度に対して±100℃の範囲にヒーターの温度を維持することでヒーター温度が上がりすぎて熱ロスが大きくなることを抑制できる。
このようなルツボの口径が大きく、シリコン原料の充填する量が多量である場合に、溶融時の消費電力が大きく、さらに熱ロスが大きくなるため、本発明を適用することが特に好適である。
これらの光学的特性から、270℃以下のシリコン原料では、輻射光の多くはシリコン原料の表面で反射され、侵入した光も吸収されずに透過する割合が高い。つまり、シリコン原料が270℃以下の状況において高出力で加熱を実施しても、シリコン原料を効率的に加熱することができず、周囲部材の加熱による熱ロスを助長し、消費電力が増大してしまうことを見出した。
図1は、本発明に用いることができるCZ引き上げ装置である。
二重構造からなるルツボの外側には、例えば抵抗加熱式の黒鉛ヒーター16が配設され、ヒーター16の外側周辺には保温筒18が同心円状に配設され、またその下方でCZ引き上げ装置10の底部には保温板19が配設されている。
このように、シリコン原料温度300℃までの低温状態では、ヒーターの出力を一定以上にしても原料昇温レートに変化がなくなり、一定値以上にはならない。シリコン原料温度が300℃を超えると、シリコン原料の熱線吸収特性が徐々に改善し、ヒーターの温度に追随してシリコン原料を昇温することが容易となる。
これを元にヒーターの出力を設定することで、ヒーターの温度を制御し、プロファイル設定を実施することができる。
(実施例1)
図1に示す引き上げ装置において、口径32インチ(800mm)のルツボを使用し、総原料溶解量350kgの不定形の塊状シリコン原料の溶融を、抵抗加熱式ヒーターにより行った。この際、初期チャージ量は200kgとし、150kgの追加チャージを実施した。この溶融において、ヒーターの出力を、最初に第1ステップとして90kWで30分、シリコン原料の温度が基準温度270℃に達したら、第2ステップとして200kWで溶融を行った。
実施例1と同様に、ただし、ヒーターの出力を、最初に第1ステップとして90kWで30分、シリコン原料の温度が基準温度270℃に達したら、第2Aステップとして150kWで90分、その後第2Bステップとして200kWで溶融を行った。
実施例1と同様に、ただし、ヒーターの出力を、最初に第1Aステップとして175kWで15分、その後第1Bステップとして80kWで30分、シリコン原料の温度が基準温度270℃に達したら、第2Aステップとして150kWで60分、その後第2Bステップとして200kWで溶融を行った。
実施例1と同様に、ただし、ヒーターの出力は最初から最後まで200kWで一定として溶融を行った。
本発明の実施例1−3では、比較例と比較して4〜8%消費電力を抑制できていることがわかる。
本発明の実施例1−3では、比較例と比較して同等の溶融時間で溶融が可能であることがわかる。
本発明の実施例1では、0〜1.5時間までは昇温に遅れがあるものの2.5時間後には追いついている。実施例2では、比較例と比較して0〜4時間までは昇温に遅れがあるものの5時間後には追いついている。実施例3では加熱初期から比較例と同様に昇温できていることがわかる。
また、ヒーター温度については、実施例1および実施例2の第1ステップにおいては1050℃まで昇温・コントロールし、実施例2の第2Aステップにおいては1400℃まで昇温・コントロールできている。実施例3においては、第1Aステップで800℃まで昇温した後、第1Bステップにおいて800℃±50℃を保持し、第2Aステップにおいて1200℃まで昇温、コントロールできていることが分かる。
13…石英ルツボ、 14…黒鉛ルツボ、 15…シリコン原料、
16…ヒーター、 17…ルツボ支持軸、 18…保温筒、 19…保温板、
20…溶融液。
Claims (6)
- シリコン単結晶の製造の際に、ルツボ内に充填したシリコン原料をヒーターにより加熱して溶融する方法であって、
前記シリコン原料の溶融は、前記ヒーターにより前記シリコン原料の温度が200〜300℃の範囲の基準温度になるまで加熱する第1ステップと、前記シリコン原料の温度が200〜300℃の範囲の基準温度を超えてから、前記ヒーターの出力を上げる第2ステップとからなることを特徴とするシリコン原料の溶融方法。 - 前記第1ステップにおいて、前記ヒーターの温度を、15分以上120分以下の時間で600〜1200℃の温度まで昇温させ、前記第2ステップにおいて、前記ヒーターの出力を上げて、前記ヒーターの温度を1500〜2000℃の温度まで昇温させることを特徴とする請求項1に記載のシリコン原料の溶融方法。
- 前記第2ステップにおいて、前記ヒーターの出力を上げ、その後前記シリコン原料の温度が450〜600℃の温度を超えてから、前記ヒーターの出力をさらに上げることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のシリコン原料の溶融方法。
- 前記第2ステップにおいて、前記ヒーターの出力を上げ、前記ヒーターの温度を、45分以上120分以下の時間で900〜1500℃の温度まで昇温させ、その後前記シリコン原料の温度が450〜600℃の温度を超えてから、前記ヒーターの出力をさらに上げて、前記ヒーターの温度を1500〜2000℃の温度まで昇温させることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のシリコン原料の溶融方法。
- 前記第1ステップにおいて、前記ヒーターの温度を、5分以上30分以下の時間で700〜1100℃の温度まで昇温させ、その後、前記ヒーターの出力を下げて、前記シリコン原料の温度が200〜300℃の範囲の基準温度になるまで、20分以上115分以下の時間内、前記ヒーターの温度を前記昇温させた温度に対して±100℃の範囲に維持することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のシリコン原料の溶融方法。
- 前記ルツボの直径を760mm以上、該ルツボ内に充填するシリコン原料を200kg以上とすることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のシリコン原料の溶融方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012111377A JP5794200B2 (ja) | 2012-05-15 | 2012-05-15 | シリコン原料の溶融方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012111377A JP5794200B2 (ja) | 2012-05-15 | 2012-05-15 | シリコン原料の溶融方法 |
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JP2013237586A true JP2013237586A (ja) | 2013-11-28 |
JP5794200B2 JP5794200B2 (ja) | 2015-10-14 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5794200B2 (ja) |
Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
KR20180054842A (ko) | 2015-11-13 | 2018-05-24 | 가부시키가이샤 사무코 | 실리콘 단결정 제조 방법 |
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US10724150B2 (en) | 2015-11-13 | 2020-07-28 | Sumco Corporation | Method of manufacturing silicon single crystal |
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Publication number | Publication date |
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JP5794200B2 (ja) | 2015-10-14 |
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